JPS62299731A - 測定装置用の力感知装置 - Google Patents

測定装置用の力感知装置

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JPS62299731A
JPS62299731A JP14246986A JP14246986A JPS62299731A JP S62299731 A JPS62299731 A JP S62299731A JP 14246986 A JP14246986 A JP 14246986A JP 14246986 A JP14246986 A JP 14246986A JP S62299731 A JPS62299731 A JP S62299731A
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JP
Japan
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sensing device
block
force sensing
narrow
force
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ズヴイ・ミシュリボルスキイ
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ESERUTO MORO
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 この発明は、秤量装置のごとき測定装置のための力感知
装置に関する。
IL行内面体に凹所を形成することにより力の弱い薄い
区分を設け、歪ゲージのごとき変形を検出するのに適し
た素子により、被秤量物体の作用下に前記区分の変形を
測定ケるようにした力感知装置は既に周知である。上3
c!型式の力感知装置は、一般に、片持し支持されかつ
ブロックの隅に接近してその下面に配置された適用部域
と、前記隅と対角線方向に対向した隅に接近してブロッ
クの上面に配置された被測定力の受理部域とから成る。
実際上、被測定力の受理部域には、被秤量物体を任意の
点に載置する板が付加される。かかる物体を正確に測定
するためには、板上の物体の位置の不必要な影響を除去
する(または最小にする)のがよいことは理解されよう
。故に、かかる装置は、偏心した力により生じる曲げモ
ーメントにたいして可及的に4感性であるのがよいと考
えられる。
この目的で、種々のブロックの形態が提案されており、
フランス特許PR−2,386,024号またはヨーロ
ッパ特許E l) −0060766号に提案されたも
のは全く満足なものである。
これらの特許では、最大と最小の一定寸法(それぞれ「
長さ」およびr幅」と呼ばれる)を水平な平面内に配向
し、幅と長さとの中間の「高さ」と呼ばれる第3寸法を
垂直に配向した平行六面体ブ【1ツクが提案されている
。ブロックにその幅方向に種々の凹所を設けることによ
り、2本の垂直な柱が狭い帯域により水平な横方向素子
へ接続された、変形可能な平行四辺形を形成しており、
これら2本の垂直柱は、幅方向に対して垂直に撓みうる
中央の垂直な可椅性素子により、水平横方向素子間で互
いに接続されている。この中央素子は、Qa心した力に
より発生する曲げモーメントを除去することを可能にす
る。適用される負荷の測定は、ビームのうちの1本を適
用部域の側の対応する柱へ接続する狭い帯域の各側に配
置されたゲージにより行われる。
いま一つの形態が米国特許第4.432.247号に提
案されており、ブロックの最小寸法(高さ)は垂直方向
に配向される。かかるブロックには幅方向に凹所が形成
され、輻方向寸法は、長さくやはり水平方向に配向され
る)よりも小さいが、高さよりも非常に大きい。かかる
凹所は、大きい寸法(幅方向)の狭い帯域を介して上方
および下方の板へ接続された2個のどっしりした水平な
柱から成る非常に偏平な下行四辺形を形成する。被秤量
物体の測定は、全体として可撓性ビームとして挙動する
かかるブロックの上方板を境を成す狭い帯域の上方に取
り付けた歪ゲージにより行われる。偏心した力により生
じる曲げモーメントに対するある程度の不感応性は、水
トな平面において人きい剛性をブロックに付与する大き
い幅により得られる。
上記各型式の凹所付き平行六面体ブロックから形成され
る力センサの感度は、その幅が増加する場合に減少し、
而して、米国特許第4、イ32.247号の場合、可撓
性ビームの偏心力に対する感度が低い結果、測定感度が
低く、従って測定精度が低い、ということに注目されよ
う。
この発明は、幅方向に凹陥した平行六面体ブロックから
成り、(前記ブロックの高さよりも非常に小さい幅に起
因して)大きい感度、従ってまた高い精度、並びに、偏
心力に対ケる非常に低い感度を与え、しかも、全体の構
成が前記フランス特許P R−2,386,024号、
更には、ヨーロッパ特許E P〜0.060766号よ
りも簡単でありかつ容易に(低コストで)製作できる、
型式のカセンサノこ関する。
この目的のために、本発明は、長さと幅が直交水・■L
軸軸線より測定されかつ高さが垂直軸線により測定され
る一般に平行六面体のブロックから成り、かかるブロッ
クを幅方向に凹陥させるごとにより、2対の狭い帯域に
より2本のの上方および下方の水平ビームへ接続された
2本の垂直柱を形成した、型式の秤へ1装置としての力
センサであって、これらの柱の1本はブロックをベース
へ固定°4°るためのものであり、他の1本は秤量され
る負荷を収容する板へ取り付けられものであり、かかる
センサはまた、高さの方向に狭いブロックの少なくとも
1つの帯域に関連した曲げ変形に応答するようにしたも
ので、かかるブロックの特徴は、下記の組憂合わせに在
る。
− ブロックを縮小して単一・の中央凹所を有する変形
可能な平行四辺形とし、長さよりら小さい高さを、幅よ
りも大きくするニ ー 撓み変形に感応する素子は、水平ビームのうちの1
本を垂直柱へ接続する2つの狭い帯域と対向したブロッ
クの実質的に平らな水平向に配置されるニ ー 前記感応素子を担持したビームの狭い帯域の可撓性
は、他方の水平ビートの狭い帯域の可撓性よりも高い: この発明はその組み合わけが前記文献のいずれにも記載
または暗示されない一群の特徴を提案するものであるこ
とに注目されよう。また、中央凹所を何するかかるブ「
1ブクを秤量用の力センサに用いることはこれらの文献
からすでに知られているが、これらの文献は歪ゲージを
各狭い帯域に関連させ、種々の狭い帯域が同一の可撓性
を呈するように、ブロック形態に高度な対称性を保つこ
とを一貫して提案するものであることに注目されよう。
本発明は、変形検出部材の配置並びに各種の狭い帯域の
形状と機械的特性に関して周知装置の殆どのものにより
実際に教示された対称性を放棄することを提案するもの
である。
−L方および下方のビームが同じ材料のものである場合
、かかる可撓性の差は、両ビームの狭い帯域の厚みの差
により得られる。かかる可撓性の差は、前記狭い帯域(
またはこれを設けたビーム)の幅または機械的特性の適
当な差により得ることもできる。
感応素子または部材は好ましくは上方部材に担持される
本発明の好適実施例において、撓み変形に感応する部材
は、可撓性であり、かつ好ましくは、例えば印刷回路板
から成るブロックの上方ビームの変形に追従すべくなし
た柔軟な回路に属する。前記感応部材は、例えば接着に
よりブロックの上面へ直接に付与するのが有利であり、
あるいは柔軟な支持層を介して接続される。前記部材は
池の周知の方法によりこのブロック上で得ることができ
る。
機械加工を簡単ならしめるために、ブロックの中央凹所
は狭い帯域と境を成しかつ長方形として配置された4矧
の小さい筒状孔を接続する中央簡抜孔により形成するの
が有利である。実際に、穿孔は特に安価な機械加工操作
であることは知られている。事実、狭い帯域、特に、上
方ビームの狭い帯域の形状は重要であり、中央凹所の残
部は全く中程度の公差で得ることができる。
本発明の有利な形態の実施例によれば、平行六面体ブロ
ックは、有利には2種類の材料から作られた2個の部品
、即ち、感応素子を担持した可撓性ブレード部分と、U
字形フレー11とから作られる。2部分から成るこの形
態の実施例は、ブロックの製作を容易ならしめる(仮に
頭と足とを突き合わせて置かれた2個のU字形フレーム
を切削することにより得られ、単一のブロックの場合よ
りも金属のロスが少ない)と共に、感応素子の回りに金
属ベローのごとき密封された絶縁スリーブを固定するの
を容易ならしめる。かかる構成は、異なる性能の複数個
の可撓性ブレードを同一のフレームに装着するのを可能
にすることにおいても有利であり、かかるブレードはU
字形フレームへ付加することなしにある種の用途におい
て単独で使用でき、またその反面、異なる機械的特性お
よび組成を持つ複数個のU字形フレームの任意のものに
選択的に装着できる。
この発明の目的、特徴および利点は、添付図面に関する
以下の記載から明らかになろう。
第1図は、4で示すベースへ取り付ける適用支ト、シ部
3と、これと対角線方向に対向して被測定力を受けるべ
くなされた受理支持部5とを呈する実質的に平行六面体
の均質なブロック2がら成る力センサ!を例示する。
実際には、かかる受理支持部は、被秤量物体を支持する
だめの参照符号6で示した板を受理し固定するようにな
っている。ブロックにはこれをベース4および板6へ取
り付けるためにねじのごとき固定部材と協働するねじ7
.8が形成されている。
面記ブロックは、その大きい寸法が水平軸線X−Xによ
り「長さ」Lと呼ばれ、その小さい寸法が第1図の平面
に対して垂直な水平ll1l線Y−Yにより「幅」と呼
ばれる。このブロックは、被測定力Fの方向と平行な垂
直軸線Z−7,により、長さよりも小さが幅よりも実質
的に大きい「高さ」と呼ばれる寸法を呈する。
ブロック2は、適用部域3に対して前直な第1垂直柱2
A、受理部域5の下の第2垂直柱2B。
およびかかる柱へそれぞれ狭い帯域9A、9Bと90.
9Dを介して接続された上丁2つの水平なビーム2C,
と2Dから成るように、軸線x−XおよびY−Yに対し
て垂直に幅方向に凹陥されている。軸線X −Xにより
測定した上方ビーム2Cと境を成す狭い帯域9A、9B
の厚みclは、ド方ビーム2Dと境を成す狭い帯域9C
,9Dの厚みe2よりら小さい。而して、帯域9A、9
13の可撓性は、狭い帯域9C,9Dの可撓性よりも高
い。
有利には、ブロック2の中央凹所は、小半径rの4個の
筒状孔12Δないし12Dを接続4−る半径R1中心O
の中央筒状孔11から成り、4個の各筒状孔は、狭い帯
域の1つを規定しており、また軸線X−X、Y−Yと平
行な辺を持フ長方形O1,02,03,04の隅に従っ
て心出しされている。
例えば、l 1Ox40x20 (単位m m )のブ
ロックにおいて、Rは17.5mm、rは7.5m m
 、狭い帯域の厚みは、e I =2.5mm、e2=
3.5mmで、狭い帯域は軸線X−Xと平行に離間(距
離Of、02またLi2S、04)t、ている。
経験によれば、良好な精度を得るには、和e1→−82
が公称値(例えば、上記の場合1.8mm)よりも大き
いことが望ましく、また 遭遇する偏心負荷に対する低
い感応性を得るには、差cl−e2を0と異なる最小値
(例えば、本例の場合、0.6)よりも大きくするのが
有利である。
ブロック2の上面に最大の可撓性の狭い帯域9A、9B
に対向して、かかる帯域の撓み変形に感応する感応素子
13A、13Bが配置されている。
これらの感応素子は、垂直柱2Aの上方の残部分13C
から成る柔軟な回路13、即ち、歪および変形に関して
中立の帯域内で接続されている。
かかる柔軟な回路13の詳細は、ブロックの」一方区分
を示す第2図に示されている。
本発明の有利な実施例によれば、感応素子および回路1
3の残部は非常に狭い面に設けられることに注目されよ
う。
第2図の回路13は、感度の温度ドリフトを捕atべく
グリッド15および非作用ゲージ16A。
16I3から成る部分回路13Cへ錫メッキされたワイ
ヤ14A、14B、14c、14Dを介して接続された
歪みゲージから成る感度素子13A。
13Bから成る。かかる回路は、出力端子17を有する
図示しない本発明の改変実施例では、非作用ゲージは、
ブロックの垂直面へ取り付けられる。
柔軟な回路13は、導線から成る回路キャリヤ19(印
刷回路板)を接着し、次いでグツリド15と非作用ゲー
ジ16A、16Bとをかかるキャリヤへ接着することに
より作用ゲージ13A、13Bを狭い帯域9A、9Bへ
接着することにより直接に得られる(接着帯域は第2図
の18で示されろ)。
これらの接着部は、実際には、次いでオーブンへ入れら
れ、これら素子の圧力固定により熱的に固められる。
図示しない改変実施例では、回路!3の残部は、感応素
子+3A、1313(これは、例えば厚さ約10ミクロ
ンのポリアミド層またはエポキノ層である)間に配置さ
れる。本発明の他の改変実施例によれば、部分13A、
13B、13Gは同一の連続回路に属する。
第3図は、第1図の改変形態を示すもので、ブロック2
゛の垂直柱2゛Δ、2°Bはブロックの残部に関して増
加した高さ2Δ)lを有しくかくして、ベースへまたは
板への取り付けを容易ならしめる)、また狭い帯域9°
A、9°B、9″C19°Dは、長方形の中央孔により
連結された小さい孔により決められる。ブロック2°は
、垂直柱に幅方向の孔20を呈し、これによりかかる柱
を1it記ベースまたは前記板へ取り付けることかでき
る。柔軟な回路13°は、連続しており、ブロックの左
上隅へ延びている。
本発明の有+1な形態の実施例によれば、本発明による
力感知器の平行六面体ブロックは、並行した製造工程で
得られるも異なる材料(金属および\またはプラスチッ
ク、樹脂)の2個の区分から作られる。
第4図は、ブロック21を示し、これは、狭い帯域23
A、23Bを介してベースが水平ビーム24へ接続され
た垂直柱22A、22BをHするU字形フレーム22、
並びに可撓性ブレード25から成り、このブレードは、
その両端および柱22A、22BのL方部分に形成され
た孔と螺条26によりねじを介してフレーム22の上方
部分へ付加される。この可撓性ブレードには、狭い帯域
27A、27Bの上方かりその間を連続的に延びた連続
回路28が付加される。かかる回路28には出力線が関
連せしめられる。
第5図は、2個の区分から成るブロックを一致させるこ
との利点を表す構成を示す。図において、可撓性ブレー
ド25は、U字形フレーム22へ効果的に取り付けられ
、フレーム22はベース4へ付加され、可撓性ブレード
の対角線方向の反対端は被測定力Fの受理部域を構成す
る。
M利には、取付は手段(図示せず)により、被測定負荷
の受理部域とかかる可撓性ブレードとがフレームの柱2
211へ固定される。
可撓性ブレード25の上面へ付加された回路28は、密
封された絶縁スリーブ内に全体として配置され、t)η
記スリーブはこの場合かかる可撓性バーの撓みに追従す
る金属製のベローにより構成される。前記ベローの固定
は、垂直に突出した肩31により容易になる。ブロック
21の残部に関してブレード25を除去可能に装着した
ことに鑑み、軸線x−Xによる縦方向の溶接なしにベロ
ー30を装着することができる。
狭い帯域27A、27Bの可撓性は、狭い帯域23A、
23Bの可撓性よりら高い。この差は、前述のごとく、
e″ Iをe”2よりも小さく選ぶことにより得られる
。ブロックが2個の部分から成る構造の利点を利用して
、U字形フレーl、の幅よりも小さい幅の可撓性ブレー
ドを用いたり、づ補性がより高い材料からブレードを作
ることもできる。また、狭い帯域の高さ、幅(更には、
長さ、異なる曲率半径を持つ)およびその構成材料を異
ならしめることも考えられる。
先の記載は記述的ならので限定的な意味のものでないこ
と、また当業者には本発明の範囲から逸脱することなく
本発明を種々改変できるこ、は理解されよう。特に、上
記有利な形態の実施例を組み合わせて第1図および第3
図のブロックを2個の部分から構成し、また中央凹所を
種々改変することができる。
最大可撓性の狭い帯域をブロックの下方部分に位置させ
ることができる。可撓性ブレードは、本発明によりブロ
ックの下方ビームを構成することができる。
図示の各実施例に共通する本発明の種々の特色によれば
、F記の通りである。
−中央開口は軸線X−XおよびY−Yと平行な水平な平
面に関して対称である。
− 中央開口は軸線Y−YおよびZ −7,を含むまた
はこれと平行な横方向垂直平面に関して対称である。
−−互いに向かい合う−L下両ビームヒにそれぞれ配置
された狭い帯域は2つの平行な平面に関して心出しされ
ている。
−狭い帯域は軸線が2つの平行な平面内に対になって位
置した横方向孔により境が決められる。
−歪ゲージは軸線X−xと平行な対応する狭い帯域に関
して対称に配置される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による力感知器の側面図、第2図はその
拡大頂面図、第3図は第1図の感知器の改変実施例によ
る力感知器の側面図、第4図は本発明の他の実施例によ
る力感知器の斜面図、第5図は第4図の力感知器の応用
例の立面図である。 219.ブロック、  2A、2B、、、垂直柱、20
.2D、、、水平ビー11、 601.板、9A、9B
、9G、91)、、、狭い帯域、 21゜1.ブロック
、  22.、、U字形フレーム、25、、、可撓性ブ
レード。

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)直交水平軸線により測定したそれぞれ長さおよび
    幅と呼ばれる最大寸法と最小寸法および垂直軸線により
    測定した高さと呼ばれる中間寸法を有する実質的に平行
    六面体のブロックを備え、かかるブロックにはその幅の
    方向に中央開口を設けて2対の狭い帯域を介して上下2
    本のビームへ接続された2本の垂直な柱を有する変形可
    能な平行四辺形とし、これらの柱の1本はブロックをベ
    ースへ固定するためのものであり、他の1本は秤量され
    る負荷を収容する板へ取り付けられものであり、水平ビ
    ームの1本を垂直な柱へ接続する2つの狭い帯域に対向
    したブロックの実質的に平らな水平面上に配置された撓
    み変形に感応する手段を備え、前記感応手段を担持する
    ビームの前記狭い帯域の可撓性は他方のビームの狭い帯
    域の可撓性よりも高いようにした、秤量装置に用いる力
    感知装置。
  2. (2)前記感応手段は前記上方水平ビームにより担持さ
    れた、特許請求の範囲第1項記載の力感知装置。
  3. (3)前記撓み変形感応手段はブロックの上面へ付加さ
    れた柔軟な電子回路の一部である、特許請求の範囲第2
    項記載の力感知装置。
  4. (4)前記柔軟な電子回路は、前記挟い帯域に対向した
    2個の作用歪ゲージおよびホイートストンブリッジを形
    成すべくこれらのゲージへ接続されかつ変形がゼロであ
    るブロックの上面の一帯域と対向して配置された2個の
    非作用歪ゲージ、および電源部における感度の温度ドリ
    フトを補償するグッリドから成る、特許請求の範囲第3
    項記載の力感知装置。
  5. (5)2対の狭い帯域を規定する前記開口は、前記狭い
    帯域と境を成す長方形として配置された4個の筒状孔を
    接続する主筒状孔から形成された、特許請求の範囲第1
    項記載の力感知装置。
  6. (6)前記平行六面体ブロックは、前記感応手段と垂直
    柱の上方部分とを含む可撓性ブレードと、前記可撓性ブ
    レードを除去可能に接続したU字形フレームとから作ら
    れた、特許請求の範囲第1項記載の力感知装置。
  7. (7)前記可撓性ブレードと前記U字形フレームとは異
    なる材料から作られた、特許請求の範囲第6項記載の力
    感知装置。
  8. (8)前記可撓性ブレードは、かかるブレードの快い両
    帯域を外部に対して密封隔離するための変形可能スリー
    ブを通って延びる、特許請求の範囲第6項記載の力感知
    装置。
  9. (9)前記可撓性ブレードは、U字形フレームの前記幅
    よりも小さい幅を有する、特許請求の範囲第6項記載の
    力感知装置。
  10. (10)高可撓性の前記狭い帯域は、前記他の挟い帯域
    よりも厚みが薄い、特許請求の範囲第1項記載の力感知
    装置。
  11. (11)中央開口は、水平な平面に関して対称である、
    特許請求の範囲第1項記載の力感知装置。
  12. (12)中央開口は、横方向垂直平面に関して対称であ
    る、特許請求の範囲第1項記載の力感知装置。
  13. (13)互いに向かい合う上下両ビーム上にそれぞれ配
    置された前記狭い帯域は、2つの平行な平面に関して心
    出しされた、特許請求の範囲第1項記載の力感知装置。
  14. (14)好ましくは前記狭い帯域は、軸線が2つの平行
    な平面内に対になって位置した横方向孔により境が決め
    られた、特許請求の範囲第1項記載の力感知装置。
  15. (15)前記感応手段は、長さ方向軸線と平行に、対応
    する狭い帯域に関して対称に配置された、特許請求の範
    囲第1項記載の力感知装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02150537U (ja) * 1989-05-24 1990-12-26
JP2021081292A (ja) * 2019-11-19 2021-05-27 大和製衡株式会社 ロードセルおよびその製造方法

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JPS6212826A (ja) * 1985-07-05 1987-01-21 メトラー トレド アーゲー 撓み梁状の力センサを有する力測定セル及びその製造方法

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