JPS62234585A

JPS62234585A - 洗浄装置

Info

Publication number: JPS62234585A
Application number: JP7424286A
Authority: JP
Inventors: 勇秋葉; 誠司藤倉; 大越　智義; 芳治滝沢
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-04-02
Filing date: 1986-04-02
Publication date: 1987-10-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は洗浄装置、特に、ジェットノズルより液体を噴
射して被洗浄物を洗浄する洗浄装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の洗浄装置は、上面に開口を有する外囲体内に被洗
浄を配置する支持台を設け、この被洗浄物の上面に液体
を噴射するジェットノズルを設けたものが公知であり、
前記支持台上に、被洗浄物を直接載置するか、或いはト
レイ等を介して被洗浄物を載置し、ジ−エツトノズルか
ら洗浄用液体を多量に噴射して、その噴射力により被洗
浄物の表面の塵埃を吹飛ばして除去するものであった。

尚。

この種装置に関連するものとしては、特開昭５６−６７
９２６号、特願昭６０−２０８６２号等が挙げられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

かかる洗浄装置は、ジェットノズルから噴射された洗浄
用液体が被洗浄物等に衝突した際に、霧状になって浮遊
し、外囲体の上面開口より外部へ流出して洗浄装置の周
囲を汚染するという問題があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもの
で、上面に開口（５０）を有する外囲体（１）内に被洗
浄物（４）を配置する支持台（６）を設け、この被洗浄
物（４）上面に液体を噴射するジェットノズル（１３）
を設けてなる洗浄装置において、前記外囲体（１）の開
口（５０）を筒状部（１ａ）にて形成してその筒状部（
１ａ）の下端部と前記被洗浄物（４）側との間隙（１ｂ
）を狭くすると共に、前記開口（５０）から前記間隙（
１ｂ）を通して空気を吸引するように吸引装置（３０）
に接続した吸引口（２０）を設けたことを特徴とする洗
浄装置としたものである。

〔作用〕

かかる洗浄装置において、ジェットノズル（１３）から
洗浄用液体を被洗浄物（４）に噴射し、その噴射力によ
り被洗浄物の表面の塵埃を吹飛ばして除去する。この場
合、被洗浄物（４）に噴射された洗浄用液体は被洗浄物
（４）等に衝突した際に霧状になって浮遊する。この霧
は、開口（５０）から吸引される空気に乗って筒状部（
１ａ）の下端部と被洗浄物（４）側との間隙（１ｂ）を
通って吸引口（２０）に吸引される。

即ち、開口（５０）を筒状部（１ａ）にて形成したので
、空気流はこの筒状部（１ａ）において上方から下方へ
の流れを生じ、霧が外囲体（１）の外部へ流出するのを
阻止すると共に、開口（５０）を筒状部（１ａ）にて形
成してその筒状部（１ａ）の下端部と被洗浄物（４）側
との間隙（１ｂ）を狭くしたので、開口（５０）から吸
引される空気がこの間隙（１ｂ）を狭くしたので、開口
（５０）から吸引される空気がこの間隙（１ｂ）の全周
からほぼ均一に吸引されるようになり、霧をその間隙（
１ｂ）の全周から吸引口（２０）へ導くことができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を、第１図〜第４図により説明
する。

支持台６の周囲に筒状の外囲体１が設けられている。さ
らに、その外囲体１の底壁傾斜面に超音波振動子７ａ、
７ｂ、７ｃが取付けられている。

そして、前記外囲体１中に超音波のエネルギーを伝達さ
せる液３を充填する注液ノズル２、その液３を排出しブ
ラシスクラバ洗浄を行うための、ブラシアーム１０ａを
有するブラシ１０、ブラシスクラバ洗浄時及びリンス時
に必要な液１１ａを供給するリンスノズル１１、さらに
、高圧ジェット洗浄を行うためのジェットノズル１３、
支持台６を高速回転させ、トレイ５及び被洗浄物に係る
被洗浄物４上に残留した液を遠心力で除去する際に乾燥
効果を高めるガス噴射ノズル１２などが、外囲体１の上
部もしくは支持台６の付近に設置され、必要時に、支持
台６の上部に移動し、洗浄。

乾燥を行うようになっている。

しかして、例えば、被洗浄物４は、平滑な表面上に微細
な加工が施されたようなものであり、被洗浄物４を載せ
固定するトレイ５は、適宜、被洗浄体４の形状に合った
受は加工が施されて被洗浄物４の固定ができるようにな
っており、そのトレイ５の裏面は、トレイ５と被洗浄物
４ごと、真空で支持台６に固定できるよう真空経路溝５
ａが設けられている。

また、支持台６は、真空吸引孔６ａが中央部にあり、さ
らに、回転用シャフト９及び真空用シャフト９ａと、液
密にシール及び嵌合されているものである。

上記の外囲体１は、上下駆動用シャフト８に固定され、
各洗浄種類により、回転用シャフト９と液密にシールさ
れながら上下移動をするように形成されているものであ
る。

更には、筒状部１ａより外方で、且つ、この筒状部１ａ
の下端より上方に位置して吸引口（２０）を設けている
。この吸引口２０ａは吸引装置３゜に連通管２０ａを介
して連通されている。吸引装置！！３０には、ファン３
０ａとフィルタ３１を有しており、ファン３０ａにて吸
引した空気中に含まれる洗浄用液体はフィルタ３１に捕
集され、フィルタ３１より滴下して貯留液３２となって
溜められる。

なお、２ａ、１３ａは洗浄液を示し、１４は液排出口で
ある。

次に、上記の構成に係るものの作動を説明する。

まず、超音波による洗浄においては、外囲体１を上方へ
移動し、液排出口１４に接続される排出バルブを閉じ、
注液ノズル２から洗浄液２ａを被洗浄物４の上方まで充
たすよう吐出する。この際。

予め真空吸引で被洗浄物４を固定しておくものである。

さらに超音波振動子７ａ、７ｂ、７ｃを起動させ、液３
を介し超音波エネルギーにより被洗浄物４の洗浄を行う
ものである。

ここで、超音波のエネルギーが被洗浄物４に均等に伝達
されるよう、支持台６を回転させ、もしくは外囲体１を
上下させることは、少しも洗浄効率を阻害するものでは
ない。

上記のようにして、超音波による洗浄を行ったのち、液
排出口１４に接続された排出バルブを開き、液３を排出
し、外囲体１を下方へ移動する。

そして、被洗浄物４は、まだ支持台６にトレイ５ごと真
空によって固定されたままとし、外囲体１の上部もしく
は支持台６の付近に設置されたブラシ１０を、ブラシア
ーム１０ａにより被洗浄物４上に密着させる。

この際、被洗浄物４は、支持台６を回転させることによ
り、ブラシ１ｏと、その全数が全面接触し、被洗浄物４
の表面平滑部の洗浄を主に行うものである。

ブラシ１０の回転と同時あるいは、適宜短い時間的間隔
をおき、リンスノズル１１より洗浄用の液１１ａを被洗
浄物４上に吐出する。

次に、ブラシ１０を被洗浄物４上より引きはなし、液１
１の吐出を止める。

さらに、高圧ジェット用に係るジェットノズル１３を被
洗浄物４の上方部に位置させ、支持台６を回転させたま
ま、洗浄液１３ａを高圧で噴射させ、被洗浄物４上を洗
浄する。この場合、支持台６の回転数は限定されるもの
でもなく、ジェットノズル１３をトレイ５上に全面もし
くは半回分だけ、装置上部で反復動作をくり返すことに
より、洗浄効果を上げることが可能である。

高圧ジェット洗浄後、場合によっては、リンスノズル１
１からリンス用の液１１ａを吐出しながら、最終すすぎ
を行うものである。

次に、リンス用の液１１ａを止め、支持台６を高速回転
させ、被洗浄物４及びトレイ５上に残った液を遠心力で
除去し、乾燥を行うものである。

この際、乾燥効率を上げるため１回転数をさらに上げる
ことや、ガス噴射ノズル１２から乾燥したガスを被洗浄
物４及びトレイ５上に吹き付けることも有効な手段であ
る。

乾燥終了後、支持台６の回転を止め、さらに真空吸引を
止め、一連の当該洗浄装置による洗浄を終了するもので
ある。

而して、高圧ジェット用に係るジェットノズル１３にて
洗浄液１３ａを高圧で噴射させ、被洗浄物４を洗浄する
点を更に詳しく説明する。ジェットノズル１３から噴射
された洗浄用液体が被洗浄物４およびトレイ５に衝突し
た際に霧状になって浮遊するが、開口５０から吸引され
る空気によって前記霧が外囲体１の外部へ流出すること
なく。

この吸引空気流に乗って筒状部１ａの下端部とトレイ５
との間隙１ｂを通って吸引口２０に吸引される。この点
を更に詳しく説明すると、開口５０を筒状部１ａにて形
成したので、この筒状部１ａの高さにわたって上から下
方への空気流を発生させることができる。この空気流に
よって霧が外囲体１の外部へ流出しようとするのを効果
的に阻止できる。又、開口５０を筒状部１ａにて形成し
てその筒状部１ａの下端部と被洗浄物４側（トレイ５の
外周端）との間隙１ｂを狭くしたので、開口５０から吸
引される空気がこの間隙１ｂの全周からほぼ均一に吸引
されるようになり、前記霧をその間隙全周から吸引口２
０へ導くことができる。

従って、霧が外囲体１の外部へ流出しようとするのを全
周にわたって阻止できる。

更に、筒状部１ａを外囲体１の上面から垂下にするよう
に形成し、その外方で、且つ、その下端より上方に吸引
口２０を設けたことにより、超音波洗浄の際の液３が吸
引口２０に流入しないようにすることができると共に、
筒状部１ａを外囲体１との空隙を通して吸引空気を導く
ことができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、次の効果を有する洗浄装置を提供する
ことができる。

■外囲体（１）の筒状部（１ａ）にて上方から下方への
空気流を発生させ、ジェットノズル（１３）から洗浄用
液体を被洗浄物（４）に噴射した際に発生する霧をこの
空気流に乗せて確実に吸引口（２０）に吸引できるので
、この霧を外囲体（１）の外部へ流出することを阻止で
きる。

■外囲体（１）の筒状部（１ａ）の下端部と被洗浄物（
４）側との間隙（１ｂ）を狭くして。

開口（５０）から吸引される空気がこの間隙（１ｂ）の
全周からほぼ均一に吸引されるので。

前記震をその間隙（１ｂ）全周から吸引口（２０）へ導
くことができ、この点からも霧が外囲体（１）の外部へ
流出するのを確実に阻止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の洗浄装置の超音波洗浄時の縦断面図、
第２図は同洗浄装置のブラシ洗浄、ジェット洗浄時の縦
断面図、第３図は同洗浄装置の横断面図、第４図は同洗
浄装置のジェット洗浄説明図である。１・・・外囲体、ｌａ・・・筒状部、１ｂ・・・間隙、
４・・・被洗浄物、６・・・支持台、１３・・・ジェッ
トノズル、第３０

Claims

【特許請求の範囲】１、上面に開口（５０）を有する外囲体（１）内に被洗
浄物（４）を配置する支持台（６）を設け、この被洗浄
物（４）上面に液体を噴射するジェットノズル（１３）
を設けてなる洗浄装置において、前記外囲体（１）の開
口（５０）を筒状部（１ａ）にて形成してその筒状部（
１ａ）の下端部と前記被洗浄物（４）側との間隙（１ｂ
）を狭くすると共に、前記開口（５０）から前記間隙（
１ｂ）を通して空気を吸引するように吸引装置（３０）
に接続した吸引口（２０）を設けたことを特徴とする洗
浄装置。２、特許請求の範囲第１項において、外囲体（１）の上
面から垂下する筒状部（１ａ）としてなる洗浄装置。３、特許請求の範囲第１項において、被洗浄物（４）を
トレイ（５）上に載置してこのトレイ（５）と筒状部（
１ａ）の下端部との間隙（１ｂ）を狭くしてなる洗浄装
置。４、特許請求の範囲第２項において、筒状部（１ａ）よ
り外方で、且つ、この筒状部（１ａ）の下端より上方に
位置して吸引口（２０）を設けてなる洗浄装置。