JPS6232407B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6232407B2 JPS6232407B2 JP9064180A JP9064180A JPS6232407B2 JP S6232407 B2 JPS6232407 B2 JP S6232407B2 JP 9064180 A JP9064180 A JP 9064180A JP 9064180 A JP9064180 A JP 9064180A JP S6232407 B2 JPS6232407 B2 JP S6232407B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- standard
- magnetic detector
- piston
- magnetically altered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/50—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring linear speed
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、種々の機械の移動部材の位置、移動
速度等を検出するための変位検出装置に関する。
速度等を検出するための変位検出装置に関する。
一般に、移動する移動部材の位置を検出し、移
動部材が設定位置にくると、その移動を停止させ
たりするための変位検出装置においては、前記移
動部材に対向する部分にマイクロスイツチ等の位
置検出部材を設け、このマイクロスイツチの接触
子を移動部材上に形成された突起で動かしてマイ
クロスイツチを作動させるようにしていた。
動部材が設定位置にくると、その移動を停止させ
たりするための変位検出装置においては、前記移
動部材に対向する部分にマイクロスイツチ等の位
置検出部材を設け、このマイクロスイツチの接触
子を移動部材上に形成された突起で動かしてマイ
クロスイツチを作動させるようにしていた。
ところが、マイクロスイツチ等の変位検出装置
においては、移動部材の移動速度は検出できな
い。また時間の経過に対応する移動部材の変位を
検出できないばかでなく、移動部材上に突起を形
成する等その製作に手間がかゝる。
においては、移動部材の移動速度は検出できな
い。また時間の経過に対応する移動部材の変位を
検出できないばかでなく、移動部材上に突起を形
成する等その製作に手間がかゝる。
本発明は、かゝる点に鑑み、製作が簡単で、し
かも取扱いが容易であるばかりでなく、移動部材
の移動速度あるいは加速度を容易に検出できるよ
うな変位検出装置を提供することを目的とする。
かも取扱いが容易であるばかりでなく、移動部材
の移動速度あるいは加速度を容易に検出できるよ
うな変位検出装置を提供することを目的とする。
以下、図面を参照して本発明の実施例について
説明する。
説明する。
第１図において、シリンダケース１内には、ピ
ストン２が左右に摺動自在に収納され、このピス
トン２の一端にはピストン軸３が取付けられてい
る。
ストン２が左右に摺動自在に収納され、このピス
トン２の一端にはピストン軸３が取付けられてい
る。
前記ピストン２の周面には、リング状に磁気変
質部４、４〜４が所定間隔で形成されている。ま
た、前記シリンダケース１には凹部５が設けら
れ、この凹部５内に磁気検出器６が収納され、磁
気検出器６の先端は前記磁気変質部４に対向して
いる。
質部４、４〜４が所定間隔で形成されている。ま
た、前記シリンダケース１には凹部５が設けら
れ、この凹部５内に磁気検出器６が収納され、磁
気検出器６の先端は前記磁気変質部４に対向して
いる。
前記磁気変質部４は、第２図に示すように、金
属材からなるピストン２の周面にレーザ光線ある
いは電子線Ｂを収束させて局部的に照射すること
により形成される。すなわち、レーザ光線あるは
電子線はエネルギー密度が非常に高く、狭い部分
を加熱できるので、磁気変質部４の大きさ、形状
あるいはそれらの間隔を正確に調整できる。レー
ザ光線あるいは電子線の照射により金属材の表面
は瞬間的に非常に高温度になり、その照射を停止
すると急速に自己冷却され、磁気的特性が変化す
る。
属材からなるピストン２の周面にレーザ光線ある
いは電子線Ｂを収束させて局部的に照射すること
により形成される。すなわち、レーザ光線あるは
電子線はエネルギー密度が非常に高く、狭い部分
を加熱できるので、磁気変質部４の大きさ、形状
あるいはそれらの間隔を正確に調整できる。レー
ザ光線あるいは電子線の照射により金属材の表面
は瞬間的に非常に高温度になり、その照射を停止
すると急速に自己冷却され、磁気的特性が変化す
る。
特に鉄系合金、特殊なアルミニウム合金等は外
観上は全く変化がなくても磁気的特性、特に導磁
性を数倍から10数倍にも変化させることが可能で
ある。
観上は全く変化がなくても磁気的特性、特に導磁
性を数倍から10数倍にも変化させることが可能で
ある。
金属材料の中でも磁性材料として名高いFe25
％−Ni75％の合金についてその特性を調べてみ
ると第３図のようになる。図の横軸は磁界の強さ
Ｈを、縦軸は磁化の強さＢを示し、曲線L1は前
記合金をレーザ光線で900℃に加熱した後、自己
冷却させた場合の特性を示し、曲線L2は同様の
処理をしたものを炉内で徐冷した場合の特性を示
したものである。
％−Ni75％の合金についてその特性を調べてみ
ると第３図のようになる。図の横軸は磁界の強さ
Ｈを、縦軸は磁化の強さＢを示し、曲線L1は前
記合金をレーザ光線で900℃に加熱した後、自己
冷却させた場合の特性を示し、曲線L2は同様の
処理をしたものを炉内で徐冷した場合の特性を示
したものである。
変位検出装置として利用する際には、磁界の強
さが小さい範囲に限定されており、本合金におい
て、１エルステツド以下の場合における急速冷却
素材の透磁率（μ＝Ｂ／Ｈ）は徐冷素材のそれの４〜 ５倍になつている。このように、金属材料を所定
温度以上に加熱して急速冷却すればその磁気的特
性を大幅に変えることができる。
さが小さい範囲に限定されており、本合金におい
て、１エルステツド以下の場合における急速冷却
素材の透磁率（μ＝Ｂ／Ｈ）は徐冷素材のそれの４〜 ５倍になつている。このように、金属材料を所定
温度以上に加熱して急速冷却すればその磁気的特
性を大幅に変えることができる。
次に、本発明の作用について説明する。
第４図において、ピストン２の表面に一定間隔
で磁気変質部４を数個設けることにより基準尺を
形成し、この基準尺の移動変位を前記磁気検出器
６で検出する。すなわち、前記磁気検出器６に対
向する位置に磁気変質部４がくると、磁気検出器
６がそれを検出し、図示しないい制御装置に信号
を発する。この制御装置は基準位置からいくつ磁
気変質部４が磁気検出器６を通過したかを検知し
てピストン２を停止せしめたり、あるいは各磁気
変質部４が磁気検出器６を通過する時間を測定す
ることにより、ピストンの移動速度を制御したり
する。また、ピストン２の移動時の加速度も検出
できる。
で磁気変質部４を数個設けることにより基準尺を
形成し、この基準尺の移動変位を前記磁気検出器
６で検出する。すなわち、前記磁気検出器６に対
向する位置に磁気変質部４がくると、磁気検出器
６がそれを検出し、図示しないい制御装置に信号
を発する。この制御装置は基準位置からいくつ磁
気変質部４が磁気検出器６を通過したかを検知し
てピストン２を停止せしめたり、あるいは各磁気
変質部４が磁気検出器６を通過する時間を測定す
ることにより、ピストンの移動速度を制御したり
する。また、ピストン２の移動時の加速度も検出
できる。
なお、前記実施例においては、移動部材として
のピストン２に磁気変質部４を形成したが、固定
部材側に磁気変質部を形成するとともに移動部材
側に磁気検出器６を取付けてもよい。
のピストン２に磁気変質部４を形成したが、固定
部材側に磁気変質部を形成するとともに移動部材
側に磁気検出器６を取付けてもよい。
レーザ光線あるいは電子線による熱処理による
磁気変質部の形成は、機械的な基準尺の加工方法
と異なり、短時間で安価に製作でき、しかも基準
尺の磁気変質部は硬度が高く容易に摩耗したり、
破損したりすることがないので、工作機械、産業
機械、車輛、航空機等に使用される際に付着する
塵埃、油脂、金属粉等の影響を受けることが少な
い。また、機器の金属部分には容易に磁気変質部
を形成できるので汎用性が高い。
磁気変質部の形成は、機械的な基準尺の加工方法
と異なり、短時間で安価に製作でき、しかも基準
尺の磁気変質部は硬度が高く容易に摩耗したり、
破損したりすることがないので、工作機械、産業
機械、車輛、航空機等に使用される際に付着する
塵埃、油脂、金属粉等の影響を受けることが少な
い。また、機器の金属部分には容易に磁気変質部
を形成できるので汎用性が高い。
以上説明したように、本発明は、レザ−ビーム
あるいは電子線のような高エネルギー密度のビー
ムによつて金属材の表面を熱処理し、金属材の表
面の所定位置に局部的に磁気変質部を設けて基準
尺を形成し、この基準尺に対向して磁気特性を検
出する磁気検出器を設け、前記基準尺と磁気検出
器との相対変位移動を検出するようにしたので、
移動部材の位置、移動速度および加速度を正確に
検出でき、しかも基準尺の製作は単に高エネルギ
ー密度のビームを照射するのみでよいので、機器
の殆んどの部分に容易にできて安価であり、汎用
性が大であるという効果を奏する。
あるいは電子線のような高エネルギー密度のビー
ムによつて金属材の表面を熱処理し、金属材の表
面の所定位置に局部的に磁気変質部を設けて基準
尺を形成し、この基準尺に対向して磁気特性を検
出する磁気検出器を設け、前記基準尺と磁気検出
器との相対変位移動を検出するようにしたので、
移動部材の位置、移動速度および加速度を正確に
検出でき、しかも基準尺の製作は単に高エネルギ
ー密度のビームを照射するのみでよいので、機器
の殆んどの部分に容易にできて安価であり、汎用
性が大であるという効果を奏する。
第１図は、本発明を適用した作動シリンダの縦
断面図、第２図は磁気変質部の製造方法説明図、
第３図は磁気特性比較グラフ、第４図は本発明の
作用説明図である。 １……シリンダケース、２……ピストン、４…
…磁気変質部、６……磁気検出器。
断面図、第２図は磁気変質部の製造方法説明図、
第３図は磁気特性比較グラフ、第４図は本発明の
作用説明図である。 １……シリンダケース、２……ピストン、４…
…磁気変質部、６……磁気検出器。
Claims (1)
- １ レザ−ビームあるいは電子線のような高エネ
ルギービームによつて金属材の表面を熱処理し、
金属材の表面の所定位置に局部的に磁気変質部を
設けて基準尺を形成し、この基準尺に対向して磁
気特性を検出する磁気検出器を設け、前記基準尺
と磁気検出器との相対変位移動を検出することを
特徴とする変位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9064180A JPS5716309A (en) | 1980-07-04 | 1980-07-04 | Displacement detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9064180A JPS5716309A (en) | 1980-07-04 | 1980-07-04 | Displacement detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5716309A JPS5716309A (en) | 1982-01-27 |
| JPS6232407B2 true JPS6232407B2 (ja) | 1987-07-14 |
Family
ID=14004122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9064180A Granted JPS5716309A (en) | 1980-07-04 | 1980-07-04 | Displacement detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5716309A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4486545A (en) * | 1982-04-02 | 1984-12-04 | Shinagawa Refractories, Co., Ltd. | SIO2 -CaO Based low cubically expansive flame-spraying material |
| JPS6283620A (ja) * | 1985-10-09 | 1987-04-17 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 磁気目盛 |
| JP2824059B2 (ja) * | 1987-08-31 | 1998-11-11 | 三菱電機株式会社 | 耐熱性磁気スケールの製造方法 |
| JPH03265704A (ja) * | 1990-11-30 | 1991-11-26 | Taiyo Ltd | 流体圧シリンダ |
| JP3237138B2 (ja) * | 1991-08-13 | 2001-12-10 | カヤバ工業株式会社 | 磁気目盛り鋼棒 |
| JP2886131B2 (ja) * | 1996-04-25 | 1999-04-26 | 日本原子力研究所 | 耐熱性磁気スケールの製造方法 |
-
1980
- 1980-07-04 JP JP9064180A patent/JPS5716309A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5716309A (en) | 1982-01-27 |
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