JPS6231213A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPS6231213A JPS6231213A JP16981585A JP16981585A JPS6231213A JP S6231213 A JPS6231213 A JP S6231213A JP 16981585 A JP16981585 A JP 16981585A JP 16981585 A JP16981585 A JP 16981585A JP S6231213 A JPS6231213 A JP S6231213A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave resonator
- wave
- elastic body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利月分野〕
本発明は弾性表面波共振子に係り、特にその特性の向上
に好適な弾性表面波共振子に関する＠〔発明の背景〕 従来の弾性表面波共振子は特開５７−１１５２０号−公
報に記載のように圧電基板上にくし型電極及びその両側
にグレーティング反射器を有する構成で従来のバルク振
動子に比べ高周波帯の共振子として有効である。しかし
この構成ではグレーティング反射器で弾性表面波？反射
する時その表面波エネルギーの一部がバルク波に変換さ
れるために低損失化及び高Ｑ化を妨げていた。
に好適な弾性表面波共振子に関する＠〔発明の背景〕 従来の弾性表面波共振子は特開５７−１１５２０号−公
報に記載のように圧電基板上にくし型電極及びその両側
にグレーティング反射器を有する構成で従来のバルク振
動子に比べ高周波帯の共振子として有効である。しかし
この構成ではグレーティング反射器で弾性表面波？反射
する時その表面波エネルギーの一部がバルク波に変換さ
れるために低損失化及び高Ｑ化を妨げていた。
本発明の目的は高周波帯で低損失及びＱ値を向上させた
弾性表面波共振子を提共することにある。
弾性表面波共振子を提共することにある。
従来技術による弾性表面波共振子ではグレーティング反
射器を用いて、弾性表面波を反射させその反射波がある
特定の周波数同位相となるようグレーティング反射器を
配置することで発振ピークを得ていた。しかしこの方法
ではグレーティング反射器で弾性表面波ご反射させる時
その一部がバルク波に変換されるためその分の損失は改
善できなかった。本発明は上記欠点を改善するため弾性
表面波の伝搬経路をループ構造とした。この構造を用い
るこ２で弾性表面波。
射器を用いて、弾性表面波を反射させその反射波がある
特定の周波数同位相となるようグレーティング反射器を
配置することで発振ピークを得ていた。しかしこの方法
ではグレーティング反射器で弾性表面波ご反射させる時
その一部がバルク波に変換されるためその分の損失は改
善できなかった。本発明は上記欠点を改善するため弾性
表面波の伝搬経路をループ構造とした。この構造を用い
るこ２で弾性表面波。
をグレーティング反射器を用いずに閉じ込めることが可
能となる。そのため弾性表向波が伝搬路を繰り返し伝搬
する時ある特定の周波数と同位相となるように伝搬路長
を決めてやれば共振子となる。この時この共振子は弾性
表面波を用いているため、高層変化に有利で、かつ従来
欠点であった弾性表面波のグレーティングによるバルク
波変換損がないため、より低損失、高Ｑの特性を有する
。
能となる。そのため弾性表向波が伝搬路を繰り返し伝搬
する時ある特定の周波数と同位相となるように伝搬路長
を決めてやれば共振子となる。この時この共振子は弾性
表面波を用いているため、高層変化に有利で、かつ従来
欠点であった弾性表面波のグレーティングによるバルク
波変換損がないため、より低損失、高Ｑの特性を有する
。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。円柱
形弾性体１の側面上ＺｎＯＥＥ電薄Ｍ２をスパッタによ
り形成し、その圧電薄膜上にくし型電極３をアルミニウ
ムを材料としてホトレジエツチング法を用いて作成した
。円柱形弾性体の半径ｒは発振周波数の波長を為とする
とＭλ ｒ＝７ｙｒ（ただしＭは１以上の整数、πは円周率） の関係と満足するものである。尚、共振周波数は１０［
］ＭＨ２を選んだ。
形弾性体１の側面上ＺｎＯＥＥ電薄Ｍ２をスパッタによ
り形成し、その圧電薄膜上にくし型電極３をアルミニウ
ムを材料としてホトレジエツチング法を用いて作成した
。円柱形弾性体の半径ｒは発振周波数の波長を為とする
とＭλ ｒ＝７ｙｒ（ただしＭは１以上の整数、πは円周率） の関係と満足するものである。尚、共振周波数は１０［
］ＭＨ２を選んだ。
本実施例によれば弾性表面波が円柱形弾性体側面一ヒを
伝搬しているため１弾性表面波は同一伝搬路を繰り返し
伝搬することになりエネルギーの閉じ込めが行われる。
伝搬しているため１弾性表面波は同一伝搬路を繰り返し
伝搬することになりエネルギーの閉じ込めが行われる。
そして（１）式の関係がら波長λの波が同位相で加わる
ためその波長の周波数で共振が起こる。
ためその波長の周波数で共振が起こる。
本発明では従来の共振子にあったグレーティング反射器
でのバルク波への変換損がないため低損失化及びＱ値の
向上の効果がある。
でのバルク波への変換損がないため低損失化及びＱ値の
向上の効果がある。
また他の実施例として第２図に示Ｔ円柱形弾性体の代わ
りに円柱形圧電体４を用いその側面上にくし型電極を伝
搬路全面に形成したものが考えられる。くし型電極を伝
搬路全面に形成する理由を以下に述べる。弾性表面波伝
搬路を１としたとき発振周波数ｆは（３）式から求まる
。（３）式より ヱ＝Ｌλ−（１） γ＝ｆλ より ｆ＝ Ｊ、Ｌ・−（３） （Ｌは自然数、νは弾性表面波音速） 発振周波数は７□周波数ごとにあることになり不用な発
振ピークが存在Ｔる。この不用な発振ピークな抑圧する
ため第３図に示すくし型電極の周波数特性の減衰極５？
上記不用な発振ピークと一致させたのがこの実施例であ
る。減衰極周波数ｆ′は に存在する、よって一致させる条件は ｆｏ−２より −、仁 Ｎ−７゜ （）０は所望ピーク周波数の波長）となりこ
の条件よりくし型電極を伝搬路全体に形成する必要があ
る。この実施例の周波数特性を第５図に、また第１図に
示した実施例の周波数特性を第４図に示す。これ？見て
もわかるように第４図であった不要な発振ピークが第５
図では抑圧されていることがわかる。なお測定条件は入
出力ともシリーズの５０Ω系で行なった。
りに円柱形圧電体４を用いその側面上にくし型電極を伝
搬路全面に形成したものが考えられる。くし型電極を伝
搬路全面に形成する理由を以下に述べる。弾性表面波伝
搬路を１としたとき発振周波数ｆは（３）式から求まる
。（３）式より ヱ＝Ｌλ−（１） γ＝ｆλ より ｆ＝ Ｊ、Ｌ・−（３） （Ｌは自然数、νは弾性表面波音速） 発振周波数は７□周波数ごとにあることになり不用な発
振ピークが存在Ｔる。この不用な発振ピークな抑圧する
ため第３図に示すくし型電極の周波数特性の減衰極５？
上記不用な発振ピークと一致させたのがこの実施例であ
る。減衰極周波数ｆ′は に存在する、よって一致させる条件は ｆｏ−２より −、仁 Ｎ−７゜ （）０は所望ピーク周波数の波長）となりこ
の条件よりくし型電極を伝搬路全体に形成する必要があ
る。この実施例の周波数特性を第５図に、また第１図に
示した実施例の周波数特性を第４図に示す。これ？見て
もわかるように第４図であった不要な発振ピークが第５
図では抑圧されていることがわかる。なお測定条件は入
出力ともシリーズの５０Ω系で行なった。
また同程度の周波数帯で比較すると従来のグレーティン
グ反射器を用いた共振子の損失が約３（ＬＢ、負荷Ｑが
４５００なのに対し、本発明の共振子の損失は約２ｄＢ
、負荷Ｑは６０００と損失で約ｉ ｄＥ。
グ反射器を用いた共振子の損失が約３（ＬＢ、負荷Ｑが
４５００なのに対し、本発明の共振子の損失は約２ｄＢ
、負荷Ｑは６０００と損失で約ｉ ｄＥ。
Ｑで１．３倍程度と向上している。また基板に応力を加
えることで発振周波数が変化するため、ピーク周波数の
微調整や弾性表面波デバイス企甫いたＶ、Ｃ，Ｑ、への
応用にも本発明は有効である。
えることで発振周波数が変化するため、ピーク周波数の
微調整や弾性表面波デバイス企甫いたＶ、Ｃ，Ｑ、への
応用にも本発明は有効である。
本発明によれば、従来の共振子にあったグレーティング
反射器のバルク波変換損がないため低損失及びＱ値の向
上に効果がある。
反射器のバルク波変換損がないため低損失及びＱ値の向
上に効果がある。
第１図は本発明の一実施例２示す構成図、第２図は本発
明の他の実施例を示す構成図）第６図はくし型電極の周
波数特性を示す特性図、第４図は第１図の実施例の周波
数特性な示す特性図、第５図は第２図の実施例の周波数
特性３示す特性図である。 １・・・円柱形弾性体 ２・・・ＺｎＯ圧電薄膜 ３・・・くし型電極 ４・・・円柱形圧電体
明の他の実施例を示す構成図）第６図はくし型電極の周
波数特性を示す特性図、第４図は第１図の実施例の周波
数特性な示す特性図、第５図は第２図の実施例の周波数
特性３示す特性図である。 １・・・円柱形弾性体 ２・・・ＺｎＯ圧電薄膜 ３・・・くし型電極 ４・・・円柱形圧電体
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）弾性表面波共振子において所望のピーク周波数の波
長をλ＿０とした時、曲率半径がλ＿０より十分に大き
な弾性体基板において弾性体基板上全面または一部に圧
電薄膜を形成するか、または上記弾性体基板を圧電体基
板とし、基板上に少なくとも一個以上のくし型電極を形
成した構造において、弾性表面波伝搬路長ｌを上記λ＿
０の整数倍とした事を特徴とする弾性表面波共振子。 ２）前記弾性表面波共振子においてピッチλ＿０／２の
くし型電極を伝搬路全体に渡って設置した特許請求の範
囲第１項記載の弾性表面波共振子。 ３）前記弾性表面波共振子において、基板に固定または
変動可能な応力を加えることができる構造とした特許請
求の範囲第１項記載の弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16981585A JPS6231213A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16981585A JPS6231213A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231213A true JPS6231213A (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=15893412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16981585A Pending JPS6231213A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231213A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023134334A (ja) * | 2022-03-14 | 2023-09-27 | 株式会社Gaianixx | 素子、電子デバイス、電子機器及びシステム |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP16981585A patent/JPS6231213A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2023134334A (ja) * | 2022-03-14 | 2023-09-27 | 株式会社Gaianixx | 素子、電子デバイス、電子機器及びシステム |
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