JPS6230406A - 導波管装置 - Google Patents
導波管装置Info
- Publication number
- JPS6230406A JPS6230406A JP60170515A JP17051585A JPS6230406A JP S6230406 A JPS6230406 A JP S6230406A JP 60170515 A JP60170515 A JP 60170515A JP 17051585 A JP17051585 A JP 17051585A JP S6230406 A JPS6230406 A JP S6230406A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal plate
- waveguide
- iris
- plate
- plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Waveguide Connection Structure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、マイクロ波を伝送する導波管装置に係り、特
に導波管内に設置される金属板アイリスの改良に関する
。
に導波管内に設置される金属板アイリスの改良に関する
。
近年、マイクロ波の加熱作用を利用し、マイクロ波でプ
ラズマを加熱することを目的とした核融合実験装置の研
究が行なわれているが、この際、マイクロ波を効率よ(
プラズマに入射することが重要となる。このため、従来
からマイクロ波入射導波管において、金属板アイリスを
用いてマイクロ波の整合をよくすることが行なわれてい
る。
ラズマを加熱することを目的とした核融合実験装置の研
究が行なわれているが、この際、マイクロ波を効率よ(
プラズマに入射することが重要となる。このため、従来
からマイクロ波入射導波管において、金属板アイリスを
用いてマイクロ波の整合をよくすることが行なわれてい
る。
第5図(a)、(b)は、真空窓およびアイリスを備え
たマイクロ波入射尋波管装置を示すもので、第5図(a
)において、真空窓1より左側は導波管2の先端部がプ
ラズマとマツチングするとともに導波管2の内部が真空
に保たれ、また右側は、その端部がマイクロ波発振器に
接続されるとともに導波管2の内部がSF6ガス等の絶
縁耐力の高い気体で満たされている。
たマイクロ波入射尋波管装置を示すもので、第5図(a
)において、真空窓1より左側は導波管2の先端部がプ
ラズマとマツチングするとともに導波管2の内部が真空
に保たれ、また右側は、その端部がマイクロ波発振器に
接続されるとともに導波管2の内部がSF6ガス等の絶
縁耐力の高い気体で満たされている。
ところでアイリスとは、例えば実公昭56−45204
号公報に示されているように窓のことであり、金属板3
と導波管2の内壁とにより形成される空間のことである
。
号公報に示されているように窓のことであり、金属板3
と導波管2の内壁とにより形成される空間のことである
。
ここで、金属板3の間隔d、金属板3の厚さt、および
真空窓1と金属板3との距離1は、真空窓1の厚さり、
導波管2の内壁寸法a、b、および使用するマイクロ波
の周波数と密接な関係があり、間隔d1厚さt、距離1
の最適値を計算により決定する。
真空窓1と金属板3との距離1は、真空窓1の厚さり、
導波管2の内壁寸法a、b、および使用するマイクロ波
の周波数と密接な関係があり、間隔d1厚さt、距離1
の最適値を計算により決定する。
第6図および第7図は、この種の金属板3の導波管2へ
の従来の取付は方法をそれぞれ示すもので、第6図に示
すものは、導波管2の内面に溝4を切るとともに、その
中に外部に通じるスリット5を介して金属板3を差込ん
だものであり、また第7図に示すものは、銀ろう6等を
用いて金属板3を導波管2内壁に固定するようにしたも
のである。
の従来の取付は方法をそれぞれ示すもので、第6図に示
すものは、導波管2の内面に溝4を切るとともに、その
中に外部に通じるスリット5を介して金属板3を差込ん
だものであり、また第7図に示すものは、銀ろう6等を
用いて金属板3を導波管2内壁に固定するようにしたも
のである。
ところが、差込み方式を採る前者は、導波管2内壁と金
属板3との電気的接触を良好なものとすることが容易で
ないという問題があり、またろう付は方式を取る後者は
、計算上ろう付けの困難な位置に金属板3を取付ける必
要がある場合に支障きたすという問題がある。
属板3との電気的接触を良好なものとすることが容易で
ないという問題があり、またろう付は方式を取る後者は
、計算上ろう付けの困難な位置に金属板3を取付ける必
要がある場合に支障きたすという問題がある。
また、実際には真空窓1の誘導率に個々のバラ付きがあ
るため、金属板3の取付は位置を変更することが必要な
る場合が多いが、前記従来の取付1ノ方法では、いずれ
の場合も一旦取付けた後の金属板3の位置変更が容易で
ないため、例えば前記実公昭56−45204号公報に
示されている方法等により金属板3の形状を微調整する
必要があり、その作業が容易でないという問題もある。
るため、金属板3の取付は位置を変更することが必要な
る場合が多いが、前記従来の取付1ノ方法では、いずれ
の場合も一旦取付けた後の金属板3の位置変更が容易で
ないため、例えば前記実公昭56−45204号公報に
示されている方法等により金属板3の形状を微調整する
必要があり、その作業が容易でないという問題もある。
本発明はかかる現況に鑑みなされたもので、導波管のど
のような箇所へも、また製作のどの段階においても金属
板を容易に導波管に取付けることができ、しかも金属板
と導波管との電気的接触を良好なものとすることができ
る導波管装置を提供することを目的とする。
のような箇所へも、また製作のどの段階においても金属
板を容易に導波管に取付けることができ、しかも金属板
と導波管との電気的接触を良好なものとすることができ
る導波管装置を提供することを目的とする。
本発明は、金属板アイリスを、端面が相互に接触する1
枚の主金属板と所要枚の従金属板とから構成するととも
に、前記主金属板を導波管外から押通したねじ部材によ
り締付は可能とし、かつ主金属板と従金属板との接触面
を、主金属板の締付は方向に対し傾斜する横面として従
金属板の固定を行ない、もって金属板の導波管への固定
を容易なものとするとともに、導波管と金属板との電気
的接触を良好なものとすることができるようにしたこと
を特徴とする。
枚の主金属板と所要枚の従金属板とから構成するととも
に、前記主金属板を導波管外から押通したねじ部材によ
り締付は可能とし、かつ主金属板と従金属板との接触面
を、主金属板の締付は方向に対し傾斜する横面として従
金属板の固定を行ない、もって金属板の導波管への固定
を容易なものとするとともに、導波管と金属板との電気
的接触を良好なものとすることができるようにしたこと
を特徴とする。
以下本発明の一実施例を第1図および第2図を参照して
説明する。なお本発明は、金属板アイリス部分にのみ特
徴を有し、゛その他の部分は従来のものと全く同一構成
であるので、以下この特徴部分についてのみ図示説明す
る。
説明する。なお本発明は、金属板アイリス部分にのみ特
徴を有し、゛その他の部分は従来のものと全く同一構成
であるので、以下この特徴部分についてのみ図示説明す
る。
第1図および第2図において、11は矩形導波イリスで
あり、この金属板アイリス11は、1枚の主金属板13
と2枚の従金属板14とから3枚構造となっている。
あり、この金属板アイリス11は、1枚の主金属板13
と2枚の従金属板14とから3枚構造となっている。
前記主金属板13は、第1図に示すようにその内側端面
13a、13aが図中下端に向かって次第に接近する斜
面に形成されて逆台形状をなしており、その下端部には
、矩形導波管12に設けた孔15を貫通ずるねじ部材1
6が螺装され、このねじ部材16の締付けにより矩形導
波管12に固定されるようになっている。
13a、13aが図中下端に向かって次第に接近する斜
面に形成されて逆台形状をなしており、その下端部には
、矩形導波管12に設けた孔15を貫通ずるねじ部材1
6が螺装され、このねじ部材16の締付けにより矩形導
波管12に固定されるようになっている。
一方前記従金属板14は、第1図に示すように外側端面
14aが垂直面をなし内側端面44bが前記主金属板1
3の側端面13aに対応する斜面をなす台形状に形成さ
れており、前記外側端面14aには、シート状の半田1
7が配されている。
14aが垂直面をなし内側端面44bが前記主金属板1
3の側端面13aに対応する斜面をなす台形状に形成さ
れており、前記外側端面14aには、シート状の半田1
7が配されている。
そして各従金属板14は、前記主金属板13をねじ部材
16により締付けることにより、前記両側端面13a、
14bの楔作用で外方および下方に押圧されて矩形導波
管12内に固定されるとともし−平m1フルΔ11¥仝
開煽1Aべ柘π6通油眞12内面に密着して良好な電気
的接触が得られるようになっている。
16により締付けることにより、前記両側端面13a、
14bの楔作用で外方および下方に押圧されて矩形導波
管12内に固定されるとともし−平m1フルΔ11¥仝
開煽1Aべ柘π6通油眞12内面に密着して良好な電気
的接触が得られるようになっている。
次に本実施例の作用について説明する。
金属板アイリス11の取付けに際しては、まず主金属板
13と従金属板14とを第1図および第2図に示す状態
に組合わせ、矩形導波管12の外側から孔15を介して
ねじ部材16を主金属板13に螺装する。そしてねじ部
材16を締付ける。
13と従金属板14とを第1図および第2図に示す状態
に組合わせ、矩形導波管12の外側から孔15を介して
ねじ部材16を主金属板13に螺装する。そしてねじ部
材16を締付ける。
すると、主金属板13はねじ部材16の締付けにJ−り
次第に矩形導波管12の内面に接近することになる。主
金属板13が矩形導波管12の内面に接近すると、その
両側端面13a、13aに内側端面14bを介して接触
する各従金属板14は、両側端面13a、14bの楔作
用により外方および下方に押圧され、両側端面13a、
14bが相互に密着するとともに、各従金属板14の外
側端面14aおよび下端面が矩形導波管12の内面に密
着する。このため、両金属板13.14問おにび従金属
板14と矩形導波管12との間の電気的接触が良好とな
る。特に従金属板14の外側端面14aにはシー1〜状
の半田17が配されているので、矩形導波管12の内面
に多少の歪が生じていてもこれを吸収して電気的接触を
良好な乙のとすることができる。
次第に矩形導波管12の内面に接近することになる。主
金属板13が矩形導波管12の内面に接近すると、その
両側端面13a、13aに内側端面14bを介して接触
する各従金属板14は、両側端面13a、14bの楔作
用により外方および下方に押圧され、両側端面13a、
14bが相互に密着するとともに、各従金属板14の外
側端面14aおよび下端面が矩形導波管12の内面に密
着する。このため、両金属板13.14問おにび従金属
板14と矩形導波管12との間の電気的接触が良好とな
る。特に従金属板14の外側端面14aにはシー1〜状
の半田17が配されているので、矩形導波管12の内面
に多少の歪が生じていてもこれを吸収して電気的接触を
良好な乙のとすることができる。
また、金属板アイリス11は、矩形導波管12の外側か
ら孔15を穿けるだけで取付けることができるので、真
空窓を取付けた導波管装置を実際に製作し、その導波管
装置の真空窓によるマイクロ波の反射の割合等を測定し
た後でも、簡単に金属板アイリス11を取付けることが
できる。このため、導波管装置全体どしてのマイクロ波
の反射の割合が最小となるような間隔d、厚さt、距離
ρを求める計りを、導波管の製作誤差や真空窓の誘電率
等の特性を正確に加味して行なうことが可能となり、従
来の問題点となっていた既に導波管に取付けた後の金属
板アイリスの微調整について考慮する必要がなくなる。
ら孔15を穿けるだけで取付けることができるので、真
空窓を取付けた導波管装置を実際に製作し、その導波管
装置の真空窓によるマイクロ波の反射の割合等を測定し
た後でも、簡単に金属板アイリス11を取付けることが
できる。このため、導波管装置全体どしてのマイクロ波
の反射の割合が最小となるような間隔d、厚さt、距離
ρを求める計りを、導波管の製作誤差や真空窓の誘電率
等の特性を正確に加味して行なうことが可能となり、従
来の問題点となっていた既に導波管に取付けた後の金属
板アイリスの微調整について考慮する必要がなくなる。
また、ろう何けが行なえないような場所にも簡単に金属
板アイリス11を取付けることができる。
板アイリス11を取付けることができる。
また、矩形導波管12は軽母化を図るためAρで作られ
ることもあるが、この場合、八ρは融点が低いため電気
的接点として最も好適な銀ろう付けを行なうことができ
ない。本実施例の金属板アイリ、ス11は、このような
場合にも有効である。
ることもあるが、この場合、八ρは融点が低いため電気
的接点として最も好適な銀ろう付けを行なうことができ
ない。本実施例の金属板アイリ、ス11は、このような
場合にも有効である。
第3図は本発明の他の実施例を示すもので、前記実施例
における半田17に代え、例えばリン青銅等の弾性およ
び導電性に富んだ金属板27を従金属板14の外側端面
14aに配するようにしたものである。
における半田17に代え、例えばリン青銅等の弾性およ
び導電性に富んだ金属板27を従金属板14の外側端面
14aに配するようにしたものである。
このように構成しても、前記実施例と同様の効果が期待
できる。
できる。
第4図は本発明のさらに他の実施例を示すもので、金属
板アイリス11を、各1枚の主金属板23と従金属板2
4とから構成するとともに、各金属板23.24の内側
端面23b、24bを相互に対応する斜面として密着さ
せ、かつ矩形導波管12の外側から孔15を介して挿通
されるねじ部材16を、従金属板24に設けた貫通孔2
5を通して主金属板23に螺装するようにしたものでこ
のように構成しても、ねじ部材16の締付けにより各金
属板23.24の外側端面23a。
板アイリス11を、各1枚の主金属板23と従金属板2
4とから構成するとともに、各金属板23.24の内側
端面23b、24bを相互に対応する斜面として密着さ
せ、かつ矩形導波管12の外側から孔15を介して挿通
されるねじ部材16を、従金属板24に設けた貫通孔2
5を通して主金属板23に螺装するようにしたものでこ
のように構成しても、ねじ部材16の締付けにより各金
属板23.24の外側端面23a。
24 a Jjよび従金属板24の下端面が矩形導波管
12の内面に密着するとともに、両金属板23゜24の
内側端面23b、24bが相互に密着し、前記実施例と
同様の効果が得られる。そして本実施例の場合ら、両金
属板23.24の外側端面23a、24aに前記各実施
例における半田17あるいは金属板27を配することに
より、より良好な電気的接触が得られる。
12の内面に密着するとともに、両金属板23゜24の
内側端面23b、24bが相互に密着し、前記実施例と
同様の効果が得られる。そして本実施例の場合ら、両金
属板23.24の外側端面23a、24aに前記各実施
例における半田17あるいは金属板27を配することに
より、より良好な電気的接触が得られる。
なお前記各実施例では特に説明しなかったが、矩形導波
管12の内部に、放電防止を目的どしてSF6ガス等を
大気圧あるいは加圧して封入し、矩形導波管12中を通
過し得るマイクロ波の電力を上げるようにする場合があ
る。そしてこの場合には、矩形導波管12の孔15がら
前記ガスが漏れるおそれがある。そこでこの場合には、
ねじ部材16と矩形導波管12との間をろう付は等によ
りシールすることが好ましい。
管12の内部に、放電防止を目的どしてSF6ガス等を
大気圧あるいは加圧して封入し、矩形導波管12中を通
過し得るマイクロ波の電力を上げるようにする場合があ
る。そしてこの場合には、矩形導波管12の孔15がら
前記ガスが漏れるおそれがある。そこでこの場合には、
ねじ部材16と矩形導波管12との間をろう付は等によ
りシールすることが好ましい。
以上説明したように本発明は、金属板アイリスを、端面
が相互に接触する1枚の主金属板と所要枚の従金属板と
から構成するとともに、前記主金属板を導波管外から挿
通したねじ部材により締付は可能とし、かつ主金属板と
従金属板との接触面を、主金属板の締付は方向に対し傾
斜する楔面として従金属板の固定を行なうようにしてい
るので、ろう付けの困難な場所にも簡単に金属板を取付
けることができ、しかも良好な電気的接触が得られる。
が相互に接触する1枚の主金属板と所要枚の従金属板と
から構成するとともに、前記主金属板を導波管外から挿
通したねじ部材により締付は可能とし、かつ主金属板と
従金属板との接触面を、主金属板の締付は方向に対し傾
斜する楔面として従金属板の固定を行なうようにしてい
るので、ろう付けの困難な場所にも簡単に金属板を取付
けることができ、しかも良好な電気的接触が得られる。
また取付けが簡単なため、マイクロ波の反射の割合等の
測定を実際に行なった後に、最適な金属板アイリスを取
付けることができ、一旦取イ」けた金属板の形状を微調
整する等の作業が不要である。
測定を実際に行なった後に、最適な金属板アイリスを取
付けることができ、一旦取イ」けた金属板の形状を微調
整する等の作業が不要である。
第1図は本発明の一実施例を示す金属板アイリスの構成
図、第2図は金属板アイリスを第1図の上方から見た構
成図、第3図は本発明の他の実施例を示す第2図相当図
、第4図は本発明のさらに他の実膿例を示す第1図相当
図、第5図(a)は一般的な導波管装置の構成を示す断
面図、同図(b)は同図(a)の右側面図、第6図およ
び第7図は従来の金属板アイリスの取付は構造をそれぞ
れ示す部分破削斜視図である。 11・・・金属板アイリス、12・・・矩形導波管、1
3.23・・・生金ii、13 a ・・・側端面、1
4゜24・・・従金属板、14a、23a、24a・・
・外側端面、14b、23b、24b・・・内側端面、
15・・・孔、16・・・ねじ部材、17・・・半田、
25・・・貫通孔、27・・・金属板。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第1 図 第3図 第4図 1PJ5図
図、第2図は金属板アイリスを第1図の上方から見た構
成図、第3図は本発明の他の実施例を示す第2図相当図
、第4図は本発明のさらに他の実膿例を示す第1図相当
図、第5図(a)は一般的な導波管装置の構成を示す断
面図、同図(b)は同図(a)の右側面図、第6図およ
び第7図は従来の金属板アイリスの取付は構造をそれぞ
れ示す部分破削斜視図である。 11・・・金属板アイリス、12・・・矩形導波管、1
3.23・・・生金ii、13 a ・・・側端面、1
4゜24・・・従金属板、14a、23a、24a・・
・外側端面、14b、23b、24b・・・内側端面、
15・・・孔、16・・・ねじ部材、17・・・半田、
25・・・貫通孔、27・・・金属板。 出願人代理人 佐 藤 −雄 第1 図 第3図 第4図 1PJ5図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、導波管内に金属板アイリスを設置した導波管装置に
おいて、前記金属板アイリスを、端面が相互に接触する
1枚の主金属板と所要枚の従金属板とから構成するとと
もに、前記主金属板を導波管外から挿通したねじ部材に
より締付け可能とし、かつ主金属板と従金属板との接触
面を、主金属板の締付け方向に対し傾斜する楔面として
従金属板の固定を行なうことを特徴とする導波管装置。 2、各金属板の導波管内面との接触面には、弾性および
導波性に富む金属板シートが配されていることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の導波管装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60170515A JPS6230406A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 導波管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60170515A JPS6230406A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 導波管装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6230406A true JPS6230406A (ja) | 1987-02-09 |
Family
ID=15906371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60170515A Pending JPS6230406A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 導波管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6230406A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005310478A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Naohisa Goto | プラズマ処理装置および処理方法、並びに、フラットパネルディスプレイの製造方法 |
| US7098859B2 (en) | 2003-10-30 | 2006-08-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Antenna unit |
| JP2008021465A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
| JP2023052210A (ja) * | 2015-10-29 | 2023-04-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電力供給導波管内のアイリスによるマイクロ波回転とインピーダンスシフトのための汎用円筒形状キャビティシステム |
-
1985
- 1985-08-01 JP JP60170515A patent/JPS6230406A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7098859B2 (en) | 2003-10-30 | 2006-08-29 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Antenna unit |
| JP2005310478A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Naohisa Goto | プラズマ処理装置および処理方法、並びに、フラットパネルディスプレイの製造方法 |
| JP2008021465A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
| JP2023052210A (ja) * | 2015-10-29 | 2023-04-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電力供給導波管内のアイリスによるマイクロ波回転とインピーダンスシフトのための汎用円筒形状キャビティシステム |
| US11972930B2 (en) | 2015-10-29 | 2024-04-30 | Applied Materials, Inc. | Cylindrical cavity with impedance shifting by irises in a power-supplying waveguide |
| US12288675B2 (en) | 2015-10-29 | 2025-04-29 | Applied Materials, Inc. | Cylindrical cavity with impedance shifting by irises in a power-supplying waveguide |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2110187C (en) | Transistor mounting clamp assembly | |
| US5977849A (en) | Variable topography electromagnetic wave tuning device, and operating method | |
| US4613838A (en) | Dielectric resonator | |
| US4186358A (en) | Adjustable coaxial line-to-microstrip line transition | |
| JPH10126116A (ja) | リッジ導波路と平面回路との間の移行部 | |
| JP2928154B2 (ja) | 導波管−マイクロストリップ線路変換器 | |
| JPS61158202A (ja) | リツジ方形導波管 | |
| CN100373688C (zh) | 可调式单孔同轴输出定向耦合器 | |
| JPS61142802A (ja) | 導波管変換器 | |
| US5221913A (en) | Dielectric resonator device with thin plate type dielectric heat-radiator | |
| US4733202A (en) | Coupling device between an electromagnetic surface wave line and an external microstrip line | |
| JPS6243560B2 (ja) | ||
| CN115693069A (zh) | 一种小型化腔体滤波器 | |
| CN222763155U (zh) | 滤波器和通信设备 | |
| JPS61102803A (ja) | 帯域通過ろ波器 | |
| JPS592402A (ja) | 導波管−マイクロストリツプ線路変換器 | |
| US2903660A (en) | Sealed rectifier units for t.r. cells | |
| JPH0243801A (ja) | インターディジタル形フィルタの構造 | |
| US4568896A (en) | High frequency circuit device | |
| JPH0279376A (ja) | 高周波同軸型コネクタの取付け装置 | |
| JPS60192402A (ja) | 導波管−マイクロストリツプ線路変換器 | |
| JPH10294605A (ja) | ドロップ・イン・アイソレータの実装ケース | |
| CN1377513A (zh) | 高频装置 | |
| JPS62219697A (ja) | マイクロ波装置 | |
| JPS584243Y2 (ja) | 導波管用誘電体支持装置 |