JPS6229729B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はサーボモータによつて駆動される直接
式容量型ガス計量器でその入口側と出口側とで相
対的に測定されるガス圧の差に基いてその回転数
を調節して差圧が０に近づくようにするものを用
いるガスとくに空気の流量を測定する方法ならび
にこの方法を実施するための装置に関する。

サーボ駆動ではなく測定すべき媒体により直接
に駆動されるガス計量器、いわゆる受動型計量器
は多種多様な構造のものが公知である。これらの
装置の駆動のためにはこれらを流過する測定すべ
き媒体から必要な駆動エネルギーをとり、その結
果圧力損失が生じ、併せ測定されることのない、
ハウジングとロータとの間の不可避の間隙を通つ
ての漏洩量を生じさせる。ガス流量低下とともに
この漏洩量が表示量に比べて増加して、予め定め
られた誤差範囲内で利用可能な測定範囲が強く制
限されることになる。

この不利な挙動を排除するためすでにさまざま
な提案がなされており、これらではサーボ駆動装
置を用いて計量器ロータ回転数を変更して、計量
器入口側と出口側との間で測定された差圧を、従
つてまた漏洩量を０に近づけるようにする。この
種のサーボ駆動の装置を以下能動型計量器と呼
ぶ。

下記の数値例によつて差圧測定及び調節の問題
性を説明する。Hagen−Poiseuilleの法則に従つ
て、ここで存在している全く層状の間隙流の場合
式（１）により下記の単位時間あたり流過する漏
洩量が生じる： (1) Ｑ〓_L＝K₁・△ｐ・Ａ／η ここにＱ〓_Lは単位時間あたり漏洩量、K₁は係
数、△ｐは差圧、Ａは有効間隙断面積、ηは媒体
の動的粘度を意味する。

相対測定誤差Ｆは式(2)に従つて測定量Ｑ〓_nに対
する漏洩量Ｑ〓_Lの比率として定義してある： (2) Ｆ＝〓_Ｌ／〓_ｎ 式(1)を式(2)に代入して式(3)が得られる： (3) Ｆ＝Ｋ_１・Ａ・△ｐ／η・〓_ｎ 漏洩勾配 (4) K₂＝Ｋ_１・Ａ／η を式(3)に導入して式(5)が得られる： (5) Ｆ＝K₂・△ｐ・１／〓_ｎ 漏洩勾配K₂は不可欠の、さらに小さくするには
大きな費用を支出しなくてはならない計量器の製
作誤差（有効間隙断面積Ａ）と予め定められた媒
体（η）とによつて左右されるが、外部の影響が
△ｐを経由してのみＦに及ぼされる可能性があ
る。それについては下記の数値例を観察すること
とする： 測定範囲10乃至100m³／ｈの市販の受動型ガス
計量器では漏洩勾配 K₂＝0.001m³／ｈ・μバール が測定された。

測定範囲をＱ〓_n＝１m³／ｈまで拡げ、誤差をＦ
≦±0.25％に縮めようと努めるときは、最大許容
誤差を超えないようにするには式(5)によつて許容
差圧は △ｐ＝Ｆ／Ｋ_２・Ｑ〓_n＝±０．００２５／０．００
１・１（μバール） △ｐ＝±2.5μバール それで精度の言うに値いするほどの改良と測定
範囲の向上とは差圧△ｐを僅か数マイクロバール
の極端に小さい残存値△ｐ_restまで下げるよう調
節することを必要とする。その場合流過量Ｑ〓_n±
Ｑ〓_Lが僅かしか変動せずサーボ駆動装置を含めた
△ｐ制御システムがその応答速度に制限があるの
になお△ｐ_rest以内で追随できるほどであること
が前提であつた。しかしこれは実地においては実
現不可能である。多くは配管内で予め定つている
圧変動が許容の△ｐを大幅に超えているからであ
る。誤差の時間的平均がそのときに消滅するよう
計らうには、式(5)の積分が０に近づくように制御
する必要がある： (6) ∫Fdt＝K₂・１／〓_ｎ∫pdt→０ この積分を０に近づけるよう制御するには△ｐ
の測定及び制御について (a) 分解能 (b) ０点安定性 (c) 直線性偏差 これらの値は数マイクロバール以内になくては
ならない。これを超えた偏差はすべて式(6)により
歪んだ∫Fdt（誤差積分）に導き従つてまた所望
の平均値△ｐ＝０に正しく制御できないからであ
る。

(d) △ｐ測定範囲 この測定範囲はもちろん正常運転で現われる
△ｐ変動をカバーしなくてはならない。

(e) 過負荷性能 時々見られらる△ｐ衝撃が強い場合に△ｐ発
信器が機械的に過負荷になつてはならない。

に関して対応した高度の要求を課すべきである。

(b)を除いて(a)から(e)までの要求をほぼ満たす差
圧測定装置は公知であるが、それらの技術的負担
は非常に大きい。これらの装置はそれらを取付け
て使用する能動型計量器との価格比率が不利なた
め実際的な適用の場合には問題にならない。

また能動型計量器の一般原理に係る解決法の提
案もあるが実際使用可能の装置には導かない。こ
れに関しては西独公開特許出願第1773651号を参
照されたい。同明細書には能動型計量器で相対的
差圧発信器として誘導探査される膜を備えたもの
が記述してある。この装置ではつまりガスについ
ては要求(a)乃至(e)を満たすには程遠く、とくに差
圧発信器を頻煩に手作業で再目盛定めする必要の
あることが判明した。

冒頭にあげた種類の装置でとくに液状媒体用の
ものが西独特許出願第1798080号に記載してあ
る。そこには当時公知であつた原理を変更補足し
て比較的僅かな費用で液状媒体の場合間接に要求
(a)乃至(e)を満たしかつそのうえに上記の等式(6)を
直接に実現する措置が示してある。このことは迂
回配管中に設けられた自由に可動のピストンでそ
の比重を液体のものと等しくしてあるので横の力
から、すなわちまた附着摩擦からも解放されてお
り、差圧０からの極端に小さい偏差に対して差圧
の時間についての積分に等しい移動をもつて反応
するものによつて達成される。従つてさもなけれ
ば相対的△ｐ発信器の０点ずれによつて惹起こさ
れる偏り及び補正問題が始めから生じなくなる。
同時にそのピストンは容積蓄積装置の役をし従つ
て△ｐ変動を計量器から排除することができる。
このとくに高精度液体測定に適した装置はガス測
定の場合には若干の欠点があり、とくにガス密度
が小さいためのピストンの姿勢による依存性もそ
れらに属する。

本発明には、従来公知の方法及び装置の上述の
欠点を避けながら限られた費用で高品質の測定を
もたらし、とくにガス測定について経済的に負担
に耐え得る構想に導く方法ならびにその実施のた
めの装置を作り出すという課題が根拠となつてい
る。その場合とくに、より大きな精度−従来公知
の測定装置では測定範囲１：10の場合精度は±１
％−がたとえば気化器検定と又はモータ調整との
関連においてより大きな製作公差を許すという観
点が考慮される。

この課題の解決のために本発明は方法として、
敏感な方の差圧発信器（精密発信器）の出力電気
信号が緩徐に作動する積分器を経て積分されて鈍
感な方の差圧発信器（粗大発信器）の出力電気信
号に添加され、両信号がともに急速に作動する積
分器に導かれ、後者は従属の回転数制御装置用の
基準値を予め与え、両差圧発信器は望ましくは相
異なる、互いに補完する測定範囲を有するように
することを提案する。

本発明により用いられる粗大発信器を用いて動
的な制御挙動が改良され、精密発信器は静的な精
度を可能にする。そのため緩徐に作動する積分器
の積分速度は十分遅くなくてはならない。制御回
路が安定なままでいるためには積分速度と精密発
信器の感度との積は全制御回路の時定数によつて
左右される最大値を超えてはならないからであ
る。粗大発信器はその場合過励起なしになお大き
い方の差圧を取扱い、一方遥かに敏感な精密発信
器は小さい方の差圧を一層よく分解することがで
きる。

本発明の提案は初めて両発信器のそれぞれが極
めて簡単な構造でそれぞれ10^-2の分解能を有する
にすぎないのに、ほとんど10^-4の分解能をもたら
すことを可能にする。この分解能は遥かに高価な
発信器を用いてさえ−何れにせよここで現われる
僅かな差圧では−ほとんど達成されない。

望ましくは精密発信器は自動的に作動する補正
回路により特定の時間間隔で望ましくは周期的に
合わせる。本発明はそれですでにマルチループと
した制御回路２個を附加的にマルチループ化する
ことであり、たとえば漏洩量相殺による測定誤差
の補正を行なわずに漏洩量の、従つてまた測定誤
差の発生が防止されるものである。精密発信器は
電磁弁を介して電気的に能動的計量器の入口側及
び出力側と連結してある。周期的に弁を短時間閉
鎖することによつて、同時に発信器の両側間の連
結を介して圧平衡が行なわれ得るとき、気力式０
点が生じる。従つて救済のために最適に短かい時
間以内に発信器の振動を周期的に衰弱させその機
械的０点に至る定常の絞られた連結が提案され
る。

なお気力式０点とは感知器の両側における圧力
が等しい点を意味し、この時両側間に圧力差はな
い。又機械的０点においては圧力によるスプリン
グへの力が釣合つており、従つてスプリングの引
き戻し力はゼロである。なお感知器は基本的には
スプリング−質量系であるから、機械的０点は気
力式０点から数ミリ秒後に生じる。

気力式０で測定される出力電気信号で不可避の
ずれに基き理想的な０点から偏つているものは望
ましくはデイジタルの手段で記憶させ、次の補正
までの位相において精密発信器信号から差引かれ
る。これによつてもはや差圧発信器とそれらの測
定用電子設備とを高価な手段によりずれなしに保
持する必要がない。緩速の積分器は補正中は予め
精密発信器信号を受けた入力側の０点復帰により
その出力信号を補正直前に存在していた値に保持
する。こうして有利なしかたで動的制御挙動の障
害が防止される。

本発明の改良においては、発信器でその０点ず
れを上述の補正回路によつて合わせるもの１個の
みで作業することが考えてある。この簡略化した
変形においては、機能的に精密発信器にとつて代
つた粗大発信器を設ければ足りる。

本発明は根拠となつている課題の装置上の解決
の枠内において、問題のある差圧発信器の、とく
に精密発信器の改良も含んでいる。通常は小さい
差圧の測定のために同心の溝のある円形板ばね又
は支持ばねつき軟質膜が用いられる。これが大き
な彎曲に導き、それらは−電気的手段を用いて把
握されると−対応して大きな分解能を示す。その
場合溝は板ばねの剛性を低減させ特性曲線を直線
化するのに役立つ。この場合優先的に現われるさ
らに小さい差圧では、安価な構成要素を用いて簡
単に電気的に測定し得る十分に大きなふれを達成
するため直径の大きな極薄い膜を用いねばなるま
い。しかしこの種の膜は製作が困難で取扱いの際
に特別の備えを要する。

西独公開特許出願第1801685号においては軸に
回転可能に取付けられた翼がありこれが差圧の作
用下に固定分離壁間で僅かな間隙をおいて動かさ
れ、軸に係合する渦巻ばねによつて復帰力が生じ
る圧測定装置が提案されている。

さらにEck著“Technische
Stro″mungslehre”第７版（1966年）には、一端
で回転可能に取付けてあるレバーの他端でロータ
リ・ピストンを支えこれがその円形の運動可能性
に応じて彎曲させてあり僅かな遊隙をおいてしか
し無接触で穿孔中に挿入されるマイクロマノメー
タが図示、記述してある。感圧面はピストン断面
がなつている。復帰力は別個の捻り棒ばねによつ
て生じ、これが同時にレバー保持軸としても役立
つ。

これら最後にあげた両種の装置は十分低抵抗の
軸受と極軟質の復帰ばねとが用いられるとき１マ
イクロバール未満の差圧に応答する。厳密な電気
的行程探査はこれらの装置でも確かに可能である
がこれらは実際の使用にとつて容認できない、圧
衝撃及びこれによつて惹起こされる慣性力に弱い
という欠点があり、それらの慣性力は軸受の過負
荷及び／又は感圧部分の望ましくない変形を惹起
こしてその結果動きがとれないことになる。さら
に慣性力対ばね力の比が構造上から比較的大きく
なり、制御技術上の目的にとつて不利に低い固有
振動数が生じる。これがその場合もなお、計量器
の慣性力と漏洩間隙面積との積によつて定まる弱
い減衰のために徐々にしか弱まらず、外部からの
振動による振幅増大の危険が存在することにな
る。

これらの欠点は本発明によつて本方法を実施す
るための装置で差圧発信器内に一端で取付けた板
ばねが設けてありその自由な三方の側面乃至縁は
隣接のハウジング壁面との間で不変の遊隙をおい
て動き、板ばねの屈曲線にそつて形成されたとめ
板がばねの最大屈曲限定のために取付けてあり、
とめ板はハウジング壁に密封結合してありかつ板
ばねが接触すると完全に被われる貫通穿孔を備え
ているものを用いて排除される。板ばねはその長
さに比べて十分な幅があつて板の平面においてせ
いぜい極小さな傾斜しか生じ得ないようになつて
いる。取付個所は遊隙なしであるので板ばねはハ
ウジング壁面との間に僅か100分の数mmの遊隙を
おいて無接触ではめこむことができる。

望ましくは板ばね末端の屈曲は電気的行程探査
装置でその作用端面がとめ板と同一平面で閉鎖し
ているものを用いて測定する。

多くの適用ケースにおいて、計量器とガス配管
システムとからなる大容量のガス配管の場合、制
御回路の動的特性を改良する目的で、計量器を含
む測定場所を気力式に一時的に主配管システムか
ら遮断するのが好都合なことがある。このために
本発明の別の実施形式においてはガス計量器の前
後の配管ならびに差圧発信器への分岐配管中に圧
降下の測定すべきガス量による依存度の指数が２
より小さい流れ抵抗を設けることが提案される。
従つてこの抵抗は自動的に横断面積が変化して少
量でも圧降下が存在し、大量でも圧降下が望まし
くないほどに大きくなることがないようになつて
いる。

前述の発信器１個のみを設けた実施例はとく
に、従来通常のもの以上に精度を向上させるので
はなく単に測定範囲の拡張が主要であるときに適
用される。この場合冒頭に示した要求(a)乃至(e)の
うち本質的には０点安定化が重要である。何故な
らば測定すべき最小量は真実の流量がＱ〓のときな
お誤差を伴つて示される量Ｑ〓_nより何倍も大きく
なくてはならないからである。この種の用途では
０点合せの際の動的制御挙動の短時間の障害は我
慢しなくてはならない。本発明のこの実施形式の
この種の応用では粗大発信器のみが用いられ、そ
の際この発信器は電磁弁を介して気力式に分離で
きるように連結してあり、自動０点補正装置は緩
速積分器を経由する代りに今回は直接に粗大発信
器の信号に加算で作用できる。

以下望ましい実施例を図示した添付図面により
本発明を詳細に説明する。

第１図によると排気回転子原理に従つて作動す
る能動型ガス計量器１がガス配管２内に組込んで
あり、流れは矢印の方向に進む。ガス計量器の入
口側には入口圧採取個所３があり配管５によつて
粗大発信器７及び電磁弁９を経て精密発信器８に
導かれる。

計量器１の出口側では採取個所４から配管６を
経て出口圧が粗大発信器７及び電磁弁１０を経て
精密発信器８に導かれる。絞られた連結は８ａで
示してある。計量器１の回転子は機械的に軸１１
を介してサーボモータ１３及び回転数発信器１２
と連結してある。計量器入口−及び出口側圧の間
の差△ｐから信号△ｐ_gが粗大発信器７によつて
また精密発信器８によつて信号△ｐ_fが発せられ
回路２０に導かれ、ここでは三つの部分制御回路
が混在する。

第１の制御回路では合計点２３に回転数発信器
１２の回転数基準値ｎ_spllと回転数実測値ｎ_istと
の差が形成され、Ｐ−１−制御器２２に導かれ
る。後者の出力信号は最終段階２１を経て増幅さ
れサーボモータ１３を駆動する。

Ｐ−１−制御器は次の伝達関数で特徴づけられ
る比例的にプラスの積分調整作用を呈する。

ｙ＝Ｋ（ｘ＋１／Ｔ∫xdt） 但しここにｘは入力信号、ｙは出力信号、Ｋは
増加、Ｔは積分作用の時間定数である。

△ｐ＝０の場合にガス流量Ｑ〓に相当し回転数実
測値ｎ_istに比例する信号Ｑ〓_nを表示し評価するこ
とができる。回転数用のこの第１の制御回路には
△ｐ_g用の第２の制御回路が重量してあり後者で
は合計点２５に差圧基準値△ｐ_trinと粗大発信器
７の差圧実測値△ｐ_gとの差が形成されこれから
急速積分器２４を経て回転数基準値ｎ_spllが生じ
る。

既述の両差圧発信器間での課題配分の枠内にお
いて、信号△ｐ_trinが第３の制御回路いわゆる調
整制御回路内部で作られる。敏感な精密発信器８
は極小さい差圧△ｐも比例した値△ｐ_fに転換し
これが合計点２７、スイツチＳ１及び緩速積分器
２６を経て合計点２５で信号△ｐ_gを調整する。
これによつて下記のことが達成される：差圧△ｐ
が小さくて粗大発信器７がもはやmV範囲の弱い
信号しか発せずまた積分器２４がこれと自己固有
の入力偏倚電圧とを積分しようとするときこれが
△ｐ_trinによつて妨げられる。

ガス量Ｑ〓が急上昇する場合は△ｐ_trinは追随で
きない。この位相では実質上粗大発信器が単独で
回転数制御回路と係合していて急速に回転数を上
げようとする。それで粗い予備制御の後△ｐがな
お精密発信器の測定範囲の大きさだけのみ△ｐ＝
０から離れていることになり次第△ｐ_trinが再び
支配的になる。

第１図はさらに第２図の経過ダイヤグラムがあ
てはまる自動０点補正のための望ましい実施形式
３０を示す。このために第１図により周期Ｔ_A
（〜５分）のパルス発信器３１でパルス時間Ｔ_B
（〜１秒）のモノフロツプ３２と接合するものが
設けてある。モノフロツプ３２は信号３２１をも
つてフリツプフロツプ３３をまた同時にデイジタ
ル計数器３４を復帰させ、後者には補正値Ｕ_kprr
が二進法で記憶させてある。フリツプフロツプ３
３の信号３３１は下記のとおりに作用する： (a) ２個の電磁弁９，１０を介して精密発信器８
が配管５，６から分離される。８ａで示した発
信器組込みの間隙を介して圧平衡が果され、鎮
静時間Ｔ_Bの後には機械的に差圧０とするよう
になる。

(b) スイツチＳ１が開かれる。よつて積分器２６
が停止し、補正時間の間従属の△ｐ_g制御回路
のための基準値△ｐ_trinを記憶しておき、その
回路はその間防害されずに引続き作動する。

(c) スイツチＳ２が信号３３１を介して閉じられ
る。よつて周期Ｔ_C（〜１ｍｓ）のパルスがパ
ルス発信器３９からデイジタル計数器３４に導
かれ、鎮静時間Ｔ_B経過後すなわち復帰信号３
２１の欠落後その計数器がパルス発信器３９の
パルスを０から計えあげる。

デイジタル−アナログ転換器３５は上昇する
計数器内容をアナログ信号Ｕ_kprrに転換しこれ
が合計点２７で信号△ｐ_fから差引かれる。差
△ｐ_kprrはコンパレータ３６に達する。デイジ
タル計数器は補正の始めに０に復帰させてある
ので、コンパレータはまず確実に論理的に０に
スイツチを入れる。計数器３４の計数が進んで
△ｐ_kprrが０に等しいか僅かだけ０より多くな
り次第信号３６１は論理的に１に飛び、フリツ
プフロツプ３３を復帰させ、よつてＳ２が開き
計数器３４は停止しすなわち補正値Ｕ_kprrは次
の補正過程まで記憶される。０点合せはそれで
精密発信器に関連するものであつて、同じく偏
りにより惹起こされ、ずれを生じ得る積分器２
６にも関連することはない。しかしたとえばチ
ヨツパで安定させた増幅器を積分器２６の構成
のために選ぶことによつてその入口側の最大偏
倚電圧を精密発信器の最小有効信号の遥か下に
保つことができる。

第３図は第１図に比べて簡易化された実施形式
である。既述のとおり若干の用途の場合敏感な精
密発信器８をとりやめても鈍感な粗大発信器７が
それに代ることで足りる。その場合信号Ｕ_kprrは
スイツチＳ１を経て、緩速積分器２６及び合計点
２５を省略して直接に積分器２４に導かれる。こ
の場合絞られた連結７ａが必要である。

第４図及び第５図は差圧発信器７又は８を備え
た本発明の実施形式を示す。無負荷状態において
すなわち△ｐ＝０では曲つていない板ばね７１が
２枚のとめ板７２の間に図中左端で堅固に取付け
てある。とめ板７２は多数の穿孔７３が設けてあ
り、差圧△ｐの結果として接続口７４を通つて流
入、流出するガス量が言うに値するほどの圧損な
しに実質上△ｐを板ばね７１で再び生じさせる。
発信器７の測定範囲を超える圧衝撃中は板ばね７
１は一方のとめ板に接触している。

これによつてその機械的な過負荷が避けられ
る。平な壁面７５は少なくとも両とめ板７２間の
範囲では互いに平行である。これらの壁面は凹形
に曲げられた壁面７６とともに筒を形成し、その
内で板ばね７１は約0.05mmの僅かな遊隙をもつて
その運動を、壁面に接触することなしに、実施す
ることができる。この僅かな遊隙により差圧測定
範囲内で間隙を通る漏洩量が能動型計量器になお
残つている漏洩量に比べて無視できるほど小さく
保つことができる。

△ｐ測定範囲の短時間だけ超過する際にも穿孔
７３は板ばね７１によつて全く被われて漏洩量は
もはや上昇しないようになる。

板ばね７１の寸法ぎめに対応して小さな差圧の
場合でさえ十分大きな屈曲が全く僅かな費用で簡
単な市販の行程測定システムを用いてなお十分正
確に測定できる。いわゆるアナログ近接起動装置
７８でその作用面７７が一方のとめ板７２の輪郭
と同一面となつているものを用いるのが有利と判
明した。

制御の安定性にとつて重要なのは、ガス測定区
間の特性たとえばガスの容積及び圧縮性などに△
ｐ_g、△ｐ_f及び回転数ｎについての三つの制御回
路の増幅を適合させることである。計量器の前の
配管容積とその後のものとは２枚の並列に接続さ
れたばねを備えているシステムと見なすことがで
き、そのうちその都度両配管容積のうち小さい方
が硬い方のばねに当る。計量器とその駆動部とは
ばねに吊下げた質量と解することができる。この
振動可能のシステムが、しばしばそうであるよう
に、固有振動数が極めて低いとき、冒頭にあげた
計量器１と直列の流れ抵抗１４によつて測定区間
を残りの配置システムから有効に切ることができ
る。これによつて流れ抵抗と計量器との間になお
残つている測定区間部分の固有振動数が上昇し、
よつて制御回路の安定な調整が容易になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は精密発信器の自動０点修正を行なう２
個の△ｐ−発信器を用いる本発明による差圧△ｐ
を０に制御するための方法の実施例のための配線
図。第２図は自動０点修正の場合の本方法の説明
のためのパルスダイヤグラム。第３図は粗大発信
器のみとその０点修正とを用いる、差圧△ｐを０
に制御する別の実施例のための配線図。第４図は
本発明による差圧発信器の望ましい実施形式の上
面図。第５図は第４図に示した発信器の線−
にそつた断面を示す。 １……能動型ガス計量器、２，５，６……配
管、３……入口圧採取個所、４……出口圧採取個
所、７……粗大発信器、８……精密発信器、９，
１０……電磁弁、１１……軸、１２……回転数発
信器、１３……サーボモータ、１４……流れ抵
抗、２０……回路、２１……回路最終段階、２２
……Ｐ−１制御器、２３，２５，２７……合計
点、２４……急速積分器、２６……緩速積分器、
３０……自動０点修正、３１，３９……パルス発
信器、３２……モノプロツプ、３３……フリツプ
フロツプ、３４……デイジタル計数器、３５……
デイジタル−アナログ転換器、３６……コンパレ
ータ、７１……板ばね、７２……とめ板、７３…
…穿孔、７４……接続口、７５……ハウジング壁
面、７６……ハウジング曲壁面、７７……活性
面、７８……電気的行程測定装置、７ａ，８ａ…
…絞られた連結。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ サーボモータ１３によつて駆動される直接式
   容量型ガス計量器１において、その入口側３と出
   口側４で相対的に測定されるガス圧の差に基い
   て、該サーボモータの回転数を調節して、両者の
   間の差圧をゼロに近づけることより成るガスとく
   に空気の流量測定法において、二つの差圧発信器
   ７，８を用いて作業し、敏感な方の差圧発信器
   （精密発信器）８の出力電気信号△ｐ_fが緩徐に作
   動する積分器２６によつて積分されて、鈍感な方
   の差圧発信器（粗大発信器）７の出力電気信号△
   ｐ_gに添加され、両信号は一緒になつて急速に作
   動する積分器２４に導かれ、これによつてサーボ
   モータ１３に従属する回転数発信器１２の回転数
   基準値が予め与えられることより成り、ここに両
   差圧発信器は相異なる、互いに補完する測定範囲
   を有することを特徴とする方法。 ２ 精密発信器は自動的に作動する補正回路によ
   つて特定の時間間隔で、望ましくは周期的に、ゼ
   ロに調整されることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項に記載の方法。 ３ サーボモータ１３によつて駆動される直接式
   容量型ガス計量器１を用いて、その入口側３と出
   口側４で相対的に測定されるガス圧の差に基づい
   て該サーボモータの回転数を調節して、両者の間
   の差圧をゼロに近づけることより成るガスとくに
   空気の流量測定法において、ただ一つの差圧発信
   器７又は８を用い、その０点のずれは自動的に作
   動する補正回路３０によつて一定の時間間隔で平
   均化し、その発信器に差圧を与える送電を時々停
   止することによつて修正してゼロとし、さらに対
   応する電気的測定値をメモリー３４に記憶させて
   次の期間中の０点基準として用いることを特徴と
   する方法。 ４ 発信器の圧検出部の両側のガス容積の絞られ
   た連結によつて、差圧発信器の０点合せの際に内
   部圧を平衡させてゼロとすることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項及び第２項のいずれかに記載
   の方法。 ５ 発信器の圧検出部の両側のガス容積の絞られ
   た連結によつて、差圧発信器の０点合せの際に内
   部圧を平衡させてゼロとすることを特徴とする特
   許請求の範囲第３項に記載の方法。 ６ ガス計量器の前又は後の配管内ならびに差圧
   発信器への分岐管内の流れ抵抗１４において、測
   定すべきガス量の圧降下に対する依存度の指数が
   ２より小さいことを特徴とする特許請求の範囲第
   １項、第２項及び第４項のいずれかに記載の方
   法。 ７ ガス計量器の前又は後の配管内ならびに差圧
   発信器への分岐管内の流れ抵抗１４において、測
   定すべきガス量の圧降下に対する依存度の指数が
   ２より小さいことを特徴とする特許請求の範囲第
   ３及び第５項のいずれかに記載の方法。 ８ 一つの側面が固定され、他の三つの自由な側
   面あるいは縁は隣接するハウジング壁面７５，７
   ６との間の遊隙を変えずに運動する板ばね７１、
   該板ばねの湾曲度測定装置、及び板ばね７１の湾
   曲線にそつて形成され、ハウジング壁面と緊密に
   接触し、かつ板ばねと接触するときは完全に閉鎖
   される貫通穿孔７３を備えた、ばねの最大曲りを
   制限するための一対のとめ板７２より成ることを
   特徴とするガス特に空気の流量測定法における調
   整設備としての差圧発信器。 ９ 板ばねの湾曲度測定装置は、とめ板７２の一
   方と同一平面となつた時にこれを閉鎖する作用面
   ７７をもつた板ばね７１を備えた電気的行程測定
   装置７８より成ることを特徴とする特許請求の範
   囲第８項に記載の差圧発信器。