JPS6227947B2

JPS6227947B2 -

Info

Publication number: JPS6227947B2
Application number: JP53118492A
Authority: JP
Inventors: Yasuyuki Onomi
Original assignee: Fujikoshi Kikai Kogyo KK
Current assignee: Fujikoshi Machinery Corp
Priority date: 1978-09-26
Filing date: 1978-09-26
Publication date: 1987-06-17
Also published as: JPS5548572A

Description

【発明の詳細な説明】この発明は、ラツプ盤の加工物自動供給装置に
関するものである。

上定盤と下定盤とがそれぞれ相対的に回転し、
上下両盤にはさまれたキヤリアが自転しながら公
転することにより、キヤリア内の加工物に運動が
与えられ、その運動において、加工物の両面が同
時に等量ずつ研摩されるようにしたラツプ盤は、
半導体シリコン・ウエハー、セラミツク・フイル
ター、ガラスなどの研摩処理に多用されている
が、上定盤と下定盤とのあいだにキヤリアを入れ
こみ、そのキヤリア内に加工物を配置する作業に
多大の手数が要するため、加工物の自動供給手段
の出現が強く望まれている。

この発明は、上記の問題を解消するためになさ
れたもので、とくに前述したラツプ盤への加工物
の供給を自動的に行うことのできる加工物自動供
給装置を提供することを主たる目的としているも
のである。

以下、この発明を、その実施の一例を示した図
面に基づいて詳細に説明する。

第１図、第２図、第３図において、１はラツプ
盤が組み込まれているボツクス形機台であり、そ
の機台の所定部位に、上定盤２、下定盤３、サン
ギア４、インターナルギア５などからなるラツピ
ング機構が組み込まれており、そのラツピング機
構の近傍部位に、下記の加工物自動供給装置Ａが
配設されている。

すなわち、６は下基板、７は上基板、８は両基
板の間隔材であり、上基板７上の四方部位に立設
された４本の支柱９の上端に頂板１０が固定さ
れ、この頂板１０と上基板７とのあいだには、４
本の支柱９と並ぶ位置に、４本の螺旋軸１１が第
５図の軸受１２，１３を介して回転自在に支承さ
れており、各螺旋軸１１が上基板７を貫通して、
突出する軸端にはプーリ１４がそれぞれ取付けら
れている。

下基板６上の側方部位には、電動機１５、歯車
変速機１６および１回転クラツチ１７からなる駆
動機構部が設けられ、電磁クラツチの出力側に取
付けられたプーリ１８と、前記螺旋軸１１のプー
リ１４とにタイミングベルト１９が張り渡され、
電動機１５が起動されると、それに作動連係され
た４本の螺旋軸１１が同時に同方向に回転される
ようになつている。

前記４本の螺旋軸１１には、その螺旋溝によつ
て支持される多数のキヤリア持受板２０が、等間
隔に多段状に装架されている。持受板２０上に載
置される加工物保持用キヤリア２１は、前述した
ラツプ盤の下定盤のうえで、サンギアとインター
ナルギアとに嵌合する位置におかれるものであつ
て、これは各持受板２０のうえに予め載置され、
後述する操作において、下定盤上に供給されるも
のである。

前記上基板７のうえには、前記多段状持受板２
０の最下段持受板と同じレベル部位に台板２２を
介して、シリンダ部材２３が固定され、そのピス
トン先端には、ピストン前進行程で、持受板上の
キヤリアを押し出すための歯形押子２４が取付け
られている。この歯形押子２４は、後記する目的
のため、前記インターナルギア５の一部を切除し
た切欠部２５に嵌め合わせることのできる形状に
つくられている。すなわち、この切欠部２５は第
４図に示すように水平に配置したインターナルギ
ア５のリング状上表面の一部を切除して水平段部
として形成されてなるものであつて、この切欠部
２５の下方部分にはインターナルギアが連続して
存在しており、したがつてラツプ盤の操業中には
キヤリアが上記切欠部２５とはかかわりなくイン
ターナルギア５とサンギア４との間に係合して遊
星運動が行なわれるようになつている。２６は歯
形押子の前進後退運動を案内するロツド、２７は
ロツド支筒である。前記多段状持受板２０の前端
側方部位には、第４図に示すようにブラケツト２
８に支持されたロータリーシリンダ２９が配設さ
れ、その回転軸３０は、最下段持受板２０の前端
縁に平行に張出しており、その回転軸部分には、
持受板２０の前端縁からインターナルギア５の切
欠部２５に至る加工物供給板３１が固定されてお
り、常態においては、この供給板３１は、起立姿
勢に保持され、前記ロータリーシリンダ２９の電
磁弁が励磁されたとき、水平姿勢に回転変位され
るようになつている。３２は回転軸３０に突設さ
れた突片、３３はストツパーであり、前記突片３
２がストツパー３３に当る角度で、供給板３１の
水平姿勢角度が規正されるようになつている。

次に上記の如く、構成されたラツプ盤の加工物
自動供給装置の操作、ならびにその作動について
説明する。

この加工物自動供給装置では、４本の螺旋軸１
１に多段状に配列支持される多数の持受板２０に
は、予めキヤリア２１および加工物Ｗを載置して
おくもので、自動操作の制御回路の始動スイツチ
（図示してない）をオンにすると、まず、ラツプ
盤における上定盤２は昇動され、インターナルギ
ア５は、その駆動軸に取付けられているスイツチ
（図示してない）により、その切欠部２５が持受
板２０と対向する角度位置に回わされたあと停止
し、同時に下定盤３は若干上昇して下定盤面とイ
ンターナルギア５の切欠部２５の底面とがほゞ同
じ高さとされ、次にロータリーシリンダ２９が付
勢され、供給板３１は起立姿勢から水平姿勢にセ
ツトされ、次にシリンダ部材２３がスイツチオン
となり、前進するピストン先端の歯形押子２４に
より、最下段持受板２０上のキヤリア２１は、加
工物Ｗと共に、前記供給板３１を経て、下定盤の
うえに押し出される。下定盤３のうえに供給され
たキヤリア２１は、サンギア４とインターナルギ
ア５の切欠部２５に位置づけされた前記歯形押子
２４の歯形と噛合されるもので、歯形押子２４が
その位置に前進すると、前進端リミツトスイツチ
S₁の作動により、サンギア４の回転が始まり、キ
ヤリア２１は、下定盤のうえで公転変位し、マイ
クロスイツチS₂によつて定められた角度位置へと
送られると、サンギア４の回転は停止し、キヤリ
ア２１の変位は止められる。次に前記制御回路の
タイマー（図示してない）により、シリンダー部
材２３が作動すると、歯形押子２４が後退を始
め、それと同時に電動機１５のスイツチ（図示し
てない）が入り、前記シリンダ部材２３が戻りき
つた位置で後退端にあるリミツトスイツチS₃によ
つて１回転クラツチ１７が１回転し、その回転は
タイミングベルト１９を経て、４本の螺旋軸１１
に伝えられ、それに多段状に支持されている多数
の持受板２０が一斉に下降し、最下段の持受板２
０が螺旋軸１１から外されて、上基板７のうえに
落とされる。そして上記のような加工物供給動作
が繰返して行なわれ、ラツプ盤の複数個のキヤリ
ア２１（４〜５個）が供給されると、制御回路の
指令により、上定盤２は所定位置に下降し、下定
盤３もわずかに下降して、下定盤３上のキヤリア
２１がインターナルギア５の切欠部２５の高さよ
り下方に位置して、該切欠部２５とは係わりなく
キヤリア２１が常にインターナルギア５とサンギ
ア４との間に噛合されるようになる。ついで下定
盤３の下限リミツトスイツチ（図示してない）に
よつて、シリンダ部材２３が作動し、歯形押子２
４は後退して元位置に戻され、次に前記下限リミ
ツトスイツチにより、１回転クラツチ１７が接続
し、螺旋軸１１の回転で段階状持受板２０は一段
分だけ下げられ、前記シリンダ部材２３の後退端
スイツチS₃によつてロータリーシリンダ２９が作
動し、供給板３１は水平姿勢から起立姿勢に戻さ
れ、ここで加工物の自動供給サイクルが完了し、
ラツプ盤による加工物の研摩サイクルに入る。

かくして、上記構成による加工物自動供給装置
によれば、上定盤、下定盤、サンギア、インター
ナルギア、キヤリアなどの機素からなる従来のラ
ツプ盤に適用して、極めて顕著な効果が発揮され
る。すなわち、加工物はキヤリアと共に螺旋軸に
多段状に支持されている持受板上に、予め載置し
ておくだけでよいから、ラツプ盤に直接に入れこ
む従来の加工物供給作業に比べて、作業能率の大
巾な向上が図れる。

また、持受板上のキヤリアを押し出して、前記
ラツプ盤の下定盤に載せるための歯形押子は、ラ
ツプ盤のインターナルギアの切欠部に合うように
形成され、ラツプ盤の機構に有機的に組合わされ
るようにしてあるので、前記ラツプ盤の一部を変
更するだけで、前記加工物自動供給装置を連係さ
せることができる。

また、加工物を保持する前記キヤリアの持受板
は、螺旋軸に多段状に支承され、立体空間に収容
されるものであるから、そのための占有面積は最
小限に抑えられ、ラツプ盤への装備は容易であ
る。

とくにキヤリア持受板が、螺旋軸に多段状に支
持された構成によれば、螺旋軸を回転させるだけ
で、持受板を順次に所定部位に搬送できるので、
簡単な搬送機構で所期の目的が達成される。

以上述べたように、この発明によるラツプ盤用
加工物自動供給装置は、所要の間隔をとつて立設
された複数本の螺旋軸の螺旋溝に、加工物保持用
キヤリアを載置するための多数の持受板が多段状
に支承されてなる持受板収容機構と、前記多数の
持受板を螺旋軸の回転によつて下降移動させるた
めに、螺旋軸を同時的に回転駆動する装置と、最
下段の持受板上のキヤリアを、ラツプ盤を構成し
ているインターナルギアの切欠部を通して、下定
盤のうえに送りこむことができると共に、その送
り込み位置で前記切欠部に合致してインターナル
ギアの一部となるように形成された歯形押子と、
この歯形押子を前進後退させる装置と、前記イン
ターナルギアの回転操作時には、インターナルギ
アの回転の妨げとならない起立姿勢におかれ、前
記キヤリアの送り込み操作時には、持受板から下
定盤へキヤリアを案内するために、水平姿勢にお
かれる供給板と、この供給板を起立姿勢および水
平姿勢に作動する装置とから構成されているもの
であるから、上定盤、下定盤、サンギア、インタ
ーナルギアなどからなる従来のラツプ盤に適用し
て優れた効果が得られるもので、とくに加工物供
給作業能率の大巾な向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示したもので、第
１図はこの発明による加工物自動供給装置が装備
されたラツプ盤の側面図、第２図は平面図、第３
図は加工物自動供給装置の側面図、第４図は平面
図、第５図は一部切断正面図、第６図は供給板の
支持部の端面図、第７図は加工物保持用キヤリア
の一部切断斜視図である。１…ボツクス形機台、２…上定盤、３…下定
盤、４…サンギア、５…インターナルギア、６…
下基板、７…上基板、８…間隔材、９…支柱、１
０…頂板、１１…螺旋軸、１２，１３…軸受、１
４…プーリ、１５…電動機、１６…歯車変速機、
１７…１回転クラツチ、１８…プーリ、１９…タ
イミングベルト、２０…キヤリア持受板、２１…
キヤリア、２２…台板、２３…シリンダ部材、２
４…歯形押子、２５…切欠部、２６…ロツド、２
７…ロツド支筒、２８…ブラケツト、２９…ロー
タリーシリンダ、３０…回転軸、３１…供給板、
３２…突片、３３…ストツパー。

Claims

【特許請求の範囲】

１所要の間隔をとつて立設された複数本の螺旋
軸の螺旋溝に、加工物保持用キヤリアを載置する
ための多数の持受板が多段状に支承されてなる持
受板収容機構と、前記多数の持受板を螺旋軸の回
転によつて下降移動させるために螺旋軸を同時的
に回転駆動する装置と、最下段の持受板のキヤリ
アを、ラツプ盤を構成しているインターナルギア
の切欠部を通して下定盤のうえに送りこむことが
できると共に、その送り込み位置で前記切欠部に
合致してインターナルギアの一部となるように形
成した歯形押子と、この歯形押子を前進後退させ
る装置と、前記インターナルギアの回転操作時に
は、インターナルギアの回転の妨げとならない起
立姿勢におかれ、前記キヤリアの送り込み操作時
には、持受板から下定盤へキヤリアを案内するた
めに水平姿勢におかれる供給板と、この供給板を
起立姿勢および水平姿勢に作動する装置とからな
ることを特徴とするラツプ盤用加工物自動供給装
置。