JPS6224256Y2

JPS6224256Y2 -

Info

Publication number: JPS6224256Y2
Application number: JP1983175489U
Authority: JP
Priority date: 1983-11-15
Filing date: 1983-11-15
Publication date: 1987-06-20
Also published as: JPS6082615U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は光学系を用いた測定装置に於ける光路
調節機構に関するものである。

（従来技術）２点間の水平距離を精密に測定するには種々な
方法がとられている。その中で顕微鏡等の光学系
を用いたものが簡便であり、多く利用されてい
る。この光学系を用いる測定方法は光学系によつ
て検体の像と測距用の目盛とが同時に観察できる
ようになつており、この目盛を使つて所望の２点
間の距離を計測するものである。

この様な光学系を用いた測定方法では、検体の
表面に凹凸があり、測定する２点間に高低差があ
る場合、測定点の一方に焦点を合せると他方の測
定点の焦点が外れてしまい、測定が困難なものと
なり、さらにこの高抵差が光学系の焦点深度を大
きく上廻る場合、焦点が外れた方の測定点は完全
に見えなくなつてしまい、測定不能となる欠点を
有するものであつた。この傾向は高倍率の光学系
による精密測定に於てより著るしく現われる。

（考案の目的）本考案は上述のような従来の問題点に鑑み、検
体から光学系までの光路を調節して高抵差のある
２つの測定点の焦点を同時に合せることを可能と
する光路調節機構の提供を目的とするものであ
る。

（考案の構成）すなわち、本考案は、光学系の光軸上に配置さ
れた１対のハーフミラーより成り、その一方が前
記光軸に対して＋45゜の傾斜角を、また他方が−
45゜の傾斜角をもつて配置され、互の端部が所定
の間隔で離間されている半透過鏡機構と、１対の
反射面を有し、この反射面の夫々が前記半透過鏡
機構の各ハーフミラーに平行となるように前記半
透過鏡機構の側方に配置され、前記光軸に対して
直角方向に移動可能に構成された反射鏡機構と、
この反射鏡機構の移動を制御する駆動機構とによ
つて光路調節機構を構成し、高い方の測定点から
光学系までの光路を半透過鏡機構と反射鏡機構と
によつて迂回させることによつて前述の目的を達
成せんとするものである。

（実施例）次に本考案の実施の一例を図面を参照しながら
説明する。

図面は本考案の一実施例の慨略構成図である。
同図に於て、１は光学系、２は半透過鏡機構、３
は反射鏡機構、４は駆動機構であり、５は検体で
ある。光学系１は例えば内部に測距用の目盛を備
えた顕微鏡であつて、１枚のレンズで代表させて
示している。１１はこの光学系１の光軸である。

半透過鏡機構２は１対のハーフミラー２１，２
２を光学系１の光軸１１上に互に直交させて配置
したものである。即ち、一方のハーフミラー２１
は前記光軸１１に対して＋45゜の傾斜角をもつて
配置され、また他方のハーフミラー２２は光軸１
１に対して−45゜の傾斜角をもつて配置されてい
る。これら両ハーフミラー２１，２２は、その近
接側の端部に於て所定の間隔Ｄだけ離間されてい
る。この間隔Ｄには、例えばハーフミラー２１，
２２のガラス部分の厚さの２倍程度より大きな値
が設定される。

反射鏡機構３は互に直交する１対の反射鏡３
１，３２によつて形成され、前記半透過鏡機構２
の側方に配置されている。即ち、反射鏡３１は前
記ハーフミラー２１と、また反射鏡３２はハーフ
ミラー２２と夫々平行となるように対向配置され
ている。この反射鏡機構３は図面に矢印Ｘで示す
前記光学系１の光軸１１に対して直角な方向へ移
動可能な構成となつている。駆動機構４は、前述
の反射鏡機構３を保持するホルダー４１と、この
ホルダー４１に回動自在に取付けられたねじ４２
と、このねじ４２に固着された撮み４３と、この
ねじ４２が螺合する固定板４４とによつて構成さ
れ、撮み４３を回動させることで反射鏡機構３の
矢印Ｘ方向の移動を制御するものである。

次に、この様に構成された光路調節機構の使用
方法を、高低差Ｈの凹凸を有する検体５の低位面
にあけられた孔５１の周縁の点Ａと高位面にあけ
られた孔５２の周縁の点Ｂとの水平距離の計測を
例に説明する。

先ず、この光路調節機構を光学系１に取り付け
て検体５の上方に配置する。次に、光学系を調整
して検体５の孔５１の上縁に焦点を合せる。次
に、駆動機構４の撮み４３を回動させて反射鏡機
構３を矢印Ｘ方向へ移動させて孔５２の上縁にも
焦点が合うようにする。孔５２の上縁に焦点が合
つた状態に於てはハーフミラー２１と反射鏡３１
あるいはハーフミラー２２と反射鏡３２との水平
距離は検体５の凹凸の高低差Ｈの半分になつてい
る。ここで点Ａと点Ｂとに目盛を合せて両者の水
平距離Ｌを計測する。

この時、点Ｂを出た光は、その一部が破線で示
す如くハーフミラー２１を透過し、さらにその一
部がハーフミラー２２を透過して光学系１に達す
るが、この光は焦点を結ばないため測定には影響
しない。さらに、点Ａを出てハーフミラー２１で
反射された光は、たとえ反射鏡３１および３２で
反射されてハーフミラー２２を介して光学系１ま
で達しても焦点を結ぶことはなく、測定に影響を
与えることはない。

また、前述のハーフミラー２１と２２との近接
側端部に於ける間隔Ｄの離間部分は解像力の低下
を防止するために作用する。即ち、ハーフミラー
２１と２２との近接側の端部を離間させること
で、ハーフミラー２１のガラス部分の中で乱反射
した点Ａおよび点Ｂからの光がその端部からハー
フミラー２２のガラス部分の中に迷い込むのを防
止し、この迷光に起因する解像力の低下を防止し
ている。

以上、図示の実施例に基いて詳細に説明した
が、本考案はこれにのみ限定されるものではな
く、例えば、反射鏡機構に１対の反射鏡に代えて
プリズムを用いてもよく、また駆動機構も例え
ば、ホルダーと固定板との間にスプリングを介在
させ、ホルダーを常時押圧することでガタツキの
無い駆動機構を実現できる等、その他にも種々な
バリエーシヨンを含むものである。

（考案の効果）本考案は上述の如く構成され、駈動機構によつ
て反射鏡機構の移動を制御することで光路長の調
節を可能としたことによつて凹凸のある検体の高
低差のある２点に同時に焦点合せが可能となり、
さらにハーフミラーの近接側の端部を所定の間隔
で離間させているため、迷光に起因する解像力の
低下も防止できる等の優れた効果を有するもので
ある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例の概略構成図である。１……光学系、１１……光軸、２……半透過鏡
機構、２１，２２……ハーフミラー、３……反射
鏡機構、３１，３２……反射鏡、４……駆動機
構、５……検体。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 光学系の光軸上に配置された１対のハーフミ
ラーより成り、その一方が前記光軸に対して＋
45゜の傾斜角を、また他方が−45゜の傾斜角を
もつて配置され、互の端部が所定の間隔で離間
されている半透過鏡機構と、１対の反射面を有
し、この反射面の夫々が前記半透過鏡機構の各
ハーフミラーに平行となるように前記半透過鏡
機構の側方に配置され、前記光軸に対して直角
方向に移動可能に構成された反射鏡機構と、こ
の反射鏡機構の移動を制御する駆動機構とを備
えたことを特徴とする光路調節機構。 (2) 反射鏡機構の１対の反射面にプリズムを用い
たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載の光路調節機構。