JPS62257455A - シ−ト状物のプラズマ処理および化学処理連続装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は布帛やフィルムなどのシート状物のプラズマ処
理と化学処理とを連続して実施することのできる装置に
関するものである。更に詳しく述べるならば、本発明は
、布帛やフィルムなどのシート状物を、ハツチ式でプラ
ズマ処理し、続いて化学処理する工程を連続して実施す
ることのできる装置に関するものである。

〔従来の技術］ 最近、布帛やフィルムなどのシート状物に対し、各種の
特性を賦与するだめのプラズマ処理技術が飛躍的に発展
し、その用途も著るしく拡大しつつある。

例えば特開昭５７−１８７３７および５８−１２０８５
９号などには布帛やプラスチックフィルムなどのシート
状物を連続的にプラズマ処理する装置が開示されている
。

しかしながら、連続的プラズマ処理装置においては、プ
ラズマ処理室を真空にしたり、所望ガスを封入したりす
るため、その送入口および送出口を、シールロールで気
密にシールする必要がある。

このシールロールは、布帛などのシート状物を強く圧縮
して、それに損傷や変形を与えるおそれがある。また、
布帛などが厚い場合、シールロールによる気密の維持が
困難である。更に、樹脂加工による目ずれ防止処理を施
していない編織組織の粗な布帛の場合、シールロールに
よる目ずれを生じ、その外観や性能を悪化させて商品価
値を失うことがある。

一般に、連続プラズマ処理装置は、大量のシート状物を
低コストで処理し得る利点があるが、これを多品種少量
生産に用いる場合その生産効率が低下し、生産コストが
上昇するなどの問題点がある。

上記の連続プラズマ処理装置の欠点を解消するために、
バッチ式プラズマ処理装置を用いることができる。しか
しながら、バッチ式プラズマ処理装置には、バッチ切換
の際に、装置内が一旦大気雰囲気に開放されるので、再
度装置内を処理条件に調整する工程と時間を要するとい
う欠点がある。

また、大気雰囲気に開放した際、装置内に湿気が侵入し
、装置内壁などに水分が吸着されると、装置内を、処理
条件に調整するために長時間を要するという欠点もある
。

これらの欠点を解消したプラズマ処理装置を、本発明者
らは特願昭６０−４６３６７号、および特願昭６０−１
）２０３４号において提案した。

又、一方、シート状物に対する化学処理、例えば、プラ
ズマ処理の効果が経時的に低下するのを防止するための
化学処理として、最近グラフト処理技術がさかんに行な
われつつある。特開昭５５−１３７１３８号公報には、
プラズマ処理を施した後、被処理材料に引続いてグラフ
ト単量体の蒸気に曝す方法が開示されている。しかしこ
の方法では、グラフト処理の効果が不均一であり、得ら
れるグラフト層の厚みが非常に薄いものである。又、別
の手段として、被処理材料にプラズマ処理を施した後、
これを一旦大気中に取り出し、その後、グラフト華は体
溶液に浸漬、乾燥する方法が知られている。しかし、こ
の方法では、一旦大気中に取り出した際、被処理材料の
プラズマ処理を施された面上に、酸化膜が形成されたり
、大気中の有機物成分が付着したりなどして、このため
、グラフト反応が阻害されることになる。

従って、上記欠点を解消することのできる、バッチ式プ
ラズマ処理および化学処理連続２置の出現が強く希望さ
れていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、従来のバッチ式プラズマ処理装置の有してい
る欠点、すなわち、バッチ切換の際の作業の複雑さおよ
び大きな時間積という問題点を解消し、プラズマ処理と
化学処理とを連続して均一に行なうことのできる装置を
堤供しようとするものである。

〔問題点を解決するための手段および作用〕本発明のシ
ート状物のプラズマ処理および化学処理連続装置は、１
個の回転可能なドラム状陰電極と、その周面に対向して
配置された複数個の陽電極とからなるプラズマ発生装置
を内蔵し、かつ、不活性ガス導入口と、シート状物送入
口と、シート状物送出口とを有し、更に、前記シート状
物送入口および送出口のそれぞれに、大気を気密に遮断
するシールロールを具備しているプラズマ処理室と； 前記プラズマ処理室の下流に配置され、化学処理槽と絞
りロールを内蔵し、かつ、化学処理剤導入口と、シート
状物送入口とシート状物送出口とを有し、更に、前記シ
ート状物送入口及び送出口のそれぞれに大気を気密に遮
断するシールロールを具備している化学処理室と； 前記プラズマ処理室と、化学処理室の中間に配置され、
シート状物送入口とシート状物送出口とを有し、かつ、
前記シート状物送入口と送出口のそれぞれを気密に開閉
する気密開閉装置と、この気密開閉装置を収納する収納
室とを具備している差圧調整室と； 前記プラズマ処理室の上流に配置され、シート状物送入
口とシート状物送出口とを有し、かつ、前記シート状物
送入口と送出口のそれぞれを気密に開閉する気密開閉装
置と、この気密開閉装置を収納する収納室とを具備して
いる第１乾燥室と；前記グラフト処理室の下流に配置さ
れ、シート状物送入口と、シート状物送出口とを有し、
かつ、前記シート状物送入口と送出口のそれぞれを気密
に開閉する気密開閉装置と、この気密開閉装置を収納す
る収納室とを具備している第２乾燥室と；前記第１乾燥
室の上流に配置され、シート状物送出機を内蔵し、かつ
シート状物送出口を有し、更に、前記シート状物送出口
を気密に開閉する気密開閉装置と、この気密開閉装置を
収納する収納室とを具備するシート状物送出室と： 前記第２乾燥室の下流に配置され、シート状物巻取機を
内蔵し、かつ、シート状物送入口を有し、更に、前記シ
ート状物送入口を気密に開閉する気密開閉装置と、この
気密開閉装置を収納する収納室とを具備するシート状物
巻取室と； 前記各室に連通しているガス排出装置と、を有し、前記
各室の間には、前室のシート状物送出口と、後室のシー
ト状物送入口とを気密に包囲し、前室と後室とを着脱自
在に、かつ気密に連結するシート状物進行通路連結室が
形成されていることを特徴とするものである。

以下に本発明装置を図面を参照しながら説明する。

第１図は、本発明のプラズマ処理および化学処理連続装
置の一実施態様を示す断面説明図である。

第１図の連続処理装置において、シート状物送出室１ａ
、第１乾燥室２ａ、プラズマ処理室３、差圧調整室６、
化学処理室７、第２乾燥室２ｂ及び、シート状物巻取室
ｌｂがそれぞれシート状物進行通路連結室１３ａ、１３
ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅおよび１３「を介して互に
気密に連結されている。

シート状物送出室１ａには、シート状物１９を送り出す
ためのシート状物送出機１ｃおよびガイドロール３０が
内蔵されており、かつ、シート状物送出口１ｅを有して
いる。このシート状物送出口には、それを気密に閉鎖し
、かつ開口することのできる気密開閉装置を収納する第
１収納室１）ａが具備されている。またシート状物送出
室１ａの底部には、車輪１８が取りつけられていて、シ
ート状物送出室１ａの移動を可能にしている。

第１乾燥室２ａには、数個のガイドロール３０及び、加
熱機構（図示されていない）が内蔵されており、かつ、
シート状物送入口２Ｃとシート状物送出［コ２ｄを有し
ている。ガイドロールの個数に格別の限定はなく、又、
加熱機構が赤外ランプ方式、抵抗加熱方式の何れの方式
であっても良い。

何れにしろ、シート状物に付着した水分を効率的に除去
できる加熱方式、ロールの個数を選択することが望まし
い。シート状物送入口２Ｃとシート状物送出口２ｄには
、それを気密に閉鎖し、かつ開口することのできる気密
開閉装置を収納する第２収納室１）ｂと第３収納室１）
Ｃが具備されている。

シート状物送出室１ａと第１乾燥室２ａの間には、第１
シート状物進行通路連結室１３ａが設けられている。第
１乾燥室２ａの底部には車輪１８がとりつけられ、その
移動を可能にしている。

第１〜４図において、第１シート状物進行通路連結室１
３ａは、（１）シート状物送出室１ａのシート状物送出
側側面から、そのシート状物送出口１ｅを包囲して伸び
出し、シート状物送出口１ｅに配置されている気密開閉
装置収納室１）ａの下端部に連通している第１半胴体１
７ａと、（２）第１乾燥室２ａのシート状物送入側側面
から、そのシート状物送入口２ｃを包囲して伸び出し、
シート状物送入口２Ｃに配置されている気密開閉装置収
納室１）ｂの下端部に連通している第２半胴体１７ｂと
から構成されている。第１および第２半胴体１７２およ
び１７ｂは、それらの先端面において、パノキソグ２６
を介して着脱自在に、かつ、気密に連結さプラズマ処理
室３は、回転可能な１個のドラム状陰電極５と、その周
面に対向して配置されている複数個の陽電極４とを内蔵
し、不活性ガス供給管１５に連ｉ１）する不活性ガス導
入口ｔＳａと、排気管１２Ｑに連通している排気口１５
ｂとを有している。

プラズマ処理室１３のシート状物送入口３ａとシート状
物送出口３ｂにはそれぞれ１対のシールロール１４ａ、
１４ｂが設けられている。シールロールによるシール方
式は既知のものでよく、それに格別の限定はない。第１
乾燥室２ａとプラズマ処理室３との間には第２シート状
物進行通路連結室１３ｂが設けられている。第２シート
状物進行通路連結室１３ｂは、（１）第１乾燥室２ａの
シート状物送出側側面から、そのシート状物送出口２ｄ
を包囲して伸び出し、シート状物送出口２ｄに配置され
ている気密開閉装置収納室１）Ｃの下端部に連結してい
る第３半胴体１７ｃと、（２）プラズマ処理室３のシー
ト状物送入側側面から、そのシート状物送入口３ａを包
囲して伸び出し、シート状物送入口３ａに配置されてい
るシールロールを気密に包囲してプラズマ処理室側壁に
連結している第４半胴体１７ｄとから構成されている。

第３および第４半胴体１７ｃおよび１７ｄは、それらの
先端面において、パッキング２６を介して着脱自在に、
かつ、気密に連結され、それによって気密な第２シート
状物進行通路連結室が形成されている。

差圧調整室６は、３本のガイドロール３０を内蔵し、か
つ、シート状物送入口６ａとシート状物送出口６ｂとを
有している。シート状物送入口６ａとシート状物送出口
６ｂにはそれを気密に閉鎖し、かつ開口することのでき
る気密開閉装置を収納する第４収納室ｌｉｄと、第５収
納室ｌｉｅが具備されている。

差圧調整室６と、プラズマ処理室３との間には、第２シ
ート状物進行通路連結室１３ｂと同様の第３シート状物
進行通路連結室１３Ｃが設けられている。

化学処理室７にはガイドロール３０、絞りロール８と化
学処理槽ＩＯを内蔵し、化学処理剤導入管１６が化学処
理槽１０に連結されている。また、化学処理室７にはシ
ート状物送入ロアａとシート状物送出ロアｂとを有して
いる。差圧調整室６の底部には車輪１８がとりつけられ
、その移動を可能にしている。

化学処理室７のシート状物送入ロアａとシート状物送出
ロアｂにはそれぞれ１対のシールロール１４ｃおよび１
４ｄが設けられている。シールロールによるシール方式
は既知のいづれの方式のものでもよく、それに格別の規
定はない。

差圧調整室６と化学処理室７との間には、第２゜第３シ
ート状物進行通路連結室１３ｂ、１３ｃと同様の第４シ
ート状物進行通路連結室１３ｄが設けられている。また
、化学処理室７の底部には車輪１８がとりつけられ、そ
の移動を可能にしている。

第２乾燥室２ｂには、第１乾燥室２ａと同様の数個のガ
イドロール３０及び加熱機構（図示されていない）が内
蔵されており、かつ、シート状物送入口２ｅとシート状
物送出口２ｒを有している。

ガイドロールの個数に格別の限定はなく、又、加熱機構
も、赤外ランプ方式、抵抗加熱方式の何れ方式であって
も良い。化学処理剤が充分に乾燥し、所望の化学処理、
例えばグラフト反応を完遂するように化学方式およびロ
ールの個数を選択することが望ましい、化学処理室７と
第２乾燥室２ｂとの間には、第２．第３．第４シート状
物進行通路連結室と同様の第５シート状物進行通路１３
ｅが形成されている。この第２乾燥室２ｂの底部には車
輪１８がとりつけられ、その移動を可能にしている。

シート状物巻取室１ｂには、ガイドロール３０とシート
状物巻取機１ｄが内蔵されており、かつ、シート状物送
入口１ｆを有している。このシート状物送入口１ｒには
、それを気密に閉鎖し、かつ開口することのできる気密
開閉装置を収納した第８収納室１）ｈが具備されている
。また、シート状物巻取室１ｂの底部には車輪１８が取
りつけられていて、シート状物巻取室１ｂの移動を可能
にしている。

第２乾燥室２ｂとシート状物巻取室ｌｂの間には、第１
シート状物進行通路連結室と同様の第６シート状物進行
通路１３ｆが形成されている。

気密開閉袋π収納室１）　ａ　−１）ｈの各々に収納さ
れている気密開閉装置の構造については、それに対応す
るシート状物送出口又は送入口を気密に閉鎖し、かつ、
開口することのできるものであれば格別の限定はないが
、その開閉操作が容易で、その機能が確実なものが好ま
しい。また、各収納室は、対応する送入口又は送出口が
開口しているとき、その内部が真空に保持されるように
、気密性を有するものである。

第２〜４図により、本発明に使用することのできる気密
開閉装置およびその収納室の一例を説明する。

例えば、第１乾燥室の気密開閉装置およびその収納室の
場合、そのシート状物送入口が形成されている側面側に
は、収納室１）ｂが、気密開閉装置収納室壁２４ａによ
って形成されており、収納室１）ｂの下端部は、第１お
よび第２半胴体１７ａ、　１７ｂにより形成されている
シート状物進行通路連結室１３ａに連通している。送入
口を取り囲む側面上には平滑な表面を有する弾性体（ゴ
ム又は弾性合成樹脂）パッキッグ２３が取りつけられて
いる。このパッキッグ２３に対向し収納室側面を形成す
る傾斜した案内傾斜面２４ｂが形成されており、パッキ
ッグ２３と、案内傾斜面２４ｂとの間に、上下に変位可
能なシール板２１ａが配置されている。案内傾斜面２４
ｂの、シール板２１ａに接する面には、表面平滑な、弾
性合成樹脂又はゴム製の弾性パッキッグ２４Ｃが貼着さ
れている。シール板２１ａは、シール状物の送入口より
は大きな巾を有し、パッキッグ２３に接する垂直面２１
ｂと案内傾斜面２４ｂに接する傾斜面２ＩＣとを有して
いる。シール板２１ａはその支持棒２２により上下に変
位可能である。

シール板２１ａの下端には、弾性合成樹脂又はゴム製の
先端パッキッグ２１ｄが取りつけられている。

また支持棒２２は収納室ｔｔｂを貫いてその外部に伸び
出ている。支持棒２２はパッキッグ２０ｃ。

１トめ具２０ａ、金具２０ｂによって気密にかつ、上下
に変位可能に収納室１）ｂにとりつけられている。

第３．４図において、シール板２１ａを支持棒２２によ
り上方に引き上げ、例えば第１図に示されているような
係止装置２７ｂにより第１乾燥室側面に係止（フック係
止、或はねじ係止など）しておけば、シート状物送入口
が開口し、シート状物は、その進行通路に沿って、送入
口を通過することができる。

支持棒２２の係止装置を外し、シール板垂直面２１ｂを
パッキッグ２３に沿わせながらシール板２１ａを下降さ
せると、その先端パッキッグ２１ｄが第１シート状物進
行通路連結室１３ａの床（底）面に達して密着し、かつ
、その傾斜面２１Ｃは、案内傾斜面２４ｂのパッキッグ
２４Ｃに達して密着し、この位置において、シール板２
１ａは、案内傾斜面２４ｂにより支持される。このとき
、シール状物送入口２４ｂは、シール板２１ａにより気
密に閉鎖される。

本発明装置によりシート状物にプラズマ処理および化学
処理、例えばグラフト処理を連続的に施す工程は、下記
のようにして行われる。

シート状物送出室１ａのシート状物送出機１ｃにシート
状物１９を装着し、その先端に導出入シートを連結し、
その先端部を、開口している半胴体１７ａを通して大気
内に出し、次に気密開閉装置１）ａを閉じる。すると、
シール板２１ａはその先端パッキッグが導出入シートを
、床面に圧着しながら、シート状物送入口を気密閉鎖す
る。

シート状物巻取室１ｂのシート状物巻取機１ｄに導出入
シートの一端部を装着し、他端部を半胴体１７ｅを通し
て大気中に出した状態で、気密開閉装置１）ｈを気密閉
鎖する。

シート状物進行通路連結室１３ａ−１３６を介してシー
ト状物送出室１ａおよび巻取室１ｂに連結された第１乾
燥室２ａ、プラズマ処理室３、差圧調整室６、化学処理
室７、第２乾燥室２ｂには、第１図に示すようにシート
状物進行通路に沿って導出入シートを配置し、その画先
端を、開口している半胴体１７ｂ及び半胴体１７ｋから
、外に出した状態で気密開閉袋Ｗ　（ｌｌｂ、ＩＩＣ，
ｌｌｄ、ｌｉｅ。

１）ｆ、ｌ１ｇ）及びシールロール（１４ａ、１４ｂ。

１４Ｃ，１４ｄ）を気密閉鎖する。

シート状物送出室１ａ、シート状物巻取室１ｂ、連結さ
れた各室及びシート状物進行通路連結室を、排気管（１
２ａ　、　１２ｃ、　〜１２に、　１２ｍ）を介して真
空ポンプ（図示されていない）により排気し所定の真空
度にする。

次に大気中に出ている導出入シートのそれぞれの先端を
連結（縫合）し、シート状物送出室１ａを第１乾燥室２
ａに、および第２乾燥室２ｂをシート状物巻取室１ｂに
、それぞれ、半胴体１７ａを１７ｂに、また、１７ｋを
１７／に連結して、それぞれシート状物進行通路連結室
を形成することにより連結する。この連結操作と、前記
排気操作は並行して行われてもよい。

次に半胴体１７ａと１７ｂまた、１７にと１）を連結し
て形成されたシート状物進行通路連結室１３ａおよび１
３１内を排気する。或は、上記連結操作を行った後、各
連結室の排気操作を行ってもよい。

各室内の気圧が所定真空度に達したならば、各気密開閉
装置により各送入口又は送出口を開き、第１及び第２乾
燥室２ａ、　　２ｂ内を所定の乾燥温度になるよう、加
熱し、又、化学処理室１７の化学処理槽に、化学処理剤
導入管１６を施し、化学処理剤を４人し、絞りロール８
を閉じる。

プラズマ処理室内には、不活性ガス供給源（図示されて
いない）から不活性ガス導入管１５を通して、不活性ガ
スをプラズマ処理室に導入し、シート状物送出ａｌｃお
よび巻取機１ｄを駆動し、陰電極４，５の間に電圧を印
加してプラズマを発生させ、シート状物１９を進行させ
ながら、これにプラズマ処理を施し、続いて、化学処理
室にて所望の化学処理を施す。

シート状物１９のプラズマ処理が完了したならば、前述
のように、導出入シートを各室に残したまま、装置の運
転を停止トし、気密開閉装置（ｌｌａ。

１）ｈを除く）により、各室を気密に閉鎖する。その後
、シート状物送出室１ａ及び、シート状物巻取室１ｂに
大気を導入し処理されたシート状物を取り出して、１０
ツト（バッチ）のプラズマ処理および化学処理を完了す
る。

バッチ切換の間、密閉された各処理室を大気から隔離し
たまま所望の状態に保持することができる。

〔効　果〕

本発明装置によりパンチ切換操作が容易になり、それに
要する時間も大巾に短縮され、且つ、均一な化学処理、
例えばグラフト処理を連続して行うことが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のプラズマ処理および化学処理連続装
置の一実施態様の断面説明図であり、第２図は、本発明
の装置に用いられる密閉開閉装置の一例の部分切欠正面
説明図であり、第３図は、第２図に示された密閉開閉装
置の開口位置を示す側断面説明図であり、 第４図は、第２および３図に示された密閉開閉装置の気
密閉鎖位置を示す側断面説明図である。 ｌａ・・・シート状物送出室、 Ｉｂ・・・シート状物巻取室、 ＩＣ・・・シート状物送出機、 ｌｄ・・・シート状物巻取機、 ｌｅ、　２ｄ、　３ｂ、　６ｂ、　７ｂ、　２ｆ−シー
ト状物送出口、ｌｆ、　２ｃ、　３ａ、　６ａ、　７ａ
、　２ｅ・・・シート状物送入口、２ａ・・・第１乾燥
室、 ２ｂ・・・第２乾燥室、 ３・・・プラズマ処理室、 ４・・・陽電極、　　　　　５・・・陰電極、６・・・
差圧調整室、 ７・・・化学処理室、 ８・・・絞りロール、 ９・・・化学処理剤、 １０・・・化学処理槽、 １）３〜ｌｌｂ・・・気密開閉装置収納室、１２ａ〜１
２ｍ・・・排気管、 １３ａ　−１３ｒ　一連結室、 １４　ａ　〜１４　ｄ　・”シールロール、１５・・・
ガス導入管、 １６・・・化学処理剤導入管、 １７　ａ　〜１７　！！　・−・半胴体、１８・・・車
輪、 １９・・・シート状物、 ２０ａ・・・１トめ具、　　　　　２０ｂ・・・金具、
２０ｃ・・・パッキッグ、　　　２１ａ・・・シール板
、２１ｂ・・・垂直面、　　　　　２１Ｃ・・・傾斜面
、２１ｄ・・・先端パッキッグ、　２２・・・支持棒、
２３・・・パ・ンキッグ、 ２４ａ・・・気密開閉装置収納室壁、 ２４ｂ、　２４Ｃ・・・パッキッグ、 ２５・・・シート状物走行位置、２６・・・パッキッグ
、２７ａ〜２７ｈ・・・係止装置、　３０・・・ガイド
ロール。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、１個の回転可能なドラム状陰電極と、その周面に対
   向して配置された複数個の陽電極とからなるプラズマ発
   生装置を内蔵し、かつ、不活性ガス導入口と、シート状
   物送入口と、シート状物送出口とを有し、更に、前記シ
   ート状物送入口および送出口のそれぞれに大気を気密に
   遮断するシールロールを具備しているプラズマ処理室と
   、前記、プラズマ処理室の下流に配置され、化学処理槽
   と絞りロールとを内蔵し、かつ、化学処理剤導入口と、
   シート状物送入口とシート状物送出口とを有し、更に、
   前記シート状物送入口及び送出口のそれぞれに大気を気
   密に遮断するシールロールを具備している化学処理室と
   、 前記プラズマ処理室と、化学処理室の中間に配置され、
   シート状物送入口とシート状物送出口とを有し、かつ、
   前記シート状物送入口と送出口のそれぞれを気密に開閉
   する気密開閉装置と、この気密開閉装置を収納する収納
   室とを具備している圧調整室と、 前記プラズマ処理室の上流に配置され、シート状物送入
   口とシート状物送出口とを有し、かつ、前記シート状物
   送入口と送出口のそれぞれを気密に開閉する気密開閉装
   置と、この気密開閉装置を収納する収納室とを具備して
   いる第１乾燥室と、前記グラフト処理室の下流に配置さ
   れ、シート状物送入口と、シート状物送出口とを有し、
   かつ、前記シート状物送入口と送出口のそれぞれを気密
   に開閉する気密開閉装置と、この気密開閉装置を収納す
   る収納室とを具備している第２乾燥室と、前記第１乾燥
   室の上流に配置され、シート状物送出機を内蔵し、かつ
   シート状物送出口を有し、更に、前記シート状物送出口
   を気密に開閉する気密開閉装置と、この気密開閉装置を
   収納する収納室とを具備するシート状物送出室と、 前記第２乾燥室の下流に配置され、シート状物巻取機を
   内蔵し、かつ、シート状物送入口を有し、更に、前記シ
   ート状物送入口を気密に開閉する気密開閉装置と、この
   気密開閉装置を収納する収納室とを具備するシート状物
   巻取室と、 前記各室に連通しているガス排出装置と、 を有し、前記各室の間には、前室のシート状物送出口と
   、後室のシート状物送入口とを気密に包囲し、前室と後
   室とを着脱自在に、かつ気密に連結するシート状物進行
   通路連結室が形成されていることを特徴とするシート状
   物のプラズマ処理および化学処理連続装置。 ２、前記シート状物進行通路連結室が、（１）前室のシ
   ート状物送出口を包囲して伸び出し、シート状物送出口
   に配置されている気密開閉装置収納室の下端部に連通し
   ている半胴体、或いは、シート状物送出口に配置されて
   いるシールロールを包囲して器壁に連通している半胴体
   と、（２）後室のシート状物送入口を包囲して伸び出し
   、シート状物送入口に配置されている気密開閉装置収納
   室の下端部に連通している半胴体、或いは、シート状物
   送入口に配置されているシールロールを包囲して器壁に
   連通している半胴体と、が、それらの先端面において着
   脱自在に、かつ気密に連結されている特許請求の範囲第
   １項記載の装置。 ３、前記ガス排出装置が、シート状物送出室、第１乾燥
   室、プラズマ処理室、差圧調整室、化学処理室、第２乾
   燥室、シート状物巻取室及び、各シート状物進行通路連
   結室の各々に独立に連結された排気ポンプからなる、特
   許請求の範囲第１項記載の装置。 ４、前記気密開閉装置が、それぞれ、その収納室内にお
   いて各開口部周囲の壁面に沿って上下に変位し得るシー
   ル板と、このシール板を当該開口部を気密に閉鎖する位
   置に案内し、かつ、その位置に保持し並びに、当該開口
   部を開口する位置に案内するための案内傾斜板と、前記
   シール板から、収納室外に上向きに伸び出ているシール
   板支持棒と、この支持棒を、上下変位可能にかつ気密に
   収納室に保持するパッキッグ機構を有する特許請求の範
   囲第１項記載の装置。