JPS62235108A - バツフア装置 - Google Patents
バツフア装置Info
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- JPS62235108A JPS62235108A JP61078781A JP7878186A JPS62235108A JP S62235108 A JPS62235108 A JP S62235108A JP 61078781 A JP61078781 A JP 61078781A JP 7878186 A JP7878186 A JP 7878186A JP S62235108 A JPS62235108 A JP S62235108A
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- plate
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 94
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 241001415801 Sulidae Species 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はバッファ装置に係り、特に加工装置間に配設さ
れ、加工される板状部材を収納及び送出するバッファ装
置に関する。
れ、加工される板状部材を収納及び送出するバッファ装
置に関する。
[従来の技術]
各作業工程毎に設けられた複数の加工装置によって被加
工物である板状部材を一貫的に加工処理するラインにお
いては、各加工袋との処理能力の違いを吸収して板状部
材の流れをスムースにさせるために、加工装置間にバッ
ファ装置を配設している。例えば半導体装置の組立工程
の一貫ラインにおいては、特開昭55−88339号公
報に示すように、ダイボンダーによる加工が終了した次
工程のキュア炉とワイヤボンダーの間及びワイヤボンダ
ーとモールド装はの間にバッファ装置を用いている。
工物である板状部材を一貫的に加工処理するラインにお
いては、各加工袋との処理能力の違いを吸収して板状部
材の流れをスムースにさせるために、加工装置間にバッ
ファ装置を配設している。例えば半導体装置の組立工程
の一貫ラインにおいては、特開昭55−88339号公
報に示すように、ダイボンダーによる加工が終了した次
工程のキュア炉とワイヤボンダーの間及びワイヤボンダ
ーとモールド装はの間にバッファ装置を用いている。
[発明が解決しようとする問題点]
上記従来のバッファ装置は、前説不可で上下動させられ
るものであるので、バッファ装置に板状部材が空の時は
、後工程の加工装置が停止しても前工程の加工装置から
送出された板状部材を収納できるが、板状部材が既に収
納されている状態で、後工程の加工装置が故障した時は
、前工程より送出された板状部材を収納できない。また
逆に、板状部材が収納されている時は、前工程の加工装
置が停止しても板状部材を次工程の加工装置に供給でき
るが、板状部材が空の時は次工程の加工装置に供給でき
ない。即ち、かかる場合にはライン全体がストップして
しまい、稼動率が大幅にダウンする。また着脱不可であ
るので、バッファ装置に収納された板状部材を任意に取
出して全数又はサンプル検査することができない。
るものであるので、バッファ装置に板状部材が空の時は
、後工程の加工装置が停止しても前工程の加工装置から
送出された板状部材を収納できるが、板状部材が既に収
納されている状態で、後工程の加工装置が故障した時は
、前工程より送出された板状部材を収納できない。また
逆に、板状部材が収納されている時は、前工程の加工装
置が停止しても板状部材を次工程の加工装置に供給でき
るが、板状部材が空の時は次工程の加工装置に供給でき
ない。即ち、かかる場合にはライン全体がストップして
しまい、稼動率が大幅にダウンする。また着脱不可であ
るので、バッファ装置に収納された板状部材を任意に取
出して全数又はサンプル検査することができない。
また従来のバッファ装置は、水平送りピンの水−平方向
の往復動作及び上下回動動作の組合せによって収納及び
送出するので、収納及び送出動作の1サイクルに多大の
時間がかかり、迅速な動作が行えない。
の往復動作及び上下回動動作の組合せによって収納及び
送出するので、収納及び送出動作の1サイクルに多大の
時間がかかり、迅速な動作が行えない。
また従来の/−ソファ装置は、収納及び送出を1台で行
うので、前後のラインと無関係に使用することができな
い。またバッファ装置には良品のみ収納する必要がある
ので、バッファ装置の前工程に検査装置を配置した場合
、不良品はライン外に排出する機構を必要とし、その動
作のために処理能力が低下する。
うので、前後のラインと無関係に使用することができな
い。またバッファ装置には良品のみ収納する必要がある
ので、バッファ装置の前工程に検査装置を配置した場合
、不良品はライン外に排出する機構を必要とし、その動
作のために処理能力が低下する。
未発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消した/ヘ
ソファ装置を提供することにある。
ソファ装置を提供することにある。
c問題点を解決するための手段〕
上記従来技術の問題点は、対向面に板状部材を支持する
溝が形成され、かつ下方が開放したマガジンと、このマ
ガジンを着脱自在に位置決めJti、若し、かつマガジ
ンの開放部に対応した部分に穴が形成されたマガジン支
持部材と、このマガジン支持部材を間欠的に上下駆動す
るマガジン上下駆動機構と、前記マガジン支持部材に位
置決め載置された前記マガジン内に伸びるように装置の
固定部より前記マガジン支持部材の穴を通して配設され
たベルト機構と、このベルト機構を駆動するベルト駆動
機構とを備えたバッファ機構であって、このバッファ機
構を複数台前記ベルト機構が直列になるように配設する
ことにより解決される。
溝が形成され、かつ下方が開放したマガジンと、このマ
ガジンを着脱自在に位置決めJti、若し、かつマガジ
ンの開放部に対応した部分に穴が形成されたマガジン支
持部材と、このマガジン支持部材を間欠的に上下駆動す
るマガジン上下駆動機構と、前記マガジン支持部材に位
置決め載置された前記マガジン内に伸びるように装置の
固定部より前記マガジン支持部材の穴を通して配設され
たベルト機構と、このベルト機構を駆動するベルト駆動
機構とを備えたバッファ機構であって、このバッファ機
構を複数台前記ベルト機構が直列になるように配設する
ことにより解決される。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を第1図乃至第3図により説明
する。同一構造よりなる2つのバッファ機構10.11
が直列にベース板12に組込まれている。従って、以下
、一方のバッファ機構10又は11の構造についてのみ
説明する・ベース板12の下面にはコ字状の上下駆動支
持板13が固定されている。上下駆動支持板13には軸
受14を介して2本の上下動体15.16が垂直に摺動
自在に設けられており、この上下動体15.16の上端
はベース板12を貫通して1吏に伸びている。また上下
駆動支持板13には軸受17を介して雄ねじ18が回転
自在に支承されており、この雄ねじ18には前記上下動
体15,16に固定された上下動板19が螺合されてい
る。
する。同一構造よりなる2つのバッファ機構10.11
が直列にベース板12に組込まれている。従って、以下
、一方のバッファ機構10又は11の構造についてのみ
説明する・ベース板12の下面にはコ字状の上下駆動支
持板13が固定されている。上下駆動支持板13には軸
受14を介して2本の上下動体15.16が垂直に摺動
自在に設けられており、この上下動体15.16の上端
はベース板12を貫通して1吏に伸びている。また上下
駆動支持板13には軸受17を介して雄ねじ18が回転
自在に支承されており、この雄ねじ18には前記上下動
体15,16に固定された上下動板19が螺合されてい
る。
前記上下駆動支持板13の下面にはモータ支持板20固
定されており、このモータ支持板20にはパルスモータ
21が固定されている。このパルスモータ2■の出力軸
にはカップリング22を介して前記雄ねじ18が固定さ
れている。
定されており、このモータ支持板20にはパルスモータ
21が固定されている。このパルスモータ2■の出力軸
にはカップリング22を介して前記雄ねじ18が固定さ
れている。
前記上下動体15.16の上端にはマガジン支持板25
が固定されており、このマガジン支持板25ににはマガ
ジン26を位置決めする2個のマガジン位置決め板27
.28が固定されている。
が固定されており、このマガジン支持板25ににはマガ
ジン26を位置決めする2個のマガジン位置決め板27
.28が固定されている。
前記マガジン26は下方が開放しており、内部の対向面
には板状部材29の両側端部を支持する溝26aが等間
隔に形成されている。前記マガジン支持板25の前記マ
ガジン位置決め板27.28間の部分には、中央に四角
状の穴25aが設けられ、左右両側にそれぞれ四角状の
切欠き溝25bが形成されている。
には板状部材29の両側端部を支持する溝26aが等間
隔に形成されている。前記マガジン支持板25の前記マ
ガジン位置決め板27.28間の部分には、中央に四角
状の穴25aが設けられ、左右両側にそれぞれ四角状の
切欠き溝25bが形成されている。
またマガジン位置決め板27,28間には前記ベース板
12に固定された2個の上方ブーり軸支持板30.31
が配設されており、この上方プーリ軸支持板30.31
には前記マガジン支持板25に干渉しないように逃げ溝
30a、31aが形成されている。前記上方ブーり軸支
持板30.31の上端側には複数個のプーリ軸32〜3
7及び38〜43がそれぞれ軸受44を介して回転自在
に支承されており、これらのプーリ軸31〜37.38
〜43の外側にはそれぞれプーリ45〜50.51〜5
6が固定されている。前記ベース板12の前記プーリ軸
支持板30の外側にはそれぞれ下方プーリ軸支持板57
.58が固定されており、この下方プーリ軸支持板57
.58には1本の駆動ブーり軸59と2木のブーり軸6
0.61とがそれぞれ軸受62を介して回転自在に支承
されている。前記プーリ軸59.60.61にはプーリ
63〜65.66〜68が固定されており、ブー963
と45と46.64と47と48.65と49と50.
66と51と52.67と53と54.68と55と5
6とにはそれぞれベルト69〜71.72〜74が掛け
られている。
12に固定された2個の上方ブーり軸支持板30.31
が配設されており、この上方プーリ軸支持板30.31
には前記マガジン支持板25に干渉しないように逃げ溝
30a、31aが形成されている。前記上方ブーり軸支
持板30.31の上端側には複数個のプーリ軸32〜3
7及び38〜43がそれぞれ軸受44を介して回転自在
に支承されており、これらのプーリ軸31〜37.38
〜43の外側にはそれぞれプーリ45〜50.51〜5
6が固定されている。前記ベース板12の前記プーリ軸
支持板30の外側にはそれぞれ下方プーリ軸支持板57
.58が固定されており、この下方プーリ軸支持板57
.58には1本の駆動ブーり軸59と2木のブーり軸6
0.61とがそれぞれ軸受62を介して回転自在に支承
されている。前記プーリ軸59.60.61にはプーリ
63〜65.66〜68が固定されており、ブー963
と45と46.64と47と48.65と49と50.
66と51と52.67と53と54.68と55と5
6とにはそれぞれベルト69〜71.72〜74が掛け
られている。
前記駆動プーリ軸59の一端にはカップリング80を介
してモータ81の出力軸が固定されており、前記モータ
81はモータ支持板82を介してベース板12に固定さ
れている。またモータ81によって駆動される駆動プー
リ軸59の回転を前記2個のプーリ軸60.61に伝達
するために、Iti記駆動駆動プーリ軸59前記プーリ
軸60.61にはそれぞれブー983.84.85が固
定されており、これらのプーリ83と84.84と85
にはそれぞれベルト86.87が掛けられている。また
前記り方プーリ軸支持板30の上端にはプーリ45と反
対側に板状部材を検出するセンサ90が固定されている
。
してモータ81の出力軸が固定されており、前記モータ
81はモータ支持板82を介してベース板12に固定さ
れている。またモータ81によって駆動される駆動プー
リ軸59の回転を前記2個のプーリ軸60.61に伝達
するために、Iti記駆動駆動プーリ軸59前記プーリ
軸60.61にはそれぞれブー983.84.85が固
定されており、これらのプーリ83と84.84と85
にはそれぞれベルト86.87が掛けられている。また
前記り方プーリ軸支持板30の上端にはプーリ45と反
対側に板状部材を検出するセンサ90が固定されている
。
次に作用について説明する。パルスモータ21が回転す
ると、雄ねじ18が回転し、これによって上下動板19
が上下動するので、上下動板19と共に上下動線15.
16が軸受14に沿って上下摺動する。上下動線15.
16と共にマガジン支持板25も上下動するので、この
マガジン支持板25上に載置されたマガジン26が矢印
入方向に上下動する。即ち、パルスモータ21の回転に
よって、マガジン26の溝26aをベルト69〜71.
72〜74の上面に間欠的に位置させることができる。
ると、雄ねじ18が回転し、これによって上下動板19
が上下動するので、上下動板19と共に上下動線15.
16が軸受14に沿って上下摺動する。上下動線15.
16と共にマガジン支持板25も上下動するので、この
マガジン支持板25上に載置されたマガジン26が矢印
入方向に上下動する。即ち、パルスモータ21の回転に
よって、マガジン26の溝26aをベルト69〜71.
72〜74の上面に間欠的に位置させることができる。
モータ81が回転させられて駆動プーリ軸59が矢印B
方向に回転させられると、プーリ83、ベルト86、プ
ーリ84.ベルト87.プーリ85を介してブーり軸6
0.61が回転する。プーリi59.60.61が回転
すると、プーリ63.64.65を介してベルト69〜
71.72〜74が矢印C方向に移動する。
方向に回転させられると、プーリ83、ベルト86、プ
ーリ84.ベルト87.プーリ85を介してブーり軸6
0.61が回転する。プーリi59.60.61が回転
すると、プーリ63.64.65を介してベルト69〜
71.72〜74が矢印C方向に移動する。
前記したパルスモータ21の回転によるマガジン26の
間欠的な矢印A方向の上下動と、モータ81の回転によ
るベルト69〜71.72〜74の矢印C方向の移動の
組合せにより、マガジン26への板状部材29の収納又
はマガジン26からの板状部材29の送出が行われる。
間欠的な矢印A方向の上下動と、モータ81の回転によ
るベルト69〜71.72〜74の矢印C方向の移動の
組合せにより、マガジン26への板状部材29の収納又
はマガジン26からの板状部材29の送出が行われる。
以下、この収納及び送出動作について説明する。
第1の用途
2つのバッファ機構to、tiを共に収納用として用い
る。この場合は、バッファ機構10.11のそれぞれの
パルスモータ21を作動させて、それぞれのマガジン支
持板25が最下降位置にある状態にし、それぞれのマガ
ジン支持板25上に空のマガジン26を位置決め載置す
る。これにより、バッファ機構10.11のそれぞれの
マガジン26の最上の溝26aがベルト69〜74の上
面に対応する。
る。この場合は、バッファ機構10.11のそれぞれの
パルスモータ21を作動させて、それぞれのマガジン支
持板25が最下降位置にある状態にし、それぞれのマガ
ジン支持板25上に空のマガジン26を位置決め載置す
る。これにより、バッファ機構10.11のそれぞれの
マガジン26の最上の溝26aがベルト69〜74の上
面に対応する。
そこで、バッファ機構11のマガジンに収納する場合に
は、バッファ機構10.11のそれぞれのモータ81を
作動させ、それぞれのベルト69〜74を矢印C方向に
作動させる。これにより、前工程が終了した板状部材2
9がバッファ機構lOのベルト69〜74上に載せられ
ると、バッファ機構10のベルト69〜74の矢印C方
向の作動によって板状部材29はバッファ機構10のマ
ガジン26内に送られ、更に板状部材29はバッファ機
構11のベルト69〜74上に送られる。
は、バッファ機構10.11のそれぞれのモータ81を
作動させ、それぞれのベルト69〜74を矢印C方向に
作動させる。これにより、前工程が終了した板状部材2
9がバッファ機構lOのベルト69〜74上に載せられ
ると、バッファ機構10のベルト69〜74の矢印C方
向の作動によって板状部材29はバッファ機構10のマ
ガジン26内に送られ、更に板状部材29はバッファ機
構11のベルト69〜74上に送られる。
そして、バッファ機構11のベルト69〜74によって
バッファ機構11のマガジン26内に板状部材29が送
られ、板状部材29がバッファ機構11のセンサ90に
より検出されると、/<ツファ機構10.11のモータ
81が停止し、板状部材29はバッファ機構11のマガ
ジン26内に収納される。次にバッファ機構11のパル
スモータ21が作動してマガジン支持板25が上動して
マガジン26が1ピツチ上昇し、次の溝26aがベルト
69〜74に対応して次の板状部材29を受は入れる態
勢になる。以後、前工程より板状部材29が送られてく
る度に前記動作によってバッファ機構11のマガジン2
6内に板状部材29が順次収納される。
バッファ機構11のマガジン26内に板状部材29が送
られ、板状部材29がバッファ機構11のセンサ90に
より検出されると、/<ツファ機構10.11のモータ
81が停止し、板状部材29はバッファ機構11のマガ
ジン26内に収納される。次にバッファ機構11のパル
スモータ21が作動してマガジン支持板25が上動して
マガジン26が1ピツチ上昇し、次の溝26aがベルト
69〜74に対応して次の板状部材29を受は入れる態
勢になる。以後、前工程より板状部材29が送られてく
る度に前記動作によってバッファ機構11のマガジン2
6内に板状部材29が順次収納される。
バッファ機構11のマガジン26が満杯になると、この
条件とバッファ機構10のセンサ90による板状部材2
9の検出動作により、前工程より板状部材29が送られ
てくる度に、板状部材29を/ヘラフッ機構10のセン
サ90が検出すると、バッファ機構lOのモータ81が
停止し、バッファ機構10のパルスモータ21が作動し
てマガジン26を1ピツチ上昇、その後バッファ機構1
0のモータ81が作動して、順次バッファ機構10のマ
ガジン26内に板状部材29を収納する。
条件とバッファ機構10のセンサ90による板状部材2
9の検出動作により、前工程より板状部材29が送られ
てくる度に、板状部材29を/ヘラフッ機構10のセン
サ90が検出すると、バッファ機構lOのモータ81が
停止し、バッファ機構10のパルスモータ21が作動し
てマガジン26を1ピツチ上昇、その後バッファ機構1
0のモータ81が作動して、順次バッファ機構10のマ
ガジン26内に板状部材29を収納する。
勿論、前記と逆にバッファ機構10のマガジン26に板
状部材29を収納し、その後バッファ機構11のマガジ
ン26内に板状部材29を収納させるようにすることも
できる。この場合、バッファ機構lOのマガジン26が
満杯になった状態でバッファfi構11には収納できな
いので、バッファ機構10のマガジン26の少なくとも
1つの溝26a内には板状部材29が収納させていない
状態でバッファ機構11に収納する必要がある。
状部材29を収納し、その後バッファ機構11のマガジ
ン26内に板状部材29を収納させるようにすることも
できる。この場合、バッファ機構lOのマガジン26が
満杯になった状態でバッファfi構11には収納できな
いので、バッファ機構10のマガジン26の少なくとも
1つの溝26a内には板状部材29が収納させていない
状態でバッファ機構11に収納する必要がある。
第2の用途
2つのバッファ機構10.11を共に送出用として用い
る。この場合は、バッファ機構10,11のパルスモー
タ21を作動させてマガジン支持板25が最上昇位置に
ある状態にしておく。そして、バッファ機構10.11
のそれぞれのマガジン支持板25上に板状部材29が収
納されたマガジン26を位置決め@置する。そこで、後
工程から板状部材29の送出要求があると、バッファ機
構11のパルスモータ21が作動してマガジン26が下
降し、バッファ機構11のセンサ90によって板状部材
29が検出、即ち、板状部材29がベルト69〜74上
に載置されると、バッファ機構11のモータ81が作動
してベルト69〜74が矢印C方向に移動し、板状部材
29は後工程に送出され、その後モータ81が停止する
。以後、後工程から要求がある度にバッファ機構11の
マガジン26内の板状部材29が順次送出される。
る。この場合は、バッファ機構10,11のパルスモー
タ21を作動させてマガジン支持板25が最上昇位置に
ある状態にしておく。そして、バッファ機構10.11
のそれぞれのマガジン支持板25上に板状部材29が収
納されたマガジン26を位置決め@置する。そこで、後
工程から板状部材29の送出要求があると、バッファ機
構11のパルスモータ21が作動してマガジン26が下
降し、バッファ機構11のセンサ90によって板状部材
29が検出、即ち、板状部材29がベルト69〜74上
に載置されると、バッファ機構11のモータ81が作動
してベルト69〜74が矢印C方向に移動し、板状部材
29は後工程に送出され、その後モータ81が停止する
。以後、後工程から要求がある度にバッファ機構11の
マガジン26内の板状部材29が順次送出される。
そして、バッファ機構11のマガジン26内の板状部材
29が送出し終り、バッファ機構11のマガジン26が
最下降位置に位置すると、その条件によりバッファ機構
11のモータ81はバッファ機構10のモータ81と同
時に動作し、バッファ機構11のベルト69〜74が移
動する。そして、後工程より板状部材29の要求がある
と、今度はバッファ機構10が前記したバッファ機構l
lの動作と同じ動作をとり、バッファ機構10のマガジ
ン26より板状部材29がバッファ機構11のベルト6
9〜74を経て後工程に送られる。
29が送出し終り、バッファ機構11のマガジン26が
最下降位置に位置すると、その条件によりバッファ機構
11のモータ81はバッファ機構10のモータ81と同
時に動作し、バッファ機構11のベルト69〜74が移
動する。そして、後工程より板状部材29の要求がある
と、今度はバッファ機構10が前記したバッファ機構l
lの動作と同じ動作をとり、バッファ機構10のマガジ
ン26より板状部材29がバッファ機構11のベルト6
9〜74を経て後工程に送られる。
勿論、バッファ機構10のマガジン26内の板状部材2
9を送出し、その後バッファ機構ll内のマガジン26
内の板状部材29を送出することもできる。この場合は
、バッファ機構10のマガジン26内の板状部材29は
バッファ機構11のマガジン26内を通過させる必要が
あるので、バッファ機構11のマガジン26の少なくと
も1つの溝26aには板状部材29が収納されていない
状態で送出する必要がある。
9を送出し、その後バッファ機構ll内のマガジン26
内の板状部材29を送出することもできる。この場合は
、バッファ機構10のマガジン26内の板状部材29は
バッファ機構11のマガジン26内を通過させる必要が
あるので、バッファ機構11のマガジン26の少なくと
も1つの溝26aには板状部材29が収納されていない
状態で送出する必要がある。
第3の用途
第1のバッファ機構10を収納用とし、第2のバッファ
機構11を送出用として用いる。この場合は、バッファ
機構10には第1の用途で説明したように空のマガジン
26をセットし、バッファ機構11には第2の用途で説
明したように板状部材29が収納されたマガジン26を
セットする。
機構11を送出用として用いる。この場合は、バッファ
機構10には第1の用途で説明したように空のマガジン
26をセットし、バッファ機構11には第2の用途で説
明したように板状部材29が収納されたマガジン26を
セットする。
そして、バッファ機構lOには第1の用途で説明した動
作を行わせることにより、前工程より送られてきた板状
部材29をバッファ機構lOのマガジン26内に収納さ
せる。またバッファ機構11には第2の用途で説明した
動作を行わせることにより、後二[程にバッファ機構1
1のマガジン26内の板状部材29を送出することがで
きる。
作を行わせることにより、前工程より送られてきた板状
部材29をバッファ機構lOのマガジン26内に収納さ
せる。またバッファ機構11には第2の用途で説明した
動作を行わせることにより、後二[程にバッファ機構1
1のマガジン26内の板状部材29を送出することがで
きる。
このように、一方のバッファ機構10を収納用、他方の
バッファ機構11を送出用として使用することができる
ので1前後のラインと無関係に収納、送出が行え、前後
のラインの加工装置のいずれかが故障しても何ら問題は
生じない。またマガジン26は着脱自在であるので、バ
ッファ機構10のマガジン26内に板状部材29が満杯
になった時にはマガジン26を取外し、板状部材29を
全数又はサンプル検査をすることができる。
バッファ機構11を送出用として使用することができる
ので1前後のラインと無関係に収納、送出が行え、前後
のラインの加工装置のいずれかが故障しても何ら問題は
生じない。またマガジン26は着脱自在であるので、バ
ッファ機構10のマガジン26内に板状部材29が満杯
になった時にはマガジン26を取外し、板状部材29を
全数又はサンプル検査をすることができる。
第4の用途
第1の用途及び第2の用途で説明したように、バッファ
機構10.11は収納用及び送出用の両機能を有するの
で、バッファ機構10.11を共に収納用及び送出用と
して用いることができる。
機構10.11は収納用及び送出用の両機能を有するの
で、バッファ機構10.11を共に収納用及び送出用と
して用いることができる。
即ち、前工程より送られてきた板状部材29をバッファ
機構lO又は11のいずれかのマガジン26に収納し、
後工程から送出要求があると、バッファ機構10又は1
1のマガジン26内の板状部材29を送出するようにす
る。
機構lO又は11のいずれかのマガジン26に収納し、
後工程から送出要求があると、バッファ機構10又は1
1のマガジン26内の板状部材29を送出するようにす
る。
第5の用途
一方のバッファfialOを不良品の収納用とし、他方
のバッファ機構11を良品の収納用及び送出用として用
いることができる。即ち、前工程の検査装置によって板
状部材29が不良品である旨の信号が出力すると、バッ
ファJa、構工0にその板状部材29は収納されるよう
にし、その他の良品の場合にはバッファ機構11に収納
させるようにすることができる。また後工程から送出要
求があると、バッファ機構11のマガジン26内の板状
部材29を送出するようにする。
のバッファ機構11を良品の収納用及び送出用として用
いることができる。即ち、前工程の検査装置によって板
状部材29が不良品である旨の信号が出力すると、バッ
ファJa、構工0にその板状部材29は収納されるよう
にし、その他の良品の場合にはバッファ機構11に収納
させるようにすることができる。また後工程から送出要
求があると、バッファ機構11のマガジン26内の板状
部材29を送出するようにする。
勿論、バッファ機構10を良品収納用及び送出用とし、
バッファ機構11を不良品収納用として用いてもよい。
バッファ機構11を不良品収納用として用いてもよい。
なお、上記実施例においては、2つのバッファ機構1O
211を直列に配設した場合について説明したが、3個
以上設けてもよい。
211を直列に配設した場合について説明したが、3個
以上設けてもよい。
[発明の効果]
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ベル
ト機構によって収納及び送出するので、その動作は迅速
で、生産性が向上すると共に、前後の加工装置の処3g
溌力のバランスがくずれても容易に対処できる。また複
数台のバッファ機構をベルト機構が直列になるように配
設してなるので、巾に収納及び送出のバッファJa簡の
外に、前後のラインの分#機清及び一方のマガジンを良
品用、他方のマガジンを不良品用としても用いることが
できる。
ト機構によって収納及び送出するので、その動作は迅速
で、生産性が向上すると共に、前後の加工装置の処3g
溌力のバランスがくずれても容易に対処できる。また複
数台のバッファ機構をベルト機構が直列になるように配
設してなるので、巾に収納及び送出のバッファJa簡の
外に、前後のラインの分#機清及び一方のマガジンを良
品用、他方のマガジンを不良品用としても用いることが
できる。
:51図は本発明の一実施例を示す一部切欠き正面図、
第2図は第1図の平面図、第3図は第1図の右側面図で
ある。 10.11:バッファ機構、 15.16:上下動線、 18:雄ねじ、 19:上下動板、21:パル
スモータ、 25:マガジン支持板、26マガジン、
26a:溝、 27.28:マガジン位置決め板、 29:板状部材、 30.31:上方ブーり軸支持板、 45〜56:プーリ、 57.58:下方プーリ軸支持板、
第2図は第1図の平面図、第3図は第1図の右側面図で
ある。 10.11:バッファ機構、 15.16:上下動線、 18:雄ねじ、 19:上下動板、21:パル
スモータ、 25:マガジン支持板、26マガジン、
26a:溝、 27.28:マガジン位置決め板、 29:板状部材、 30.31:上方ブーり軸支持板、 45〜56:プーリ、 57.58:下方プーリ軸支持板、
Claims (1)
- 対向面に板状部材を支持する溝が形成され、かつ下方が
開放したマガジンと、このマガジンを着脱自在に位置決
め載置し、かつマガジンの開放部に対応した部分に穴が
形成されたマガジン支持部材と、このマガジン支持部材
を間欠的に上下駆動するマガジン上下駆動機構と、前記
マガジン支持部材に位置決め載置された前記マガジン内
に伸びるように装置の固定部より前記マガジン支持部材
の穴を通して配設されたベルト機構と、このベルト機構
を駆動するベルト駆動機構とを備えたバッファ機構であ
って、このバッファ機構を複数台前記ベルト機構が直列
になるように配設したことを特徴とするバッファ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61078781A JPS62235108A (ja) | 1986-04-06 | 1986-04-06 | バツフア装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61078781A JPS62235108A (ja) | 1986-04-06 | 1986-04-06 | バツフア装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62235108A true JPS62235108A (ja) | 1987-10-15 |
| JPH0438645B2 JPH0438645B2 (ja) | 1992-06-25 |
Family
ID=13671430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61078781A Granted JPS62235108A (ja) | 1986-04-06 | 1986-04-06 | バツフア装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62235108A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02139998A (ja) * | 1988-11-19 | 1990-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板供給システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5859128A (ja) * | 1981-10-01 | 1983-04-08 | Hitachi Ltd | 物品のロ−ダ、アンロ−ダ機構 |
| JPS59227612A (ja) * | 1983-06-07 | 1984-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板のバツフアストツカ−装置 |
| JPS60169841U (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-11 | 株式会社プラズマシステム | 半導体ウエハの自動供給収納装置 |
-
1986
- 1986-04-06 JP JP61078781A patent/JPS62235108A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5859128A (ja) * | 1981-10-01 | 1983-04-08 | Hitachi Ltd | 物品のロ−ダ、アンロ−ダ機構 |
| JPS59227612A (ja) * | 1983-06-07 | 1984-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路基板のバツフアストツカ−装置 |
| JPS60169841U (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-11 | 株式会社プラズマシステム | 半導体ウエハの自動供給収納装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02139998A (ja) * | 1988-11-19 | 1990-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板供給システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0438645B2 (ja) | 1992-06-25 |
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