JPS62255809A - 膜厚測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、例えば磁気テープの製造ラインにおいて、
塗布された塗膜の膜厚を測定する場合に適用される膜厚
測定装置に関するものである０〔従来の技術〕 ＠２図は特願昭６０−１７４６０９号公報に記載されて
いる従来の膜厚測定装置である。図において、（１）は
所定の速度で回転される回転軸、（２）は回転軸（１）
の面から所定の距離をあけて回転軸（１）と平行に設け
られた遮光板、（３）は回転軸（１）と密着して回転軸
＋１）の速度と同じ速度で走行するシートと塗膜とから
なる被測定部材で、所定の厚みの膜が設けられている。

（４）　、　１５）は所定の角度をなして配置されそれ
ぞれレーザー光（４ａ）、（５ａ）を発生するレーザー
光発生器、（６）は反射ミラーで、レーザー光（４ａ）
を受けて回転軸（１）の表面と遮光板（２）との間を走
査し、レーザー光（５ａ）を受けて被測置部材（３）と
遮光板（２）との間を走査するように制御される。（７
）　、　（８）は反射ミラー（６）で反射した各レーザ
ー光（４ａ）、（５ａ）をそれぞれ集光するレンズ、（
９１、（１Ｇは走査した各レーザー光（４ａ）ｔ（５ａ
）を集光するＬｉ２ズ、０．Ｑ２は受光器、■、　ａ、
Ｏはカウンタ、α９は演算器、αＱは表示器である。

次に動作について説明する。レーザー光発生器（４）、
（５）から発射された各レーザー光（４ａ）、（５ａ）
は反射ミラー（６）に入射され、いずれも同一の角速度
で走査される。反射した各レーザー光（４ａ　）　、　
（５ａ　）はそれぞれレンズｍ　、　（８＋で集光され
て、第３図に示すようにそれぞれギャップＡ、Ｂの位置
でそのビーム径が最小してなって、回転軸（１）に垂Ｍ
な方向、つまりギャップの方向て一定の速度で走査され
る。

このとき、各受光器（１■、（２）には各ギャップＡ、
Ｂヲ各し−ザー光（４ａ）、（５ａ）が通過している間
だけ入射される。したがって、受光器Ｑｌ）　、　０′
！Ｊの出力信号はギャップＡ、Ｂの大きさに比例した幅
のパルス波形となる。これをカウンタ（１３，α→でパ
ルスカウントしてパルス幅に相当したカウント数が得ら
れる。演算器αＱではこれらのカウント数から厚みを計
算して表示器αＱに表示する。カウンタ（至）のカウン
ト数をａ１カウンタ（２）のカウント数をｂとすると、
被測定部材（３）の厚みｔｘは（１）式で求められる。

ｔｘ＝ｔｏ（１−）−−−−−（１） 但し、ｔｏはギャップＡの大きざ（寸法）である。

こうして得られた被測定部材（１）の厚みからシートの
厚みを差引くことＫよって膜厚が求められる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の膜厚測定装置は以上のように構成されておシ、走
査機構のフィードバック制御が行なわれてい々いため、
走査される光ビームの移動速度が一定とならず、１回の
走査中にも速度が変動し、その変動分が誤差となる欠点
があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、走査てれる光ビームの移動位名１および速度
が一定になるようにフィードバック制御し、移動速度の
変動による誤差を除宏することを目的とする。

〔問題点を解決するだめの手段〕

この発明に係る膜厚測定装置は、走査される光ビームを
光分岐器で分岐し、一方の光を位置検出受光素子で位置
検出し、その信号と駆動源信号との差が０になるように
走査機構をフィードバック駆動するものである。

〔作用〕

この発明における膜厚測定装置は、光ビームの走査波形
が、駆動源信号波形に等しくなるようにフィードバック
制御するため、走査速度が安定し測定精度の高い膜厚測
定装置が得られる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）〜αＱは従来のものと同様でちる。

α力は光分岐器、（へ）は入射された光ビームスポット
の位置を電気信号に変換するＰＳＤ等の位置検出受光素
子、α９は増幅器、翰は反射ミラー（６）をｚ動する走
査機構、ＣＤは三角波を発生する発振器走査機構翰の枢
動信号源である。（イ）は走査機構翰を駆動する駆動回
路である。

次に動作について説明する。第１図において、走査＠ｍ
　ＩＪ　Ｋよってくυ返し走査された光ビームは光分岐
器αηで２つに分岐され、一方はそのまま直進して従来
と同様被測定ギャップを走査する。

他方の光ビームは位置検出受光素子（ト）で受光され、
光ビームスポットの位置に対応する電気信号が出力され
、増幅器α９で増幅される。この信号は走査機構翰の駆
動回路器に送られ、発Ｗ５ａｌ）の出力信号と比較増幅
され、その差が零になるように走査機構翰が駆動される
。したがって、被測定ギャップを走査する光ビームはそ
の動きが常に駆動源の三角波信号と一致するようにフィ
ードバック駆動され、走査速度は一定となるので、走査
速度の変動に起因する誤差は生じない。

〔発明の効果〕

このようにこの発明によれば、走査する光ビームの動き
を位置検出受光素子で受光し、駆動源の三角波信号と等
しくなるよう疋フィードバック制御するので、光ビーム
の走査速度が安定し、これに起因する測定誤差が除夫さ
れ、精度の高い膜厚測定装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による膜厚測定装置の構成
図、第２図、第３図は従来の膜厚測定装置の構成図であ
る。 図において、（１）は回転軸、（２）は遮光板、（３）
は被測定部材、（４）　、　（５）はレーザー光発生器
、（４ａ）、（５ａ）はレーザー光、（６）は反射ミラ
ー、αＱは演算器、αηは光分岐器、０８）は位置検出
受光素子、翰は走査機構、（イ）は駆動回路である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定膜がシートに塗布された被測定部材を回転
   軸で密着支持しながら走行させ、上記回転軸の面から所
   定の距離をあけて上記回転軸と平行に遮光板を設けて、
   上記被測定膜の表面と上記遮光板との間を第１のレーザ
   ー光を使って反射ミラーで走査し、上記回転軸の表面と
   上記遮光板との間を第２のレーザー光を使って反射ミラ
   ーで走査して上記被測定膜の膜厚を測定するものにおい
   て、上記反射ミラーで反射した上記第２のレーザー光を
   光分岐器で分岐して、分岐された分岐光を位置検出受光
   素子で受けて光ビームスポットの位置を電気信号として
   出力し、上記位置検出受光素子の出力と上記反射ミラー
   を駆動する走査機構の駆動力信号とが一致するようにし
   た駆動回路を設けたことを特徴とする膜厚測定装置。