JPS622440A - イオンビ−ム装置用電極装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は引き出し電極あるいは静電レンズ等のイオン
ビーム装置用高電圧電極装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

イオンビーム装置における第４図に示す構造の高電圧電
極においては、鏡筒等の接地側と高電圧電極を電気的に
絶縁するために設けられｆｃ、２個以上の又は円筒状の
碍子等が高電圧ｉ！極の表面で反射したイオンビームに
より汚され、そのために碍子等の絶縁抵抗が低下し、高
電圧電極に所定の高電圧を印加することができなくなる
という問題点がめった。

〔発明の目的〕

この発明は上述した従来装置の欠点を改良したもので、
接地側と高電圧電極を電気的に絶縁、するために設けら
れた碍子等が高電圧電極の表面において反射したイオン
ビームにより汚されることがない高電圧電極を提供する
ことを目的とする。

〔発明の概要〕

この発明による高電圧電極は、＾’ｌｔＥ寛極の表面で
反射したイオンビームによシ碍子等の表面が汚されない
ように、第１図に示すように碍子等の付近に遮蔽を有す
るものである。この遮蔽は第２図に示すように碍子等の
付近のみにあってもよいし、第３図に示すように円状で
あってもよい。またこれらの遮蔽の高さは、使用する碍
子等の大きさにより異なり、接地側と高電圧電極との間
で放電が起こらない範囲において、高電圧電極の表面で
反射したイオンビームから碍子等が十分に遮蔽される高
さである。

〔発明の効果〕

この発明によって碍子等の表面は高電圧電極の表面で反
射したイオンビームにより汚されることはなくなり、長
時間使用しても碍子等の絶縁抵抗が低下することがなく
なった。

〔発明の実施例〕

この発明による電極装置の一実施例としてイオノビーム
装置の引き出し電極を例にとり第１図を参照しながら説
明する。イオン源１からイオンビーム２を引き出すため
の引き出しｄｆｆ１３は鏡筒６で囲まれ、接地側に対し
て数十ＫＶに保たれる。イオン源１から引き出されたイ
オンビーム２の一部は引き出し電極３の中心にある穴（
アパーチャ）７を通シ抜けるが、その大部分は引き出し
電極の表面において反射する。もし図１に示す遮蔽がな
いならば、その反射したイオンビーム２は碍子５等に達
し、碍子５等の表面はイオンにより汚される。そのため
に、碍子等の絶碌抵抗は低下し、引き出し電極３に所定
の高電圧を印加できなくなつた。しかしながら、第１図
に示すように遮蔽体４があれば、引き出し電極３の表面
で反射したイオンビーム２は碍子５等に達することはな
く、長時間使用しても碍子等の表面が反射し九イオンビ
ームにより汚されることはなくなり之。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による高電圧電極装置の一実施例とし
て引き出し電極を示す概略図、第２図及び第３図はこの
発明による遮蔽体を有する高電圧電極装置の断面図、第
４図は従来の構造の高電圧電極装置の概略図である。 １・・・イオン源、２・・・イオンビーム、３・・・引
き出し電極、４・・・遮蔽体、５・・・碍子、６・・・
鏡筒、７・・・穴（アパーチャ）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 中心穴を有する高電圧電極を保持するために、イオンビ
   ームの入射側に絶縁碍子を設けたイオンビーム装置用の
   電極装置において、反射イオンが前記絶縁碍子に衝突し
   付着しないように前記絶縁碍子のイオン通路側にしゃへ
   い体を設けたことを特徴としたイオンビーム装置用電極
   装置。