JPS6232384U - - Google Patents

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JPS6232384U
JPS6232384U JP12271485U JP12271485U JPS6232384U JP S6232384 U JPS6232384 U JP S6232384U JP 12271485 U JP12271485 U JP 12271485U JP 12271485 U JP12271485 U JP 12271485U JP S6232384 U JPS6232384 U JP S6232384U
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JP
Japan
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sample
measured
semiconductor
magnetic field
stand
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JP12271485U
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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案半導体測定装置の一実施例の構
成図、第２図は従来の装置および本考案装置を用
いて測定した２インチ径ＧａＡｓ基板のキヤリア
濃度分布を示すグラフ、第３図は従来の装置の構
成図である。 １…電磁石を用いた電気回路、２…試料台、３
…電気回路、４…試料台、５…試料台移動機構、
６，６′…永久磁石、７…軟磁性板、８…磁気回
路移動機構、１０…台座、１１…支持部材、１２
…電線、１３…探針。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被測定試料としての半導体材料あるいは半導体
    素子等に磁界を印加し、それによる当該被測定試
    料における電気信号の変化を検出することにより
    、前記被測定試料の半導体特性を測定する半導体
    特性測定装置において、被測定試料を保持する試
    料台と、永久磁石を含み、該永久磁石により前記
    被測定試料および前記試料台の部分に限定して磁
    界を印加可能なように構成された磁気回路と、前
    記試料台を移動可能な移動部材と、前記被測定試
    料に接触可能な探針とを具え、前記移動部材を移
    動させることによつて、前記被測定試料における
    複数個の測定点の特性を前記探針を介して測定す
    るようにしたことを特徴とする半導体特性測定装
    置。
JP12271485U 1985-08-12 1985-08-12 Pending JPS6232384U (ja)

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JP12271485U JPS6232384U (ja) 1985-08-12 1985-08-12

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JPS6232384U true JPS6232384U (ja) 1987-02-26

Family

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JP12271485U Pending JPS6232384U (ja) 1985-08-12 1985-08-12

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015162642A (ja) * 2014-02-28 2015-09-07 セイコーインスツル株式会社 磁気特性測定装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4974491A (ja) * 1972-11-17 1974-07-18

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4974491A (ja) * 1972-11-17 1974-07-18

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015162642A (ja) * 2014-02-28 2015-09-07 セイコーインスツル株式会社 磁気特性測定装置

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