JPS62242131A - ダスト排出孔付き回転軸受機構 - Google Patents
ダスト排出孔付き回転軸受機構Info
- Publication number
- JPS62242131A JPS62242131A JP61083644A JP8364486A JPS62242131A JP S62242131 A JPS62242131 A JP S62242131A JP 61083644 A JP61083644 A JP 61083644A JP 8364486 A JP8364486 A JP 8364486A JP S62242131 A JPS62242131 A JP S62242131A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- housing
- bearing mechanism
- lid
- rotary bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、回転軸受機構に発生するオイルミストなど
のダストを外部に排出する、ダスト排出孔付き回転軸受
機構に関するものである。
のダストを外部に排出する、ダスト排出孔付き回転軸受
機構に関するものである。
［従来の技術］
ＩＣなどの半導体製品の集積密度の高度化により、製造
工場の阜埃管理は益々厳格となり、クリーンルーム内で
使用される装置、機器の発塵性を排除することが重要で
ある。特に回転機器は軸受の潤滑剤によるオイルミスト
の発生があり、対策を要するものである。
工場の阜埃管理は益々厳格となり、クリーンルーム内で
使用される装置、機器の発塵性を排除することが重要で
ある。特に回転機器は軸受の潤滑剤によるオイルミスト
の発生があり、対策を要するものである。
第２図は、クリーンルームにおいて従来使用されている
回転軸受機構の断面を示すもので、回転軸１は軸受２に
軸支され、矢印のように回転する。
回転軸受機構の断面を示すもので、回転軸１は軸受２に
軸支され、矢印のように回転する。
これらの外周をハウジング３で覆い、止め具４を用いて
軸受２の移動を防止する。ハウジングの側面は蓋５でカ
バーする。ここで、ハウジング３および蓋５は主として
機構の保護、作業者に対する安全のためのものであって
、軸受２が発生するオイルミストなどのダストが、蓋５
と回転軸１のギャップ６より矢印Ａの経路で外部に流出
、飛散するのである。クリーンルームの清浄度を維持す
るために、このようなダストの飛散を防止することが必
要とされている。
軸受２の移動を防止する。ハウジングの側面は蓋５でカ
バーする。ここで、ハウジング３および蓋５は主として
機構の保護、作業者に対する安全のためのものであって
、軸受２が発生するオイルミストなどのダストが、蓋５
と回転軸１のギャップ６より矢印Ａの経路で外部に流出
、飛散するのである。クリーンルームの清浄度を維持す
るために、このようなダストの飛散を防止することが必
要とされている。
［発明の目的］
この発明は、従来の回転軸受機構が飛散するダストを防
止する、ダスト排出孔付きの回転軸受機構を提供するこ
とを１」的とするものである。
止する、ダスト排出孔付きの回転軸受機構を提供するこ
とを１」的とするものである。
［問題点を解決するための手段コ
この発明によるダスト排出孔付き回転軸受機構の概念を
、第１図（ａ）により説明する。
、第１図（ａ）により説明する。
断面が山形の突起をなす排気案内リング７を回転軸１に
嵌合し、軸受２に接近した位置に固定する。回転軸受機
構の外周を気密なハウジング３で覆い、軸受に対して排
気案内リング７と反対側の適当な位置で、ハウジング３
にエア吸入孔１１を設ける。また排気案内リング７の周
囲を覆う蓋８を取り付け、Ｍ８には回転軸１の中心より
半径方向で、エアポンプに接続されたエア排出孔９を設
けるとともに、排気案内リング７の山形突起および回転
軸１の表面との間に、それぞれエアギャップ６を形成す
る溝を設けたものである。
嵌合し、軸受２に接近した位置に固定する。回転軸受機
構の外周を気密なハウジング３で覆い、軸受に対して排
気案内リング７と反対側の適当な位置で、ハウジング３
にエア吸入孔１１を設ける。また排気案内リング７の周
囲を覆う蓋８を取り付け、Ｍ８には回転軸１の中心より
半径方向で、エアポンプに接続されたエア排出孔９を設
けるとともに、排気案内リング７の山形突起および回転
軸１の表面との間に、それぞれエアギャップ６を形成す
る溝を設けたものである。
［作用］
上述したところにより、この発明においては軸受２に発
生したオイルミストは吸入孔１１より吸入されたエアと
ともに、ギャップ６を通り、排出孔９より排出パイプ１
２を通してエアポンプにより排出される。このとき軸受
２の付近におけるエアは回転軸１の回転により軸表面を
周回してオイルミストをくまなく洗い出して排出孔９に
運ぶものである。なお矢印Ｃに示すように、回転軸１と
蓋８との間のギャップを通って外部のエアが吸入される
が上記のエアとともに排出される。このようなエアの通
路以外の部分は、ハウジング３と蓋８により気密とされ
ているので、オイルミストが周辺に飛散することがない
。
生したオイルミストは吸入孔１１より吸入されたエアと
ともに、ギャップ６を通り、排出孔９より排出パイプ１
２を通してエアポンプにより排出される。このとき軸受
２の付近におけるエアは回転軸１の回転により軸表面を
周回してオイルミストをくまなく洗い出して排出孔９に
運ぶものである。なお矢印Ｃに示すように、回転軸１と
蓋８との間のギャップを通って外部のエアが吸入される
が上記のエアとともに排出される。このようなエアの通
路以外の部分は、ハウジング３と蓋８により気密とされ
ているので、オイルミストが周辺に飛散することがない
。
［実施例］
第１図（ａ）はこの発明による、ダスト排出孔付き回転
軸受機構の１実施例の構造断面を示すもので、軸受２と
その左方の内部はハウジング３で気密に覆われ、ハウジ
ング３には吸入孔１１が設けられている。ただし軸受２
の場所はエアが通過できるものである。軸受２の右側に
は、断面が山形の突起を打する排出案内リング７が回転
軸１に嵌入固定され、この突起および回転軸１の表面と
ギャップ６を形成する。蓋８はハウジング３の端部の側
面に、０リング１０−１を用いて気密に取り付けられる
。この蓋８には半径方向に排出孔９が設けられ、排出パ
イプ１２が接続されてエアポンプ（図示しない）に導か
れる。
軸受機構の１実施例の構造断面を示すもので、軸受２と
その左方の内部はハウジング３で気密に覆われ、ハウジ
ング３には吸入孔１１が設けられている。ただし軸受２
の場所はエアが通過できるものである。軸受２の右側に
は、断面が山形の突起を打する排出案内リング７が回転
軸１に嵌入固定され、この突起および回転軸１の表面と
ギャップ６を形成する。蓋８はハウジング３の端部の側
面に、０リング１０−１を用いて気密に取り付けられる
。この蓋８には半径方向に排出孔９が設けられ、排出パ
イプ１２が接続されてエアポンプ（図示しない）に導か
れる。
以上の構造の動作は、上述したように、吸入孔１１より
吸入されたエアが、回転軸１の回転により軸の回りを周
回してオイルミストをくまなく洗い出し、エアポンプの
吸い出しにより排出孔９より排出される。ここで、エア
は回転軸ｌの周辺を周回するので、吸入孔１１と排出孔
９はともに１個を設ければ十分である。なおこの実施例
では、蓋８は２つ割り部分８−１と８−２とが０リング
１０−２を挟んでボルト締めされたものである。
吸入されたエアが、回転軸１の回転により軸の回りを周
回してオイルミストをくまなく洗い出し、エアポンプの
吸い出しにより排出孔９より排出される。ここで、エア
は回転軸ｌの周辺を周回するので、吸入孔１１と排出孔
９はともに１個を設ければ十分である。なおこの実施例
では、蓋８は２つ割り部分８−１と８−２とが０リング
１０−２を挟んでボルト締めされたものである。
第１図（ｂ）はこの発明による、ダスト排出孔付き回転
軸受機構の他の実施例を示すもので、Ｍ８を１体として
切削して仕」−げたものであり、その他の部分の構造、
作用は図（ａ）と同様である。
軸受機構の他の実施例を示すもので、Ｍ８を１体として
切削して仕」−げたものであり、その他の部分の構造、
作用は図（ａ）と同様である。
一般に、軸受は回転軸の両側に用いられる場合が多く、
その場合は第１図（ａ）または（ｂ）の機構を両側の軸
受に適用し、吸入孔は共通のハウジングに１側設ければ
よい。その他これ以外の構成の場合に対しても、この発
明による機構を応用することができることはいうまでも
ない。
その場合は第１図（ａ）または（ｂ）の機構を両側の軸
受に適用し、吸入孔は共通のハウジングに１側設ければ
よい。その他これ以外の構成の場合に対しても、この発
明による機構を応用することができることはいうまでも
ない。
［発明の効果］
以１−の説明により明らかなように、この発明によるダ
スト排出孔付き回転軸受機構においては、機構全体をハ
ウジングと蓋により気密に保った上ハウジングに吸入孔
を、また蓋に排出孔を設けたもので、吸入されたエアが
軸受が発生するオイルミストを有効に洗い出して、エア
ポンプにより排出されるので、従来発生したオイルミス
トがクリーンルーム内に飛散する被害が排除される効果
には大きいものがある。
スト排出孔付き回転軸受機構においては、機構全体をハ
ウジングと蓋により気密に保った上ハウジングに吸入孔
を、また蓋に排出孔を設けたもので、吸入されたエアが
軸受が発生するオイルミストを有効に洗い出して、エア
ポンプにより排出されるので、従来発生したオイルミス
トがクリーンルーム内に飛散する被害が排除される効果
には大きいものがある。
第１図（ａ）はこの発明によるダスト排出孔付き回転軸
受機構の１実施例における軸方向の断面図、第１図（ｂ
）はこの発明によるダスト排出孔付き回転軸受機構の他
の実施例における軸方向の断面図、第２図は従来の回転
軸受機構の軸方向の断面図である。 １・・・回転軸、 ２・・・軸受、３・・・
ハウジング、 ４・・・市め具、５．８・・・蓋
、 ６・・・ギャップ、７・・・排出孔リン
グ、 ９・・・排出孔、ＩＯ・・・０りング、１１
・・・吸入孔、１２・・・排出パイプ。
受機構の１実施例における軸方向の断面図、第１図（ｂ
）はこの発明によるダスト排出孔付き回転軸受機構の他
の実施例における軸方向の断面図、第２図は従来の回転
軸受機構の軸方向の断面図である。 １・・・回転軸、 ２・・・軸受、３・・・
ハウジング、 ４・・・市め具、５．８・・・蓋
、 ６・・・ギャップ、７・・・排出孔リン
グ、 ９・・・排出孔、ＩＯ・・・０りング、１１
・・・吸入孔、１２・・・排出パイプ。
Claims (1)
- 回転軸と軸受とよりなる回転軸受機構において、該回転
軸に嵌合し該軸受に接近した位置で固定した、断面が山
形の突起を有する排気案内リングと、該回転軸受機構の
外周を気密に覆うハウジングと上記排気案内リングの周
囲を覆う蓋とよりなり、上記軸受に対して上記排気案内
リングと反対側において該ハウジングにエア吸入孔を設
け、上記蓋には中心より半径方向で、エアポンプに接続
されたエア排出孔を設け、かつ上記蓋と上記突起および
上記回転軸の表面との間にそれぞれエアギャップを形成
する溝を設けたことを特徴とするダスト排出孔付き回転
軸受機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61083644A JPS62242131A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | ダスト排出孔付き回転軸受機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61083644A JPS62242131A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | ダスト排出孔付き回転軸受機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62242131A true JPS62242131A (ja) | 1987-10-22 |
Family
ID=13808157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61083644A Pending JPS62242131A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | ダスト排出孔付き回転軸受機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62242131A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0239531A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Tokyo Electron Ltd | 回転処理装置及び回転処理方法 |
| DE4344788C2 (de) * | 1992-12-28 | 2003-02-20 | Nsk Ltd | Schmiereinrichtung |
-
1986
- 1986-04-11 JP JP61083644A patent/JPS62242131A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0239531A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Tokyo Electron Ltd | 回転処理装置及び回転処理方法 |
| DE4344788C2 (de) * | 1992-12-28 | 2003-02-20 | Nsk Ltd | Schmiereinrichtung |
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