JPS6225965B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6225965B2 JPS6225965B2 JP56066212A JP6621281A JPS6225965B2 JP S6225965 B2 JPS6225965 B2 JP S6225965B2 JP 56066212 A JP56066212 A JP 56066212A JP 6621281 A JP6621281 A JP 6621281A JP S6225965 B2 JPS6225965 B2 JP S6225965B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- measuring device
- length measuring
- guide surface
- precision
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0009—Guiding surfaces; Arrangements compensating for non-linearity there-of
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特許請求の範囲第１項の前提概念によ
る長さの精密測定装置に関する。
る長さの精密測定装置に関する。
走査装置の案内のため中空形材にガラスから成
る固いバンドが弾力性の接着剤によつて取り付け
られている縦長精密測定装置が公知である。（西
独国特許第2643304号公報）。
る固いバンドが弾力性の接着剤によつて取り付け
られている縦長精密測定装置が公知である。（西
独国特許第2643304号公報）。
さらにスケールが中間担体に取り付けられ、そ
の場合にこの中間坦体の１つの面が走査装置に対
する案内面を形成する、同種の測定装置が公知で
ある（西独国特許第2727769号公報）。
の場合にこの中間坦体の１つの面が走査装置に対
する案内面を形成する、同種の測定装置が公知で
ある（西独国特許第2727769号公報）。
これらの公知の測定装置の場合、構造が複雑で
あり、そして特に測定縦長が長い場合に調整に多
費用を要することが短所である。
あり、そして特に測定縦長が長い場合に調整に多
費用を要することが短所である。
本発明は、前記の短所を有せず、そして構造は
簡単であつて、走査装置の十分平らな、真直ぐで
摩耗の少い案内を可能にする長さの精密測定装置
を創造することを課題とする。
簡単であつて、走査装置の十分平らな、真直ぐで
摩耗の少い案内を可能にする長さの精密測定装置
を創造することを課題とする。
この課題は特許請求の範囲第１項の特徴部分に
示された特性によつて解決される。
示された特性によつて解決される。
本発明のその他の形成法は実施態様の中にあ
る。
る。
本発明の長所は、案内面が殆ど摩耗を受けず、
バンド材料として廉価に使用に供され、容易に取
り付け可能であり、そして場合によつては測定方
向に対し垂直に調節可能である点にある。その外
材料組合せが適当である場合走査装置と案内面と
の間の摩擦が減少される。バンドが弛く挿入され
ていることによつて担体とバンド材料との間の温
度に起因する応力も生じない。
バンド材料として廉価に使用に供され、容易に取
り付け可能であり、そして場合によつては測定方
向に対し垂直に調節可能である点にある。その外
材料組合せが適当である場合走査装置と案内面と
の間の摩擦が減少される。バンドが弛く挿入され
ていることによつて担体とバンド材料との間の温
度に起因する応力も生じない。
以下図面の実施例によつて本発明を詳述する。
第１図に表わされた測定装置は目盛Ｔを有する
スケールＭから成る。走査装置ＡはスケールＭの
目盛Ｔを光電的に走査する。スケールＭは弾力性
の中間層Ｚを経て中空形材Ｈの内面に取り付けら
れている。走査装置Ａによる目盛Ｔの正確な走査
を保証するため、走査装置Ａは案内面下に沿つて
案内される。案内面ＦMは直接スケールＭにあ
る。外の案内面ＦHは中空形材Ｈ内にある。中空
形材Ｈは溝ＮFを有し、溝の中には柔軟な帯鋼Ｓ
が弛く嵌入されている。中空形材Ｈの内側に向い
た、帯鋼Ｓの表面は走査装置Ａの案内面ＦHを形
成する。走査装置Ａに配置されたボールベアリン
グＫは図示されていないシユーと替えられる。場
合によつては摩擦を減少するプラスチツクによる
帯鋼のライニングが有利なことがある。
スケールＭから成る。走査装置ＡはスケールＭの
目盛Ｔを光電的に走査する。スケールＭは弾力性
の中間層Ｚを経て中空形材Ｈの内面に取り付けら
れている。走査装置Ａによる目盛Ｔの正確な走査
を保証するため、走査装置Ａは案内面下に沿つて
案内される。案内面ＦMは直接スケールＭにあ
る。外の案内面ＦHは中空形材Ｈ内にある。中空
形材Ｈは溝ＮFを有し、溝の中には柔軟な帯鋼Ｓ
が弛く嵌入されている。中空形材Ｈの内側に向い
た、帯鋼Ｓの表面は走査装置Ａの案内面ＦHを形
成する。走査装置Ａに配置されたボールベアリン
グＫは図示されていないシユーと替えられる。場
合によつては摩擦を減少するプラスチツクによる
帯鋼のライニングが有利なことがある。
パツキンワツシヤーDLによつて緊塞された縦
スロツトＬによつて、走査装置Ａに可動的に連結
されている伝動体は中空形材Ｈから導き出され
る。この措置は技術レベルにおいても十分取り扱
われていることであり、したがつて図示される必
要はないものと見られる。
スロツトＬによつて、走査装置Ａに可動的に連結
されている伝動体は中空形材Ｈから導き出され
る。この措置は技術レベルにおいても十分取り扱
われていることであり、したがつて図示される必
要はないものと見られる。
第２図に断面図によつて示された測定装置は第
１図の装置に相当している。平面図で認められる
如くボールベアリングＫは走査装置Ａを直接、目
盛Ｔの傍らのスケールＭに支持している。これと
異り側面図で認められるボールベアリングＫは溝
ＮF（第１図）の中に弛く嵌入されている帯鋼Ｓ
により形成される案内面ＦHの上をを行動する。
１図の装置に相当している。平面図で認められる
如くボールベアリングＫは走査装置Ａを直接、目
盛Ｔの傍らのスケールＭに支持している。これと
異り側面図で認められるボールベアリングＫは溝
ＮF（第１図）の中に弛く嵌入されている帯鋼Ｓ
により形成される案内面ＦHの上をを行動する。
第３図には長さの測定装置が第１図と第２図に
示されたのに類似して図形的に表わされている。
中空形材ＨはパツキンワツシヤーDLにより公知
の方法で緊塞された縦スロツトＬを有し、この縦
スロツトを通つて図示されていない伝動体が侵入
し、伝動体は走査装置Ａに可動的に連結されてい
る。この走査装置Ａは専ら案内面ＦHに沿つて案
内され、この案内面は柔軟な帯鋼Ｓから形成され
る。帯鋼Ｓは中空形材Ｈ内の溝ＮFの中に弛く挿
入されている。中空形材Ｈ内の別の溝ＮMはスケ
ールＭの収容のため備えられている。目盛Ｔを備
えている帯鋼は溝ＮMの中に弛く挿入され、そし
て固有の装置によつて終末点に固定されている。
示されたのに類似して図形的に表わされている。
中空形材ＨはパツキンワツシヤーDLにより公知
の方法で緊塞された縦スロツトＬを有し、この縦
スロツトを通つて図示されていない伝動体が侵入
し、伝動体は走査装置Ａに可動的に連結されてい
る。この走査装置Ａは専ら案内面ＦHに沿つて案
内され、この案内面は柔軟な帯鋼Ｓから形成され
る。帯鋼Ｓは中空形材Ｈ内の溝ＮFの中に弛く挿
入されている。中空形材Ｈ内の別の溝ＮMはスケ
ールＭの収容のため備えられている。目盛Ｔを備
えている帯鋼は溝ＮMの中に弛く挿入され、そし
て固有の装置によつて終末点に固定されている。
ベツドと往復台との間の相対運動が測定される
機械ではこれらはスケールと同様に鋼から成り、
この場合にはスケールは両端で機械に固定されて
いるが、機械もスケールも等しい熱膨張率を有す
るので、温度に起因する応力は生じない。中空形
材Ｈ内の溝ＮMの中のスケールＭの縦移動性のた
めに温度変化によつて誘発される強制力が測定さ
れる対象物からスケールＭに伝わることはない。
機械ではこれらはスケールと同様に鋼から成り、
この場合にはスケールは両端で機械に固定されて
いるが、機械もスケールも等しい熱膨張率を有す
るので、温度に起因する応力は生じない。中空形
材Ｈ内の溝ＮMの中のスケールＭの縦移動性のた
めに温度変化によつて誘発される強制力が測定さ
れる対象物からスケールＭに伝わることはない。
中空形材Ｈは射出成形された軽金属から製造さ
れるのが有利なことである。追加の溝も同一の工
具で同時に成形されるので、プレス工具のコスト
をさほど高めることにはならない。中空形材Ｈの
製造は標準長さにすることができる。
れるのが有利なことである。追加の溝も同一の工
具で同時に成形されるので、プレス工具のコスト
をさほど高めることにはならない。中空形材Ｈの
製造は標準長さにすることができる。
第４図に示された長さの測定装置は数個の中空
形材部分H1とH2から結合されており、そしてパ
ツキン要素Ｄによつて端面を相互緊塞されてい
る。個々の中空形材部分H1，H2は相互独立して
測定される対象物に取り付けられている（西独国
特許第2727769号公報）。その場合個々の中空形材
部分H1，H2の継ぎ目位置には間隙が生ずる。適
当した措置によつて走査装置とスケール担体と
を、中空形材部分H1，H2の継ぎ目において案内
誤差や測定誤差が生じないよう（西独国特許第
2706926号公報、西独国特許第2727769号公報）に
形成することができる。
形材部分H1とH2から結合されており、そしてパ
ツキン要素Ｄによつて端面を相互緊塞されてい
る。個々の中空形材部分H1，H2は相互独立して
測定される対象物に取り付けられている（西独国
特許第2727769号公報）。その場合個々の中空形材
部分H1，H2の継ぎ目位置には間隙が生ずる。適
当した措置によつて走査装置とスケール担体と
を、中空形材部分H1，H2の継ぎ目において案内
誤差や測定誤差が生じないよう（西独国特許第
2706926号公報、西独国特許第2727769号公報）に
形成することができる。
第４図の長さの測定装置によればスケールＭも
案内面ＦHも柔軟な帯鋼Ｓにより実現される。中
空形材部分H1，H2を測定される対象物に取り付
けた後、帯鋼は溝ＮMとＮFの中に最終的長さによ
つて引き込まれそして固定される。
案内面ＦHも柔軟な帯鋼Ｓにより実現される。中
空形材部分H1，H2を測定される対象物に取り付
けた後、帯鋼は溝ＮMとＮFの中に最終的長さによ
つて引き込まれそして固定される。
継ぎ目位置における間隙は貫通する帯鋼によつ
て橋渡しされる。すなわちスケールＭも案内面Ｆ
Hも貫通する表面を有するからである。目盛走査
と案内に関しては中空形材部分H1，H2の継ぎ目
において問題点は生じない。
て橋渡しされる。すなわちスケールＭも案内面Ｆ
Hも貫通する表面を有するからである。目盛走査
と案内に関しては中空形材部分H1，H2の継ぎ目
において問題点は生じない。
溝ＮFの適当な形成によつて、挿入された帯鋼
Ｓは測定方向に対し僅かだけ垂直に偏向される。
中空形材Ｈの中に作成されている調節要素Ｅは帯
鋼Ｓをその普通の状態から押圧し、それによつて
案内面ＦHは測定方向に対し垂直に調節される。
この措置は、スケールＭ上に目盛Ｔの傍らになお
追加のマークが備えられており、走査装置Ａはそ
の状態を前もつて確定されたこのマークの点に対
し整向されなければならない場合に有利である。
このマークは零インパルスマーキングであること
ができる。その外数個のかかる調節要素によつて
測定修正を実施することができる。
Ｓは測定方向に対し僅かだけ垂直に偏向される。
中空形材Ｈの中に作成されている調節要素Ｅは帯
鋼Ｓをその普通の状態から押圧し、それによつて
案内面ＦHは測定方向に対し垂直に調節される。
この措置は、スケールＭ上に目盛Ｔの傍らになお
追加のマークが備えられており、走査装置Ａはそ
の状態を前もつて確定されたこのマークの点に対
し整向されなければならない場合に有利である。
このマークは零インパルスマーキングであること
ができる。その外数個のかかる調節要素によつて
測定修正を実施することができる。
本発明を単に長さの光電的測定装置にのみなら
ず、例えば光学的、誘導的または容量的の長さ測
定装置にも使用することは専問家の能力の問題で
ある。
ず、例えば光学的、誘導的または容量的の長さ測
定装置にも使用することは専問家の能力の問題で
ある。
第１図は長さの測定装置の横断面図、第２図は
長さの測定装置の縦断面図、第３図は長さの測定
装置の他の実施例の横断面図、第４図は部分的に
表わされた走査装置を有する、第３図による長さ
の測定装置の縦断面図を示す。 Ｈ……スケール担体、H1，H2……スケール担
体部分、ＦH……案内面、Ｍ……スケール、Ｎ…
…溝、Ｌ……縦スロツト、Ｓ……帯鋼、Ｅ……調
節要素。
長さの測定装置の縦断面図、第３図は長さの測定
装置の他の実施例の横断面図、第４図は部分的に
表わされた走査装置を有する、第３図による長さ
の測定装置の縦断面図を示す。 Ｈ……スケール担体、H1，H2……スケール担
体部分、ＦH……案内面、Ｍ……スケール、Ｎ…
…溝、Ｌ……縦スロツト、Ｓ……帯鋼、Ｅ……調
節要素。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 相互相対的に可動的の２個の対象物の位置の
決定のための長さの精密測定装置にして、目盛を
有する１個のスケール、１個のスケール坦体およ
びスケールの目盛りを走査する１個の走査装置を
有しており、その場合走査装置はバンド状の案内
面に支持されている長さの精密測定装置におい
て、スケール坦体Ｈには少なくとも１個の案内面
ＦHが、スケール坦体Ｈの溝Ｎの中に弛く挿入さ
れている柔軟な金属帯Ｓにより形成されているこ
とを特徴とする長さの精密測定装置。 ２ スケール坦体Ｈは測定方向に縦スロツトを有
する中空形材であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項に記載の長さの精密測定装置。 ３ スケール坦体Ｈは数個の部分H1，H2から成
つていること、および少なくとも１個の案内面Ｆ
Hは１個の帯鋼Ｓにより形成されることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の長さの精密測
定装置。 ４ スケールＭおよび案内面ＦHも、スケール坦
体Ｈの溝Ｎの中に弛く挿入された帯鋼Ｓから成つ
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載の長さの精密測定装置。 ５ 案内面Ｆを形成する少なくとも１個の帯鋼Ｓ
は測定方向に対して僅かに垂直に偏向可能である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
長さの精密測定装置。 ６ 帯鋼Ｓは少なくとも１個の調節要素Ｅによつ
て偏向可能であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項に記載の長さの精密測定装置。 ７ 帯鋼Ｓはプラスチツクでライニングされてい
ること特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
長さの精密測定装置。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3016908A DE3016908C2 (de) | 1980-05-02 | 1980-05-02 | Präzisionslängenmeßeinrichtung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS573004A JPS573004A (en) | 1982-01-08 |
| JPS6225965B2 true JPS6225965B2 (ja) | 1987-06-05 |
Family
ID=6101488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6621281A Granted JPS573004A (en) | 1980-05-02 | 1981-05-02 | Precision measuring device for length |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4400880A (ja) |
| EP (1) | EP0040684B1 (ja) |
| JP (1) | JPS573004A (ja) |
| AT (1) | ATE3824T1 (ja) |
| DE (1) | DE3016908C2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4442607A (en) * | 1981-11-25 | 1984-04-17 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Measuring instrument |
| DE3224005A1 (de) * | 1982-06-26 | 1984-01-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
| DE3244616C2 (de) * | 1982-12-02 | 1986-06-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Vorrichtung zur Messung von Vorschubbewegungen |
| FR2551863B1 (fr) * | 1983-09-12 | 1986-10-31 | Bazenet Jean Pierre | Dispositif de mesure a capteur de deplacement independant |
| AT395070B (de) * | 1983-11-22 | 1992-09-10 | Emr Elektronische Mess Und Reg | Laengenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte laengenmesseinrichtung |
| AT379449B (de) * | 1984-07-03 | 1986-01-10 | R S F Elektronik Ohg Rechtsfor | Laengenmesseinrichtung |
| DE3841488A1 (de) * | 1988-12-09 | 1990-06-13 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmessgeraet mit einem oder mehreren fuehrungselementen aus aluminium |
| DE4021919C2 (de) * | 1990-07-10 | 1995-06-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Maßverkörperung |
| EP0836078B1 (de) * | 1996-10-11 | 2002-12-18 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Massstab einer Längenmesseinrichtung sowie Verfahren zur Anbringung eines Massstabs |
| DE19918654B4 (de) | 1999-04-16 | 2004-07-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Sicherungsvorrichtung für den Transport und die Montage einer Meßeinrichtung |
| ES2618855T3 (es) * | 2014-10-14 | 2017-06-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Dispositivo de medición de posición con dispositivo para la compensación de errores por dilatación térmica de una regla graduada |
| EP3264047B1 (de) | 2016-06-29 | 2018-08-22 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Montagevorrichtung und verfahren zum einziehen eines bandes in eine nut eines massstabträgers |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE441449C (de) * | 1925-10-28 | 1927-03-04 | Raboma Maschinenfabrik Hermann | Rund- und Schlittenfuehrung an Maschinen jedweder Art, insbesondere an Radialbohrmaschinen |
| CH225625A (de) * | 1941-12-20 | 1943-02-15 | Ley Emil | Verfahren zur Herstellung von Laufschienen zum Belegen von Führungsbahnen an Maschinen. |
| US2522695A (en) * | 1946-11-12 | 1950-09-19 | Gray & Co G A | Machine tool guide |
| US2798005A (en) * | 1951-10-19 | 1957-07-02 | Glacier Co Ltd | Porous metal bearing containing polytetrafluoroethylene and a solid lubricant |
| US2844416A (en) * | 1954-06-28 | 1958-07-22 | Coulter & Mckenzie Machine Co | Bearing means and method of making same |
| US3053580A (en) * | 1960-03-16 | 1962-09-11 | Bullard Co | Slide bearing |
| DE1199510B (de) * | 1960-12-30 | 1965-08-26 | Leitz Ernst Gmbh | Vorrichtung zur ziffernmaessigen Messwertanzeige an einer unbezifferten Messteilung |
| US3345747A (en) * | 1964-03-09 | 1967-10-10 | La Salle Machine Tool | Mechanical coordinating device |
| DE1477603B2 (de) * | 1964-09-18 | 1973-02-01 | Muller, Hellmut, Dipl Ing , 7300 Esshngen | Radialbohrmaschine |
| DE1548870A1 (de) * | 1966-09-10 | 1970-10-08 | Wenczler & Heidenhain | Schutzabdeckung fuer Laengenmesssysteme |
| AT296592B (de) * | 1970-07-31 | 1972-02-25 | Schelling & Co | Führungsbahn für relativ zueinander bewegte Maschinenteile |
| CH591641A5 (ja) * | 1975-11-26 | 1977-09-30 | Hydrel Ag | |
| DE2643304B2 (de) * | 1976-09-25 | 1980-01-31 | Fagor Electrotecnica, Sdad.Coop., Mondragon, Guipuzcoa (Spanien) | Photoelektrische Einrichtung zum Messen der relativen Lage von Gegenständen |
| DE2706926C2 (de) | 1977-02-18 | 1979-06-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| DE2727769C2 (de) * | 1977-06-21 | 1979-01-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Längenmeßeinrichtung für große Meßlängen |
| DE2735154C2 (de) * | 1977-08-04 | 1984-04-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßsystem |
-
1980
- 1980-05-02 DE DE3016908A patent/DE3016908C2/de not_active Expired
-
1981
- 1981-03-26 EP EP81102273A patent/EP0040684B1/de not_active Expired
- 1981-03-26 AT AT81102273T patent/ATE3824T1/de not_active IP Right Cessation
- 1981-04-23 US US06/256,971 patent/US4400880A/en not_active Expired - Lifetime
- 1981-05-02 JP JP6621281A patent/JPS573004A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS573004A (en) | 1982-01-08 |
| EP0040684B1 (de) | 1983-06-22 |
| EP0040684A1 (de) | 1981-12-02 |
| US4400880A (en) | 1983-08-30 |
| ATE3824T1 (de) | 1983-07-15 |
| DE3016908C2 (de) | 1982-04-15 |
| DE3016908A1 (de) | 1981-11-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4170829A (en) | Correction apparatus for longitudinal or angular measuring system | |
| GB1595859A (en) | Length-measuring devices | |
| US5979238A (en) | Strip-shaped resiliently flexible measuring tape for length--or angle-measuring devices | |
| GB1602891A (en) | Length-measuring devices with longitudinally displaceable scales | |
| JPS6255081B2 (ja) | ||
| US4584773A (en) | Linear measuring system | |
| US4492032A (en) | Coupling arrangement for length measuring device | |
| CS232704B2 (cs) | Zařízení k měření délek | |
| SE9500512D0 (sv) | Apparat för bestämning av krökningen för en lång-sträckt kanal såsom ett borrhål, exempelvis i berg | |
| US20060107545A1 (en) | Length measuring device | |
| US4400880A (en) | Precision measuring apparatus | |
| GB2079943A (en) | Displacement measuring instrument | |
| JPH0612255B2 (ja) | 直線型変位測定装置 | |
| US4152837A (en) | Length measuring device | |
| US11719558B2 (en) | Linear encoder with thermal stabilization functionality | |
| DE3882612D1 (de) | Inkrementale laengen- oder winkelmesseinrichtung. | |
| KR101928006B1 (ko) | 초음파 유량 센서용 지그 조립체 | |
| JP7828152B2 (ja) | 測長装置 | |
| US4951399A (en) | Position measuring device | |
| US20020108259A1 (en) | Rotary encoder | |
| US4489495A (en) | Arrangement for measuring two oppositely arranged rollerways of a continuous casting plant | |
| US4261106A (en) | Method of manufacturing a linear digital scale | |
| US3899255A (en) | Measuring device | |
| JPH0213810A (ja) | リニアエンコーダ | |
| EP0596535A3 (en) | High-resolution measuring method for linear and rotary positions |