JPS6230362B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6230362B2 JPS6230362B2 JP55086545A JP8654580A JPS6230362B2 JP S6230362 B2 JPS6230362 B2 JP S6230362B2 JP 55086545 A JP55086545 A JP 55086545A JP 8654580 A JP8654580 A JP 8654580A JP S6230362 B2 JPS6230362 B2 JP S6230362B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent
- slit
- light
- slit plate
- bodies
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は各種移動体あるいは回転体の位置検出
に用いられる位置検出器に関し、特に相対向して
置かれた発光体と受光体との間にスリツト板を置
く構成の位置検出器に関する。
に用いられる位置検出器に関し、特に相対向して
置かれた発光体と受光体との間にスリツト板を置
く構成の位置検出器に関する。
従来上記構成の位置検出器では、スリツト板の
スリツト部分にゴミ等が付着すると受光体の受光
量が著しく減少するため位置検出不能となること
が多く、これを避けるため位置検出器に種々の防
塵構造を施している。このため位置検出器全体の
構造が複雑、大型化し、又価格も高くなる欠点が
あつた。
スリツト部分にゴミ等が付着すると受光体の受光
量が著しく減少するため位置検出不能となること
が多く、これを避けるため位置検出器に種々の防
塵構造を施している。このため位置検出器全体の
構造が複雑、大型化し、又価格も高くなる欠点が
あつた。
本発明はこれら欠点の除去を目的とするもの
で、この目的を達成するため本発明は、スリツト
板を一対の透明体で挾み、かつ発光体と前記透明
体との間及び受光体と前記透明体との間にその焦
点が前記スリツト板のスリツト位置に来るように
凸レンズを相対向させて配置したものである。
で、この目的を達成するため本発明は、スリツト
板を一対の透明体で挾み、かつ発光体と前記透明
体との間及び受光体と前記透明体との間にその焦
点が前記スリツト板のスリツト位置に来るように
凸レンズを相対向させて配置したものである。
以下図面に従つて本発明を詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すもので、１は
発光体２を発光するように駆動する駆動回路、３
は受光体４で得られた光信号を増幅・整形する光
検出回路、５は第２図に示すように前記発光体２
からの光進行方向と直交する方向に複数のスリツ
ト５ａを形成したスリツト板である。なおこのス
リツト板５は遮光性の材料から成る板体に方形状
の穴をあけたものでもよいが、透明の材料から成
る板体の方形状の透明部分を残して遮光体を塗布
又は印刷し、スリツト板としたものでもよい。６
及び７は前記スリツト板５をサンドイツチ状に挾
み込んだ一対の透明体、８及び９は前記透明体６
と発光体２及び前記透明体７と受光体４の間に相
対向して置かれかつその焦点Ｆがスリツト板５の
スリツト５ａに来るように位置付けられた凸レン
ズである。
発光体２を発光するように駆動する駆動回路、３
は受光体４で得られた光信号を増幅・整形する光
検出回路、５は第２図に示すように前記発光体２
からの光進行方向と直交する方向に複数のスリツ
ト５ａを形成したスリツト板である。なおこのス
リツト板５は遮光性の材料から成る板体に方形状
の穴をあけたものでもよいが、透明の材料から成
る板体の方形状の透明部分を残して遮光体を塗布
又は印刷し、スリツト板としたものでもよい。６
及び７は前記スリツト板５をサンドイツチ状に挾
み込んだ一対の透明体、８及び９は前記透明体６
と発光体２及び前記透明体７と受光体４の間に相
対向して置かれかつその焦点Ｆがスリツト板５の
スリツト５ａに来るように位置付けられた凸レン
ズである。
上記構成において、まずスリツト板５のスリツ
ト５ａにはその両側が透明体６及び７によつて覆
われているため、空中の塵埃や装置の稼動中に発
生するゴミなどが付着したり、浸入したりするこ
とはない。また透明体６及び７の外側表面にゴミ
などが付着したり、傷がついたりしても、それら
は凸レンズ８，９の焦点の外に位置することにな
るため、受光体３における受光には影響しない。
ト５ａにはその両側が透明体６及び７によつて覆
われているため、空中の塵埃や装置の稼動中に発
生するゴミなどが付着したり、浸入したりするこ
とはない。また透明体６及び７の外側表面にゴミ
などが付着したり、傷がついたりしても、それら
は凸レンズ８，９の焦点の外に位置することにな
るため、受光体３における受光には影響しない。
なおこの実施例では凸レンズ８及び９を透明体
６及び７から離しているが、該透明体６及び７の
厚さを該凸レンズ８及び９の焦点距離に合わせて
適宜選択し、この透明体６及び７の外側表面に凸
レンズ８，９を直接接触させるようにしてもよい
し、透明体６，７と凸レンズ８，９とを一体に形
成してもよい。
６及び７から離しているが、該透明体６及び７の
厚さを該凸レンズ８及び９の焦点距離に合わせて
適宜選択し、この透明体６及び７の外側表面に凸
レンズ８，９を直接接触させるようにしてもよい
し、透明体６，７と凸レンズ８，９とを一体に形
成してもよい。
第３図は本発明の他の実施例を示すもので、ス
リツト板５並びに透明体６，７が円板状に形成さ
れ、その円周上に複数のスリツト５ａが放射状に
孔設されており、回転位置を検出するのに適する
構造としたものである。発光体及び受光体並びに
凸レンズは特に図示していないが、スリツト５ａ
が設けられている円周上の一つの位置に相対向し
て置かれ、この構成においても上記実施例と同様
の効果が達成できるものである。
リツト板５並びに透明体６，７が円板状に形成さ
れ、その円周上に複数のスリツト５ａが放射状に
孔設されており、回転位置を検出するのに適する
構造としたものである。発光体及び受光体並びに
凸レンズは特に図示していないが、スリツト５ａ
が設けられている円周上の一つの位置に相対向し
て置かれ、この構成においても上記実施例と同様
の効果が達成できるものである。
以上説明したように本発明の位置検出器によれ
ば、スリツト中にゴミが付着したり、浸入したり
することが防止され、又スリツトをゴミ等から防
護する透明体にゴミや傷などがついても受光に影
響を与えないため、正確でかつ安定した位置検出
が行なえる効果がある。
ば、スリツト中にゴミが付着したり、浸入したり
することが防止され、又スリツトをゴミ等から防
護する透明体にゴミや傷などがついても受光に影
響を与えないため、正確でかつ安定した位置検出
が行なえる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は
第１図の一部を示す斜視図、第３図は本発明の他
の実施例を示す斜視図である。 １……駆動回路、２……発光体、３……受光
体、４……光検出回路、５……スリツト板、５ａ
……スリツト、６，７……透明体、８，９……凸
レンズ、Ｆ……焦点。
第１図の一部を示す斜視図、第３図は本発明の他
の実施例を示す斜視図である。 １……駆動回路、２……発光体、３……受光
体、４……光検出回路、５……スリツト板、５ａ
……スリツト、６，７……透明体、８，９……凸
レンズ、Ｆ……焦点。
Claims (1)
- １ 相対向させて置いた発光体と受光体との間に
スリツト板を有する位置検出器において、前記ス
リツト板を一対の透明体で挾み、かつ前記発光体
と透明体との間及び前記受光体と透明体との間に
その焦点が前記スリツト板のスリツト位置に来る
ように凸レンズを相対向させて配置したことを特
徴とする位置検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8654580A JPS5713307A (en) | 1980-06-27 | 1980-06-27 | Position detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8654580A JPS5713307A (en) | 1980-06-27 | 1980-06-27 | Position detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5713307A JPS5713307A (en) | 1982-01-23 |
| JPS6230362B2 true JPS6230362B2 (ja) | 1987-07-02 |
Family
ID=13889971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8654580A Granted JPS5713307A (en) | 1980-06-27 | 1980-06-27 | Position detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5713307A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4899048A (en) * | 1987-04-27 | 1990-02-06 | Printware, Inc. | Focused optical beam encoder of position |
| DE102005013222B4 (de) * | 2005-03-17 | 2015-12-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
| NL2003638A (en) | 2008-12-03 | 2010-06-07 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method. |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4952567U (ja) * | 1972-08-10 | 1974-05-09 |
-
1980
- 1980-06-27 JP JP8654580A patent/JPS5713307A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5713307A (en) | 1982-01-23 |
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