JPS62238417A - 多機能マトリツクスセンサ - Google Patents
多機能マトリツクスセンサInfo
- Publication number
- JPS62238417A JPS62238417A JP61081658A JP8165886A JPS62238417A JP S62238417 A JPS62238417 A JP S62238417A JP 61081658 A JP61081658 A JP 61081658A JP 8165886 A JP8165886 A JP 8165886A JP S62238417 A JPS62238417 A JP S62238417A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- pyroelectric
- piezoelectric
- matrix sensor
- films
- Prior art date
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- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は、圧力分布や温度分布等をひとつのセンサで検
出できるようにした多峻能マトリックスセンサに関する
。
出できるようにした多峻能マトリックスセンサに関する
。
Ｂ６発明の概要
本発明は、圧力と温度とを検出することができる多機能
マトリックスセンサにおいて。
マトリックスセンサにおいて。
破検出部に取り付けられるとともに弾性を有する絶縁部
材の表面に、圧電フィルムと焦電フィルムとを交互に並
べて貼着し、更にこの上に弾性を有する絶縁部材を介し
てこれらと直角に圧電フィルムおよび焦電フィルムを交
互に貼着しτこれらを更に弾性を有する絶縁部材で被い
、夫々の圧電フィルムおよび焦電フィルムの両面に設け
た各′成極模に接続端子を接続することにより、圧力分
布、すべり、接触、温度分布がひとつの多機能マトリッ
クスセンサで検出できるようにしたものである。
材の表面に、圧電フィルムと焦電フィルムとを交互に並
べて貼着し、更にこの上に弾性を有する絶縁部材を介し
てこれらと直角に圧電フィルムおよび焦電フィルムを交
互に貼着しτこれらを更に弾性を有する絶縁部材で被い
、夫々の圧電フィルムおよび焦電フィルムの両面に設け
た各′成極模に接続端子を接続することにより、圧力分
布、すべり、接触、温度分布がひとつの多機能マトリッ
クスセンサで検出できるようにしたものである。
Ｃ０従来の技術
ロボットのハンド等に圧力分布、すべり、接＠。
温度分布を検出できるような機能をもたせるには、夫々
個別に専用の検出センサを４Ｄ付けなければならない。
個別に専用の検出センサを４Ｄ付けなければならない。
Ｄ０発明が解決しようとする問題点
ところが、多くの検出センサを取り付けねばならないた
めに、ロボット等の小型軽量化に対しては大きな障害と
なっている。
めに、ロボット等の小型軽量化に対しては大きな障害と
なっている。
そこで本発明は斯かる問題を解決し、ひとつの検出セン
サで圧力分布、すべり、接触、温度分布を検出すること
ができる多機能マトリックスセンサを提供することを目
的とする。
サで圧力分布、すべり、接触、温度分布を検出すること
ができる多機能マトリックスセンサを提供することを目
的とする。
Ｅ６問題点を解決するための手段
斯かる目的を達成するため、本発明は以下のように構成
している。
している。
被検出部に取り付けられるとともに弾性を有す第一絶縁
部材の表面に、両面に電極膜を設けた帯状の圧電フィル
ムと焦電フィルムとを一定方向へ向かって絶縁間隔毎に
交互に貼着する。そして匿に、こｎらの王′成フィルム
および焦電フィルムの上には、第二絶縁部材を介して圧
電フィルムおよび焦電フィルムを前記と略直角な方向へ
絶縁間隔毎に交互に貼着する。そして、この二層の圧電
フィルムおよび焦電フィルムの上を第三絶縁部材で破い
、夫々の圧電フィルムおよび焦電フィルムの両面に設け
た各電極膜に接続端子を接続する。
部材の表面に、両面に電極膜を設けた帯状の圧電フィル
ムと焦電フィルムとを一定方向へ向かって絶縁間隔毎に
交互に貼着する。そして匿に、こｎらの王′成フィルム
および焦電フィルムの上には、第二絶縁部材を介して圧
電フィルムおよび焦電フィルムを前記と略直角な方向へ
絶縁間隔毎に交互に貼着する。そして、この二層の圧電
フィルムおよび焦電フィルムの上を第三絶縁部材で破い
、夫々の圧電フィルムおよび焦電フィルムの両面に設け
た各電極膜に接続端子を接続する。
２６作用
多機能マトリックスセンサに第三絶縁部材を介して物体
からの力が加わると、多機能マトリックスセンサを取り
付けた被検出部と・物体との間に多機能マトリックスセ
ンサが挾まれる。多、殴能マトリックスセンサのうちの
力か加わった部分では第三および第三絶縁部材を介して
圧電フィルムに力が加わり、圧電フィルムが変形し、こ
の圧電フィルムの変形量に対応する大きさの電圧が両面
の戒・慝模間に生じる。その丸め、圧電フィルムが並ん
でいる方向へ向がって各圧電フィルムの発生電圧を測定
すれば一方向での圧力分布を検出することができ、これ
と略直角な方向へ並ぶ夫々の圧電フィルムの発生電圧を
測定すれば他の方向の圧力分布を検出することができる
。これらの相互に略直角な二方向の圧力分布を組み合せ
ることにより、平面上の圧力分布を求めることができる
。
からの力が加わると、多機能マトリックスセンサを取り
付けた被検出部と・物体との間に多機能マトリックスセ
ンサが挾まれる。多、殴能マトリックスセンサのうちの
力か加わった部分では第三および第三絶縁部材を介して
圧電フィルムに力が加わり、圧電フィルムが変形し、こ
の圧電フィルムの変形量に対応する大きさの電圧が両面
の戒・慝模間に生じる。その丸め、圧電フィルムが並ん
でいる方向へ向がって各圧電フィルムの発生電圧を測定
すれば一方向での圧力分布を検出することができ、これ
と略直角な方向へ並ぶ夫々の圧電フィルムの発生電圧を
測定すれば他の方向の圧力分布を検出することができる
。これらの相互に略直角な二方向の圧力分布を組み合せ
ることにより、平面上の圧力分布を求めることができる
。
−万、焦電フィルムはｇＡ匿が上昇すると両面に設けた
電極膜間に電圧を発生する性質があり、相互に略直角を
なす方向へ略等間隔に配置されているので、＠体からの
熱が第三及び第二絶縁部材を介して焦電フィルムへ伝わ
ると、圧力分布検出の場合と同様にして平面上の温度分
布が検出できる。。
電極膜間に電圧を発生する性質があり、相互に略直角を
なす方向へ略等間隔に配置されているので、＠体からの
熱が第三及び第二絶縁部材を介して焦電フィルムへ伝わ
ると、圧力分布検出の場合と同様にして平面上の温度分
布が検出できる。。
以上のようＫして、ひとつの多機能マトリックスセンサ
によって圧力分布と温度分布の双方が検出され、Ｃに圧
力分布の経時的変化を求めることによってすべりが検出
され、圧電フィルムに電圧が発生し九ことを検出するこ
とで接触も検出される。
によって圧力分布と温度分布の双方が検出され、Ｃに圧
力分布の経時的変化を求めることによってすべりが検出
され、圧電フィルムに電圧が発生し九ことを検出するこ
とで接触も検出される。
Ｇ、実施例
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいτ詳細に説明
する。
する。
第１図のように、ロボットハンド等のｆｉｉ声出部に取
り付けろためのベースとして弾性を有する第一絶縁部材
としてのシリコンゴムシート１が用いろｎている。シリ
コンゴムシート１の上には王磁および焦電フィルム２と
第三絶縁部材としてのシリコンゴムシート３と圧′区お
よび焦電フィルム４と第三絶縁部材としてのシリコンゴ
ムシート５とが順に貼着されている。
り付けろためのベースとして弾性を有する第一絶縁部材
としてのシリコンゴムシート１が用いろｎている。シリ
コンゴムシート１の上には王磁および焦電フィルム２と
第三絶縁部材としてのシリコンゴムシート３と圧′区お
よび焦電フィルム４と第三絶縁部材としてのシリコンゴ
ムシート５とが順に貼着されている。
第２図に示すように圧電および焦電フィルム２としては
、圧電特性が焦電特性よりも優れている圧電フィルム２
ａと焦電特性が圧電特性よジも憂れている焦電フィルム
２ｂとの二種類のものが用いられており、シリコンゴム
シート１の上に両面に電極膜を設けた帯状の圧電フィル
ム２ａと焦電フィルム２ｂとが絶縁間隔だけ離して図中
の左右方向へ交互に貼着されている。圧・区および焦１
フィルム２の上には第二絶縁部材としてのシリコンゴム
シート３を介して圧電および焦電フィルム４が貼着され
ている。圧電および焦電フィルム４は正直フィルム２ａ
、焦慮フィルム２ｂと同じく両面に電極膜を設けた帯状
の圧電フィルム４ａ、焦電フィルム４ｂで構成されてお
り、圧電フィルム４ａと焦電フィルム４ｂとが絶縁間隔
だけ離して図中の上下方向へ交互に貼着されている。圧
電および焦電フィルム４の上にはシリコンゴムシート５
が貼着されている。
、圧電特性が焦電特性よりも優れている圧電フィルム２
ａと焦電特性が圧電特性よジも憂れている焦電フィルム
２ｂとの二種類のものが用いられており、シリコンゴム
シート１の上に両面に電極膜を設けた帯状の圧電フィル
ム２ａと焦電フィルム２ｂとが絶縁間隔だけ離して図中
の左右方向へ交互に貼着されている。圧・区および焦１
フィルム２の上には第二絶縁部材としてのシリコンゴム
シート３を介して圧電および焦電フィルム４が貼着され
ている。圧電および焦電フィルム４は正直フィルム２ａ
、焦慮フィルム２ｂと同じく両面に電極膜を設けた帯状
の圧電フィルム４ａ、焦電フィルム４ｂで構成されてお
り、圧電フィルム４ａと焦電フィルム４ｂとが絶縁間隔
だけ離して図中の上下方向へ交互に貼着されている。圧
電および焦電フィルム４の上にはシリコンゴムシート５
が貼着されている。
圧電および焦電フィルム２．４はその両面に金属を蒸着
して薄膜の電隠膜を形成したものであり、圧電フィルム
２ａ 、４ａは厚さ方向に圧縮するかまたは長手方向へ
引き伸ばすと両電極膜間に′４圧を生じ、焦電フィルム
２ｂ、４ｂは！度が変化すると両電極膜間に′電圧を生
じるようになっている。
して薄膜の電隠膜を形成したものであり、圧電フィルム
２ａ 、４ａは厚さ方向に圧縮するかまたは長手方向へ
引き伸ばすと両電極膜間に′４圧を生じ、焦電フィルム
２ｂ、４ｂは！度が変化すると両電極膜間に′電圧を生
じるようになっている。
シリコンゴムシート１，３．５は弗素コムシートやまた
はビニールシートなどの樹脂シート等の絶味部材を用い
ることもできる。但し、絶縁性更けでなく、焦電フィル
ム２１：ｌ、４１”＋へ熱が伝わり易いように熱伝導性
の良いものが好ましい。
はビニールシートなどの樹脂シート等の絶味部材を用い
ることもできる。但し、絶縁性更けでなく、焦電フィル
ム２１：ｌ、４１”＋へ熱が伝わり易いように熱伝導性
の良いものが好ましい。
このようにして構成された多機能マトリックスセンサ６
は、第３図に示すように相互に接離する指７ａ、７ｂを
有するロボットハンド８の把持面１３ａ、Ｉうｂに貼着
され、例えば第４図のように配線される。即ち、圧１ｔ
フィルム２ａ 、４ａの一枚一枚の電ｆｆ１ｇと焦電フ
ィルＡ ２ ｅｌ ｔ’ ４ ｔ）の一枚一枚の電極膜
とに夫々接続された接続端子が別個にアンプ９に接続さ
れ、アンプ９がＡＤ変換器１０を介してデジタル制御装
置１１に接続されている。
は、第３図に示すように相互に接離する指７ａ、７ｂを
有するロボットハンド８の把持面１３ａ、Ｉうｂに貼着
され、例えば第４図のように配線される。即ち、圧１ｔ
フィルム２ａ 、４ａの一枚一枚の電ｆｆ１ｇと焦電フ
ィルＡ ２ ｅｌ ｔ’ ４ ｔ）の一枚一枚の電極膜
とに夫々接続された接続端子が別個にアンプ９に接続さ
れ、アンプ９がＡＤ変換器１０を介してデジタル制御装
置１１に接続されている。
但し、夫々の圧電フィルム２ａ 、４ａおよび焦電フィ
ルム２１−１．４ｂの各両面に設けた′Ｉｊｔ極１漠の
うちの片側についＣは共通の接続端子によってアンプ９
に接続してもよい。
ルム２１−１．４ｂの各両面に設けた′Ｉｊｔ極１漠の
うちの片側についＣは共通の接続端子によってアンプ９
に接続してもよい。
断かる多機能マトリックスセンサ６の作用を以下に説明
する。
する。
第３図のようにロボットハンド８０）指？ａ、Ｔ。
で９ａ体１２をつかむと、多イ幾能マトリックスセンサ
６は物体１２と例えば指７ａとの間に挾まｎ１シリコン
ゴムシート１が弾性を有することから第５図のように変
形する。このとき、図中の左右方向へ長い圧電フィルム
４ａか伸びる丸め伸びた童に対応する電圧が発生し、夫
々の圧電フィルム４ａに生じた電圧の大きさを知ること
によって第５図中の紙面と直角な方向の圧力分布を得る
ことができる。同様にして夫々の圧′成フィルム２ａに
生じた電圧の大きさを知ることによって第５図中の左右
方向の圧力分布を知ることができるので、こｎらを組み
脅せることによって多機能マトリックスセンサ６の表面
に加わる二次元の圧力分布を知ることができる。
６は物体１２と例えば指７ａとの間に挾まｎ１シリコン
ゴムシート１が弾性を有することから第５図のように変
形する。このとき、図中の左右方向へ長い圧電フィルム
４ａか伸びる丸め伸びた童に対応する電圧が発生し、夫
々の圧電フィルム４ａに生じた電圧の大きさを知ること
によって第５図中の紙面と直角な方向の圧力分布を得る
ことができる。同様にして夫々の圧′成フィルム２ａに
生じた電圧の大きさを知ることによって第５図中の左右
方向の圧力分布を知ることができるので、こｎらを組み
脅せることによって多機能マトリックスセンサ６の表面
に加わる二次元の圧力分布を知ることができる。
このほか、物体１２から焦電フィルム２Ｊ４ｔ）へ熱が
伝わり、焦電フィルム２１）、４１）は加熱されること
によって′逆圧を生じるので、前記と同様にして多様能
マトリックスセンサ６の表面に伝わる二次元の温度分布
を知ることができる。
伝わり、焦電フィルム２１）、４１）は加熱されること
によって′逆圧を生じるので、前記と同様にして多様能
マトリックスセンサ６の表面に伝わる二次元の温度分布
を知ることができる。
このように二次元の圧力分布と温度分布な矧ることがで
きるほか、電圧変化が生じたか否かで接触の有無を知る
ことができ、圧力分布の経時的変化を検出することで丁
ベクの有無を知ることができる。
きるほか、電圧変化が生じたか否かで接触の有無を知る
ことができ、圧力分布の経時的変化を検出することで丁
ベクの有無を知ることができる。
なお、本実施例では圧電フィルムと焦電フィルムの２檀
類のフィルムを用いたか、多機能マトリックスセンサが
当接する物体の温度の変化が無視し得る程度であったり
呈温程度である場合は、圧電フィルムのみを用いて圧力
分布、すベク、接触のみを検出できるようにしてもよい
。
類のフィルムを用いたか、多機能マトリックスセンサが
当接する物体の温度の変化が無視し得る程度であったり
呈温程度である場合は、圧電フィルムのみを用いて圧力
分布、すベク、接触のみを検出できるようにしてもよい
。
なおまた、圧電および焦電フィルムとしては一般に圧力
１九は温反りいづれかのみではなく、圧力と温度の両刀
の変化に１６応する性′ｊｉｔを有するものが多い。こ
のなかで圧力に対する特性の万が格段にすぐれたフィル
ムおよび温度に対する特性の刀が格段にすぐれたフィル
ムを選んで前記の圧電フィルムおよび焦電フィルムとし
て１更用すればよいが、これに限らず少くとも夫々のフ
ィルムにおける圧力と温度の変化に対する特性の関係に
差異が有る２種類のフィルムを圧電および焦電フィルム
として交互に配列してマトリックスセンサを形成し、夫
々のフィルムの圧力および一度変化に対する特性を第４
図におけるデジタル制御装置に記憶せしめておくととも
に隣接するフィルムからの出力信号をデジタル制＠装置
内にて演算せしめることによつ工圧力および温度の変化
値を夫々独豆した値として検出し±９、補正したりする
こともできる。
１九は温反りいづれかのみではなく、圧力と温度の両刀
の変化に１６応する性′ｊｉｔを有するものが多い。こ
のなかで圧力に対する特性の万が格段にすぐれたフィル
ムおよび温度に対する特性の刀が格段にすぐれたフィル
ムを選んで前記の圧電フィルムおよび焦電フィルムとし
て１更用すればよいが、これに限らず少くとも夫々のフ
ィルムにおける圧力と温度の変化に対する特性の関係に
差異が有る２種類のフィルムを圧電および焦電フィルム
として交互に配列してマトリックスセンサを形成し、夫
々のフィルムの圧力および一度変化に対する特性を第４
図におけるデジタル制御装置に記憶せしめておくととも
に隣接するフィルムからの出力信号をデジタル制＠装置
内にて演算せしめることによつ工圧力および温度の変化
値を夫々独豆した値として検出し±９、補正したりする
こともできる。
■０発明の詳細
な説明したように本発明によれば、弾性を有する第一絶
縁部材の表面Ｋ、圧電フィルムと焦電フィルムとの２種
類の圧電および焦電フィルムを交互に並べて貼着し、１
！に第二絶縁部材を弁してこれらと略直角に前ｄ己二種
類の圧電および焦電フィルムを交圧に貼着して第三絶縁
部材で破い、夫々の圧電フィルムおよび焦電フィルムの
両１ｆｉＫ、ｔけた各゛ｒＪｔ極膜に接続端子を接続し
九ので、多機能マトリックスセンサの表面の二次元の圧
力分布。
縁部材の表面Ｋ、圧電フィルムと焦電フィルムとの２種
類の圧電および焦電フィルムを交互に並べて貼着し、１
！に第二絶縁部材を弁してこれらと略直角に前ｄ己二種
類の圧電および焦電フィルムを交圧に貼着して第三絶縁
部材で破い、夫々の圧電フィルムおよび焦電フィルムの
両１ｆｉＫ、ｔけた各゛ｒＪｔ極膜に接続端子を接続し
九ので、多機能マトリックスセンサの表面の二次元の圧
力分布。
温度分布を検出できるだけでなく接触、すべりを検出す
ることができる。そして、圧電フィルムおよび焦電フィ
ルムの厚さは例えば約１０μｍ、゛ま之第一〜第三絶縁
部材の厚さも数１０μｍ程度でよいので、多機能マトリ
ックスセンサ全体の厚さは１００μ口以下にでき、超薄
形、＠量化が図れる。
ることができる。そして、圧電フィルムおよび焦電フィ
ルムの厚さは例えば約１０μｍ、゛ま之第一〜第三絶縁
部材の厚さも数１０μｍ程度でよいので、多機能マトリ
ックスセンサ全体の厚さは１００μ口以下にでき、超薄
形、＠量化が図れる。
また、圧電フィルムおよび原電フィルムの幅を小さくす
ればより細分化した圧力分布や温度分布を咲出すること
ができる。
ればより細分化した圧力分布や温度分布を咲出すること
ができる。
図は本発明による多機能マトリックスセンナの実施例に
係り、第１図は断面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ矢視図
、第３図は多機能マトリックスセンサを取り付けたロボ
ットハンドの正面図、第４図は回路図、第５図は作用説
明図である。 １．３．５・・・シリコンゴムシート、２．４・・・圧
′亀および焦′成フィルム、２ａ、４ａ・・・圧電フィ
ルム、２ｊ）、４ｂ・・・焦電フィルム％ ６・・・多
機能マトリックスセンサ。 第１図 マトリックスぞンザ用杵面図（不罹１ｉｆＩ）２．４−
−一一−ＦＥｆｎｙｌｆ−ｚイ＋しＡ２ａ、４ａ−−−
一氏電づイ、しハ ６−−−−−−一多憫１叛々トリックズぞンガ第１図／
）Ｉ−Ｉ矢視図（本発明） 回路ｇ（ネ寵哨）
係り、第１図は断面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ矢視図
、第３図は多機能マトリックスセンサを取り付けたロボ
ットハンドの正面図、第４図は回路図、第５図は作用説
明図である。 １．３．５・・・シリコンゴムシート、２．４・・・圧
′亀および焦′成フィルム、２ａ、４ａ・・・圧電フィ
ルム、２ｊ）、４ｂ・・・焦電フィルム％ ６・・・多
機能マトリックスセンサ。 第１図 マトリックスぞンザ用杵面図（不罹１ｉｆＩ）２．４−
−一一−ＦＥｆｎｙｌｆ−ｚイ＋しＡ２ａ、４ａ−−−
一氏電づイ、しハ ６−−−−−−一多憫１叛々トリックズぞンガ第１図／
）Ｉ−Ｉ矢視図（本発明） 回路ｇ（ネ寵哨）
Claims (1)
- 被検出部に取り付けられるとと、に弾性を有する第一
絶縁部材と、該第一絶縁部材の表面に一定方向へ向かつ
て絶縁間隔毎に交互に貼着されるとともに両面に電極膜
を設けた帯状の圧電フィルム及び焦電フィルムと、該圧
電フィルム及び焦電フィルムの表面に弾性を有する第二
絶縁部材を介して前記圧電フィルム及び焦電フィルムの
配置と略直角な方向へ絶縁間隔毎に交互に貼着されると
ともに両面に電極膜を設けた帯状の圧電フィルム及び焦
電フィルムと、該圧電フィルム及び焦電フィルムの表面
に貼着した弾性を有する第三絶縁部材と、前記圧電フィ
ルム及び焦電フイルムに設けた各電極膜に接続された端
子とから構成されることを特徴とする多機能マトリック
スセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61081658A JPS62238417A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | 多機能マトリツクスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61081658A JPS62238417A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | 多機能マトリツクスセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62238417A true JPS62238417A (ja) | 1987-10-19 |
Family
ID=13752426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61081658A Pending JPS62238417A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | 多機能マトリツクスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62238417A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002048607A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-15 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | 薄膜触覚センサ |
| JP2006153842A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-06-15 | Hiroshima Univ | 変動荷重検出用シート及びこれを用いた変動荷重検出回路 |
| WO2013061356A1 (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-02 | 株式会社日立製作所 | 滑りセンサ |
| CN104215338A (zh) * | 2014-09-01 | 2014-12-17 | 电子科技大学 | 一种集成压电热释电特性的温室探测器及其制备方法 |
| JP2015155880A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-08-27 | 日本写真印刷株式会社 | 圧力センサ |
| JPWO2016132581A1 (ja) * | 2015-02-18 | 2017-08-24 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子および圧電センサ |
-
1986
- 1986-04-09 JP JP61081658A patent/JPS62238417A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN104215338A (zh) * | 2014-09-01 | 2014-12-17 | 电子科技大学 | 一种集成压电热释电特性的温室探测器及其制备方法 |
| CN104215338B (zh) * | 2014-09-01 | 2017-06-30 | 电子科技大学 | 一种集成压电热释电特性的温室探测器及其制备方法 |
| JPWO2016132581A1 (ja) * | 2015-02-18 | 2017-08-24 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子および圧電センサ |
| US10502542B2 (en) | 2015-02-18 | 2019-12-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric element and piezoelectric sensor |
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