JPS6225236A - 光による粒子検出装置 - Google Patents
光による粒子検出装置Info
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- JPS6225236A JPS6225236A JP60166419A JP16641985A JPS6225236A JP S6225236 A JPS6225236 A JP S6225236A JP 60166419 A JP60166419 A JP 60166419A JP 16641985 A JP16641985 A JP 16641985A JP S6225236 A JPS6225236 A JP S6225236A
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- Japan
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、液体中の粒子、例えば血液中の血球等を、
光照射を受けた粒子からの散乱光により検出する光によ
る粒子検出装置に関するものである。
光照射を受けた粒子からの散乱光により検出する光によ
る粒子検出装置に関するものである。
従来の技術
微粒子を含むｆｉＡ液を中心にしてさや状に周囲に高速
流体を通すと、中心流は粒子が１列に流れる程度の細流
となる。この粒子に光を照射して粒子の散乱光を検出す
ることにより、縣濁液中の粒子の検出が行なえる。
流体を通すと、中心流は粒子が１列に流れる程度の細流
となる。この粒子に光を照射して粒子の散乱光を検出す
ることにより、縣濁液中の粒子の検出が行なえる。
従来のこの種粒子検出装置の原理構造を第５図に示す０
図において、２０は角パイプ状のフローセルであり、粒
子を含む縣濁液を中心にして周囲に高速流体を通してお
り、中心流に粒子列２１が形成されている。レーザ発光
装置からなる光源２２からの光線ａは、コンデンサレン
ズ２３で粒子列２１に焦点Ｐを持つように収束され、粒
子列２１の粒子から散乱光すを発生させる。散乱光すは
コレクタレンズ２４によって集められ、ピンホール板２
５を通過して受光器２６に入る。受光器２６は光電変換
により電気パルスを発生する。光源２２からの光線ａの
直進光すなわち粒子に当らなかった光は、コレクタレン
ズ２４の前のダークフィールドデスク２７により遮断さ
れ、かつ周囲の迷光ハヒンホール板２５により遮断され
る。これにより、粒子からの散乱光すのみが受光器２６
で検出され、粒子測定が行なえる。
図において、２０は角パイプ状のフローセルであり、粒
子を含む縣濁液を中心にして周囲に高速流体を通してお
り、中心流に粒子列２１が形成されている。レーザ発光
装置からなる光源２２からの光線ａは、コンデンサレン
ズ２３で粒子列２１に焦点Ｐを持つように収束され、粒
子列２１の粒子から散乱光すを発生させる。散乱光すは
コレクタレンズ２４によって集められ、ピンホール板２
５を通過して受光器２６に入る。受光器２６は光電変換
により電気パルスを発生する。光源２２からの光線ａの
直進光すなわち粒子に当らなかった光は、コレクタレン
ズ２４の前のダークフィールドデスク２７により遮断さ
れ、かつ周囲の迷光ハヒンホール板２５により遮断され
る。これにより、粒子からの散乱光すのみが受光器２６
で検出され、粒子測定が行なえる。
発明が解決しようとする問題点
測定粒子は直径が０．５μ程度と小さいため、粒子から
の散乱光すを検知するには高倍率高感度の光学系を必要
とする。そのため、この従来構造ではコレクタレンズ２
４やピンホール板２５を用いているが、これにより調整
作業が煩雑となっている。すなわち、コンデンサレンズ
２３の焦点Ｐと、フローセル２０の粒子列２１の位置と
、コレクタレンズ２４の物点位置とを合わさなくてはな
らず、またコレクタレンズ２４の物点位置と共役な位置
にピンホール板２５のピンホールを置かなくてはならな
い。そのため、コンデンサレンズ２３の軸とコレクタレ
ンズ２４の軸をフローセル２０の中心で合致させる調整
が必要であり、この調整に多大な時間（３〜４時間）を
要する。
の散乱光すを検知するには高倍率高感度の光学系を必要
とする。そのため、この従来構造ではコレクタレンズ２
４やピンホール板２５を用いているが、これにより調整
作業が煩雑となっている。すなわち、コンデンサレンズ
２３の焦点Ｐと、フローセル２０の粒子列２１の位置と
、コレクタレンズ２４の物点位置とを合わさなくてはな
らず、またコレクタレンズ２４の物点位置と共役な位置
にピンホール板２５のピンホールを置かなくてはならな
い。そのため、コンデンサレンズ２３の軸とコレクタレ
ンズ２４の軸をフローセル２０の中心で合致させる調整
が必要であり、この調整に多大な時間（３〜４時間）を
要する。
また、コレクタレンズ２４や、ピンホール板２５や、ダ
ークフィールドデスク２７は、精密で限界的高性能を要
するため、部品としてのコストが高い、しかも、これら
に光軸調整のための細ねしによるｘ−ｙ−ｚ微動ステー
ジ等を備える必要があり、これらを含めると光学系のコ
ストが高くなる。
ークフィールドデスク２７は、精密で限界的高性能を要
するため、部品としてのコストが高い、しかも、これら
に光軸調整のための細ねしによるｘ−ｙ−ｚ微動ステー
ジ等を備える必要があり、これらを含めると光学系のコ
ストが高くなる。
さらに、フローセル２０とピンホール板２５の距離は、
市販および特注の安定人手できる限界性能のコレクタレ
ンズ２４を使用しても、１５０〜１６０ｍになる。その
ため、検出装置全体では３００龍以上となり、装置を小
型化できない。
市販および特注の安定人手できる限界性能のコレクタレ
ンズ２４を使用しても、１５０〜１６０ｍになる。その
ため、検出装置全体では３００龍以上となり、装置を小
型化できない。
この発明は、これらの欠点に鑑みなされたもので、調整
時間を飛ＩＭ的に短縮でき、かつ小型で低コストの光に
よる粒子検出装置を提供することを目的とする。
時間を飛ＩＭ的に短縮でき、かつ小型で低コストの光に
よる粒子検出装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
この発明は、フローセルから受光器までの間に、従来の
光学系の代りに迷光除去部材を設けたちのである。迷光
除去部材は、散乱光を通過させる光通過孔を有するもの
である。
光学系の代りに迷光除去部材を設けたちのである。迷光
除去部材は、散乱光を通過させる光通過孔を有するもの
である。
作用
この構成によると、次の作用が得られる。フローセルの
粒子列の粒子に光線を照射することにより生した散乱光
は、粒子に当らずに進む直進光の立体角の周囲にあるが
、この散乱光の一部が迷光除去部材の光通過孔を通り、
受光器で検出される。
粒子列の粒子に光線を照射することにより生した散乱光
は、粒子に当らずに進む直進光の立体角の周囲にあるが
、この散乱光の一部が迷光除去部材の光通過孔を通り、
受光器で検出される。
直進光および周囲の迷光は、迷光除去部材の光通過孔を
通過できず、遮断される。
通過できず、遮断される。
この発明では、粒子検出信号となる散乱光を、従来のよ
うに光学系を使って１点に集めることをせず、自然の状
態で捉えるため、従来のように高精度な位置決めを必要
とせず、迷光除去部材等の位置調整が簡単に行なえる。
うに光学系を使って１点に集めることをせず、自然の状
態で捉えるため、従来のように高精度な位置決めを必要
とせず、迷光除去部材等の位置調整が簡単に行なえる。
このように、散乱光の受光側については、高精度な調整
を全く必要としないので、ｘ−ｙ−ｚ微動ステージ等を
用いる必要がなく、コストが低減される。また、高価な
部品であるダークフィールドディスクや、コレクタレン
ズや、ピンホール板を必要としないので、このことから
もコストが低減される。また、前述のように受光器をフ
ローセルに近づけられるので、装置全体をコンパクトに
できる。
を全く必要としないので、ｘ−ｙ−ｚ微動ステージ等を
用いる必要がなく、コストが低減される。また、高価な
部品であるダークフィールドディスクや、コレクタレン
ズや、ピンホール板を必要としないので、このことから
もコストが低減される。また、前述のように受光器をフ
ローセルに近づけられるので、装置全体をコンパクトに
できる。
従来のコレクタレンズの除去による感度低下は、散乱光
の光源となる粒子列に受光器を近接させることによって
補なえる。受光側にコレクタレンズを用いないことから
、焦点距離の問題がなく、受光器をフローセルに近接さ
せることが可能である。
の光源となる粒子列に受光器を近接させることによって
補なえる。受光側にコレクタレンズを用いないことから
、焦点距離の問題がなく、受光器をフローセルに近接さ
せることが可能である。
受光強度は距離の２乗に反比例して減少するので、受光
器を光源に近ずけたことによる感度向上効果は大きい、
また、このように散乱光の受光感度が向上することから
、信号とノイズの比が大きくなり、正確な粒子検出が行
なえる。
器を光源に近ずけたことによる感度向上効果は大きい、
また、このように散乱光の受光感度が向上することから
、信号とノイズの比が大きくなり、正確な粒子検出が行
なえる。
実施例の説明
この発明の一実施例を第１図ないし第３図に示す、この
粒子検出装置は、粒子列ｌを形成した状態に流体を流す
フローセル２と、このフローセル２中の粒子列１に光線
ａを照射する光照射手段３と、光線ａが粒子列１の粒子
に当って反射した敗乱光すを検出する受光器４とを備え
た光による粒子検出装置において、フローセル２と受光
器４との間に前記散乱光を通過させる光通過孔６を有す
る迷光除去部材５を設けたものである。
粒子検出装置は、粒子列ｌを形成した状態に流体を流す
フローセル２と、このフローセル２中の粒子列１に光線
ａを照射する光照射手段３と、光線ａが粒子列１の粒子
に当って反射した敗乱光すを検出する受光器４とを備え
た光による粒子検出装置において、フローセル２と受光
器４との間に前記散乱光を通過させる光通過孔６を有す
る迷光除去部材５を設けたものである。
フローセル２は第５図の例と同様である。光照射手段３
は、２０ｍＷの半導体レーザからなる光源７と、コンデ
ンサレンズ８とからなる。受光器４は、直径１ｆｉ程度
の受光面を有するものであれば十分であるが、この例で
は２．４ｆｌ角のシリコンスオドダイオードを用いてお
り、直径０．６μｍのラテックスの検出ができる性能を
持つ、受光器４は迷光除去部材５の光通過孔６の出口６
ａに近接して配置する。
は、２０ｍＷの半導体レーザからなる光源７と、コンデ
ンサレンズ８とからなる。受光器４は、直径１ｆｉ程度
の受光面を有するものであれば十分であるが、この例で
は２．４ｆｌ角のシリコンスオドダイオードを用いてお
り、直径０．６μｍのラテックスの検出ができる性能を
持つ、受光器４は迷光除去部材５の光通過孔６の出口６
ａに近接して配置する。
連孔除去部材５は、厚肉円筒状のものであり、材質とし
て黒のポリアセタール樹脂を用いている。
て黒のポリアセタール樹脂を用いている。
光通過孔６はトンネル状のものであって、内径に対して
奥行を十分に長くしてあり、かつ光軸Ａに対して若干傾
かせである。光通過孔６は、内径を１ｍとし、内面をピ
ッチが０．５ ｔｍのねし面に形成しである。光通過孔
６の傾斜角θは例えば５〜７゜とし、迷光除去部材５と
フローセル２の中心との距離は１２〜１３龍とする。こ
れにより、光線ａの粒子列１に当る焦点Ｐを光通過孔６
内に捕えられるように調整する。
奥行を十分に長くしてあり、かつ光軸Ａに対して若干傾
かせである。光通過孔６は、内径を１ｍとし、内面をピ
ッチが０．５ ｔｍのねし面に形成しである。光通過孔
６の傾斜角θは例えば５〜７゜とし、迷光除去部材５と
フローセル２の中心との距離は１２〜１３龍とする。こ
れにより、光線ａの粒子列１に当る焦点Ｐを光通過孔６
内に捕えられるように調整する。
なお、迷光除去部材５と受光器４とは予め軸合せして互
いに一体に固定しておく、この一体化したものは、上下
および左右に位Ｗｆｆｆ整可能なように支持台（図示せ
ず）に取付ける。また、コンデンサレンズ８は、光軸Ａ
の方向に前後移動（Ｘ方向）可能に支持台に設置し、フ
ローセル２はその長手方向と光軸Ａとに直交する方向（
Ｙ方向）に移動可能な支持台に設置しである。
いに一体に固定しておく、この一体化したものは、上下
および左右に位Ｗｆｆｆ整可能なように支持台（図示せ
ず）に取付ける。また、コンデンサレンズ８は、光軸Ａ
の方向に前後移動（Ｘ方向）可能に支持台に設置し、フ
ローセル２はその長手方向と光軸Ａとに直交する方向（
Ｙ方向）に移動可能な支持台に設置しである。
この構成によると、次の作用が得られる。フローセル２
の粒子列■の粒子に照射した光線ａにより生じた散乱光
すは、粒子に当らずに進む直進光Ｃの周囲にあるが、こ
の散乱光すの一部が迷光除去部材５の光通過孔６を通り
、受光器４で検出される。直進光Ｃは迷光となるが、そ
の迷光は迷光除去部材５の光通過孔６を通過できず、遮
断される。このとき、光通過孔６の内面がねじ面となっ
ていることから、内面での反射が防止できて迷光および
直進光Ｃの除去がより一層確実に行なえる。
の粒子列■の粒子に照射した光線ａにより生じた散乱光
すは、粒子に当らずに進む直進光Ｃの周囲にあるが、こ
の散乱光すの一部が迷光除去部材５の光通過孔６を通り
、受光器４で検出される。直進光Ｃは迷光となるが、そ
の迷光は迷光除去部材５の光通過孔６を通過できず、遮
断される。このとき、光通過孔６の内面がねじ面となっ
ていることから、内面での反射が防止できて迷光および
直進光Ｃの除去がより一層確実に行なえる。
従来のコレクタレンズの除去による感度低下は、受光器
４を散乱光すの光源となる粒子列１に近接させることに
よって補なえる。受光側にコレクタレンズを用いないこ
とから、像点距離の問題がなく、受光器４をフローセル
２に近接させることが可能である。受光強度は距離の２
乗に反比例して減少するので、受光器４を光源に近すけ
たことによる感度向上効果は大きい、また、このように
散乱光すの受光感度が向上することから、信号とノイズ
の比が大きくなる。これにより、従来の検出装置と同等
以上の検出性能が得られる。
４を散乱光すの光源となる粒子列１に近接させることに
よって補なえる。受光側にコレクタレンズを用いないこ
とから、像点距離の問題がなく、受光器４をフローセル
２に近接させることが可能である。受光強度は距離の２
乗に反比例して減少するので、受光器４を光源に近すけ
たことによる感度向上効果は大きい、また、このように
散乱光すの受光感度が向上することから、信号とノイズ
の比が大きくなる。これにより、従来の検出装置と同等
以上の検出性能が得られる。
光軸調整は次のように行なう、すなわち、コンデンサレ
ンズ８のＸ方向移動と、フローセル２のＹ方向移動とに
より、光線ａのコンデンサレンズ８による焦点Ｐがフロ
ーセル２内の粒子列１に位置するようにする。この後、
予じめ軸を互いに合せられた迷光除去部材５と受光器４
を、所定の傾斜角度θでフローセル２の中心から所定位
置に来るように配置して、粒子列２の焦点Ｐを光通過孔
６内に捉えることによって調整は完了する。
ンズ８のＸ方向移動と、フローセル２のＹ方向移動とに
より、光線ａのコンデンサレンズ８による焦点Ｐがフロ
ーセル２内の粒子列１に位置するようにする。この後、
予じめ軸を互いに合せられた迷光除去部材５と受光器４
を、所定の傾斜角度θでフローセル２の中心から所定位
置に来るように配置して、粒子列２の焦点Ｐを光通過孔
６内に捉えることによって調整は完了する。
このとき、従来のように散乱光すを光学系を使って１点
に集めることをせず、自然の状態で捉えるので、高精度
な位置調整を必要としない、また、次のことからも位置
調整が粗なものですむ、すなわち、光通過孔６は出口６
ａ側が光軸Ａ ＩＩ＋から離れるように傾斜した孔であ
り、またトンネル状の孔であって内径に対して奥行長さ
が長いため、直進光Ｃは光通過孔６を全く通過できず、
また通過できたとしても、そのように通過可能となる迷
光除去部材５の位置はごくわずかな範囲に限られる。
に集めることをせず、自然の状態で捉えるので、高精度
な位置調整を必要としない、また、次のことからも位置
調整が粗なものですむ、すなわち、光通過孔６は出口６
ａ側が光軸Ａ ＩＩ＋から離れるように傾斜した孔であ
り、またトンネル状の孔であって内径に対して奥行長さ
が長いため、直進光Ｃは光通過孔６を全く通過できず、
また通過できたとしても、そのように通過可能となる迷
光除去部材５の位置はごくわずかな範囲に限られる。
これに対して、散乱光すの進む方向は光軸Ａに対して傾
斜しており、光通過孔６の傾き角度に近いので、迷光除
去部材５の中心軸Ｂの位置が第３図のように焦点Ｐから
多少ずれていても、散乱光すが通過可能となる。このた
め、迷光除去部材５の位ｉｉ整に高精度を必要としない
。
斜しており、光通過孔６の傾き角度に近いので、迷光除
去部材５の中心軸Ｂの位置が第３図のように焦点Ｐから
多少ずれていても、散乱光すが通過可能となる。このた
め、迷光除去部材５の位ｉｉ整に高精度を必要としない
。
このように、迷光除去部材５の位２！調整に精度を要せ
ず、しかも受光側につき従来ではコレクタレンズとピン
ホール板との２部材の調整を必要としたのに対して、こ
の装置では迷光除去部材５の調整だけですむ、そのため
、光軸調整に要する時間が大幅に短縮され、従来では３
〜４時間必要であったところが、３０秒程度ですむ。
ず、しかも受光側につき従来ではコレクタレンズとピン
ホール板との２部材の調整を必要としたのに対して、こ
の装置では迷光除去部材５の調整だけですむ、そのため
、光軸調整に要する時間が大幅に短縮され、従来では３
〜４時間必要であったところが、３０秒程度ですむ。
また、このように散乱光すの受光側については、高精度
な調整を全く必要としないので、ｘ−ｙ−Ｚ微動ステー
ジ等を用いる必要がなく、コストが低減される。また、
高価な部品であるダークフィールドディスクや、コレク
タレンズや、ピンホール板を必要としないので、このこ
とからもコストが低減される。さらに、前述のように受
光器４をフローセル２に近づけられるので、装置全体を
コンパクトにできる０例えば、フローセル２と受光器４
との距離はｌＯ〜１５ｆｉとでき、検出装置全体の長さ
を１２０ｆｌ程度とできる。
な調整を全く必要としないので、ｘ−ｙ−Ｚ微動ステー
ジ等を用いる必要がなく、コストが低減される。また、
高価な部品であるダークフィールドディスクや、コレク
タレンズや、ピンホール板を必要としないので、このこ
とからもコストが低減される。さらに、前述のように受
光器４をフローセル２に近づけられるので、装置全体を
コンパクトにできる０例えば、フローセル２と受光器４
との距離はｌＯ〜１５ｆｉとでき、検出装置全体の長さ
を１２０ｆｌ程度とできる。
なお、前記実施例では、迷光除去部材５を円筒状とした
が、第４図のように迷光除去部材５′の光通過孔６′を
薄い角スリット状としてもよい。
が、第４図のように迷光除去部材５′の光通過孔６′を
薄い角スリット状としてもよい。
また、光通過孔６．６′の内面は、ねじ面の代りに凹凸
の粗面としてもよく、また平らな面としてもよい。
の粗面としてもよく、また平らな面としてもよい。
発明の効果
この発明の光による粒子検出装置は、粒子検出信号とな
る散乱光を光学系を使って１点に集めることをせず、迷
光除去部材の光通過孔に通すだけで自然の状態で捉える
ので、高精度な調整を必要としない、そのため調整時間
が大幅に短縮される。
る散乱光を光学系を使って１点に集めることをせず、迷
光除去部材の光通過孔に通すだけで自然の状態で捉える
ので、高精度な調整を必要としない、そのため調整時間
が大幅に短縮される。
受光側のレンズを省いたことによる感度低下は、散乱光
の光源となる粒子列に受光器を近接させることにより補
なえる。
の光源となる粒子列に受光器を近接させることにより補
なえる。
また、前述のように高精度を必要としないことから、微
動位置決め装置が不要となり、また高価な部品であるレ
ンズ等を受光側に使用しないので、部品コストも低減さ
れる。さらに、受光側にレンズを用いないので、焦点距
離をとる必要がなくて、小型化が図れるという効果があ
る。
動位置決め装置が不要となり、また高価な部品であるレ
ンズ等を受光側に使用しないので、部品コストも低減さ
れる。さらに、受光側にレンズを用いないので、焦点距
離をとる必要がなくて、小型化が図れるという効果があ
る。
第１図はこの発明の一実施例の断面図、第２図はその迷
光除去部材の拡大断面図、第３図は同じくその作用説明
図、第４図は迷光除去部材の変形例の斜視図、第５図は
従来の光学式粒子検出装置の原理図である。 １・・・粒子列、２・・・フローセル、３・・・光照射
手段、４・・・受光器、５・・・迷光除去部材、６・・
・光通過孔、ａ・・・光線、ｂ・・・散乱光、Ｃ・・・
直進光Ｅ、１Ｊｉ（’−：中 １− 粒子列 ２＝−７０−亡ル
３・・范照鰐手「え４− 受ｔＸＳ一式し尤Ｊをｆｌ］
薊４人 ６・・先通−ＡＬａ−え、線
ｂ−・−炊糺肥 ｃ−直１尤第１図 第２図 第３図
光除去部材の拡大断面図、第３図は同じくその作用説明
図、第４図は迷光除去部材の変形例の斜視図、第５図は
従来の光学式粒子検出装置の原理図である。 １・・・粒子列、２・・・フローセル、３・・・光照射
手段、４・・・受光器、５・・・迷光除去部材、６・・
・光通過孔、ａ・・・光線、ｂ・・・散乱光、Ｃ・・・
直進光Ｅ、１Ｊｉ（’−：中 １− 粒子列 ２＝−７０−亡ル
３・・范照鰐手「え４− 受ｔＸＳ一式し尤Ｊをｆｌ］
薊４人 ６・・先通−ＡＬａ−え、線
ｂ−・−炊糺肥 ｃ−直１尤第１図 第２図 第３図
Claims (3)
- （１）粒子列を形成した状態に流体を流すフローセルと
、このフローセル中の粒子列に光線を照射する光照射手
段と、前記光線が前記粒子列の粒子に当って反射した散
乱光を検出する受光器とを備えた光による粒子検出装置
において、前記フローセルと前記受光器との間に、前記
散乱光を通過させる光通過孔を有する迷光除去部材を設
けたことを特徴とする光による粒子検出装置。 - （２）前記光通過孔は、内径に対して奥行が十分に長い
ものとし、かつ前記光線の光軸に対して出口側が離れる
向きに傾かせた特許請求の範囲第（１）項記載の光によ
る粒子検出装置。 - （３）前記光通過孔の内面を凹凸面に形成した特許請求
の範囲第（２）項記載の光による粒子検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166419A JPS6225236A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | 光による粒子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166419A JPS6225236A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | 光による粒子検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6225236A true JPS6225236A (ja) | 1987-02-03 |
Family
ID=15831075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60166419A Pending JPS6225236A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | 光による粒子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6225236A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0590619U (ja) * | 1992-05-20 | 1993-12-10 | 松下電器産業株式会社 | 光学ヘッド |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5112271A (en) * | 1974-07-17 | 1976-01-30 | Noritsu Kk | Junkan kyutoshikifurogama |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP60166419A patent/JPS6225236A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5112271A (en) * | 1974-07-17 | 1976-01-30 | Noritsu Kk | Junkan kyutoshikifurogama |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0590619U (ja) * | 1992-05-20 | 1993-12-10 | 松下電器産業株式会社 | 光学ヘッド |
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