JPS62246447A - 非磁性体チヤツキング方法およびその装置 - Google Patents
非磁性体チヤツキング方法およびその装置Info
- Publication number
- JPS62246447A JPS62246447A JP61088268A JP8826886A JPS62246447A JP S62246447 A JPS62246447 A JP S62246447A JP 61088268 A JP61088268 A JP 61088268A JP 8826886 A JP8826886 A JP 8826886A JP S62246447 A JPS62246447 A JP S62246447A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- chucking
- chuck surface
- workpiece
- magnetic material
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
- B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
- B23Q3/06—Work-clamping means
- B23Q3/08—Work-clamping means other than mechanically-actuated
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、非磁性体チャッキング方法およびその装置に
係シ、とくに研削加工などにおいて非磁性体からなる被
加工物を強力にチャック面にチャッキングするのに好適
な非磁性体チャッキング方法およびその装置に関する。
係シ、とくに研削加工などにおいて非磁性体からなる被
加工物を強力にチャック面にチャッキングするのに好適
な非磁性体チャッキング方法およびその装置に関する。
従来、研削加工などにおいて非磁性体からなる被加工物
をチャック面にチャッキングする場合には、一般に知ら
れている真空チャックを使用するか、あるいは被加工物
を強磁性体のペースに接着したのち、この強磁性体のペ
ースを電磁チャックで固定する方法が実施されている。
をチャック面にチャッキングする場合には、一般に知ら
れている真空チャックを使用するか、あるいは被加工物
を強磁性体のペースに接着したのち、この強磁性体のペ
ースを電磁チャックで固定する方法が実施されている。
前記、前者の従来技術においては、単位面積当りのチャ
ック力が〔大気圧〕×〔摩擦係数〕＝０．０５〜０．３
ｋｇ・ｆ／−程度で弱いため、チャック面の面積が小
さい非磁性体からなる被加工物には適用できない問題が
ある。
ック力が〔大気圧〕×〔摩擦係数〕＝０．０５〜０．３
ｋｇ・ｆ／−程度で弱いため、チャック面の面積が小
さい非磁性体からなる被加工物には適用できない問題が
ある。
また前記、後者の従来技術においては、接着、剥離、洗
浄など多大の工数を必要とする問題があるつ 本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決し、チャ
ック面面積の小さめ非磁性体を容易な操作により確実に
チャック面にチャッキングしうる非磁性体チャッキング
方法およびその装置を提供することにある。
浄など多大の工数を必要とする問題があるつ 本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決し、チャ
ック面面積の小さめ非磁性体を容易な操作により確実に
チャック面にチャッキングしうる非磁性体チャッキング
方法およびその装置を提供することにある。
前記の目的は、チャック面に開口する開口溝内に油を供
給し、この油を冷却して固化することにより、油の分子
間結合力によって非磁性体を前記チャック面にチャッキ
ングし、前記固化された油を加熱し液化して前記非磁性
体をチャック面からチャッキング解除することにより達
成される。
給し、この油を冷却して固化することにより、油の分子
間結合力によって非磁性体を前記チャック面にチャッキ
ングし、前記固化された油を加熱し液化して前記非磁性
体をチャック面からチャッキング解除することにより達
成される。
チャック面上の非磁性体を該チャック面に開口する開口
溝内に供給された油を軟化点以下に冷却するか室温に加
熱するかにより容易な操作で前記非磁性体を前記チャッ
ク面にチャッキングもしくはチャッキング解除を確実に
行なうことができるつ〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を示す第１図および第２図につ
いて説明する。第１図は本発明によるチャッキング装置
の断面図、第２図はチャック面の油の温度の時間変化と
、冷却用コンプレッサおよびヒータの電源の０Ｎ−ＯＦ
Ｆタイムチャートである。
溝内に供給された油を軟化点以下に冷却するか室温に加
熱するかにより容易な操作で前記非磁性体を前記チャッ
ク面にチャッキングもしくはチャッキング解除を確実に
行なうことができるつ〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を示す第１図および第２図につ
いて説明する。第１図は本発明によるチャッキング装置
の断面図、第２図はチャック面の油の温度の時間変化と
、冷却用コンプレッサおよびヒータの電源の０Ｎ−ＯＦ
Ｆタイムチャートである。
第１図および第２図において、１はチャッキング装置本
体にして、上方部には油インデ４に接続する油通路３と
、この油通路３から上面のチャック面２の全面に向って
間隔をおいて開口する複数個の開口溝５と、前記油通路
３にそうてその下方位置に山形状に形成され、冷却用コ
ンプレッサ７に接続する冷却通路６と、この冷却通路６
の周囲を螺旋状に囲繞し、電源９に接続するヒータ８と
を設置している。１０は制御装置にして、前記チャック
面２の温度を測定する温度センサ１１２よび前記チャッ
ク面２の開口溝４内の油面高さを測定する液面計１２に
接続し、スイッチ（図示せず）がＯＮになったとき、前
記温度センサ１１によるチャック面２の温度により前記
冷却用コンプレッサ７および電＃、９ｆＯＮもしくはＯ
ＦＦ’させ、前記液面計１２による開口溝５内の油面高
さにより油ボンｆ４を駆動もしくは停止させる如くして
いる。１３は放熱部にして、前記冷却用コンプレッサ７
の排出側と前記冷却通路６とを接続する冷却管１４の冷
却用コンプレッサ７付近に設置されている。１５は非磁
性体からなる被加工物である。また１６は油タンクであ
る。
体にして、上方部には油インデ４に接続する油通路３と
、この油通路３から上面のチャック面２の全面に向って
間隔をおいて開口する複数個の開口溝５と、前記油通路
３にそうてその下方位置に山形状に形成され、冷却用コ
ンプレッサ７に接続する冷却通路６と、この冷却通路６
の周囲を螺旋状に囲繞し、電源９に接続するヒータ８と
を設置している。１０は制御装置にして、前記チャック
面２の温度を測定する温度センサ１１２よび前記チャッ
ク面２の開口溝４内の油面高さを測定する液面計１２に
接続し、スイッチ（図示せず）がＯＮになったとき、前
記温度センサ１１によるチャック面２の温度により前記
冷却用コンプレッサ７および電＃、９ｆＯＮもしくはＯ
ＦＦ’させ、前記液面計１２による開口溝５内の油面高
さにより油ボンｆ４を駆動もしくは停止させる如くして
いる。１３は放熱部にして、前記冷却用コンプレッサ７
の排出側と前記冷却通路６とを接続する冷却管１４の冷
却用コンプレッサ７付近に設置されている。１５は非磁
性体からなる被加工物である。また１６は油タンクであ
る。
つぎに第２図において、Ｔｒは油の室温度にして、第１
回目の前記冷却用コンプレッサ７の駆動開始するときの
油の温度、Ｔｇは油の軟化温度にして、前記室温度Ｔｒ
よりも１０６〜１５℃低温に設定されている。Ｔｅｌは
前記冷却用コンプレッサ７が第２回目以降駆動開始する
ときの油温度にして前記油の軟化温度Ｔｇよりも１０６
〜１５℃低温に設定されている。
回目の前記冷却用コンプレッサ７の駆動開始するときの
油の温度、Ｔｇは油の軟化温度にして、前記室温度Ｔｒ
よりも１０６〜１５℃低温に設定されている。Ｔｅｌは
前記冷却用コンプレッサ７が第２回目以降駆動開始する
ときの油温度にして前記油の軟化温度Ｔｇよりも１０６
〜１５℃低温に設定されている。
Ｔａｇは前記冷却用コンプレッサ７が駆動停止するとき
の油温度である。またｔは前記制御装置１０が制御開始
時ｔ。から制御を行なっている時間、ｔ、は前Ｈｃ２制
御装置ｌＯが制御開始時１．から前記冷却用コンプレッ
サ７が駆動開始までの時間、ｔ、は前記冷却用コンプレ
ッサ７が駆動開始してから駆動停止するまでの時間、ｔ
、は前記冷却用コンプレッサ７が駆動停止してから前記
電源９がＯＮになるまでの時間、ｔ４は前記電源９がＯ
Ｎになってから０ＦＦＫなるまでの時間である。さらに
１７は油の温度曲線、１８は前記冷却用コンプレッサ７
のＯＮ−ＯＦＦタイムチャート曲線、１９は前記電源９
の０Ｎ−ＯＦＦのタイムチャート曲線でおる。
の油温度である。またｔは前記制御装置１０が制御開始
時ｔ。から制御を行なっている時間、ｔ、は前Ｈｃ２制
御装置ｌＯが制御開始時１．から前記冷却用コンプレッ
サ７が駆動開始までの時間、ｔ、は前記冷却用コンプレ
ッサ７が駆動開始してから駆動停止するまでの時間、ｔ
、は前記冷却用コンプレッサ７が駆動停止してから前記
電源９がＯＮになるまでの時間、ｔ４は前記電源９がＯ
Ｎになってから０ＦＦＫなるまでの時間である。さらに
１７は油の温度曲線、１８は前記冷却用コンプレッサ７
のＯＮ−ＯＦＦタイムチャート曲線、１９は前記電源９
の０Ｎ−ＯＦＦのタイムチャート曲線でおる。
本発明によるチャッキング装置は前記の如き構成である
から、スイッチがＯＮになって制御装置１０が制御開始
すると、該制御装置ｌＯの指令により油ボンｆ４が駆動
して油タンク１６内の油が油通路３を介して開口溝５内
に供給されろう しかるのち、開口溝５内に供給された油の液面がチャッ
ク面２と略同−高さに達し、これを液面計１２が検出す
ると、前記制御装置１０が前記油Ｉンｆ４の駆動を停止
する。
から、スイッチがＯＮになって制御装置１０が制御開始
すると、該制御装置ｌＯの指令により油ボンｆ４が駆動
して油タンク１６内の油が油通路３を介して開口溝５内
に供給されろう しかるのち、開口溝５内に供給された油の液面がチャッ
ク面２と略同−高さに達し、これを液面計１２が検出す
ると、前記制御装置１０が前記油Ｉンｆ４の駆動を停止
する。
ついで被加工物１５ヲチヤツク面２上に載置し、前記制
御装置１０が制御開始時ｔ０より１１時間経過すると、
該制御装置１０の指令により冷却用コンプレッサ７が駆
動して冷媒が放熱部１３をＭする冷却管１４内を流れる
とき冷却されて冷却通路６内に供給されるので、該冷媒
により前記油通路３および前記開口溝５内の油の温度を
冷却する。
御装置１０が制御開始時ｔ０より１１時間経過すると、
該制御装置１０の指令により冷却用コンプレッサ７が駆
動して冷媒が放熱部１３をＭする冷却管１４内を流れる
とき冷却されて冷却通路６内に供給されるので、該冷媒
により前記油通路３および前記開口溝５内の油の温度を
冷却する。
しかるのち、前記冷媒により前記油通路３および前記開
口溝５内の油の温度が軟化温度Ｔｇに達すると、核油は
固化して約３０％収縮するので、油の分子間結合力によ
り前記被加工物１５がチャック面２にひきつけられてチ
ャッキングする。このときのチャッキング力は従来の接
着法（前記後者の従来技術）と同程度の約２０〜１５０
ｋｇ・ｆ／−になるので、確実に前記被加工物５を前記
チャンク面２上にチャッキングすることができる。また
前記開口溝５の溝幅を０．２ ｍ以下、開口溝５のピッ
チを１耀以下にすると、油が固化するときの収縮作用で
前記チャック面２から開口溝５内に油が逃げて前記被加
工物５と前記チャック面２の隙間が０．１μｍ以下にな
るので、高精度にチャッキングすることができる。
口溝５内の油の温度が軟化温度Ｔｇに達すると、核油は
固化して約３０％収縮するので、油の分子間結合力によ
り前記被加工物１５がチャック面２にひきつけられてチ
ャッキングする。このときのチャッキング力は従来の接
着法（前記後者の従来技術）と同程度の約２０〜１５０
ｋｇ・ｆ／−になるので、確実に前記被加工物５を前記
チャンク面２上にチャッキングすることができる。また
前記開口溝５の溝幅を０．２ ｍ以下、開口溝５のピッ
チを１耀以下にすると、油が固化するときの収縮作用で
前記チャック面２から開口溝５内に油が逃げて前記被加
工物５と前記チャック面２の隙間が０．１μｍ以下にな
るので、高精度にチャッキングすることができる。
さらに前記冷却用コンプレッサ７が駆動開始してから時
間ｔ、経過し、前記油通路３内および開口溝５内の油の
温度がＴｅａまで冷却してこれを温度センサ１１が測定
すると、前記制御装置ｌＯの指令により前記冷却用コン
グレッサ７が駆動を停止するので、これに伴なって前記
油通路３内および開口溝５内の油の温度がＴ ｃ １ま
で上昇し、これを温度センサ１１が測定すると、再び前
記制御装置ｌＯの指令により前記冷却用コンプレッサ７
が駆動を開始し、以下冷却用コンプレッサ７の駆動およ
び駆動停止を繰返して前記油通路３内および開口溝５内
の油を温度Ｔ ｅ ｌと温度Ｔ ｅ ２との間に保持さ
せる。
間ｔ、経過し、前記油通路３内および開口溝５内の油の
温度がＴｅａまで冷却してこれを温度センサ１１が測定
すると、前記制御装置ｌＯの指令により前記冷却用コン
グレッサ７が駆動を停止するので、これに伴なって前記
油通路３内および開口溝５内の油の温度がＴ ｃ １ま
で上昇し、これを温度センサ１１が測定すると、再び前
記制御装置ｌＯの指令により前記冷却用コンプレッサ７
が駆動を開始し、以下冷却用コンプレッサ７の駆動およ
び駆動停止を繰返して前記油通路３内および開口溝５内
の油を温度Ｔ ｅ ｌと温度Ｔ ｅ ２との間に保持さ
せる。
ついで、前記制御装置１０が制御開始時ｔ０より時間（
１，＋１．＋１．）経過して前記被加工物１５をチャッ
ク面２よシ取外す場合には、前記制御装置１０からの指
令によりミ源９をＯＮにすると、ヒータ８により前記油
通路３内および開口溝５内の油の温度が急速に上昇する
つ しかるのち、前記油通路３内および開口溝５内の油の温
度が軟化温度Ｔｇを超えて室温Ｔｒに達すると、前記油
通路３内および前記開口溝５内の油が液化して前記被加
工物１５のチャッキングを解除する。
１，＋１．＋１．）経過して前記被加工物１５をチャッ
ク面２よシ取外す場合には、前記制御装置１０からの指
令によりミ源９をＯＮにすると、ヒータ８により前記油
通路３内および開口溝５内の油の温度が急速に上昇する
つ しかるのち、前記油通路３内および開口溝５内の油の温
度が軟化温度Ｔｇを超えて室温Ｔｒに達すると、前記油
通路３内および前記開口溝５内の油が液化して前記被加
工物１５のチャッキングを解除する。
したがって本発明によれば、容易な操作にて確実に被加
工物をチャック面にチャッキングすることができ、かつ
短時間で行なうことができるので、加工時間の短縮をは
かることができる。
工物をチャック面にチャッキングすることができ、かつ
短時間で行なうことができるので、加工時間の短縮をは
かることができる。
また前記被加工物を前記チャック面にチャッキングして
いるとき、前記被加工物は冷却されるので、加工時の熱
の発生を吸収し、かつ砥石などの工具の熱による損耗を
防止することができ、これによって加工精度および加工
能率を向上することができる。
いるとき、前記被加工物は冷却されるので、加工時の熱
の発生を吸収し、かつ砥石などの工具の熱による損耗を
防止することができ、これによって加工精度および加工
能率を向上することができる。
以上述べ走る如く、本発明によれば、容易な操作にて短
時間で、確実に被加工物をチャック面にチャッキングす
ることができるので加工時間の短縮をはかることができ
る。
時間で、確実に被加工物をチャック面にチャッキングす
ることができるので加工時間の短縮をはかることができ
る。
また前記被加工物を前記チャック面にチャッキングして
いるとき、咳被加工物を冷却しているので、加工時の熱
の発生を吸収し、かつ砥石などの工具の熱による損耗を
防止することができ、これによって加工精度、加工能率
を向上することができる。
いるとき、咳被加工物を冷却しているので、加工時の熱
の発生を吸収し、かつ砥石などの工具の熱による損耗を
防止することができ、これによって加工精度、加工能率
を向上することができる。
第１図は本発明によるチャッキング装置の断面図、第２
図はチャック面の油の温度の時間変化と冷却用コンプレ
ッサおよびヒータの電源の０Ｎ−ＯＦＦタイムチャート
である。 １・・・チャッキング装置本体、２・・・チャック面、
３・・・油通路、４・・・油ポンプ、５・・・開口溝、
６・・・冷却通路、７・・・冷却用コンプレッサ、８・
・・ヒータ、９・・・電源、１０・・・制御装置、１１
・・・温度センサ、１２・・・液面計、１３・・・放熱
部、１４・・・冷却管、１５・・・被加工物、１６・・
・油タンク。
図はチャック面の油の温度の時間変化と冷却用コンプレ
ッサおよびヒータの電源の０Ｎ−ＯＦＦタイムチャート
である。 １・・・チャッキング装置本体、２・・・チャック面、
３・・・油通路、４・・・油ポンプ、５・・・開口溝、
６・・・冷却通路、７・・・冷却用コンプレッサ、８・
・・ヒータ、９・・・電源、１０・・・制御装置、１１
・・・温度センサ、１２・・・液面計、１３・・・放熱
部、１４・・・冷却管、１５・・・被加工物、１６・・
・油タンク。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、非磁性体をチャック面にチャッキングする非磁性体
チャッキング方法において、前記チャック面に開口する
開口溝内に供給された油を冷却し固化して油の分子間結
合力により前記非磁性体を前記チャック面にチャッキン
グし、前記開口溝内の固化した油を加熱し液化して前記
非磁性体をチャック面からチャッキング解除することを
特徴とする非磁性体チャッキング方法。 ２、非磁性体をチャック面にチャッキングする非磁性体
チャッキング装置において、前記チャック面を有するチ
ャッキング本体を設け、このチャッキング本体の前記チ
ャック面に開口し、油供給源に接続する複数個の油溝と
、この油溝付近に配置され、冷却流体供給源に接続して
前記油溝内の油を冷却、固化するための冷却流体通路と
、前記冷却流体通路付近に配置され、前記油溝内の固化
された油を加熱して液化するための加熱機構とを設け、
かつ前記油溝内の油の液面を測定する液面計と、前記チ
ャック面の温度を測定する温度センサと、前記液面計お
よび温度センサからの信号により前記油供給源、冷却流
体供給源および加熱機構を駆動、停止する制御装置とを
設けたことを特徴とする非磁性体チャッキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61088268A JPS62246447A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 非磁性体チヤツキング方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61088268A JPS62246447A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 非磁性体チヤツキング方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62246447A true JPS62246447A (ja) | 1987-10-27 |
Family
ID=13938144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61088268A Pending JPS62246447A (ja) | 1986-04-18 | 1986-04-18 | 非磁性体チヤツキング方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62246447A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0811457A4 (en) * | 1995-08-17 | 1999-11-03 | Yoshitaka Tarumizu | Freeze chuck type machining method |
| CH690065A5 (fr) * | 1994-09-14 | 2000-04-14 | Willy Rothen | Procédé de fixation de pièces par congélation et dispositif pour la mise en oeuvre du procédé. |
| CN104551257A (zh) * | 2015-01-14 | 2015-04-29 | 新昌县荣进机械有限公司 | 一种液压镁锭切削机 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5368480A (en) * | 1976-11-30 | 1978-06-17 | Agency Of Ind Science & Technol | Workpiece fixing device |
-
1986
- 1986-04-18 JP JP61088268A patent/JPS62246447A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5368480A (en) * | 1976-11-30 | 1978-06-17 | Agency Of Ind Science & Technol | Workpiece fixing device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH690065A5 (fr) * | 1994-09-14 | 2000-04-14 | Willy Rothen | Procédé de fixation de pièces par congélation et dispositif pour la mise en oeuvre du procédé. |
| EP0811457A4 (en) * | 1995-08-17 | 1999-11-03 | Yoshitaka Tarumizu | Freeze chuck type machining method |
| CN104551257A (zh) * | 2015-01-14 | 2015-04-29 | 新昌县荣进机械有限公司 | 一种液压镁锭切削机 |
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