JPS62297552A

JPS62297552A - 空気により支持される荷の位置を監視し、制御する方法および装置

Info

Publication number: JPS62297552A
Application number: JP62131071A
Authority: JP
Inventors: ジエフリイ・エル・グリーン
Original assignee: Technical Manufacturing Corp
Current assignee: Technical Manufacturing Corp
Priority date: 1986-06-03
Filing date: 1987-05-27
Publication date: 1987-12-24
Also published as: GB8710035D0; GB2191876A; US4730541A; DE3718630A1; GB2191876B

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、空気により支持される荷の位置を監視し、制
御する方法および装置に関するものである。

〔従来の技術〕

高感度の測定器を支持するために防震台が用いられてい
る。ある防震台では台の１番上が振動絶縁装置により支
持される。その震動絶縁装置は空気によ多動作させられ
る震動分離機と、センサと、空気制御器と、支持構造と
を有する。空気により動作させられるそれらの震動分離
機は、容器内に含まれている空気の圧縮性と、可撓性の
封じ要素と、低振動数のばね、すなわち、支持物体のた
めの柔軟な支持の特徴を生ずるための荷重支持ピストン
とを利用するということで、一般的な意味では「空気は
ね」でおる。金属ばねおよび衝撃コードとは異なり、空
気室内の空気圧（したがって上昇力）を変えることによ
り、大きく偏らせることなしに、変化する荷重に対応で
きるように空気ばねを構成できる。

震動絶縁装置は慣性質量を支持することによってのみ作
動する。震動絶縁装置を介して荷重質量へ伝えられる震
動力は、振動数が空気ばね支持機構の共振振動数よυ高
くなると、小さくなる。すなわち、空気−ばね−質量系
の伝達度は、入力振動数が共振孤動数より高ぐなると、
低くなる。

支持されている質量の位置を監視および制御するために
、検出装置は支持されている荷および絶縁装置と一体に
される。空気制御弁が検出装置の部分を形成するのが普
通であって、効果的に動作するために所要の感度を有す
るように構成される。

慣性質量または支持されている台の１番上の部分が震動
絶縁装置において平衡状蒜に達した後で、台の１番上の
部分の位置が検出装置により制御される。更に詳しくい
えば、従来の装置においては、支持されている荷に接触
するアームと、震動絶縁装置に出入りする空気の倉を制
御する弁との間に機械的なリンク機構が設けられる。ア
ームは震動絶縁装置内の圧力により上方へ偏倚させられ
る。

台の１番上の部分に荷が置かれると、アームは下方へ曲
る。リンク機構はアームの動きに追従し、リンク機構の
動きに応答する弁を通る空気の量を直接制御する。弁が
開くと空気は震動分離装置の中に入れられる。荷を支持
しているピストンが上昇すると、台の動きに追従してい
るアームが動き、リンク機構がアームに追従して最終的
には弁を閉じさせる。要約すれば、アームと、リンク機
構と、弁の開閉との間には機械的な対応性が存在する。

平衡点において安定々構造を得るために、震動装置に対
する空気の出入シがないような範囲を制御装置は平衡点
の附近に有する。この不感帯の範囲が、震動を絶縁され
る質量または台を配置できる終局的な精度を決定する。

〔発明が解決すべき問題点〕

一般に、約０．００２５ｘｘ　（約１万分の１インチ）
の感度が期待できる最良のものである。この約０．００
２５ｓｎ（１万分の１インチ）の範囲が一般に不感帯と
呼ばれるものであって、その範囲では応答を受ける前に
荷は動く。具体的にいえば、従来の装置における不感帯
は約０．０００６４〜０．００００４２ｍ　（４〜６万
分の１インチ）である。要約すれば、従来の装置は三状
態制御装置を採用している。それら３つの状態は、震動
絶縁装置に空気が入る状態と、震動分離装置から空気が
出る状態と、震動絶縁装置が実効的に封じＩ）れる第３
の状態とである。この第３の状態が有限な長さを有する
ために不感帯が存在することになる。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、空気により支持される荷の位置を監視し、制
御する検出装置を提供するものである。

検出装置のセンサは支持されている荷に接触する必要は
ない。すなわち、支持される荷とセンサの間には機械的
な対応性は不要である。センサからの信号が調整され、
震動絶縁装置に出入りする空気の是を制御する弁を作動
させる。この分野の装置に固有の不感帯はほぼなくされ
る。好適な実施例においては、１ミクロンの感度が達成
される。

センサは基準面等は支持され、基準面とセンサの間の動
きによって、その動きに対応する出力信号がセンサかも
発生される。その実施例においては、空気により支持さ
れている荷からセンサは離隔される。別の実施例におい
ては、空気により支持されている荷にセンサが固定され
、そのセンサは基準線から隔てられる。

要約すれば、本発明は、空気により支持されている荷の
位置に応答するセンサを備え、そのセンサは荷から隔て
られておシ、荷の位置または向きに対応する出力信号を
生ずる。その出力信号は処理されて制御信号となる。そ
の制御信号に応答した弁が、荷を支持する空気給緑器に
出入りする空気の量を制御する。不感帯が存在しないよ
うにして空気の量は制御される。

本発明の別の実施例においては、センサは支持されてい
る荷に固定され、固定されている基準点、基準面または
基準線から隔てられる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

以下の説明は、震動絶縁装置、とくに、テクニカル・マ
ニュファクチャリング・コーポレーション（Ｔｅｃｈｎ
ｉｃａｌ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｃｏｒｐｏｒ
ａｔｉｏｎ）から入手できるマイクロ−ジー（ｍｉｃｒ
ｏ−ｇ）デュアル・ボスト番アイソレータス（Ｄｕａｌ
　−ＰｏｓｔＩｓｏｌａｔｏｒｓ）　、タイプ４に組込
まれている本発明の検出装置についてのものである。そ
の震動！！！縁装置の台の１番上の高さは約６１　ｃｒ
ＩＬ（２４インチ）、ｉ量は約２７２２ｋｇ（６０００
ボンド）である。台の１番上の部分の位置の監視と制御
はＸＹ平面を基準として、２軸に沿って行われる。しか
し、別の実施例について述べるように、検出装置のセン
サは、荷の６つの自由度、すなわち、そのうちの３つの
自由度が位置Ｘ、Ｙ、Ｚ、３つの自由度が回転ＸＹ、Ｘ
Ｚ、ＹＺである、のいずれかにおける空気により支持さ
れる荷の位置を監視し、制御する。

第１図および第２図を参照して、震動絶縁装置１０は２
組のデュアルポスト絶縁装置１２１と１２ｂ１１４＆と
１４ｂを有する。デュアルポスト絶縁装置１２ａ　、　
１２ｂはｎ　１６ａ　、　１６ｂにより互いに連結され
、デュアルポスト絶縁装置は棒１８ａ　、　１８ｂによ
り互いに連結される。各デュアルポスト絶縁装置にはド
ーム形ピストンが設けられる。２組のデュアルポスト絶
縁装置は連結棒２０．２２により互いに連結される。セ
ンサ３６ａ　、　３６ｂ　、　３６ｃは同一であるから
センサ３６ｍについてだけ説明することにする。

第２図を参照して、絶縁装置１２．１４の１番上のドー
ム状の部分の上に台の１番上の部分が置かれ、支持され
る。

第３図を参照して、絶縁装置１４ｍは導管３２寞を有し
、その導管を通じて空気が絶縁装置に出入シできる。導
管を通る空気の流れは、第４図と第５図に示されている
制御装置の三方二位置弁２８＆により制御される。セン
サはＸＹ平面内の３個所の点を定め、台の１番上の部分
のＺ軸に沿う動きを監視する。従来の装置と同様に、１
個のセンサが、一対の絶縁装置に通じる弁を制御し、他
の各センサが関連する弁と他の各絶縁装置へ出力を与え
る。

絶縁装置１４ａに通じる弁２８＆をセンサ３６ａが制御
するものとする。センサ３６ｂは絶縁製ｆ１４ｂに通じ
ている弁２８ｂを制御し、センサ３６ｅは絶縁装置１２
ｍと１２ｂＶＣ通じている弁２８ｃを制御する。（従来
の装置では、導管３２ｍ　、　３２ｂ　、　３２ａを通
る空気の制御が機械的な弁により制御されていた。）絶
縁装置に出入りする空気の流体力学的挙動は周知のこと
でおるから、それについての説明は省く。

第４図を参照して、センサ３６ａ（近接検出器）が台の
１番上の部分２６（支持されている荷）から隔てられ、
台の１番上の部分２６の動きに応じて信号を生ずる。そ
の信号は制御回路３８で処理される。処理された信号は
三方二位置弁２８１を作動させ、それＫより空気が（１
）絶縁装置１４＆の中に入れられたシ、（２）絶縁装置
１４ａから出されたりする。絶縁されている質量が平衡
ピストンに近づくと、制御回路は、絶縁されている質量
の共振振動数よりはるかに高い周波数で、弁を２つの状
態の間で交番させる。ここで説明している実施例では、
この交番周波数は１００Ｈｚであるが、台の共振振動数
は約１）ｆｚ″Ｔ：ある。先に述ぺたように絶縁装置の
共振特性のために、絶縁されている質量はこの交番によ
りひき起される気体の迅速な（１００分の１秒）出入シ
には応答せず、絶縁装置に出入りする気体の、多くの又
番サイクルにわたって平均された正味の流入量または流
出公のみに応答する。この正味の気体量の制御は、絶縁
装置に気体が入る時間と、絶縁装置から気体が出る時間
との比を変えることにより決定される。平衡位置におい
ては、絶縁装置を出入りする気体の正味の量は平衡し、
絶縁されている質量は動かない。質量がこの平衡位置か
ら動かされると、その平衡が崩れて、正確な平衡が達成
されるまで気体は絶縁装置に入る（または出る）。その
平衡状態は、絶縁されている装置が近接検出器から正確
な距離にある時のみ得られる。

平衡位置において制御装置が動作し、したがって１生き
ているゼロ」を有することが本発明の大きな特徴である
。したがって質量を位置させることができる感度に対す
る究極の制限は「ノイズ」および制御装置の利得が有限
であることである。

不感帯はない。

制御装置を真の積分器として構成できることが本発明の
別の大きな特徴である。これはここで説明している実施
例のケースである。すなわち、絶縁されている質量の位
置が、絶縁装置番で入った気体の総量に関係する。その
ような積分サーボの応答はこの分野において知られてお
り、その積分サーボの１つの特徴は低い周波数において
非常に高い利得を有することである。すなわち、質量を
位置させる確度が時間の経過とともに高くなる。

この実施例の更に別の大きな利点は、自由質量／空気系
の共振振動数よりはるかに高い変調周波数を使用するこ
とでおる。これにより、絶縁されて込る質量は多くの交
番サイクルにわたって平均した正味の気体量のみに応答
し、各サイクルの途中で起る入力および出力には応答し
ないようにされる。この実施例においては、振動が起き
ないように系の全体の利得が選択される。積分サーボ系
の挙動は知られているから説明は省く。との実施例では
、積分サーボ系の全利得が空気パッドの共振振動数（約
ＩＨｚ　）において１をこえないようにするだけで十分
である。ここで、この実施例における最高許容利得を計
算してみる。

Ａ＝絶縁装置のピストンの実効面積（ａＩＩ）、■＝絶
縁装置の実効体積（−）、Ｖｍａｘ　＝制御弁を流れる最大正味体積流量（ｃｔｉ
Ｓ−１）。これは、弁が完全に開いている時の流量であ
る。入力流量と出力流量が等しいと仮定する。

Ｋ冨近接検出器の特性（Ｖｏｌｔは−１）Ｇｅ２Ｓ３　
＝制御増幅器の電子的利得、Ｒ＝パルス幅変調器の比例
応答（Ｖｏ　１　ｔ−リ。

とする。

第４図を参照して、増幅器Ｖｌの入力端子に小さい信号
δが与えられたと仮定する。そうするとその増幅器の出
力はＧｓｌｅｗδだけ変化する。パルス幅変調の変化は
Ｇｅｌ＠ＣＲδである。空気パットに入る正味の空気量
はＧ＠ｌ＊ｃＲＶ工、Ｘδである。時間Ｔの間に空気パ
ッド内で増加する正味の体積はＧ・１＠ｃＲＶ工ａｘＴ
δである。そうすると、絶縁されている＊量はＧ＠ｌ＠
（ｌ　ＲＶｙＨ１Ａ’″１７δだけ増す。高さの変化の
ためにセンサからの信号がＧｅｌ＠ｅＲＶｒｒ１．ｘＡ
−”ＩＫＴａだけ変化させられる。したがって、周波数
Ｔ″″１における全利得ＧはＧ＝Ｇｏ１．、Ｒｖｒｒｌ
、ｘＡ−ＩＫＴである。

この実施例において前記パラメータが下記の値を有する
ものとする。

Ａ＝２００ｉＫ　＝　１０　ｗａｉｔ／ｍｉ＜＝　１０２ｖｏｌｔ／
（ＨＩＲ＝　１／２．５　ｖｏｌｔ（０，４−”）　＝
　２．５ボルトに対して１００％変調 ■工ａｘ　−２Ｌ／分ミ３３−／秒ｌＨｚにおいて利得が１であると、１３１秒したがって
１　＝Ｇｅｌ＊ｅ（０，４ｖｏｌｔ−”）（３３ａＩＩ
秒）　（２００ａｄ）−１（１００ｖｏｌｔｃｍ−１）
。このことはＧ５１ｅａ＝６．６であることを意味する
。したがって、安定に動作させるためには、制御回路に
おける正味の電子増ｔＸｉ率は６．６より低いか、それ
に等しいだけで十分である。別の実施例ではこの最高利
得の大きさは異なることがある。

次に、擾乱に対するこの実施例の応答について説明する
。第５図を参照する。この図は制御回路３８とくに３８
ａが示されている。制御回路３８のうち同一の部分は４
０ａ　、　４０ｂ　、　４０ｃおよび４２＆。

４２ｂ　、　４２ｃとして示しである。絶縁されている
質量が下方へ１（ｌクロン（０，０１０ｍ）だけ移動さ
せられる。そうするとセンサからの誤差信号電圧クスー
モデル（Ｍａｔｒｉｘ　ｍｏｄ＠ｌ）　３０６８、プロ
ーブモデルｎｏ　、　２８７７−０７　ｂ延長ケーブル
およびモデル５３３１−０１ｂプローブドライバ、であ
る。）その誤差信号電圧は制御回路３８のＡ点に与えら
れる。

その誤差信号電圧は２分の１　（４０ｍＶ）に分圧され
てから最初の増幅器人力段ＢＫ現われる。との増幅器段
（テキサス・インスツルメンツ（７ｅｘａａＩｎｓｔｒ
ｕｍ＠ｎｔｓ）　ＴＬＯ８４ＡＣＮ中の１つの演算増幅
器を用いる）は利得が１の反転増幅器であって、Ｃ点に
＋４０ｍＶの出力変化を生ずる。その出力は可変利得、
可変設定点反転増幅器である第２の増幅器段（上記テキ
サス書インスッルメンツＴＬＯ８４ＡＣＨの１つの演算
増幅器を用いる）へ与えられる。

この増幅器の利得は５であって、その増幅器の出力点り
に設定点電圧とは一２００ｍＶだけ異なる信号を生ずる
。その出力信号は−２，５ｖの電圧に加え合わされ、第
３の増幅器段（前記テキサス・インスツルメンツ’ｒＬ
Ｏ８４ＡｃＮの１つの演算増幅器を用いる）により反転
される。（それら３つの増幅器段の合計利得は前記した
利得と同じである。）第３の増帽器段の出力は＋２．７
ｖであって、Ｅ点に現われる。この出力はアナログ−デ
ジタル変換器（テキサス・インスツルメンツＴＬ５０７
ＣＰ）の入力端子へ与えられる。この入力端子は３．９
ｖツエナーダイオードＦにより最小電圧と過大電圧から
保護される。アナログ−デジタル変換器Ｆの出力は０〜
５，５Ｖのパルス列であって、それの周波数はタイマに
より決定され、それのオン状態時間とオフ状態時間の比
は入力電圧により決定される。この実施例においては、
出力が高レベルになっている時間の割合は最初は約８％
だけ高くなる。Ｅ点に現われる出力パルス列は次の段（
テキサス・インスッルメンツＴＬＯ８４ＡＣＮの１つの
演算増幅器を用いる）によりバツファされる。

そのパルス列信号はナンドゲートスイッチェ（ＴＴＬ７
４００　）によ）オン、オフできる。そのスイッチは、
電動絶縁装置を効果的に封じる弁の分離も制御する。こ
れは便宜上そうするわけであるとともに、サーボが不能
になった時に過大な気体が震動絶縁装置に出入りするこ
とを防ぐためにも必要である。パルス列はオグトエレク
）ｏニック分離器（４Ｎ３５）へ入力される。この分離
器の出力はドライバＫ（テキサス・インスツルメンツ５
Ｎ７５４５１ＢＰ）へ入力される。このドライバの出力
は三方二位置弁２８ａ（ノーゲン（Ｎｏｒｇ＠ｎ）ＮＣ
−Ｖ３３１Ｐ７−５ＢＮＮ）ｔ−開いて、初ＨＡ　平均
Ｒｆｌ　約２．６ｃｄ／秒の気体を震動分離装置に入れ
させる。そうすると、震動絶縁されている質量が上昇さ
せられる。その質量が上昇すると瞑差信号が小さくなシ
、その結果として、震動絶縁装置に入る気体の平均流量
が減少す−る。したがって、質量は元の位置へ漸近的に
戻る。利得を計算値より低い値に固定することによジオ
−バーシュートの発生が抑えられる。実際には、質量は
数秒以内に元の位置の１ミクロン以内へ戻る。

この実施例に対して行った実際の試験においては、約２
７２．２階（６０００ボンド）の表面板をプラスマイナ
ス１ミクロン以内で数日間にわたって支持した。この精
密な制御は、低い振動数において非常に高い利得を有す
る検出装置の生きているゼロ（ｚｔマ・２［相］ｒｅ）
積分の性質によるものである。

この実施例においては、台は３個所の位置（すなわち、
３個の近接検出器から固定された距離）を基準忙して位
置させられる。その装置は台の一番上の部分の平面を定
める。

次に第６図を参照する。別の実施例においては、点Ｐｉ
（近接検出器）における台の１番上の部分１００が前記
実施例におけるようにサーボにより固定される。それか
ら、他の２つの自由度が、電子的レベルトランスデュー
サ（プレシジョン・レベル・バイアル（Ｐｒｓｃｉｓｉ
ｏｎ　Ｌｅｖｅｌ　Ｖｌａｌ）モデルＥＬＴ　−３００
−１）のような傾斜計１０２　、１０４により、台の１
番上の部分１００のロールとピッチを検出することによ
り固定されて、台の１番上の部分がその場所の鉛直方向
に対して上下した時に誤差信号を生ずる。傾斜計１０２
　、１０４は、近接検出器により固定されている２１点
とそれぞれの震動絶縁装置１０６　、１０８を結ぶ直線
に対して垂直に向けられ、一方の震動絶縁装置が動いて
も、他方の震はさ々い。電子的レベルトランスデューサ
ＥＬＴ　−３００−１に使用できる前記実施例で示した
制御回路の変更例を第７図に示す。

傾斜計の向きは第６図に示すようには制限されない。純
粋なピッチおよび純粋なロールのような他の向きも採用
できる。その実施例においては、各震動絶縁装置へ適切
な誤差信号を与えるために１制御回路は加算増幅器と減
算増幅器を含む。

次に、本発明の別の実施例が示されている第８図を参照
する。この実施例においては、震動絶縁されている質量
の位置が、前記実施例のサーボを用いて２１点に固定さ
れる。第６図および第７図に示す実施例におけるように
、ピッチとロールは電子的レベルトランスデューサ１５
２　、１５４により制御される。この実施例においては
、電子的レベルトランスデューサは互いに直交するよう
に配置されるから、ピッチとロールを直接制御する。安
定させるために、受動支持装置として第４の震動絶縁製
ｆ１５６が用いられる。その受動支持装置においては、
−宇圧力の恒体寸たは一宇体蹟の伝休が受動震動絶縁装
置１５６の中に入れられる。

次に、本発明の更に別の実施例が示されている第９図を
参照する。この実施例では貨動絶縁されている質量２０
０が６つの可能な自由度の全てに関して固定される。前
記実施例のように高さとレベルが維持される。３個の垂
直センサにより決定された平面内での台の向きは別の３
個のサーボにより維仲される。それら３個の別のサーボ
のセンサが空気震動絶縁装置２０２　、２０４　、２０
６の次に示されている。水平面には重力の復帰力は存在
しないから、サーボにより制御されるピストンへ逆向き
の力を与えるために更に３台の空気震動絶縁装置２０８
　、２１０　、２１２を必要とする。この実施例は震動
絶縁されている質量の全ての可能な動きに対して非常に
精密な配置を行う。

支持装置として４台の震動絶縁装置を用いる台について
本発明を説明した。本発明ではそれより多くの、または
それより少い震動絶縁装置を用いることもできる。

本発明を誘導近接センサを用いる例について説明したが
、容量型距離センサ、干渉計、スゲリットダイオードお
よびダイオードプレイ、赤外線近接検出器、光フアイバ
近接検出器、超音波近接検出器および光近接検出器のよ
うな他の種類のセンサも使用できる。また、直接接触型
センサも使用できる（もつとも、弁へ直接連結される機
緘的リンク機構ではない）。そのような接触型センサに
はたとえば直線型ポテンショメータ、直線型可変差動ト
ランス、直線型符号器、直線型インダクトシン（商標）
が含まれる。回転を制御する実施例においては、傾斜計
、水準器、角度センサ、回転符号器、回転インダクトシ
ン（商標）、可変差動トランス、回転ポテンショメータ
、干渉計およびオートコリメータ等が用いられる。

第４図と第５図に示す回路は比例帰還装置である。同じ
結果をもたらすために同様に機能する他の装置は比例−
積分−差動（ＰＩＤ）制御器が含まれる。更に、震動絶
縁装置１２＆と１２ｂに空気を供給する導管３２ｅを通
る空気の流量を２倍にするために、制御回路３８を変更
できる。

本発明の好適な実施例とその他の実施例を、支持される
荷から隔てられているセンサに関して説明した。センサ
をある固定基準点は支持して支持されている荷に固定し
、その荷がその基準点に対して動いた距離を検出して出
力信号を発生するようにすることも本発明に含まれる。

たとえば、その基準をある固定点まで、張られているワ
イヤにより定められる線まで、基準レーザビームまで、
その場所の鉛直線まで、等の距離とすることができる。

荷または一連の荷は基準レーザビームに対して向けるこ
とができるが、そのようにすることが好ましい。また２
個以上のセンサを用いる場合には、それらのセンサを全
て支持されている荷から隔てて設けることができ、また
は支持されている荷に全てのセンサを固定しである固定
基準点から隔てることができ、あるいは支持されている
荷に固定するセンサと荷から隔てられるセンサの任意の
組合わせを用いることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の検出装置を有する震動絶縁装置の斜視
図、第２図は台の１番上を有する第１図の装置の斜視図
、第３図は第１と第２図の震動絶縁装置センサ装置一台
の１番上の組合わせの部分斜視図、第４図は本発明の検
出装置の機能ブロック図、第５図は第４図に示す検出装
置の回路図、第６図はピッチおよびロールに対する空気
により支持される荷の位置を監視および制御する検出装
置の線図、第７図は第５図に示す回路の変更例の回路図
、第８図はピッチおよびロールに対する空気により支持
される荷の位置を監視および制御する装置の線図、第９
図は６つの自由度において空気により支持される荷の位
置を監視および制御する装置の線図である。１２．１４，２０２，２０４，２０６，２０８，２１０
，２１２・・・・デュアルポスト震動絶縁装置、３６・
・・・センサ、２８・會・・三方二位置弁、３８・・・
−制御回路、１０２　、１０４　、１５２　、１５４・
・Φ・傾斜計。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）少くとも１つの空気震動絶縁装置により支持され
ている荷の位置を検出する過程と、基準点から離隔されているセンサから、支持されている
荷の位置に対応する信号を得る過程と、出力信号を得る
ように前記信号を調整する過程と、空気震動絶縁装置に入る気体の流量と、空気震動絶縁装
置から出る気体の流量を、前記出力信号を基にして制御
する過程とを含み、前記センサは、空気震動絶縁装置に入る気体の
量と、空気震動絶縁装置から出る気体の量を制御する弁
に通じる、空気により支持されている荷の位置を監視し
、制御する方法。
（２）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、震動
絶縁されている質量の共振振動数より高い周波数を有す
るように出力信号を調整する過程を含むことを特徴とす
る方法。
（３）特許請求の範囲第２項記載の方法であつて、空気
振動絶縁装置に入る気体の量と、空気震動絶縁装置から
出る気体の量との比を変える過程を更に含むことを特徴
とする方法。
（４）特許請求の範囲第２項記載の方法であつて、複数
の交番するサイクルにわたつて正味の流量を平均化する
過程を含むことを特徴とする方法。
（５）特許請求の範囲第４項記載の方法であつて、変位
させられた質量がそれの零位置へ漸近的に戻るように、
空気震動絶縁装置に入る気体の量と、空気振動絶縁装置
から出る空気の量を制御する過程を含むことを特徴とす
る方法。
（６）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、ＸＹ
平面内での質量の変位を検出する過程を含むことを特徴
とする方法。
（７）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、ＸＹ
平面内での質量の変位を検出する過程を含むことを特徴
とする方法。
（８）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、質量
の６個の可能な自由度内でのいずれか１つにおける支持
されている質量の変位を検出する過程を含むことを特徴
とする方法。
（９）基準点から離隔され、空気震動絶縁装置により支
持されている荷の位置に対応する信号を生ずるようにさ
れたセンサと、このセンサからの信号を処理して出力信号を生ずる手段
と、前記出力信号に応答して空気震動絶縁装置に出入りする
空気の流れを制御することにより、支持されている荷の
位置を制御することを特徴とする空気により支持される
荷の位置を監視し、制御する装置。
（１０）特許請求の範囲第９項記載の装置であつて、弁
は出力信号に応答して２つの状態の間で交番するように
され、震動絶縁されている質量の共振振動数より高い周
波数を有するように出力信号が調整されることを特徴と
する装置。
（１１）特許請求の範囲第９項記載の装置であつて、空
気震動絶縁装置に入る気体の量と、出る気体の量との比
を変える手段を備えることを特徴とする装置。
（１２）特許請求の範囲第１１項記載の装置であつて、
出力信号の周波数を変えることにより、震動絶縁されて
いる質量が、多くの交番サイクルにわたつて平均された
正味の気体流量にのみ応答するようにする手段を備える
ことを特徴とする装置。
（１３）特許請求の範囲第９項記載の装置であつて、変
位させられた質量がそれの零位置へ漸近的に戻るように
、空気震動絶縁装置に入る気体の量と、空気震動絶縁装
置から出る空気の量を制御する手段を備えることを特徴
とする装置。
（１４）特許請求の範囲第９項記載の装置であつて、セ
ンサは、支持されている質量のＺ軸に沿う変位を測定す
るために位置させられることを特徴とする装置。
（１５）特許請求の範囲第９項記載の装置であつて、Ｚ
軸に沿う３個所の点の各点における質量のそれぞれの変
位を測定するために、関連する空気震動絶縁装置におの
おの組合わされる３個のセンサを備えることを特徴とす
る装置。
（１６）特許請求の範囲第９項記載の装置であつて、Ｘ
Ｙ平面内での質量の変位を測定するためにセンサが位置
させられることを特徴とする装置。
（１７）特許請求の範囲第９項記載の装置であつて、質
量の６個の可能な自由度内での質量の位置を測定するた
めに３個の垂直センサと３個の水平センサを含むことを
特徴とする装置。
（１８）特許請求の範囲第９項記載の装置であつて、基
準点は支持される荷であることを特徴とする装置。
（１９）特許請求の範囲第９項記載の装置であつて、セ
ンサは支持されている荷に固定され、基準点から離隔さ
れることを特徴とする装置。