JPS6231834A - シヤツタ−制御装置 - Google Patents
シヤツタ−制御装置Info
- Publication number
- JPS6231834A JPS6231834A JP60169854A JP16985485A JPS6231834A JP S6231834 A JPS6231834 A JP S6231834A JP 60169854 A JP60169854 A JP 60169854A JP 16985485 A JP16985485 A JP 16985485A JP S6231834 A JPS6231834 A JP S6231834A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- shutter
- motor
- section
- light passing
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/7055—Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Shutters For Cameras (AREA)
- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はシャッター制御装置に係り、特に縮小投影露光
装置のシャッターのように、露光時間を微小な分解能か
つ高い精度で設定することが要求される場合や極めて高
温の周囲条件下で使用される場合に好適なシャッター制
御装置に関する。
装置のシャッターのように、露光時間を微小な分解能か
つ高い精度で設定することが要求される場合や極めて高
温の周囲条件下で使用される場合に好適なシャッター制
御装置に関する。
縮小投影露光装置のシャッターは、露光時間を微小な分
解能かつ高い精度で設定することが要求され、また照明
光源による極めて高温の下で使用され−ることがら、シ
ャッターをステッピングモーターや直流電動機で回転さ
せる簡単な構成のものが使用されている。
解能かつ高い精度で設定することが要求され、また照明
光源による極めて高温の下で使用され−ることがら、シ
ャッターをステッピングモーターや直流電動機で回転さ
せる簡単な構成のものが使用されている。
縮小投影露光装置のスループット向上策の一つに露光時
間の短縮がある。そのためには高速度のシャッターが必
要である。
間の短縮がある。そのためには高速度のシャッターが必
要である。
シャッター高速化の方策としては、従来、参考文献［ス
テッパにおける機構と制御 高橋−雄昭和６０年度精機
学会春季大会シンポジウムテキスト」に見られるように
、シャッターの形状や材質を考慮することにより、その
慣性を小さくする方法がとられて来ている。
テッパにおける機構と制御 高橋−雄昭和６０年度精機
学会春季大会シンポジウムテキスト」に見られるように
、シャッターの形状や材質を考慮することにより、その
慣性を小さくする方法がとられて来ている。
しかし、さらに高速化をはかるためには、駆動モーター
として、より高速化に適した直流モーターを使用し、し
かもその能力を最大限に発揮させる制御を行なう必要が
ある。
として、より高速化に適した直流モーターを使用し、し
かもその能力を最大限に発揮させる制御を行なう必要が
ある。
また、シャッターの構造上、直流モーター、速度を検出
するための速度計発電機、回転角度を検出するためのパ
ルスエンコーダー等、制御に必要な器具や部品は光路を
妨害する障害物となるので。
するための速度計発電機、回転角度を検出するためのパ
ルスエンコーダー等、制御に必要な器具や部品は光路を
妨害する障害物となるので。
可能な限り省いて簡素化しなければならない。
本発明の目的はシャッターの高速化を図ったシャッター
制御装置を提供することにある。
制御装置を提供することにある。
本発明の特徴は円周に沿って光通過部と光遮断部を設け
たシャッターと、前記光通過部および光遮断部を選択的
に光束位置に切換えるように前記シャッターを回転する
モーターと、前記光束位置に前記光通過部および光遮断
部のうちの一方が切換えられている状態から他方が切換
えられるまでの期間の前半部分においては前記モーター
を等加速度的に増速し、後半部分においては前記モータ
ーを等加速度的に減速するように前記モーターの回転を
制御する手段とを備えているシャッター制御装置にある
。
たシャッターと、前記光通過部および光遮断部を選択的
に光束位置に切換えるように前記シャッターを回転する
モーターと、前記光束位置に前記光通過部および光遮断
部のうちの一方が切換えられている状態から他方が切換
えられるまでの期間の前半部分においては前記モーター
を等加速度的に増速し、後半部分においては前記モータ
ーを等加速度的に減速するように前記モーターの回転を
制御する手段とを備えているシャッター制御装置にある
。
第１図は本発明の一実施例を示す図である。１は円板状
のシャッターを示す１図はシャッターが、その円周に沿
って４個の切欠き部すなわち光通過部を備える場合の例
を示す、１１の点線で示した円は光束の断面であり、図
はシャッターが光を遮断した場合を示している。シャッ
ターが図の角度θだけ回転すると、切欠き部が光束の位
置に来るので、シャッターは開状態になる。
のシャッターを示す１図はシャッターが、その円周に沿
って４個の切欠き部すなわち光通過部を備える場合の例
を示す、１１の点線で示した円は光束の断面であり、図
はシャッターが光を遮断した場合を示している。シャッ
ターが図の角度θだけ回転すると、切欠き部が光束の位
置に来るので、シャッターは開状態になる。
１′はシャッターを側面から見た図であり、これ直流モ
ーター２によって駆動されることを示している。３は増
巾器で直流モーター２を駆動する。
ーター２によって駆動されることを示している。３は増
巾器で直流モーター２を駆動する。
４は方形波信号発生器で、その出力は増巾器３の入力と
なる。５はシャッターの開閉指令信号で方形波信号発生
器４の入力となる。６は電流検出器であり、本例では抵
抗器を使用している。この抵抗器の両端の間に、直流モ
ーター２の電流に比例した電圧が得られるので、これを
前記増巾器３の入力に帰還している。７はシャッターに
設けられた孔であり、閉および開に対応する位置に各２
個ずつ設けられている。８は発光器、９は受光器であり
、シャッター１′を挟んで２対を設ける。
なる。５はシャッターの開閉指令信号で方形波信号発生
器４の入力となる。６は電流検出器であり、本例では抵
抗器を使用している。この抵抗器の両端の間に、直流モ
ーター２の電流に比例した電圧が得られるので、これを
前記増巾器３の入力に帰還している。７はシャッターに
設けられた孔であり、閉および開に対応する位置に各２
個ずつ設けられている。８は発光器、９は受光器であり
、シャッター１′を挟んで２対を設ける。
１０は演算増巾器であり、２個の受光器のうちの一方の
受光器の出力信号を、極性を逆にして増巾器３に加える
働きをする。
受光器の出力信号を、極性を逆にして増巾器３に加える
働きをする。
第２図は本発明の詳細な説明するための図である。本例
のように、シャッター１が４個の切欠き部を持つ場合に
は、閉から開、開から閉に至る回転角は４５度である。
のように、シャッター１が４個の切欠き部を持つ場合に
は、閉から開、開から閉に至る回転角は４５度である。
この４５度を駆動する全時間ｔａの前半１／２を、直流
モーター２に許される最大の加速度で加速し、後半１／
２を同じく最大の加速度で減速すれば、最短時間での４
５度回転が行なわれる。この時の直流モーター２の速度
、電流と時間ｔの関係を、第２図（ａ）、（ｂ）に示す
。
モーター２に許される最大の加速度で加速し、後半１／
２を同じく最大の加速度で減速すれば、最短時間での４
５度回転が行なわれる。この時の直流モーター２の速度
、電流と時間ｔの関係を、第２図（ａ）、（ｂ）に示す
。
第２図（ａ）は、直流モーター２の速度が、前半の１／
２を直流モーター２に許される最大の加速度で加速して
Ｎ ｍ ａ ｘに達し、後半の１／２を同じく最大の加
速度で減速してＯにもどることを示している。
２を直流モーター２に許される最大の加速度で加速して
Ｎ ｍ ａ ｘに達し、後半の１／２を同じく最大の加
速度で減速してＯにもどることを示している。
第２図（ｂ）は、前半の１／２の期間、直流モーター２
に許される瞬時最大電流Ｉ ｍ＆Ｘを流し、後半の１／
２の期間、同じ＜Ｉ−ａ、ｌを逆向きに流さなければな
らないことを示す。
に許される瞬時最大電流Ｉ ｍ＆Ｘを流し、後半の１／
２の期間、同じ＜Ｉ−ａ、ｌを逆向きに流さなければな
らないことを示す。
最短の駆動時間ｔａは、直流モーター２の仕様、シャッ
ター１の慣性能率等からあらかじめ正確に知り得る。方
形波信号発生器４は、シャッターの開閉指令信号５を受
けると、最初のｔａ ／２の期間に正、後のｔ＆／２の
期間に負、の方形波を発生するように構成する。この出
力波形を第２図（ｃ）に示す。
ター１の慣性能率等からあらかじめ正確に知り得る。方
形波信号発生器４は、シャッターの開閉指令信号５を受
けると、最初のｔａ ／２の期間に正、後のｔ＆／２の
期間に負、の方形波を発生するように構成する。この出
力波形を第２図（ｃ）に示す。
この方形波信号は、増巾器３、直流モーター２、電流検
出器６で構成される電流制御ループの指令値となるから
、直流モーター電流はこの方形波信号と相似になるよう
に制御され、結局シャッター１は所期の駆動が行なわれ
る。シャッター１に設けられた孔は終点位置に設けられ
ているので、回転の始点から終点付近までの途中の動作
には影響を与えない。
出器６で構成される電流制御ループの指令値となるから
、直流モーター電流はこの方形波信号と相似になるよう
に制御され、結局シャッター１は所期の駆動が行なわれ
る。シャッター１に設けられた孔は終点位置に設けられ
ているので、回転の始点から終点付近までの途中の動作
には影響を与えない。
第３図は、終点位置検出の原理を説明するための図であ
る。第３図（ａ）はシャッター１に設けた孔の１対をと
り出して示した図である。直線７′はシャッター１の停
止位置である。１対の孔は図のように停止位置を中心と
して位相をずらして設けられる。
る。第３図（ａ）はシャッター１に設けた孔の１対をと
り出して示した図である。直線７′はシャッター１の停
止位置である。１対の孔は図のように停止位置を中心と
して位相をずらして設けられる。
シャッター１を挟んで、発光器−受光器の組を２対設け
、番孔を通過する光の量が第３図（ｂ）のようになるよ
うにする、Ａは孔Ａを通過する光量、Ｂは孔Ｂを通過す
る光量である。つまり、閉または開の状態から円板がず
れると、一方の孔を通過する光はその量を増し、他方の
孔を通過する光はその量を減するように構成する。
、番孔を通過する光の量が第３図（ｂ）のようになるよ
うにする、Ａは孔Ａを通過する光量、Ｂは孔Ｂを通過す
る光量である。つまり、閉または開の状態から円板がず
れると、一方の孔を通過する光はその量を増し、他方の
孔を通過する光はその量を減するように構成する。
各受光器は光量に比例した電圧を発生するようにし、一
方の受光器（図の例ではＢ側）の出力信号の極性を演算
増巾器１０により逆にして加算すると停止位置を中心に
して正負に振れる電圧信号が得られるので、これを増巾
器３に帰還する。これを第３図（ｃ）に示す。
方の受光器（図の例ではＢ側）の出力信号の極性を演算
増巾器１０により逆にして加算すると停止位置を中心に
して正負に振れる電圧信号が得られるので、これを増巾
器３に帰還する。これを第３図（ｃ）に示す。
シャッター１が停止位置に達すると、方形波信 １
号発生器４からの信号はＯになり、増巾器３への入力は
２個の受光器からの位置偏差信号のみとなり、この信号
によりシャッター１が正しい位置に切換え停止されるよ
うにその位置決め制御が行われる。
号発生器４からの信号はＯになり、増巾器３への入力は
２個の受光器からの位置偏差信号のみとなり、この信号
によりシャッター１が正しい位置に切換え停止されるよ
うにその位置決め制御が行われる。
第４図（ａ）はシャッター１の回転角θと時間ｔの関係
を示す、これは第２図（ａ）を時間ｔで積分して得られ
る関数である。第４図（ｂ）はシャッター１を通過する
光量Ｓとθの関係で、（イ）は閉→開、（ロ）は開→閉
に対する図である。これは光束とこれを遮断するシャッ
ター１との幾何学的関係から得られる関数である。
を示す、これは第２図（ａ）を時間ｔで積分して得られ
る関数である。第４図（ｂ）はシャッター１を通過する
光量Ｓとθの関係で、（イ）は閉→開、（ロ）は開→閉
に対する図である。これは光束とこれを遮断するシャッ
ター１との幾何学的関係から得られる関数である。
第４図（ａ）、（ｂ）は図示のようにｔ１→θ、→Ｓ１
の順に読み取ることにより各時刻ｔ１における光量Ｓｌ
が求められる。第４図（ｃ）は、このようにして求めた
、シャッター１を開き始めてから閉じるまでのＳとｔの
関係を示す図である。
の順に読み取ることにより各時刻ｔ１における光量Ｓｌ
が求められる。第４図（ｃ）は、このようにして求めた
、シャッター１を開き始めてから閉じるまでのＳとｔの
関係を示す図である。
第４図（ｃ）の（イ）、（ロ）はシャッター１を駆動中
の期間であり、（イ）は閉→開、（ロ）は開→閉に対応
する。（ハ）は開状態で停止している期間であり、露光
時間の長さはこの期間の長さをｔａを加減することによ
り設定される。
の期間であり、（イ）は閉→開、（ロ）は開→閉に対応
する。（ハ）は開状態で停止している期間であり、露光
時間の長さはこの期間の長さをｔａを加減することによ
り設定される。
露光時間は、光量の立上りで５０％を切る時刻から、立
下りで５０％で切る時刻までの時間で定義されるが、図
から明らかなようにｔｚ＋ｔｚより短かくすることはで
きない、従って、シャッターを高速化することはｔｘ
＋ｔ！を小さくすることであり、これは閉→開、開→閉
に必要な時間を小さくすることによって実現される。
下りで５０％で切る時刻までの時間で定義されるが、図
から明らかなようにｔｚ＋ｔｚより短かくすることはで
きない、従って、シャッターを高速化することはｔｘ
＋ｔ！を小さくすることであり、これは閉→開、開→閉
に必要な時間を小さくすることによって実現される。
なお、本発明の実施例によれば、速度計発電機やパルス
エンコーダなど、光路の障害となる器具や部品を不要と
するコンパクトなシャッター制御装置が得られる。
エンコーダなど、光路の障害となる器具や部品を不要と
するコンパクトなシャッター制御装置が得られる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、モー
ターの能力を最大限に使用してシャッター駆動の高速化
を図ることができる。
ターの能力を最大限に使用してシャッター駆動の高速化
を図ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示すシャッター制御装置の
概念図、第２図は本発明の実施例の動作原理の説明図、
第３図は終点位置検出の原理説明図、第４図は回転角度
θ、シャッターを通過する光量Ｓと時間ｔの関係を示す
図である。 １，１′・・・シャッター、２・・・直流モーター、３
・・・増巾器、４・・・方形波信号発生器、５・・・シ
ャッター開閉指令信号、６・・・電流検出器、７・・・
停止位置検出用孔、７′・・・停止位置、８・・・発光
器、９・・・受光器、１０・・・演算増幅器、１１・・
・光芒の断面。
概念図、第２図は本発明の実施例の動作原理の説明図、
第３図は終点位置検出の原理説明図、第４図は回転角度
θ、シャッターを通過する光量Ｓと時間ｔの関係を示す
図である。 １，１′・・・シャッター、２・・・直流モーター、３
・・・増巾器、４・・・方形波信号発生器、５・・・シ
ャッター開閉指令信号、６・・・電流検出器、７・・・
停止位置検出用孔、７′・・・停止位置、８・・・発光
器、９・・・受光器、１０・・・演算増幅器、１１・・
・光芒の断面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、円周に沿つて光通過部と光遮断部を設けたシャッタ
ーと、前記光通過部および光遮断部を選択的に光束位置
に切換えるように前記シャッターを回転するモーターと
、前記光束位置に前記光通過部および光遮断部のうちの
一方が切換えられている状態から他方が切換えられるま
での期間の前半部分においては前記モーターを等加速度
的に増速し、後半部分においては前記モーターを等加速
度的に減速するように前記モーターの回転を制御する手
段とを備えているシャッター制御装置。 ２、円周に沿つて光通過部と光遮断部を設けたシャッタ
ーと、前記光通過部および光遮断部を選択的に光束位置
に切換えるように前記シャッターを回転するモーターと
、前記光束位置に前記光通過部および光遮断部のうちの
一方が切換えられている状態から他方が切換えられるま
での期間の前半部分においては前記モーターを等加速度
的に増速し、後半部分においては前記モーターを等加速
度的に減速するように前記モーターの回転を制御する手
段と、前記シャッターの切換え停止位置ずれを補正する
手段とを備え、該補正手段は前記光通過部および光遮断
部の各々が前記光束位置に正しく切換え停止されたとき
は互いに実質的に等しい第１および第２の光信号を発生
するが、前記光束位置からずれたときは前記第１の光信
号は増大し、前記第２の光信号は減少するように構成さ
れているとともに、前記第１および第２の光信号にもと
づいて前記光通過部および光遮断部の各々の前記光束位
置に対する切換え停止位置制御を行うように構成されて
いるシャッター制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169854A JPS6231834A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | シヤツタ−制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60169854A JPS6231834A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | シヤツタ−制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231834A true JPS6231834A (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=15894168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60169854A Pending JPS6231834A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | シヤツタ−制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231834A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6445176A (en) * | 1987-08-14 | 1989-02-17 | Hitachi Ltd | Manufacture of solar cell element |
| JPH04139769A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-13 | Hitachi Ltd | コルゲート型太陽電池の製造方法 |
| JP2004240097A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 露光方法及び露光装置 |
| JP2008219000A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-18 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置および方法 |
| JP2015149450A (ja) * | 2014-02-07 | 2015-08-20 | キヤノン株式会社 | 露光装置、および物品の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS537328A (en) * | 1976-07-09 | 1978-01-23 | Yashica Co Ltd | Method and device for controlling rotary shutter |
| JPS5595809A (en) * | 1979-01-16 | 1980-07-21 | Noriaki Fujimura | Optical axis detector |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP60169854A patent/JPS6231834A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS537328A (en) * | 1976-07-09 | 1978-01-23 | Yashica Co Ltd | Method and device for controlling rotary shutter |
| JPS5595809A (en) * | 1979-01-16 | 1980-07-21 | Noriaki Fujimura | Optical axis detector |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6445176A (en) * | 1987-08-14 | 1989-02-17 | Hitachi Ltd | Manufacture of solar cell element |
| JPH04139769A (ja) * | 1990-10-01 | 1992-05-13 | Hitachi Ltd | コルゲート型太陽電池の製造方法 |
| JP2004240097A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 露光方法及び露光装置 |
| JP2008219000A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-18 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置および方法 |
| JP2015149450A (ja) * | 2014-02-07 | 2015-08-20 | キヤノン株式会社 | 露光装置、および物品の製造方法 |
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