JPS62249014A - 空気の質量流量を測定する対称ブリツジ回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し産業上の利用分野〕 本発明は一般に測定用対称ブリッジ回路に関し、更に詳
細には内燃機関へ入る空気の質量流量を測定する空気質
を流、量センサに便用する対称ブリッジ回路に関する。

〔発明の背景〕

燃料噴射システムにおり゛る基本的測定はエンジンに供
給すべき燃料の’ｉ：を決定する測定である。

空気／燃料比はエンジンへの空気取入れ量を測定し次い
で電子式制御ユニット（ＥＣＵ）に内蔵のスケジュール
表の管理下に適格な量の燃料を供給することによって満
足される。

噴射する燃料の量を決定する最も一般的な方法はマニホ
ルド圧力とエンジン回転数とを測定し、これらの測定値
から燃料の量を決定することである。黒線風力計と旋回
計とはエンジンに流入する空気ｆ＃、′ｆｔ測定する装
置の例であり、この測定によシ、燃料の量を計算する。

多くの装置で、ブリッジ回路が測定回路に使用されてい
る。成る装置では、低抵抗素子が加熱脚に使用され、高
抵抗素子が非７１１１　Ｊ％脚に使用されている。これ
らの状態では、画素子は同じ電圧で動作し、抵抗値の異
なる抵抗材料の温度係数を合わせる必要がおる。

上述のブリッジ回路に一部変更したものは非加熱抵抗素
子を含む脚に対する電圧を割り算し、その電圧を増幅す
なわち掛は算して割り算を打ち消すことである。この方
法では一般に増幅器のゲイン段を安定にするのにコンデ
ンサ補償を行う必要があり、このため回路応答が遅くな
る。

更に他の解決法ではブリッジ回路の増幅器のフィードバ
ック回路に非加熱抵抗素子を設置している。この方法で
は多くの相互作用的機能調節と規則正しい電圧基準が必
要である。

し発明が解決しようとする問題点〕 上記のように、これらすべてにおいて、測定回路には各
種の補償回路と異なる測定素子の温度係数を合わせるこ
ととが必要である。これらの困難を克服するため、除算
や乗算の回路およびコンデンサ補償を必要とせず、ブリ
ッジの一方の脚が回路で加熱される検出素子を備えてい
る対称ブリッジ回路を提供するのが本発明の目的である
。ブリッジの他方の脚は回路で加熱されず空気の＠Ｋｒ
：。

化を補償する補償要素を備えている。

〔発明の［要〕 検出押手段と補償腕手段とを備えて空気の質量流量を測
定する対称ブリッジ回路はパワードライバ手段を介して
電力をブリッジ回路に供給する電源に電気的に接続され
ている。検出押手段はパワードライバ手段の出力に電気
的に接続されている入力と、！源の戻υ線に電気的に接
続されている出力と、入力と出力との中間にある制御リ
ードとを備えている。検出押手段は空気流内に設置され
それを横断して流れる空気の割合に応答して制御リード
からの出力を変える検出素子を備えている。

補償腕手段はパワードライバ手段の出力に電気的に接続
されている入力と、電源の戻り線に電気的に接続されて
いる出力と、入力と出力との中間にある制御リードとを
備えている。補償腕手段は空気流内に設置されそれを横
断して流れる空気の過度に応じてその制御リードからの
出力を変える補償素子ｔ−備えている。

制御増幅器は検出押手段と補償腕手段との双方の制御リ
ードを受けるように１気的に接続され、電力を検出押手
段と補償脚＋段とのそれぞれに供給するパワードライバ
手段の導通を制御するように動作する。

パワードライバ手段の出力はまた電圧分割器手段全弁し
て、出力増幅器手段の一方の入力に接続され出力増幅器
への信号のｔを匍制御する。出力増幅器は所定の一定ゲ
インを有し、ＥＣＵの電圧・流れの必要条件を満すよう
になっている。出力増幅器の他方の入力は一定基準を片
、に電気的に接続されて出力、１７＠器のオフセラトラ
制御する。出力増幅器の出力信号は検出脚および補償脚
を横断して流れる空気の質ｉ１：を表わすアナログ信号
である。

〔実施例〕

本発明の好ましい実施例の周囲は１９８４年８月ｌＯ日
付で、ウェークマン等（Ｗａｋｅｍａｎ　、　ｅ　ｔ　
。

ａｌ−）により出願されたアメリカ合衆国特許出願第６
３９．５６０号［空気流センサ」に示されているとうシ
のものでるる。その内容を参照によりと＼に取入れるも
のとする。

第１Ａ図〜第１Ｄ図は対称ブリッジ回路１０の基本動作
の進展を承している。ブリッジ回路への電圧はブリッジ
の各脚に供給されて画素子を加熱する。ブリッジの検出
３’ｌ１２は、空気流内に一般には補償検出素子Ｒ２の
上流に設置されている検出素子Ｒ１ｔ−備えている。こ
の実施例においては、この脚は検出素子Ｒ１にか＼る電
圧を第１の係数（ｆａｃｔｏｒ）　ｒＮＪ　で割る。第
１の係数ＩＮＪは非加熱補償素子の温度の関数であυ、
室温ではＮは２に等しい。Ｎの値は温度とともに変化す
る。

補償素子が変化するにつれて、Ｎが変化し、ブリッジ回
路１０は温度変化を補償する。

第１図において、ブリッジ回路１０の補償腕１４は補償
素子Ｃを備えてシシ、この補償素子は本実施例において
はそれにか＼る電圧を９に等しい第２の係数で割る。第
１および第２の係数は設計時選択するものであり異なっ
てよいことが明らかである。たソし、一旦第１の係数Ｎ
と第２の係数を選択すれば、これらの係数はその設計で
は不変である。

検出脚および補償腕の制御出力あるいは電圧出力１６．
１８はブリッジ１０への電圧の供給を制御するように動
作する制御増幅器ＩＣＩＢ　　Ｋ接続されている。検出
累子几１に更に多くの電流が流れるにつれて、検出脚１
２の出力は増幅器ＩＣＩＢを不平衡にする。補償腕１４
の制御出力は周囲温度でブリッジ１０を平衡させるよう
に動作する。

第１８図に示したとうシ、制御増幅器ＩＣＩＢ　と各脚
１２．１４の制御出力１６．１８との間に第２の検出脚
および補償腕２０．２２が電気的に接続されている。第
１の検出脚１２の電圧出力１６は第２の検出脚すなわち
第１の電圧分割器２０の回路Ｒ３，Ｒ４に供給され、ζ
＼で電圧は上述のように係数９すなわち第２の係数で分
割される。

したがってこの電圧分割器２０の接合部２４での電圧出
力は第１の検出脚１２の電圧出力の１／９である。

第１の補償腕１４は抵抗Ｒ７を補償素子Ｃの代りに設置
してｇｘ補償脚の電圧出力が第２の係数で除算されるよ
うに修正される。第１の補償腕１４の制御出力は第２の
補償腕すなわち第２の電圧分割器２２の、補償素子を含
む回路Ｒ２，Ｒ２１に供給される。補償素子Ｒ２と電圧
分割器抵抗Ｒ２１との接合部２６で、電圧は第１の係数
で分割される。

第１Ｃ図において、ブリッジの第１の脚１２゜１４に余
分な電気的負荷がか＼らないようにするため、各出力１
６．１８はゲイン１の増幅器である電圧フォロワ増幅器
ＩＣＩＡ）ＣＩＣを介してそれぞれの電圧分割器２０．
２２に電気的に接続されている。電圧フォロワ増幅器は
電圧分割器２０．２２を第１の脚１２．１４から分離す
るように動作してブリッジの両側での能動要素の遅れを
平衡させる。

第１Ｃ図に示す回路では、便用する制御増幅器ＩＣＩＢ
はブリッジの二つの脚１２．１４と電圧分割器２０．２
２とに充分な電流を供給することができない。更に、電
圧フォロワＩＣＩＣは補償電圧分割器２２に必要な電流
を供給することができない。これらは設計上の考察に限
っである。第１Ｄ図は制御端＠ｆ３　Ｉ　ＣＩ　Ｂの出
力にパワートランジスタＱｌ、補償電圧分割器２２の電
圧フォロワＩＣＩＣの出力にトランジスタＱ２を備えた
パワードライバ手段を追加したところを示している。

上述のように、トランジスタＱ２は補償素子Ｒ２に必要
な電流を供給する。

他の特徴として、抵抗器Ｒ２３を制御増幅器ＩＣＩＢの
非反転入力に追加して非反転入力が反転入力に対して正
になりパワートランジスタＱ１が導通して回路１０が確
実に起動するようにしている。第１Ａ図〜第１Ｄ図は対
称ブリッジ回路１００基本的考え方を示したものである
。

第２図は対称ブリッジ回路１０のいくつかの部分のブロ
ック図である。対称ブリッジ回路は電力を回路に供給す
るパワードライバ手段と、従来どうりのブリッジ脚１２
と電圧分割器腕２０とを備えた検出膜手段と、従来どう
シのブリッジ脚１４と電圧分割器腕２２とを備えた補償
押手段と、電圧分割器手段を制御する制御増幅器手段Ｉ
ＣＩＢと、出力増幅手段ＩＣｌ０　　とから構成されて
いる。

第３図を参照して、対称ブリッジ回路の好ましい実施例
を説明することにする。検出素子Ｒ１と補償素子Ｒ２と
はともに正の温間係数を有するニッケル抵抗器である。

先に述べたとうり、画素子は内燃機関の空気流内に設置
される。更に詳細には、空気流量計では、検出素子Ｒ１
は典型的には補償素子Ｒ２の上流に設置される。

検出素子Ｒ１は回路１０で決まる所定の温度に加熱され
、補償素子Ｒ２は回路１０で加熱されないが補償素子の
傍を流れる空気の周囲温度に敏感でおる。対称ブリッジ
回路は、回路への出力を制御することＫより、検出素子
Ｒ１の温度を入って来る空気の温度よシ上の所定の温度
に保っている。

電力が対称ブリッジ回路に供給されると、抵抗器２３は
制御増幅器手段ＩＣＩＢの非反転入力をその出力が高に
なるようにバイアスする。この実施例では、パワードラ
イバ・トランジスタＱ１のベース・リードに高電圧がか
＼ると、トランジスタＱ１が導通して電力をブリッジ回
路の検出脚および補償膜１２．１４の双方に供給する。

ブリッジ回路１０の従来どうりのブリッジ脚すなわち第
１の検出脚１２において、パワートランジスタＱ１のエ
ミッタの電圧が検出素子Ｉｔ　１と抵抗器Ｒ１９とから
成る直列回路に供給される。ゲイン１の増幅器ＩＣＩＡ
すなわち電圧フォロワの非反転入力は検出素子Ｒ１と抵
抗Ｒ１９との接合部１６すなわち制御リードに接続され
ている。反転入力は増幅器ＩＣＩＡの出力に直接接続さ
れている。先に記したとうり、抵抗器Ｒ１とＲ１９との
値、したがって接合部１６で制御リードにか＼る電圧は
、この実施例では２である第１の係数Ｎの関数である。

パワートランジスタＱ１の出力における電圧は抵抗器Ｒ
７およびＲ８から成る直列回路である補償押手段の従来
どうシのブリッジ脚にも供給される。これら抵抗器の値
は、本実施例では抵抗器８の値の約９倍（すなわち第２
係数倍）に等しいのが抵抗器Ｒ７であるように、第２の
係数の関数である。接合部１Ｂの電圧すなわち制御リー
ドにかかる電圧は電源電圧の１／９に等しい。トランジ
スタＱ２のベース・リードに接続された出力をも゛つ増
幅器ｒｃ１ｃの非反転入力は、二つの抵抗器Ｒ７と８８
との接合部１８に接続されている。

トランジスタＱ２のコレクタ書リードはパワートランジ
スタＱｌの出力に電気的に接続されており、エミッタ・
リードはフィードバック抵抗器Ｒ９ｔ−介して増幅器Ｉ
ＣＩＣの反転入力に接続されている。このトランジスタ
の目的は電力を第２の補償膜２２に供給することである
。

先に示したとうり、増幅器ＩＣＩＡ　と　ＩＣＩＣとは
ブリッジ回路１０のそれぞれ従来のブリッジ脚すなわち
第１検出脚１２と補償膜１４とにか＼る電気的負荷を軽
減する電圧フォロワとして構成されている。

ブリッジ回路１Ｇの第２の検出脚すなわち第１の電圧分
割器腕２０は抵抗器Ｒ３およびＲ４の直列回路から構成
されている。先に示したとうシ、接合部２４すなわちこ
れら抵抗器Ｒ３と８４との制御リードＫか＼る電圧は第
２の係数の関数であり、本実施例においては増幅器ＩＣ
ＩＡの電圧出力の１／９　に等しい。抵抗器Ｒ３の値は
抵抗器Ｒ４の値の９倍である。二つの抵抗５Ｒ３とＲ４
との接合部２４は制御増幅器手段ＩＣＩＢの非反転入力
に電気的に接続されている。

ブリッジ回路１０の第２の補償膜すなわち第２の電圧分
割器腕２２は補償素子Ｒ２と一対の抵抗器Ｒ２Ｇ　およ
びＲ２１とから構成されている。抵抗器Ｒ２Ｇ　とＲ２
１との接合部２６は制御増幅器手段ＩＣＩＢ　の反転入
力に電気的に接続されている。第２の電圧分割器手段２
２のすべての抵抗値の間の関係は第１の係数Ｎの関数で
ある。好ましい実施例では電圧分割器の上の部分の全抵
抗はＲ２＋Ｒ２０である。設計によるＲ２の値は室温に
おいて１０オームに等しく、Ｒ２Ｏの値はＲ２の値のｌ
／２すなわち５オームである。Ｒ２１の値は接合部の電
圧が第１の係数Ｎの関数になるようになっていなければ
ならない。したがって、第１の係数Ｎを２に等しいとし
て、Ｒ２１の値は（Ｒ２＋Ｒ２０）すなわち１５オーム
に等しい。

対称ブリッジ回路１０を平衡させるには、制御増幅器Ｉ
ＣＩＢ　の非反転入力にか＼る電圧はその反転入力にか
−る電圧に等しくなければならない。

ブリッジ回路の補償脚手段１４．２２の側の接合部２６
の出力電圧はこの例では電源電圧のＶ１８である第１お
よび第２の複数の関数に等しい。

ブリッジ回路１０の第１の検出脚１２において、抵抗器
１９の値は検出素子Ｒ１の未加熱抵抗値の１．５倍であ
る。パワートライバ手段がＲ１に更に多くの電流を供給
するにしたがい、検出素子Ｒ１の抵抗は”／Ｒ２＝　［
（Ｒ２＋Ｒ２０）／Ｒ２１］になるまで増大する。増幅
器ＩＣＩＢを通る電圧分割器回路２０の出力は対称ブリ
ッジ回路を平衡させるようにパワードライバ手段を制御
する。

動作の説明 空気の速度が太きくなると、検出素子Ｒ１の抵抗は通過
する空気への熱伝導のため検出素子の温度が下るので小
さくなる。このため電圧フォロワ増幅器ＩＣＩＡの非反
転入力における電圧が増大する。電圧フォロワ増幅器Ｉ
ＣＩＡの出力は二つの抵抗器Ｒ３とＲ４とから成る電圧
分割器２０を介して制御増幅器ＩＣＩＢの非反転入力に
供給される。このため、制御増幅器ＩＣＩＢの出力が増
大し、これによりパワートランジスタＱ１が検出抵抗器
Ｒ１に一層多くの電力を供給することになる。このため
検出抵抗器Ｒ１の抵抗値はブリッジが平衡するまで増大
する。

対称ブリッジ回路からの出力信号は増幅器ＩＣ１０から
出るものである。出力増幅器ＩＣＩＤ　の非反転入力は
パワードライバ手段の出力に接続されている二つの抵抗
Ｒ１１とＲ１８とから成る電圧分割器に接続されている
。この電圧分割器は出力増幅器ｒｃｌＤのゲイン調節装
置として動作し、供給電圧が変化するにつれて、二つの
抵抗器Ｒ１１とＲｌＢとの接合部での出力電圧が対応し
て変化する。出力増幅器ＩＣＩＤの反転入力は標準電圧
に接続された二つの抵抗器Ｒ１２とＲ１７とから成る電
圧分割器に接続されている。この電圧分割器は出力増幅
器ＩＣＩＤのオフセット調節装置として動作する。増幅
器ＩＣＩＤの出力は、アナログ電圧信号であるが、抵抗
器Ｒ１５，ＲｌＢ　　から成るフィードバック回路内で
その反転入力に接続されている。フィー　ドパツク回路
の機能は増幅器のゲインを決めることである。

ニッケル検出、補償素子Ｒ１，Ｒ２の温度係数は１℃に
つき１００万分の＋５４２０である。したがって７５℃
の温度上昇では検出素子の抵抗が（資）チだけ増大する
ことになる。空気の温度が上がるにしたがって、補償素
子Ｒ２の抵抗が変シ、その脚のブリッジに対する比が変
化する。検出素子Ｒ１の両端間の電圧の量が増大して与
えられた空気流に対してパワートランジスタＱ１のエミ
ッタの電圧を一定に保ちながら７５℃の温度差を保つ。

補償素子Ｒ２の両端間の電圧は、好ましい実施例では、
検出素子Ｒ１にか＼る電圧の約１／１２である。補償素
子Ｒ２に分配される電力は０．５ｍＷであるが、検出素
子Ｒ１に分配される電力は空気流量が非常に少いとき約
７５　ｔｎＷである。検出素子の補償素子に対する電力
比は約１５０：ｌである。

〔発明の効果〕

対称ブリッジ回路のいくつかの特徴を挙げれば、検出素
子と補償素子とＫともに同涌類の素子を使用すること、
補償脚の出力を増幅しないので回路の安定匿が高められ
ること、二つのブリッジ脚で位相遅れが同じであるため
回路を安定に保つための、回路動作を遅くする、補償コ
ンデンサの必要性が無いこと、検出ループおよび補償ル
ープｔ−調節する必要が無いこと、製造目的では、単一
の、低価格の集積回路素子を使用してお９、設計は抵抗
の比によって決まるので薄膜技術を利用できることであ
る。

以上、内燃機関の制御装置に見ることができる空気質量
流量センサに使用する対称ブリッジ回路について示し、
説明した。

【図面の簡単な説明】

第１Ａ図〜第１０図は対称ブリッジ回路の進展を示す図
である。 Ｗ、２図は本発明の好ましい実施例による測定回路のブ
ロック図である。 第３図は＠２図の測定回路の概要図である。 １０−−・・ブリッジ回路、１２−ψ・・検出脚、１４
＠・ｌｌ１１補償脚、２Ｇ、２２・ψＱ−電圧分割器、
Ｑｌ・・・・パワートランジスタ、Ｑｌ・・・・トラン
ジスタ、Ｒ１・・・Ｑ検出素子、Ｒ２・・・・補償検出
素子）Ｃ／Ａ）Ｃ／ｌ’ＣΦ・・・電圧フォロワ増幅器
）ＣＩＢ　・・豐拳制御増編器）Ｃ７／Ｄ・・・・出力
増幅器。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. （１）電力を供給する電源に電気的に接続されている電
   力ドライバ手段（１０）と、 第１の検出脚（１２）および第２の検出脚（２０）から
   成り、空気流内に設置され検出素子を横断して流れる空
   気の流量に応答する検出素子（Ｒ１）を含み、前記第１
   および第２の各検出脚は入力と、出力と、該入力と出力
   との中間にある制御リードとを備えている検出脚手段と
   、 第１の補償脚（１４）および第２の補償脚（２２）から
   成り、空気流内に設置され空気流の温度に応答する補償
   素子（Ｒ２）を含み、前記第１および第２の各補償脚は
   入力と、出力と、該入力と出力との中間にある制御リー
   ドとを備えている補償脚手段と、 前記第２の各検出脚（２０）および前記補償脚（２２）
   からの制御リードに電気的に結合され電力を前記検出脚
   手段と前記補償脚手段との入力に供給する前記パワード
   ライバ手段（１０）の出力を制御するように動作する制
   御増幅器（ＩＣ／Ｂ）と、前記パワードライバ手段の出
   力に応答して前記検出素子および補償素子を横断して流
   れる空気の質量を表わす信号を発生する出力増幅手段（
   ＩＣ／Ｄ）と を備えて成ることを特徴とする空気の質量流量を測定す
   る対称ブリッジ回路。
2. （２）前記第１の検出脚（１２）の前記制御リードにお
   ける出力は第１の係数（Ｎ）の関数である電圧信号であ
   り、前記第２の検出脚（２０）の前記制御リードにおけ
   る出力は第２の係数の関数である電圧信号であることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の空気の質量流
   量を測定する対称ブリッジ回路。
3. （３）前記第１の補償脚（１４）の前記制御リードにお
   ける出力は前記第２の係数の関数である電圧信号であり
   、前記第２の補償脚（２２）の前記制御リードにおける
   出力は前記第１の係数の関数である電圧信号であること
   を特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の空気の質量
   流量を測定する対称ブリッジ回路。
4. （４）前記第１の係数は温度とともに変化し且つ前記補
   償素子の関数であって、これによりブリッジ回路の温度
   補償を行う特許請求の範囲第３項に記載の空気の質量流
   量を測定する対称ブリッジ回路。
5. （５）前記第２の検出脚（２０）は前記第１の検出脚の
   制御リードと前記制御増幅器の一つの入力との間の第１
   の電圧分割器回路網であり、前記第２の補償脚（２２）
   は前記第１の補償脚の制御リードと前記制御増幅器の他
   の入力との間の第２の電圧分割器回路網である特許請求
   の範囲第１項に記載の空気の質量流量を測定する対称ブ
   リッジ回路。
6. （６）前記補償検出素子（２２）は前記第２の電圧分割
   器回路網内に電気的に接続されている特許請求の範囲第
   ５項に記載の空気の質量流量を測定する対称ブリッジ回
   路。
7. （７）前記第１の検出脚と補償脚との制御リードの間で
   それぞれ前記第１および第２の電圧分割器回路網の前記
   入力に電気的に接続されている電圧フォロワ手段（ＩＣ
   ／Ａ、ＩＣ／Ｃ）を備えている特許請求の範囲第５項に
   記載の空気の質量流量を測定する対称ブリッジ回路。
8. （８）前記制御増幅器手段の一つの入力に電気的に接続
   されて電圧を始めに対称ブリッジ回路に印加したとき前
   記制御増幅器に前記パワードライバ手段を投入させる手
   段（Ｒ２３）を備えている特許請求の範囲第１項に記載
   の空気の質量流量を測定する対称ブリッジ回路。
9. （９）前記検出素子（Ｒ１）と前記補償素子（Ｒ２）と
   は同じ温度係数を有する同種の材料から製作されている
   特許請求の範囲第１項に記載の空気の質量流量を測定す
   る対称ブリッジ回路。
10. （１０）前記出力増幅器手段（ＩＣ／Ｄ）の一つの入力
    は前記パワードライバ手段の出力に電気的に結合されて
    前記出力増幅器のゲインを制御し、他の入力は一定の基
    準電圧に電気的に接続されて前記出力増幅器のオフセッ
    トを制御するようになっている特許請求の範囲第１項に
    記載の空気の質量流量を測定する対称ブリッジ回路。
11. （１１）同じ温度係数を有する検出素子（Ｒ１）および
    補償素子（Ｒ２）と、 電源に電気的に接続されて電力を供給するパワードライ
    バ手段（１０）と、 第１の検出脚（１２）および第２の検出脚（２０）から
    成り、該第１の検出脚は空気流内に設置され前記検出素
    子を横断して流れる空気の流量に応答する前記検出素子
    を含んでおり、前記第１の検出脚手段はその入力が前記
    パワードライバ手段の出力に電気的に接続されており、
    その出力は電源の帰線および前記入力と前記第２の検出
    脚の入力に接続されている出力との中間にある制御リー
    ドに電気的に接続されており、前記第１の検出脚は第１
    の係数の関数に比例し、前記第２の検出脚は第２の係数
    の関数に比例するようになっている検出脚手段と、 第１の補償脚（１４）と空気流内に設置され空気流の温
    度に応答する前記補償素子（Ｒ２）を含んでいる第２の
    補償脚（２２）とから成り、前記第１の補償手段はその
    入力が前記パワードライバ手段の出力に電気的に接続さ
    れており、その出力は電源の帰線および前記入力と前記
    第２の補償脚の入力に接続されている出力との中間にあ
    る制御リードに電気的に接続されており、前記第１の補
    償脚は前記第２の係数の関数に比例し、前記第２の補償
    脚は前記第１の係数の関数に比例するようになっている
    補償脚手段と、 前記第２の検出脚と前記第２の補償脚とからの制御リー
    ドに電気的に結合し前記パワードライバ手段の出力を制
    御するように動作して電力を前記検出脚手段と前記補償
    脚手段とのそれぞれに供給するようになっており、その
    一つの入力に電気的に接続されて前記電源が対称ブリッ
    ジ回路に加えられたとき前記制御増幅器を投入させる制
    御増幅器（ＩＣ／Ｂ）と、 前記パワードライバ手段の出力に応答して前記検出素子
    および補償素子を横断して流れる空気の質量を表わす信
    号を発生する出力増幅器手段（ＩＣ／Ｄ）と を備えて成ることを特徴とする空気の質量流量を測定す
    る対称ブリッジ回路。