JPS6226779A - 高電圧導入端子 - Google Patents
高電圧導入端子Info
- Publication number
- JPS6226779A JPS6226779A JP60166070A JP16607085A JPS6226779A JP S6226779 A JPS6226779 A JP S6226779A JP 60166070 A JP60166070 A JP 60166070A JP 16607085 A JP16607085 A JP 16607085A JP S6226779 A JPS6226779 A JP S6226779A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high voltage
- vacuum
- receptacle
- introduction terminal
- voltage introduction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Connector Housings Or Holding Contact Members (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Insulators (AREA)
- Installation Of Indoor Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はベークアウト（焼出し）の可能な、超高真空装
置用高電圧導入端子に関し、殊に超高真空を使用する荷
電ビーム装置等に用いて効果の著るしいものである。
置用高電圧導入端子に関し、殊に超高真空を使用する荷
電ビーム装置等に用いて効果の著るしいものである。
（従来技術とその問題点）
従来の真空装置用高電圧導入端子はすべて真空容器に対
し直接着脱される構造のものであり、第２図に例示する
ように、絶縁石３０に固着された電極３１の後端をケー
ブル３２の先端の裸出高圧線に接続し、その接続部分を
絶縁性の樹脂３４で固めたものをプラグヘッド３３、ケ
ーブルカバー３３とともに０リング５２を介して一体と
しくこされる）、それを例えば３８を支点とするヒンジ
それに取付けられた固定台３７）に圧接し固定させる構
造となっている。
し直接着脱される構造のものであり、第２図に例示する
ように、絶縁石３０に固着された電極３１の後端をケー
ブル３２の先端の裸出高圧線に接続し、その接続部分を
絶縁性の樹脂３４で固めたものをプラグヘッド３３、ケ
ーブルカバー３３とともに０リング５２を介して一体と
しくこされる）、それを例えば３８を支点とするヒンジ
それに取付けられた固定台３７）に圧接し固定させる構
造となっている。
従って、耐熱性の乏しいケーブル３２や絶縁樹脂３４が
真空容器３７と不可分に連結されているため、この従来
の高電圧導入端子を取付けた真空容器は百数十度Ｃ以上
の温度をかけてベークアウトすることが不可能であった
。しかるところ、半導体装置の高精細度化、高性能化に
伴って、これ塗で比較的低真空で使用されていた荷電ビ
ーム装置を超高真空（１０Ｐａ以上）で使用する技術が
不可欠のものとなり、その装置では２５０℃以上でベー
クアウトする必要があるため、従来の高電圧導入端子で
は対応できないことになった。
真空容器３７と不可分に連結されているため、この従来
の高電圧導入端子を取付けた真空容器は百数十度Ｃ以上
の温度をかけてベークアウトすることが不可能であった
。しかるところ、半導体装置の高精細度化、高性能化に
伴って、これ塗で比較的低真空で使用されていた荷電ビ
ーム装置を超高真空（１０Ｐａ以上）で使用する技術が
不可欠のものとなり、その装置では２５０℃以上でベー
クアウトする必要があるため、従来の高電圧導入端子で
は対応できないことになった。
この対応東として採用されたのが高電圧導入端子そのも
のに耐熱性を持たせることである。しかし、端子には電
源から高絶縁性の電線を延長して導入する必要があり、
これに耐熱性を持たせるためには、例えば電線を裸巌に
してセラミックの碍管等を使って引き廻すことになる。
のに耐熱性を持たせることである。しかし、端子には電
源から高絶縁性の電線を延長して導入する必要があり、
これに耐熱性を持たせるためには、例えば電線を裸巌に
してセラミックの碍管等を使って引き廻すことになる。
これは徒らに装置周辺を煩雑なものにし、かつ高価につ
いている。そのためこの問題の解決が急務となって来た
。
いている。そのためこの問題の解決が急務となって来た
。
（発明の目的）
本発明は、ベークアウトが可能な超高真空用高電圧導入
端子の提供を目的とする。
端子の提供を目的とする。
（発明の構成）
本発明は、高電圧導入端子を耐熱性レセプタクルとプラ
グとの着脱可能な二体構造で構成し、該レセプタクルを
真空装置の真空容器に気密に固定するとともに、該レセ
プタクルとプラグの接続部には真空シール材を使用して
密閉された気密空間を設けて、この気密空間を真空排気
しかつＳＦ６等の絶縁ガスを充填しうる構造にすること
によって、前記目的を達成したものである。
グとの着脱可能な二体構造で構成し、該レセプタクルを
真空装置の真空容器に気密に固定するとともに、該レセ
プタクルとプラグの接続部には真空シール材を使用して
密閉された気密空間を設けて、この気密空間を真空排気
しかつＳＦ６等の絶縁ガスを充填しうる構造にすること
によって、前記目的を達成したものである。
（実施例）
以下、本発明を実施例により、図に基いて説明する。第
１図は本発明の実施例の断面図を示し、耐熱性レセプタ
クル１０は、セラミックス（Ａｌ２０３）製の絶縁石よ
りなるレセプタクル本体１２と、その外周１４に対し気
密に銀ロー付けされた超高真空用のステンレス製フラン
ジ１６と、レセプタクル本体１２の内部の貫通孔１８の
内周２０に対しコバール２２牽介して気密に銀ロー付け
された銅製の高圧導入電極２４とよりなっている。高圧
導入電極２４の他端（大気側）は接続ビン２６となって
いる。７ランジ１６は銅ガスケット１７を用いて真空容
器３７に対しボルト１５で気密に固定される。
１図は本発明の実施例の断面図を示し、耐熱性レセプタ
クル１０は、セラミックス（Ａｌ２０３）製の絶縁石よ
りなるレセプタクル本体１２と、その外周１４に対し気
密に銀ロー付けされた超高真空用のステンレス製フラン
ジ１６と、レセプタクル本体１２の内部の貫通孔１８の
内周２０に対しコバール２２牽介して気密に銀ロー付け
された銅製の高圧導入電極２４とよりなっている。高圧
導入電極２４の他端（大気側）は接続ビン２６となって
いる。７ランジ１６は銅ガスケット１７を用いて真空容
器３７に対しボルト１５で気密に固定される。
従ってこのレセプタクル１０は、銅、ステンレス、銀ロ
ー、セラミックスよりなり、少くとも４５０℃以上の耐
熱性をもち、これを取付けたま−で真空容器３７をベー
クアウトすることができる。
ー、セラミックスよりなり、少くとも４５０℃以上の耐
熱性をもち、これを取付けたま−で真空容器３７をベー
クアウトすることができる。
他方、このレセプタクル１０に接続されるブラいるビン
受け４４を絶縁石４２内に高絶縁性合波樹脂４５で固め
、それを０１Ｊ ７グ５２を介して金属製プラグヘッド
４６．ケーブルカバー４６″とともに一体に結合したも
ので構成されている。そしてプラグヘッド４６には０リ
ング５１がそのリング状間隙内に収容されている。
受け４４を絶縁石４２内に高絶縁性合波樹脂４５で固め
、それを０１Ｊ ７グ５２を介して金属製プラグヘッド
４６．ケーブルカバー４６″とともに一体に結合したも
ので構成されている。そしてプラグヘッド４６には０リ
ング５１がそのリング状間隙内に収容されている。
第１図は、前記レセプタクルｌＯとこのプラグ４０とが
ボルト４８で締付けられて接続状態にある図であり、前
者の接続ピン２６は後者のピン受け４４に弾力的に挿入
され両者は電気的に一体化されているが、このときその
接続部分には０１Ｊング５１，５２でシールされた気密
空間５ｏが設けられる。この気密空間５０はプラグ痴轟
→４６に固 苦役されたパイプ５５を経由して図示しない二つのパル
プに接続されており、パルプの一方はＸ空ポンプに通じ
、他方は絶縁ガスボンベに通じている。
ボルト４８で締付けられて接続状態にある図であり、前
者の接続ピン２６は後者のピン受け４４に弾力的に挿入
され両者は電気的に一体化されているが、このときその
接続部分には０１Ｊング５１，５２でシールされた気密
空間５ｏが設けられる。この気密空間５０はプラグ痴轟
→４６に固 苦役されたパイプ５５を経由して図示しない二つのパル
プに接続されており、パルプの一方はＸ空ポンプに通じ
、他方は絶縁ガスボンベに通じている。
さて、上記した高電圧導入端子は次のように使用される
。先づ真空容器３７にレセプタクル１０だけを固定した
状態で所定温度、所定時間のベークアウトが行なわれ、
その後自然放冷される。温度が７０℃以下に低下すると
レセプタクル１０にプラグ４０が挿入され接続して固定
される。次いで、気密空間５０内の空気がパルプの一つ
を通して図示しない真空ポンプで所定圧力にまで排気さ
れ、そのパルプは閉じられ、その後もう一つのパルプを
通してＣＯ２，８Ｆ６などの絶縁ガスが導入され、この
パルプもまた閉じられる。高電圧の通電はこのあとはじ
めて行なわれ、所定の超高真空処理作業が開始される。
。先づ真空容器３７にレセプタクル１０だけを固定した
状態で所定温度、所定時間のベークアウトが行なわれ、
その後自然放冷される。温度が７０℃以下に低下すると
レセプタクル１０にプラグ４０が挿入され接続して固定
される。次いで、気密空間５０内の空気がパルプの一つ
を通して図示しない真空ポンプで所定圧力にまで排気さ
れ、そのパルプは閉じられ、その後もう一つのパルプを
通してＣＯ２，８Ｆ６などの絶縁ガスが導入され、この
パルプもまた閉じられる。高電圧の通電はこのあとはじ
めて行なわれ、所定の超高真空処理作業が開始される。
絶縁ガスは装置の小型化に不可欠である。絶縁ガスを使
用しないときは、所定の絶縁耐圧を得るに必要な、絶縁
石１２の縁面距離は極めて長大モおるため、本発明の二
体構造の高電圧導入端子は余りに大型となる。
用しないときは、所定の絶縁耐圧を得るに必要な、絶縁
石１２の縁面距離は極めて長大モおるため、本発明の二
体構造の高電圧導入端子は余りに大型となる。
従来の高電圧導入端子と同程度の大きさの、上記実九例
の高電圧導入端子で、絶縁ガスとしてＳ Ｆ６を用いる
場合、絶縁ガスの光填圧力を３気圧にすることによって
１００ ＫＶの耐電圧を得ることができた。尤も、使用
する電圧がさ程高くないときには、気密空間５０内は真
空排気するだけ、もしくは大気圧の乾燥空気の封入、な
どでも作業は充分に行ないうる。刺入するガスの也類比
力はその時々の条件によって自由に選定できるものであ
る。
の高電圧導入端子で、絶縁ガスとしてＳ Ｆ６を用いる
場合、絶縁ガスの光填圧力を３気圧にすることによって
１００ ＫＶの耐電圧を得ることができた。尤も、使用
する電圧がさ程高くないときには、気密空間５０内は真
空排気するだけ、もしくは大気圧の乾燥空気の封入、な
どでも作業は充分に行ないうる。刺入するガスの也類比
力はその時々の条件によって自由に選定できるものであ
る。
二体構造にした利益は、プラグ４０１４１にも生ずる。
プラグ４０を真空内に入れる必要がなくなったため、そ
の構成材料の選択には温度や真壁への配慮が不要となり
選択の自由度が大いに増したことである。絶縁性の良い
、かつシール材との密着性の良い、そして成型性の良い
樹脂材料を自由に選ぶことができる。
の構成材料の選択には温度や真壁への配慮が不要となり
選択の自由度が大いに増したことである。絶縁性の良い
、かつシール材との密着性の良い、そして成型性の良い
樹脂材料を自由に選ぶことができる。
なお、実ゐ例には電極か単一の場合をか＼げたが、電極
が複数ある高電圧導入端子にも本発明を適用できること
は明らかである。電気的な接続が複数ケ所になるため、
レセプタクルとプラグの挿 ・入接続には位置合せ用の
ガイドを設けることが必要となる。
が複数ある高電圧導入端子にも本発明を適用できること
は明らかである。電気的な接続が複数ケ所になるため、
レセプタクルとプラグの挿 ・入接続には位置合せ用の
ガイドを設けることが必要となる。
（発明の効果）
本発明は、ベークアウトの可能な超高真空用高電圧導入
端子を提供する効果がある。
端子を提供する効果がある。
第１図は、本発明の高電圧導入端子の実施例断面図。
第２図は、従来の同様の図。
１０・−・耐熱性レセプタクル。４ｏ・・・プラグ。
３７・・・真空容器。 ５１・−・真空シール材。
５０・・・気密空間。
Claims (1)
- ベークアウトの必要な真空装置に使用する高電圧導入端
子において、該高電圧導入端子を耐熱性レセプタクルと
プラグとの着脱可能な二体構造で構成し、該レセプタク
ルを該真空装置の真空容器に気密に固定するとともに、
該レセプタクルとプラグの接続部には真空シール材を使
用する気密空間を設けて、この気密空間を真空排気しか
つＳＦ＿６等の絶縁ガスを充填しうる構造としたことを
特徴とする高電圧導入端子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166070A JPS6226779A (ja) | 1985-07-27 | 1985-07-27 | 高電圧導入端子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166070A JPS6226779A (ja) | 1985-07-27 | 1985-07-27 | 高電圧導入端子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6226779A true JPS6226779A (ja) | 1987-02-04 |
| JPH0256784B2 JPH0256784B2 (ja) | 1990-12-03 |
Family
ID=15824419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60166070A Granted JPS6226779A (ja) | 1985-07-27 | 1985-07-27 | 高電圧導入端子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6226779A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6413679U (ja) * | 1987-07-17 | 1989-01-24 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04212678A (ja) * | 1990-12-06 | 1992-08-04 | Nissan Shatai Co Ltd | フロアパネルの補強構造 |
-
1985
- 1985-07-27 JP JP60166070A patent/JPS6226779A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6413679U (ja) * | 1987-07-17 | 1989-01-24 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0256784B2 (ja) | 1990-12-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3613050A (en) | Hermetically sealed coaxial connecting means | |
| US3770878A (en) | Hermetically sealed electrical terminal | |
| GB1529868A (en) | X-ray apparatus | |
| US4292464A (en) | Glass pass through with an additional insulator for lengthening leakage path | |
| CN1040108A (zh) | 避雷器绝缘子及其制造方法 | |
| JP5154480B2 (ja) | 電流導入構造 | |
| JPH0256784B2 (ja) | ||
| CN115966942B (zh) | 一种扫描电镜用电子枪高压电缆引入装置 | |
| US3637917A (en) | Hermetic high-current therminal for electronic devices | |
| US7683264B2 (en) | High pressure, high current, low inductance, high reliability sealed terminals | |
| RU2351030C1 (ru) | Способ изготовления высокочастотного герметичного кабельного ввода | |
| US3237063A (en) | Connection for the control electrode of a semiconductor rectifier | |
| RU2489765C1 (ru) | Способ изготовления газонаполненного разрядника | |
| CN207052806U (zh) | 插座连接器、插头连接器和连接器组件 | |
| US3210459A (en) | Hermetic seal for semiconductor devices | |
| RU1781707C (ru) | Герметичный высоковольтный проходной изол тор | |
| US3242390A (en) | Housing for controlled rectifiers | |
| US3299327A (en) | Housing for a three terminal semiconductor device having two insulation tube sections | |
| US2017647A (en) | Electron discharge device | |
| RU190682U1 (ru) | Высоковольтный вакуумный ввод | |
| US3336500A (en) | Evacuated lightning arrester with series connected resistor | |
| US1711673A (en) | Vacuum-tube base | |
| US1806313A (en) | Seal for metal-tank rectifiers and the like | |
| JPS6381954A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS6015270Y2 (ja) | 密閉装置における電気導入端子 |