JPS62258207A - 複合流体圧シリンダ装置 - Google Patents

複合流体圧シリンダ装置

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JPS62258207A
JPS62258207A JP61100600A JP10060086A JPS62258207A JP S62258207 A JPS62258207 A JP S62258207A JP 61100600 A JP61100600 A JP 61100600A JP 10060086 A JP10060086 A JP 10060086A JP S62258207 A JPS62258207 A JP S62258207A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 1産業上の利用分野1 本9.1jJは空気圧シリンダと油圧シリンダとが組み
合わされた複合流体圧シリンダ装置に関する。
r従来の技術1 一般に、各種の移動体を機械的に作動させるとき、空気
圧シリンダ機構、油圧シリンダ機構等による移動制御シ
ステムが採用されており、その移動体停止時の緩衝手段
としても、上記各シリンダ機構が用いられているが、こ
れらには、以下に述べる一長一短がある。
例えば、空気圧シリンダ機構による移動制御システムの
場谷、圧力媒体がエアであるから、−二アシリンダ、切
換弁等を主体にして、制御系を含めた装置全体が安価に
構成できるが、上記圧力媒体が圧縮性流体であるため、
移動体停止時の応答性が悪く、信頼性に欠ける。
これに対処すべく、ピストンロッドに機械的なブレーキ
手段を設けているが、かかるブレーキ手段をしても、ス
トローク中間位置での停止に際して、実効制動状態に至
るまでの間にピストンロッドが移動し、移動体が目標停
止位置からオーバランするため、その位置決め精度が悪
い。
他にも、上記機械的ブレーキ手段は、一般的に保持力が
大きくないとか、信頼性に欠ける難点があり、長期にわ
たる繰り返し使用により、制動部が庁耗して制動特性そ
のものが劣化する。
一方、油圧シリンダ機構による移動体制御システムの場
合、その圧力媒体(オイル)が非圧縮性流体であり、シ
リンダ内への高圧油の給送を停止したとき、直ちにピス
トン等の動きが止まるので位置決め性情がよく、その非
圧縮性圧力媒体により大きな出力、保持力が得られるが
、通常、油圧ユニットは高価かつ大型化するため、低源
な設備費、省スペースを満足させるのが困難である。
上述した各シリンダ機構の問題点を解決する新たな提案
として、二組のシリンダユニットをタンデムあるいはパ
ラレルに配置して組み合わせ、その一部を空気圧による
移動体駆動用、その他部を油圧による移動体制動用とし
、当該油圧系統の通油路に設けられたストップバルブに
より、移動体の位置決め制御を行なうようにしたものが
ある。
かかる提案例のものは、空気圧系統により移動体を移動
させ、油圧系統により移動体を停止させるので、装置全
体を油圧系統で構成する場合と比べ設備が安価となり、
移動体の位で決め精度も油圧制御により高められるとと
もに、その移動体の制御構成として、油圧系統の通油路
のスト−、ブバルブを設け、これを開閉するだけでよい
ので、この点からも経済性、操作性を満足させる。
r発明が解決しようとする問題点J しかし、上記提案例の場合、相互に独ケした複数のシリ
ンダニニー、トをタンデムあるいはパラレルに配置して
これらを組み合わせたものであるため、長子方向あるい
は幅方向の寸法が、複数のシリンダユニットにより大き
くなり、したがって、装置をコンパクトに構成し、小型
化する点で改善の余地が残される。
その他、移動体停止時の緩衝手段に兼用できるTib性
がない。
本発明は上記の問題点に鑑み、移動体制御システム用と
して、高度の位置決め精度、大きな保持力、装置の経済
性と小型化などを満足させることができ、移動体停止時
の緩衝手段にも適用することのできる複合流体圧シリン
ダ装置を提供しようとするものである。
1問題点を解決するための手段1 本発明に係る複合流体圧シリンダ装置は、所期の目的を
達成するため、空気圧シリンダ機構と、制動用の油圧シ
リンダ機構とが同心状に組み合わされ、油圧シリンダ機
構の前室と後室とが通油路を介して相互にiJ!通され
、その通油路にオイルの流れを制御するための制御弁部
が設けられていることを特徴とする。
r実 施 例1 以下、本発明に係る複合流体圧シリンダ装置の実施例に
つき、図面を参照して説明する。
第1図は本発明に係る複合流体圧シリンダ装置の第一実
施例として、移動体の移動制御システムに用いるものを
示したものである。
第1図において、lは内部シリンダ2をも兼ねる中空の
ピストンロッド、3はピストンロッドlの端部外周に設
けられたピストン、4は内部の軸心位置に中空ロッド5
を備えた外部シリンダである。
内部シリンダ2と中空ロッド5、ピストン3と外部シリ
ンダ4とは、それぞれ相互に密接嵌合して、摺動自在に
組み合わされている。
かかる組合構成において、内部シリンダ2は。
中空ロッド5との相対移動により容積変化するその内部
が油圧用の後室Gとなっている。
さらに外部シリンダ4は、ピストン3の移動により相対
的に容積変化する両シリンダ室のうち、その一方が油圧
用の前室7、その他方が空気圧室8となっているととも
に、上記油圧用の後室Bと前室7とが制御弁部9.オイ
ルチャンバlOを備えた通油路11を介して相互に連通
されている。
第1図の場合、通油路11は前述した中空ロッド5の中
空部12と、外部シリンダ4の筒壁に穿設された通路部
13と、これら中空部12、通路部13にわたる配管1
4a、14bとで構成され、これら配管14a。
14bには、例えば電磁ストップバルブからなる制御弁
部3が備えられているとともに、受圧板lOaとバネI
Qbとを内蔵した容植町変型のオイルチャンバ10も備
えられている。
−・方、前記空気圧室8には、圧縮機、調圧タンク、切
換弁、制御機等を備えた空気圧室8内)15が配管1B
を介して接続されている。
きらに外部シリンダ4の油圧用の前室7には。
ピストン3を有するピストンロッド1を復動させるため
の圧縮バネ17が内蔵されている。
なお、上記各部材の所定部には、気密性、液密性を保持
するためのシール部材18が装着されている。
第1図の実施例は単動型であり、内部シリンダ2をも兼
ねる中空のピストンロッド1が出力軸となるが、かかる
ピストン3付ドlは、直接または伝動手段を介して移動
体19に連結される。
移動体19は、各種の移動するものが対象となるが、そ
の−例として工作機械の移動テーブルをあげることかで
き、その他側としてセンサ用の走査台、物品の格納格出
合、41械的開閉装置の開閉部材などをあげることがで
きる。
第1図の実施例において移動体19を移動させるとき、
通油路11の制御弁部(ストップバルブ)3を開状態に
して油圧用の後室6および前室7を互いに連通させてお
き、しかる後、空気圧ユニット15を介してその配管1
8から空気圧室8内に高圧エアを供給する。
空気圧室8内に高圧エアを供給すると、ピストンロッド
1が外部シリンダ4内から出動し、その動きが移動体1
3へ伝達されるため、当該移動体19は所定の方向へ移
動する。
この際、ピストン3と外部シリンダ4との相対移動によ
り油圧用前室7内が容積減になると同時に、内部シリン
ダ2と中空ロッド5との相対移動により油圧用後室B内
が容積増になり、当該容積変化により、油圧用前室7内
のオイルが通油路11を介して油圧用後室B内へ流入す
る。
油圧用後室8、油圧用前室7とは、上記における容積変
化量が互いに笠しくなるよう設計されており、したがっ
て、油圧用前室7内から油圧用後室8内へのオイル流動
はトラブルなく行なわれるが、加工精度のバラツキによ
り油圧用後室B、油圧用前室7の容積変化量が不等とな
る場合、容積IIf変型のオイルチャンバlOがその不
等量を吸収すべく作動する。
つぎに、移動状態の移動体18を、有効ストローク内の
所望位置で停止させるとき、通油路11の制御弁部3を
閉状態に切り換えて、油圧用前室7゜油圧用後室8にわ
たるオイル流通性を遮断する。
こうした場合、油圧用前室7.油圧用後室6の各内部に
ある非圧縮性流体(オイル)の流動が止まるので、空気
圧室8内に高圧のエアを送りつづけたとしてもピストン
ロッドlは移動せず、したがって、−制御弁部3を閉止
したと同時、移動体13が停止し、かくて移動体13の
位置決め制御が行なえる。
なお、ピストン3付のピストンロッド1は、配管18を
切換弁により大気に開放したとき、圧縮バネ17を介し
て復動し、外部シリンダ4内へ没入する。
第1図の実施例では、以下に述べる各種の態様が採用で
きる。
例えば中空ロッド5は、中空ピストンと中空ピストンロ
ッドとが結合されたものでもよい。
制御弁部8は、ストップバルブと絞り弁とからなるもの
、あるいは絞り機能とストップ機能とを具備した単一弁
からなるものなど、適宜の弁により構成される。
油圧系統の配管14bは、同図点線、あるいは同図点線
二点鎖線のように設けられてもよい。
第4図点線にように、ピストン3をも貫通して配管14
bが設けられる場合、その配管14bにより貫通される
部分は、当該配管14bの摺動を可能にして気密、液密
に保持され、外部シリンダ4の通路部13は省略される
オイルチャンバ10も、通油路11に設けられるほか、
第2図のごとくピストン3と一体に形成されることがあ
る。
各シリンダの各室8.?、8については室7.8が油圧
用の前室、後室となり2室6が空気圧室となる態様でも
よく、この場合は室7.8にわたり制御弁部8、オイル
チャンバ10等を有する通油路11が接続され、空気圧
ユニッ)15の配管16が室6に接続される。
ピストンロッド1が固定される場合、外部シリンダ4が
出力側となる。
油圧用後室、油圧用前室に関して、これらは前述したよ
うに容積変化量が互いに等しくなるよう設計されること
があるが、その際の加工精度が高い場合、オイルチャン
バlOが省略されることがある。
本発明装置の第二実施例につき、第3図を参照して説明
する。
第3図に示す第二実施例は、移動体緩衝用の複合流体圧
シリンダ装置であり、その構成は前記第1図のものと基
本的に同じであるが、油圧用後室6と油圧用前室7とに
わたる通油路11の制御弁部9が絞り弁からなり、開放
室8aが通孔20を介して大気に開放され、圧縮バネ1
7が省略されている点が第1図のものと相違する。
しかも空気圧系統は開放室8aのみの無負荷型である。
第3図の第二実施例では、移動体19の停止位置に対応
して配置された当該装置のピストンロッドlを外部シリ
ンダ4外へ引き出しておき、移動体19がその停止位置
に到来したとき、当該移動体19をピストンロッド1に
押当させる。
この際、ピストンロッドlが移動体13により押動され
て外部シリンダ4内に没入し、内部シリンダ2と中空ロ
ッド5との相対移動により油圧用後室6内が容積減にな
ると同時に、ピストン3と外部シリンダ4との相対移動
により油圧用前室7内が容積増となるから、かかる容積
変化により油圧用前室7内のオイルが通油路11から油
圧用後室6内へ流入する。
しかもこの際1通油路11を通るオイルが絞り弁からな
る制御弁部3により流量制御され、油圧用前室7から油
圧用後室Bにわたるオイルの波通性が遅速化されるので
、ピストンロッドlの動作が緩慢となり、これに出接し
ている移動体19も減速される。
かくて移動体13は、移動状態から停止状態へ移行する
際の衝撃を緩和されながら停止する。
なお、第二実施例において、ピストンlを有するピスト
ンロッドlは、開放室8a内に前述した圧縮バネ17を
備えておくとか、あるいは開放室8a内に空気を吹きこ
むことにより、外部シリンダ4外へ突出させることがで
きる。
その他、第二実施例も、前記第一実施例で述べた各種の
態様が、可能な範囲内で採用できる。
つぎに、本発明複合流体圧シリンダ装置の第三実施例に
つき、第4図を参照して説明する。
第4図に示す本発明装置も、前記と同様、移動体の移動
制御システムに用いるものを示したものであるが、この
実施例の場合は複動型である。
第4図において、21は中空ロッド、22は第一シリン
ダ23をも兼ねる中空の第一ピストンロッド、24は第
一ピストンロッド22の一端に設けられた第一ピストン
、25は第ニジリンダ2Bをも兼ねる中空の第二ピスト
ンロッド、27は第三シリンダ28をも兼ねる中空の第
三ピストンロッド、29は第三ピストンロッド27の一
端に設けられた第二ピストン、30は第四シリンダであ
る。
これら各部材のうち、中空ロッド21、第二ピストンロ
ッド25、第四シリンダ30は、中空ロッド21が中心
部、第二ピストンロッド25がその外周部。
第四シリンダ30がさらにその外周部に位置する同心状
の相対配lk8いて相互に結合され、一体化されている
第一ピストンロッド22.第三ピストンロッド27も、
第一ピストンロッド22が内側、第三ピストンロッド2
7が外側となる同心状の相対配置において相互に結合さ
れ、一体化されている。
さらに、中空ロフト21と第一シリンダ23.第一ピス
トン24と第ニジリンダ2B、第ニジリンダ2Bと第三
シリンダ28、第二ピストン29と第四シリンダ30と
が、それぞれ相互に密接嵌合して摺動自在に組み合わさ
れている。
かかる組合構成において、第一シリュIグ23は。
中空ロッド21との相対移動により容積変化するその内
部が油圧用の後室31となっている。
第ニジリンダ26は、第一ピストン24との移動により
相対的に容積変化する両シリンダ室のうち、その一方が
油圧用の前室32.その他方が通孔33を介して大気に
開放された開放室34となっている。
第三シリンダ2日は、第二ピストンロッド25との相対
移動により容積変化するその内部が開放室35となって
おり、該開放室35が通孔3Bを介して大気と連通され
ている。
第四シリンダ30は、第二ピストン29との相対移動に
より容積変化する両シリンダ室のうち、その一方が空気
圧用の後室37.その他方が空気圧用の前室38となっ
ている。
油圧用後室31.前室32は、制御弁部39を備えた通
油路40を介して相互に連通されている。
第4図での通油路40は、前述した中空ロッド21の中
空部41と、第ニジリンダ2Bの筒壁に穿設された通路
部42と、これら中空部41、通路部42にわたる配管
43a、43bとで構成され、ソノ配管43a、43b
には、例えば電磁ストップバルブからなる制御弁部39
が備えられている。
空気圧用後室37、前室38には、圧縮機、調圧タンク
、切換弁、制御機等を備えた空気圧ユニット44が配管
45a、45bを介して接続されている。
第4図において、シール部材18、移動体19は前記と
同じである。
第4図の実施例において移動体19を移動させるとき、
通油路40の制御弁部(ストップバルブ)39を開状態
にして油圧用後室31、油圧用前室32を互いに連通さ
せておき、しかる後、空気圧ユニット44を介してその
配管45aがら空気圧用後室37内に高圧エアを供給す
る。
空気圧用後室37内に高圧エアを供給すると、この際の
圧力を受けた第二ピストン29を介して第三ピストンロ
ッド27が第四シリンダ30内から出動するとともに、
第三ピストンロッド27に連結されている第一ピストン
ロッド22も第ニジリンダ2B内から出動し、これらの
動きが移動体19へ伝達されるため、当該移動体19は
所定の方向へ移動する。
この際、油圧用前室32内が容積減になると同時に、油
圧用後室31内が容植増となるため、前記と同様、油圧
用前室32内のオイルが通油路40を介し、て油圧用後
室31内へ流入する。
つぎに、移動状態の移動体18を、有効ストローク内の
所望位置で停止させるとき1通油路40の制御弁部39
を閉状態に切り換えて、油圧用後室31、油圧用前室3
2にわたるオイル流通性を遮断するのであり、かかるオ
イル遮断により当該両室31.32の各内部にある非圧
縮性流体(オイル)の流動が止まるので、前記と同様、
各ピストンロッドは移動せず、したがって、制御弁部3
8を閉出したと同時、移動体19が停止する。
上記の逆方向へ移動体19を移動させるとき、空気圧用
前室3日内に高圧エアを供給して各ピストンロッドを所
定のシリンダ内に没入させればよく、この場合も、通油
路40の制御弁部39を閉状態に切り換えて、油圧用後
室31.油圧用前室32にわたるオイル流通性を遮断す
ることにより、移動体19を所定位置で停止させること
ができる。
つぎに、第4図の実施例における池の実施態様について
説明する。
第4図では、各シリンダ内から各ピストンロッドが出動
する際に容積減少するシリンダ室すなわち前室と、各ピ
ストンロッドが各シリンダ内に没入する際に容積減少す
るシリンダ室すなわち後室とが、それぞれ複数生じるが
、油圧用後室と油圧用前室、空気圧用後室と空気圧用前
室等は、これら複数の後室、前室における任意−組のも
のが採用できる。
すなわち、任意−組の後室、前室が油圧用となり、他の
任意−組の後室、前室が空気圧用となる態様において、
油圧用後室と油圧用前室には油圧系統の配管が接続され
、空気圧用後室と空気圧用前室には空気圧系統の配管が
接続され、残部の後室および前室は大気と連通される。
この際の油圧用後室、油圧用前室に関して、これらは既
述の容積変化量が互いに等しくなるように設計されるの
が望ましいが、その容積変化量が等しくない場合は、通
油路に前記オイルチャンバが設けられ、あるいは油圧用
ピストンに第2図のごときオイルチャンバが設けられる
制御弁部39についても、既述のごとくストップバルブ
と絞り弁とからなるもの、あるいは絞り機部とストップ
機能とを具備した単一弁からなるものなど、適宜の弁に
より構成される。
油圧系統の配管43bは、第4図二点鎖線のように設け
られてもよく、この場合は第ニジリンダ2Bの筒壁に穿
設された通路部42が省略される。
もちろん、各ピストンロッドが固定される場合は、各シ
リンダ等が出力側となる。
つぎに1本発明複合流体圧シリンダ装置の第四実施例を
第5図により説明するが、この実施例の場合も、移動体
の移動制御システムに用いるものであり、その基本的構
成も前記第4図の複動型とほぼ同じである。
したがって、第5図の実施例では、第4図のものとの相
違点を主体にして説明する。
第5図において、第ニジリンダ2Bは、第四シリンダ3
0のヘッドカバー、エンドカバーにわたって固着されて
いる。
第三ピストンロッド27aは、前記筒状のものとは異な
る複数本の棒材からなり、その第三ピストンロッド27
aと第一ピストンロッド22とが板状の連結共481例
えば図示のタイプレートを介して結合されている。
したがって、前述した第三シリンダ28、開放室35が
ない。
通油路40の配管43a、43bのうち、その一方の配
管43bは第5図実線あるいは二点lIA線にように設
けられ、その実線の場合、配管43bは通孔47に接続
される。
なお、第一ピストンローノド22の左端側に、油圧用後
室31と連通ずる通孔(図示せず)が穿設される場合、
上記配管43aはその通孔に接続される。
この場合、中空ロッド21はその中空部41のない通常
のロッドでよい。
その他、第1図〜第4図を参照して述べた13項が、第
5図の実施例において、可能な範囲内で採用できる。
第5図の実施例も、空気圧系統により移動体13を移動
させ、油圧系統により移動体18の位置決め制御を行な
うが、その作動状態は前記第4図の場合とほぼ同様であ
るので、説明を省略する。
r発明の効果J 以上説明した通り、本発明に係る複合流体圧シリンダ装
置は、空気圧シリンダ機構と、制動用の油圧シリンダ機
構とが同心状に組み合わされ、油圧シリンダ機構の前室
と後室とが通油路を介して相互に連通され、その通油路
にオイルの流れを制御するための制御弁部が設けられて
いるから、上記空気圧シリンダ機構として単動型、複動
型、無負荷型のいずれかを採用することにより、移動体
を移動させ、これを所望位置で停止させる制御システム
とか、あるいは移動体停止時の緩衝手段などに適用でき
、この際、油圧系統により粘度を高め得るとともに、空
気圧系統により装置の経済性を満足させることができ、
しかも、空気圧シリンダ機構、油圧シリンダ機構が同心
状に組み合わされていることにより、既成の複合型にみ
られる長大化1幅大化が回避され、装置が小型化できる
ようになる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置の第一実施例を示した断面 7図、
第2図は同実施例に油圧ピストンの他制を示した断面図
、第3図〜第5図は本発明装置の第二実施例ないし第四
実施例を示した断面図である。 10・−e令参番・・・・ピストンロッド2・・・・φ
・・・・・・・内部シリンダ3・・・・・・・・・・・
・ピストン 4・・・・・・・・・・・・外部シリンダ5・・・・・
・・・・・・・中空ロッド8・・・・・・・・・・・・
油圧用後室7・・・・・・・・・・・・油圧用前室8・
・・・・・・・・・・・空気圧室 8a・・・・・・・・・・・・開放室 9・・・・・・・・・・・・制御弁部 10・・・・・・・・・・・・オイルチャンバ11・・
・・・・・・・・・・通油路 12・・・・・・・・・・・・中空部 13・・・・・・・・・・・・通路部 14a、14b・・・・・・配管 15・・・・・・・・・・・・空気圧ユニット16・・
・・・・・・・・・・配管 17・・・・・・・・・・・・圧縮バネ18・・・・・
・・・・・・φシール部材13・・・・・・・・・・・
・通油部 20・・・・・・・・・・・・通孔 21・・・・・・・・・・・・中空ロッド22・・・・
・・・・・・・・第一ピストンロッド23・・・・・・
・・・・・・第一シリンダ24・・・・0・・・・・・
第一ピストン25・・・・・・・Φ・・・・第二ピスト
ンロッド2B・・・・・・・・・・・・第ニジリンダ2
7・・・・・・・・・・・・第三ピストンロッド27a
・・・・・・・・・・第三ピストンロッド28・・・・
・・・・・・・・第三シリンダ29・・・・・・・・・
・・・第二ピストン30・・・・・・・・・・・・第四
シリンダ31・・・・・・・・・・・・油圧用後室a2
・・・・・・・・・・・・油圧用前室33・・・・・・
・・・・・・通孔 34・・・・・・・・・・・・開放室 35・・・・・・・・・・・・開放室 38・・・・・・・・・・・・通孔 37・・・・・・・・・・・・空気圧用後室38・・・
・・・・・・・・・空気圧用前室3θ・・・・・・・・
・・・・制御弁部40・・・・・・・・・・・・通油路 41・・・・・・・・・・・・中空部 42・・・・・・・・・・・・通路部 43a、43b・・・・・・配管 44・・・・・・・・・・・・空気圧ユニット45・・
・・・・・・・・・・配管 46・・・・・・・・・・・・連結具 47・・・・・・・・・・・・通孔 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 手続補正書 昭和62年 4月 8日 2 発明の名称    複合流体圧シリンダ装置3 補
正をする者 事件との関係 特許出願人 菅原純雄 4代理人〒100 東京都千代田区有楽町1丁目6番6号小谷ビル5 補正
命令の日付(自発) 6 補正の対象 明細書のr特許請求の範囲」 r発明の詳細な説明Jの
各欄補正の内容 1)特許請求の範囲を別紙の通り補正します。 2)明細書第21頁5行゛目と6行目との間つぎの文を
加入します。 r前述した第1図、第3図、第4図などの実施例におい
て、外部シリンダ4の通路部13、第ニジリンダ2Bを
兼ねる第二ピストンロッド25の通路部42は、これら
外部シリンダ4、第二ピストンロッド25の筒壁が二重
壁構造からなるとき、その二重壁構造の内部空間を利用
して形成することができ、この場合、開口手段、配管手
段などを介して占該内部空間を所定部と連通させればよ
い、1特許請求の範囲 (1)空気圧シリンダ機構と、制動用の油圧シリンダ機
構とが同心状に組み合わされ、油圧シリンダ機構の前室
と後室とが通油路を介して相互に連通され、その通油路
にオイルの流れを制御するための制御弁部が設けられて
いることを特徴とする複合流体圧シリンダ装置。 (2)空気圧シリンダ機構が単動型、複動型、無負荷型
のいずれかからなる特許請求の範囲第1項記載の複合流
体圧シリンダ装置。 (3)制御弁部が絞り弁、ストップバルブの少なくとも
一つを備えている特許請求の範囲第1項記載の複合流体
圧シリンダ装置。 (4)通油路にオイルチャンバが設けられている特許請
求の範囲第1項記載の複合シリンダ装置。 (5)油圧系のピストンにオイルチャンバが設けられて
いる特許請求の範囲第1項記載の複合流体圧シリンダ装
置。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)空気圧シリンダ機構と、制動用の油圧シリンダ機
    構とが同心状に組み合わされ、油圧シリンダ機構の前室
    と後室とが通油路を介して相互に連通され、その通油路
    にオイルの流れを制御するための制御弁部が設けられて
    いることを特徴とする複合流体圧シリンダ装置。
  2. (2)空気圧シリンダ機構が単動型、複動型、無負荷型
    のいずれかからなる特許請求の範囲第1項記載の複合流
    体圧シリンダ装置。
  3. (3)制御弁部が絞り弁、ストップバルブの少なくとも
    一つを備えている特許請求の範囲第1項記載の複合シリ
    ンダ装置。
  4. (4)通油路にオイルチャンバが設けられている特許請
    求の範囲第1項記載の複合シリンダ装置。
  5. (5)油圧系のピストンにオイルチャンバが設けられて
    いる特許請求の範囲第1項記載の複合シリンダ装置。
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