JPS6229885U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6229885U JPS6229885U JP1985117199U JP11719985U JPS6229885U JP S6229885 U JPS6229885 U JP S6229885U JP 1985117199 U JP1985117199 U JP 1985117199U JP 11719985 U JP11719985 U JP 11719985U JP S6229885 U JPS6229885 U JP S6229885U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- optical system
- workpiece stands
- scan optical
- substrates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims 4
Description
図は本考案の一実施例の概略構成を上面図で示
す。 図中、１はインデツクステーブル、２〜５は載
物台、６，７はプローブユニツト、８，９は供給
マガジン、１０，１１は排出マガジン、１２はロ
ーダ／アンローダ、１３はスキヤン光学系、１４
はレーザ装置。
す。 図中、１はインデツクステーブル、２〜５は載
物台、６，７はプローブユニツト、８，９は供給
マガジン、１０，１１は排出マガジン、１２はロ
ーダ／アンローダ、１３はスキヤン光学系、１４
はレーザ装置。
Claims (1)
- 一対の載物台があらかじめ定められた２箇所の
インデツクス位置に設けられた回転式インデツク
ステーブルと、該インデツクステーブルの一対の
載物台に対してそれぞれ基板をロード／アンロー
ドする装置と、レーザ装置と、前記一対の載物台
上におかれた２枚の基板に対してレーザトリミン
グを行うスキヤン光学系と、前記一対の載物台上
におかれた２枚の基板に対してそれぞれ別々にプ
ロービング可能な一対のプローブユニツトと、前
記一対の載物台上におかれた２枚の基板に対して
それぞれ交互に前記プローブユニツトによるステ
ツプアンドリピート動作と前記スキヤン光学系に
よるトリミング動作を行わしめる制御部とを備え
たオートローダ付高速レーザトリミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985117199U JPS6229885U (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985117199U JPS6229885U (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6229885U true JPS6229885U (ja) | 1987-02-23 |
Family
ID=31002490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985117199U Pending JPS6229885U (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6229885U (ja) |
-
1985
- 1985-08-01 JP JP1985117199U patent/JPS6229885U/ja active Pending
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