JPS6227809A - 制御弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は制御弁、特に流体作動装置に圧力流体を供給
する制御弁に関するものである。

従来の技術 種々の利用のための制御弁が長年知ら扛ている。１つの
利用には、エアタービン始動機のような圧力作動装置に
供給さする圧力を制御するよう所要される圧力調整があ
る。最も多くは、これはパイロット作動弁に向げらｎる
入口および出口パイロット信号によって達成される。

発明が解決しようとする問題点 一般の利用では、制御弁は一作動装置に作用される破壊
的な衝撃を防止するようエアタービン始動機に初めに作
用される流体の圧力を制御する。

始動機が応答されるときに、流体圧力の増大量は作動装
置の円滑で迅速な加速を達成するよう代表的に増大する
。更に、制御弁は、エアタービン始動機の上流側の検知
される流体圧力に応答することにより流体圧力を維持す
るよう作用する。

この型の制御弁の製造において、圧力を調整し、圧力増
大量を制限してエアタービン始動機の速度を制御する組
合った装置を設けるよう問題がある。また、幅広い範囲
の負荷過渡における絶対的な速度条件に出合うよう困難
である。

更に、制御弁は摩擦および動的空気力学的力のような弁
の動力学性および非直線性の制御の困難なために高周波
数応答を一般的に設けていた（）。

この種の問題を解決する際に、選ばれた最大値にまで必
要な割合で流体圧力設定点を傾斜することによって流体
圧力の増大量を制御するよう所要できる。また、空気機
械的に検知圧力派生のこの型の弁装置と関連した複雑さ
と問題を除去するよう所要される。更に、通常の制御弁
の弁開口塵の制限に関連した供給圧力感度の問題を除去
するよう所要される。

問題点を解決するための手段 この発明は上述した問題を解決し且つ説明した目的を達
成することに向けらする。

この発明の主な目的は流体作動装置に圧力流体を供給す
る新規で改良さ扛た制御弁を提供することにある。特に
、この発明の目的は、圧力調整を設は圧力増大量を制限
し且つエアタービン始動機のような圧力駆動装置の速度
を制御する制御弁を設けることにある。同様に、この発
明の目的は高周波数応答をもって幅広い範囲の負荷過渡
に亘り正確な速度要件に出合うことができる制御弁を提
供することにある。

この発明の典型的な実施例は、流体源と連通した入口と
、流体作動装置と連通した出口とをもった流体通路を有
した制御弁にて上述の目的を達成する。弁部材は入口と
出口間の流体通路内に設けられ、流体作動装置の始動前
の閉鎖位置とその後の開閉位置との間を動くようできる
。

更に、制御弁は弁部材の入口および出口側の流体圧力に
応答するパイロット作動弁装置を有し。

作動器はパイロット作動弁装置を介して弁部材の入口側
の流体通路と連通ずる。

典型的な実施例にて、作動器は、弁部材の入口および出
口側の流体圧力にもとづいて開閉位置間に弁部材を動か
すよう作動できる。これは。

流体作動装置の始動の際の弁部材の出口側の作動圧力に
向かう流体圧力の増加量を制限する装置と、作動中の流
体作動装置の速度を変えるよう弁部材の出口側の圧力を
調節する装置と、流体作動装置の作動中の作動圧力に弁
部材の出口側の流体圧力を制限する装置とを有したパイ
ロット作動弁装置を介して達成される。特に、パイロッ
ト作動弁装置は１作動装置の速度を変えるよう圧力調整
装置の作動中は流体圧力増加量を制限する装置が不作動
であるように好適に作動する。

推奨実施例にて、パイロット作動弁装置は。

一端の第１孔口が他端の第２孔口から軸方向に隔たり且
つほゞ同軸になった空所を有する弁本体を備えている。

また、パイロット作動弁装置は、空所内を第１．２孔口
間に延び第１端部が第１孔口と重合封止係合し第２端部
が第２孔口と重合封止係合する軸方向に作動可能な制御
ポペットを有する。更に、制御ポペットは第１゜２孔口
に対し近似零重合位置の空所内を軸方向に位置決めでき
、弁部材の入口側の流体圧力により第２孔口に向って押
圧される。

この構成によって、パイロット作動弁装置は。

弁部材の入口側の流体圧力の押圧方向と反対の方向に制
御ポペットを押圧する装置を有する。

また、空所は１作動器と連通し近似零重合位置にて制御
ポペットが第１孔口がら空所を介し且つ少なくとも第３
孔口な経て作動器に、好適には作動器に供給される圧力
を正確に制御するために同様に部分的に第２孔口を経て
通気口に流する流体に適合するように設けら扛た第３孔
口を有している。制御ポペットが近似零重合位置に置か
れるようなす圧力を制御するために、押圧装置は調節可
能で、作動器に供給される圧力を変えるようできる。

圧力流体駆動装置に対する損傷を防止するために、押圧
装置は弁の出口側の流体圧力を予定設定作動圧力に制限
する。

適切な調節と簡単な組立てを設けるために、パイロット
作動弁装置は単一型構造に構成される。

制御弁の作動を始めるために、個別のオンオフ弁と圧力
調整弁がパイロット作動弁装置の入口側に設けられる。

この発明の他の目的と利点は添付図面に関連した以下の
詳細な説明から明らかになろう。

実施例 この発明に従ったエアタービン始動機のような流体作動
装置に圧力流体を供給する制御弁の一実施例が第１図に
示される。制御弁１０は流体源と連通した入口１４と、
流体作動装置（図示しない）連通する出口１６とを有す
る流体通路１２をもっている。更に、制御弁１０は、入
口１４と出口１６間にて流体通路１２内に設けら扛たバ
タフライ弁１８の様な弁装置を有している。

第１図に示される構成によって、バタフライ弁１８は始
動の前の図示さ扛る様な閉鎖位置と流体作動装置の作動
の際の開閉位置との間を作動できろ。また、制御弁１０
は、バタフライ弁１８の入口１４および出口１６側の流
体圧力に応答するパイロット作動弁部材２０を有する。

更に、制御弁１０は、″パイロット作動弁部拐２０を介
してバタフライ弁１８の入口１４側の流体通路１２と制
御連通すべくできる流体通路１２と制御連通すべくでき
るばね偏倚されたピストン作動器２２の様な作動装置を
有する。

特に、ピストン作動器２２は開閉位置間をバタフライ弁
１８を動かすよう作動できる。こｎは例えばピストン作
動器２２からバタフライ弁１８に延びるリンク２４によ
って達成でき、これによってばね２８のばね力の抵抗に
対する下方の且つばね２８のばね力による上方のピスト
ン２６の往復運動は流体通路１２内のバタフライ弁１８
の開閉作動に変換される。こｎに関連して、ピストン作
動器２２はバタフライ弁１８の入口１４および出口１６
側の流体圧力にもとづいてバタフライ弁１８を動かす。

始動の際に、オンオフソレノイド３０は、球弁３２を図
示の閉鎖位置から、流体が入口管路３６よりフィルタ６
８を介して圧力調整リリーフ弁４０により調整さ扛た後
に通気孔３４を閉鎖する開放位置に動かすよう附勢され
る。この流体流扛は中間通路３６ａ、３６ｂ、３６ｃを
経て流ｎでオンオフ弁４４のダイアフラム室４２を加圧
し、ばね４６に打勝って球弁４８を図示の閉鎖位置から
通気孔５０を閉じる開放位置に動かすようになす。この
ために、流体は中間通路３６ａ、３６ｄ　を経て流れて
入口通路６６からパイロット作動弁部材２０に圧力流体
を供給するようなす。

第２．５図をいま参照するに、パイロット作動弁部材２
０の構造の詳細が詳しく理解できる。

こｎは、空所５８の両端の第２の孔口５６とはｇ同軸に
且つ軸方向に隔つすこ第１の孔口５４のある弁本体５２
を有する。この構成において。

第１の孔口５４は、空所５８内の制御ポペット６０を第
２孔口５６に向って押圧すべく入口通路３６から圧力流
体を受けるようできる。

第２．３図に示される様に、制御ポペット６０は第１，
２孔口５４，５６間に延び１両孔口５４に対して軸方向
に動くことができる。制御ポペット６０は第１孔口５４
と重合封止係合する第１端部６０ａと、第２孔口５６と
重合封止係合する第２端部６０ｂとを有するのが理解さ
ｎよう。作動の際に、制御ポペット６０は近似零重合位
置に空所５８内に軸方向に配置でき。

従って第１．２孔口５４，５６に対して封止されない。

明らかになる様に、制御ポペット６０は第１゜２孔口５
４．５６と夫々はｇ同軸の細長い円柱状弁部材である。

実質的に均一な直径の制御ポペット６０は第１．２孔口
５４，５６の直径に大体近く、従って両端部６０ａ、６
Ｑｂ　は第１，２孔口５４　、５６１ｃ滑り嵌合でき、
両端部６０ａ、６０ｂのはｙ円錐形のテーパ面は作動中
のパイロット作動弁部材２０のゲイン特性を制御するよ
うに第１，２孔口５４，５６に対して位置決めできる。

この構成によって、制御ポペット６０は第１の孔口５４
から空所５８を介し、且つ近似零重合位置の第２孔口５
６を介しての流体の一部の流ｎＫ適合する。

第２図を特に参照するに、第２の孔口５６は選ば扛た状
態で入口通路３６から流体を受けるようできる通気口６
２の連通をなす。また、パイロット作動弁部材２０は、
ピストン作動器２２に流体を供給することにより選ばれ
た圧力で入口通路３６からの流体を用いる空所５８と連
通する第３の孔口６４（第３図参照）を有する。言い換
えｎば、制御ポペット６０が近似零重合位置にあるとき
に、入口通路６６からの流体の一部は通気口６２を通過
し、入口通路３６からの流体の一部は第３孔ロ６４を経
て通路６６（第１図参照）からピストン作動器２２に流
れる。

また第２図を参照するに、パイロット作動弁部材２０は
入口通路３６からの圧力流体の押圧方向に対向した方向
の制御ポペット６０を押圧する弁本体５２内の押圧装置
を有する。押圧装置は、制御ポペット６０から隔たり且
つ制御ポペット６０の端部６０’ｂと接触する軸方向に
延びるロッド７０により制御ポペット６０に連結された
変位可能なダイアフラム組体６８を有している。ダイア
フラム組体６８が変位するときに、制御ポペット６０は
この様な変位に応答して動く。

ダイアフラム組体６８は、弁本体５２内に空所５８から
間隔を置いて隔絶されてバタフライ弁１８（第１図参照
）の外側の流体通路１２と連通した出口通路７４により
伝達される流体圧力信号と連通すべくできる第１の室７
２を有する。この流体圧力信号はダイアフラム組体６８
を介して第１，２孔口５４，５６に対して制御ポペット
６０の位置を制御する。特に、出口通路７４からの流体
圧力信号は制御ポペット６０上の入口通路３６からの流
体圧力の押圧方向に対向する方向にダイアフラム組体６
８を押圧する。

更に、出口通路７４からの流体圧力信号の押圧方向と同
じ方向にダイアフラム組体６８を押圧する調節可能なば
ね組体７６の形の別の調節装置が室７２内に設けられて
いる。

第２図に更に示される様に、パイロット作動弁部材２０
は、ダイアフラム組体６８により一部区画される第２室
７８を有する。第２の室７８は空所５８および第１の室
７２から離れて隔絶され、ダイアフラム組体６８の他方
の側、すなわち出口通路７４から室７２に供給される流
体圧力信号に対向する側、に作用するよう入口通路３６
から中間通路５６ｅおよびランプ制御弁８０（第１，３
図参照）を通る圧力流体の一部から成る第２の流体圧力
信号と連通すべ（できる。明らかな様に、第２流体圧力
信号は、出口通路７４からの流体圧力信号の方向に対向
する方向にダイアフラム組体６８を変位するようできる
。

好適に、第３の室８２が弁本体５２内の第１゜２室７２
．７８間に設けられる。第３の室８２はダイアフラム組
体６８によって一部区画さｎ。

入口通路６６から中間通路３６ｆを経た流体の一部によ
り設けられて室７２内の出口通路７４からの流体圧力信
号と同じ方向にダイアフラム組体６日に作用するトルク
モータフラッパ弁８４　（＠１図参照）からの第３の流
体圧力信号と連通すべ（できる。図示される様に、第３
流体圧力信号は弁本体５２を通って延びる通路８６を経
て室８２に供給さ扛る。

第２，３図に示される様に、室７２，７８．８２は互に
且つ空所５８から隔絶さ詐ている。こｎは第１．２．３
の室７２，７８．８２内の第１．２゜３の流体圧力信号
がダイアフラム組体６８に個別に作用して第１．２の孔
口５４，５６に対する制御ポペット６０の位置を制御す
るようなす。

従って、パイロット作動弁部材２０は後に詳しく述べら
ｎる様に制御弁１０の特異な制御特性を設ける。

第３図に示される様に、ランプ制御弁８ｏはパイロット
作動弁部材２０と一体的である。ランプ制御弁８０の作
用は、第２の室７８の容積にもとづいて、一定のランプ
量の流体圧力が装置作動帯域上の下流圧力ランプ量を設
けるようピストン作動器２２により作動さ扛るバタフラ
イ弁１８の開放を制御することによってピストン作動器
２２に作用さ扛るよ５に所要の流量にて第２の室７２に
圧力流体をランプ制御弁８０のばね偏倚されたポペット
９０のオリフィス８８が供給されるべく第２０室７８に
対する制御された抑制を設けるようなす。もし必要なら
ば、ワイヤ９２をオリフィス８日を通って取付けて自己
清浄特性を設けるようとらえることができる。

パイロット作動弁部材２０の作動を一層完全に理解する
ために、協同して出願された米国特許願第７５３，０５
０号明細書の教えが参照できる。

パイロット作動弁部材２０のこの理解によって、下流の
検知通路すなわち下流またはバタフライ弁１８の出口１
６側の流体通路１２と連通ずる通路が好適である出口通
路７４からの流体によって室７２が加圧される。この構
成によって、下流圧力の増大は制御ポペット６ｏの閉鎖
位置に向って移動を生じるようなす。明らかになるよう
に、制御ポペット６ｏのこの作動はピストン作動器２２
に供給される低い流体圧力にもとづいており、ピストン
作動器２２により制御さ扛るバタフライ弁１８は第１図
に示される様に上方にピストン２６を押圧するばね２８
によって閉鎖位置に向って動かさｎよう。

先に検討した様に、必要な圧力ランプ量を達成するよう
に室７８は制御用オリフィス８８に沿った寸法をなして
いる。このランプ量は入口圧力が増圧する間だけ、すな
わち流体がバタフライ弁１８の入口１４側の流体通路１
２に、従って入口通路３６に初めに供給されるときの始
動の際で、速度制御の過渡状態でない間に在るっ圧力の
初期増大の後に、入口圧力が低下するほかは、室７８は
一定圧力である。

終に、室８２は始動機のような流体作動装置の速度を制
御するよう制御器から入力を受けるトルクモータフラッ
パ弁８４を介して圧力流体が供給される。室８２内の圧
力の変化と加圧の効果は変化すなわち初期低下と後の低
下を生じるようなし、パイロット作動弁部材２２の設定
点の制限内にて圧力を増大して所要の速度効果を生じる
ようなす。非速度制御状態にて、室８２は通気孔９４を
経て周囲に通気さ扛、パイロット作動弁部材２ｏは設定
点すなわち最大作動圧力にて作動される。

推奨実施例にて、パイロット作動弁部材２゜は、第３図
に示される様に一体的なランプ制御弁８０を有する一体
構造をなしている。この一体構造は選択的に設定される
第１．２孔口５４゜５６間の間隔を許し、こｔによって
制御ポペット６０が第１，２孔口５４，５６に対し近似
零重合位置にあるときにゲイン特性を変えるよう第１孔
口５４から空所５８を経て、更に第２孔口５６を経た流
体の一部の流れの調節を達成する。

更に、一体構造のパイロット作動弁部材２ｏの作動特性
は押圧力を選択的に設定するようダイアフラム組体６８
を外部調節することにより変えるようできる。

第２，３図を特に参照して、第１．２孔口５４．５６間
の間隔を選択的に設定する装置は。

パイロット作動弁部材２０が第１本体部分９８と第２本
体部分＋００の間の相対的伸縮運動に適合することを考
えて使用できる１つ以上の調整板９６の使用を含んでい
る。合致する肩部１０２と弁本体５２の底壁１０４の制
限内にて、本体部分９８，１００間の伸縮調節の相対位
置を決めるよう第１．２本体部分９８，１００間に１つ
以上の調整板９６を配設できる。

いま理解さ扛る様に、パイロット作動弁部材２０は、エ
アタービン始動機の様な流体作動装置の始動の際のバタ
フライ弁１８の出口１６側の作動圧力に向かう流体圧力
の増加量を制限する装置を有する。制限装置は、ランプ
制御弁８０を介してバタフライ弁１８０入口１４側の圧
力流体と制限された連通をなす室７８を有するダイアフ
ラム組体６８を有する。また、パイロット作動弁部材２
０は、作動中のエアタービン始動機の様な流体作動装置
の速度を変えるようバタフライ弁１８の出口１６側の圧
力を調節する装置を有する。圧力調節装置は、別個のト
ルクモータフラッパ弁８４を介してバタフライ弁１８の
入口１４側の圧力流体と選択連通する室８２をもったダ
イアフラム組体６８を有する。

また、パイロット作動弁部材２０は、エアタービン始動
機の様な流体作動装置の作動の際の作動圧力設定点にバ
タフライ弁１８の出口１６側の流体圧力を制限する装置
を有する。圧力制限装置はバタフライ弁１８の出口１６
側の圧力流体と連通する室７２をもったダイアフラム組
体６８を有する。この構成によって、室７８内の圧力流
体が開放位置に向って制御ポペット６０を押圧するよう
室７８が設げらｎ、室８２内の圧力流体が閉鎖位置に向
って制御ポペット６０を押圧するよう室８２が設けられ
、室７２内の圧力流体が閉鎖位置に向って制御ポペット
６０を押圧するよう室７２が設けら扛ている。

速度を制御するよう用いら扛るトルクモータフラッパ弁
８４に関して、外部調節可能なばね組体７６により決め
られる最大設定点値によって作動圧力設定点を減少する
ことだけができる。

トルクモータフラッパ弁８４が作動設定値を調節するの
で、入口圧力感度と非直線性は、一層一定のゲインおよ
び直線性を有した速度制御ループにもとづく一層好適な
特性と取換えらｎる。

全ての状態のもとで、もしオンオフンレノイド３０が消
勢されると、ピストン作動器２２とパイロット作動弁部
材２００制御回路はオンオフ弁４４を介して通気される
周囲圧力にある。

供給空気はオンオフ弁４４によってピストン作動器２２
に入るのが防止される。オンオフンレノイド６０が附勢
されるときに、流体流ｎはフィルタ６８．圧力調整リリ
ーフ弁４０を通って最後にパイロット作動弁部材２０に
流ｎて許しく上述した様に制御弁１０を作動するような
す。

先に述べた様に、流体流ｎは、ばね４６に打勝って球弁
４８を開き、こｎによって通気口５０を閉じるオンオフ
弁４４のダイアフラム室４２を加圧する。室７８の容積
がランプ制御弁８０を介して充填さ扛る割合によってバ
タフライ弁１８を開くランプ量が決めろｎても、流体圧
力はいま制御回路、すなわち通路５６ｄ、３６ｅ。

Ｓ６ｆに、従ってパイロット作動弁部材２０と通路６６
を通ってピストン作動器２２に有効である。室７８内の
圧力が始動中に上がるときに、明記された上昇率にて出
口１６側の圧力の徐々の増加を達成するようバタフライ
弁１８の制御さ扛た開口を設けるべく第１孔口５４、第
６孔ロ６４、通路６６を経てピストン作動器２２に流体
が流ｎることかできろよう制御ポペット６０が開く。

明らかになる様に、室７８は、作動圧力設定点が到達さ
れた後に調整されたサーボ圧力にて安定化される。下流
設定点調整は室７２内の調整された圧力の築成により、
すなわちバタフライ弁１８の出口１６側から通路７４を
通って室７２内に伝達される流体圧力によって得らｎ、
圧力が室７２内に築成されるときに、制御ポペット６０
は第１孔口５４を抑制するよう始め、通気孔６２に続く
第２孔口５６を十分に開（ようなす。この様になるとき
に、第３孔ロ６４を介してピストン作動器２２に伝えら
ｎる流体圧力は調整された設定点が到達されるまで減圧
される。

流体作動装置の過渡負荷の際に、もしバタフライ弁１８
の出口１６側の圧力が下がｎば、室７２内の圧力は下が
る。こｎは釣合いを補い、第１孔口５４を一層開口し第
２孔口５６を抑制する方向に制御ポペット６０を動かす
ようなして、附加的な流体圧力が第３孔ロ６４と通路６
６を介してピストン作動器２２に伝えられて作動圧力設
定点が到達されるまで圧力低下を修正するようなす。逆
の状態にては、流体作動装置の過渡負荷の際のバタフラ
イ弁１８の出口１６側の圧力の増加は、作動設定点が到
達さ扛るまで閉鎖位置に向ってバタフライ弁１８を動か
すピストン作動器２２に流体低圧力が伝達されるように
なす。

作動維持状態において、速度制御はパイロット作動弁部
材２０の設定点を変えることによって得らｎる。こｎば
、制御ポペット６０が第１孔口５４を抑制して通気孔６
２に続く第２孔口５６を一層十分に開いてピストン作動
器２２に伝達さ扛る圧力低下を生じてバタフライ弁１８
を閉鎖位置に向って動かし流体作動装置の速度を減少す
るようなすことによって室８２内の圧力の増加が作動圧
力設定点を実際に下げるようにトルクモータフラッパ弁
８４を介して室８２を加圧することによって達成される
。この様に。

流体作動装置の制御装置はトルクモータフラッパ弁８４
を介して設定点を制御することによって速度を制御でき
る。

逆の状態において、流体作動装置の速度は。

通路８６および通気口９４を介して室８２内の流体圧力
の一部または全部を通気するようトルクモータフラッパ
弁８４の制御を介して室８２内の圧力を低下することに
よって再び増大できる。これは実際に作動圧力設定点を
いま一度上げるが、過渡状態に応答して作動圧力設定点
を増大するようできる制限は外部調節可能なばね組体の
調節により達成さ扛ろ元の設定点である。

もし制御弁１０を閉じるよう指令を受ければ、オンオフ
ソレノイド３０は消勢される。このときに、オンオフ弁
４４０室４２は１周囲圧力に迅速に達し、従ってオンオ
フソレノイド３０が通気口３４を介して通気さ扛てばね
４６が球弁４８を閉鎖位置（第１図に示される如く）に
動かすようになし、こｎによってパイロット作動弁部材
２０を介してピストン作動器２２にバタフライ弁１８の
入口１２側の流体圧力が到達するのを防止する。理解さ
れる様に、パイロット作動弁２００制御回路は従らて周
囲圧力に通気され、ランプ制御弁８０はバタフライ弁１
８を迅速閉鎖すべく開放される。

この発明の別の特長に位置スイッチ１０６の利用が含ま
扛る。位置スイッチ１０６はバタフライ弁１８の位置を
表示するためにピストン作動器２２に接続される。特に
、位置スイッチ＋０６は完全閉鎖および開放位置近（で
作動するよう好適に使用できる。

この発明の推奨実施例が以上に説明されたが。

この発明が請求範囲によってのみ制限さ扛ることか理解
されるべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に従った制御弁の概要図。 第２図は第１図の制御弁に用いられるパイロット作動弁
部材の断面図、第３図は一体的制御装置を示す第２図の
パイロット作動弁部材の断面図である。図中、１０：制
御弁、１２：流体通路、１４：入口、１６：出口、２０
：パイロット作動弁部材、２２：ピストン作動器、２６
：ピストン、２４：リンク、２８．４６：ばね、３０：
オンオフソレノイド、３２　、４８　：球弁。 乙４　Ａ）−ｑａ：Ｊ＋ａ口　罵８°７メル々　Ａｎ：
圧力調整リリーフ弁、４２：ダイアフラム室、４４：オ
ンオフ弁、５２：弁本体、５４，５６゜６４　＝孔ロ、
５８：空所、６０：制御ポペット、６８：ダイアフラム
組体、７０：ロッド、７２゜７８．８２　：室％７６：
ばね組体、８０：ランプ制御弁、８４：）ルクモータフ
ラツパ弁、８８ニオリフイス、９０：ポペット、１０６
：位置スイッチ。 特許出願人代理人　　曽　　我　　道　　照　、１′。 し−一二−Ｊ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、流体源に連通した入口と流体作動装置に連通した出
   口とを有する流体通路、 入口および出口間の流体通路内に設けられ 開閉位置を動くようでき流体作動装置の始動前には閉鎖
   位置にある弁装置、 入口および出口側の流体圧力に連通応答す るパイロット作動弁部材、および パイロット作動弁部材を介して弁装置の入 口側の流体通路と制御連通でき開閉位置間に弁装置を動
   かすよう作動できると共に弁装置の入口および出口側の
   流体圧力にもとづいてパイロット作動弁部材を動かす作
   動器装置、を備え、 パイロット作動弁部材は、一端の第１孔口 が他端の第２孔口から軸方向に隔たり且つほゞ同軸にな
   つた空所を有する弁本体と、該空所内にて第１、２孔口
   間に延び第１端部が第１孔口と重合封止係合し第２端部
   が第２孔口と重合封止係合し第１、２孔口に対して近似
   零重合位置にて空所内を軸方向に位置決めできパイロッ
   ト作動弁部材の入口側の流体圧力によつて第２孔口に向
   つて押圧される軸方向に作動可能な制御ポペットとを有
   し、 パイロット作動弁部材は、弁装置の入口側 の流体圧力の押圧方向と反対の方向に制御ポペットを押
   圧する押圧装置を有し、該空所は作動器装置と連通する
   第３孔口を有し、該押圧装置は流体作動装置の作動の間
   は弁装置の入口側の流体通路と作動器装置との連通の制
   御により弁装置の出口側の圧力を調節するよう調節可能
   で、押圧装置は弁装置の出口側の流体圧力を予定設定作
   動圧力に制限し、 パイロット作動弁部材は流体作動装置の始 動の際に弁部材の出口側の予定作動圧力に向かう流体圧
   力の増加量を制限する制限装置を有し、 制御ポペットは第１孔口から該空所を介し 且つ近似零重合位置の第２、３孔口を経た流体流れに適
   合する、流体作動装置に圧力流体を供給するための制御
   弁。 ２、制御ポペットは第１、２孔口とほゞ同軸の細長い円
   柱状弁部材で、第１、２孔口の直径に近い均一な直径を
   全長に亘つて有し、且つ両端が第１、２孔口に滑動挿入
   すべくできると共にパイロット作動弁部材のゲイン特性
   を制御すべくほゞ円錐状のテーパ面をなしている特許請
   求の範囲第１項記載の制御弁。 ３、弁装置の入口側の流体通路と連通するパイロット作
   動弁部材から延びる入口圧力感知通路、弁装置の出口側
   の流体通路と連通するパイロット作動弁部材から延びる
   出口圧力感知通路を備え、弁装置の入口側の流体圧力は
   入口圧力検知通路を通つてパイロット作動弁部材に供給
   され、弁装置の出口側の流体圧力は出口圧力検知通路を
   通つてパイロット作動弁部材に供給される特許請求の範
   囲第１項記載の制御弁。 ４、パイロット作動弁部材は制御ポペットから軸方向に
   隔つたダイアフラム組体を有し、ダイアフラム組体は弁
   装置の出口側の流体圧力と連通する少なくとも１つの室
   を有し、該室は弁装置の出口側の流体圧力が制御ポペッ
   トを閉鎖位置に向つて押圧し、ダイアフラム装置と該室
   は流体作動装置の作動の間は弁装置の出口側の流体圧力
   を作動圧力に制限する制限装置を有している特許請求の
   範囲第１項記載の制御弁。 ５、押圧装置は制御ポペットを第１孔口に向つて押圧す
   るようダイアフラム組体に作用するばね組体を該室内に
   有し、ばね組体は流体作動装置の予定設定作動圧力を選
   択するようパイロット作動弁部材を外部調節できる特許
   請求の範囲第４項記載の制御弁。 ６、ダイアフラムの組体は別個の弁部材を介して弁装置
   の入口側の流体圧力と制限された連通をなす第２の室を
   有し、該別個の弁部材を介した流体圧力が制御ポペット
   を第２孔口に向つて押圧するように第２室が設けられ、
   ダイアフラム組体および第２室は流体作動装置の始動の
   間は弁装置の出口側の作動圧力に向かう流体圧力の増加
   量を制限する制限装置を備えている特許請求の範囲第５
   項記載の制御弁。 ７、別個の弁部材は流体作動装置の始動の間は第２室へ
   の流体圧力の導入を制限する抑制されたオリフィスを有
   するランプ制御弁である特許請求の範囲第６項記載の制
   御弁。 ８、ダイアフラム組体は別個の弁部材を介して弁装置の
   入口側の流体圧力と選択連通する第３の室を有し、該別
   個の弁部材を介した流体圧力が第１孔口に向つて制御ポ
   ペットを押圧するよう第３の室が設けられ、ダイアフラ
   ム組体と室は作動中の流体作動装置の速度を変えるよう
   弁装置の出口側の圧力を調節する調節装置を有する特許
   請求の範囲第７項記載の制御弁。 ９、別個の弁部材は流体作動装置の作動の間は第３室へ
   の且つ第３室からの流体圧力を選択的に供給および排出
   するフラッパ弁である特許請求の範囲第８項記載の制御
   弁。