JPS6228441U - - Google Patents

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JPS6228441U
JPS6228441U JP12054385U JP12054385U JPS6228441U JP S6228441 U JPS6228441 U JP S6228441U JP 12054385 U JP12054385 U JP 12054385U JP 12054385 U JP12054385 U JP 12054385U JP S6228441 U JPS6228441 U JP S6228441U
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JP
Japan
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head
chip
push
break
sheet
Prior art date
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Application number
JP12054385U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図、第３図はその要部拡大図、第４図は作業の
ウエハを示す断面図、第５図は従来装置の側面図
、第６図はその動作工程を示す部分断面図である
。図中、８は粘着シート、１２はピン、２０はウ
エハ、２１はチツプ、２３はブレークヘツド、２
５は突き上げヘツドである。なお各図中同一符号
は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 各チツプ毎に微小寸法の切り残し部を有してカ
    ツトされたウエハ、このウエハを表面に接着した
    シート、このシートの下方に位置され、上記チツ
    プを予めカツト部分に沿つて破断するブレークヘ
    ツド、このブレークヘツドと並設されて先端が上
    記チツピと略同外形に形成され、上記ブレークヘ
    ツドと相反して上下動する突き上げヘツド、及び
    この突き上げヘツドに内装され、上記チツプを突
    き上げるピンを備えたブレークエキスパンド装置
    。
JP12054385U 1985-08-05 1985-08-05 Pending JPS6228441U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12054385U JPS6228441U (ja) 1985-08-05 1985-08-05

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12054385U JPS6228441U (ja) 1985-08-05 1985-08-05

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Publication Number Publication Date
JPS6228441U true JPS6228441U (ja) 1987-02-20

Family

ID=31008953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12054385U Pending JPS6228441U (ja) 1985-08-05 1985-08-05

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JP (1) JPS6228441U (ja)

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