JPS6233314Y2

JPS6233314Y2 -

Info

Publication number: JPS6233314Y2
Application number: JP3097783U
Authority: JP
Priority date: 1983-03-03
Filing date: 1983-03-03
Publication date: 1987-08-26
Also published as: JPS59138232U

Description

【考案の詳細な説明】この考案は半導体ウエーハなどを洗浄したのち
乾燥させるベーパ乾燥装置に関する。

半導体ウエーハ、たとえばシリコンウエーハを
洗浄ならびに乾燥させる手段として、イソプロピ
ルアルコール（IPA）、トリクレンあるいはメチ
ルアルコールなどの有機溶剤を加熱、気化させ、
そのベーパによつてシリコンウエーハの表面を乾
燥させるベーパ乾燥装置が知られている。このベ
ーパ乾燥装置は、有機溶剤を収容するベーパ槽の
内部にシリコンウエーハを支承したカートリツジ
を吊持し、上記有機溶剤を加熱気化させ、発生し
たベーパによつて上記シリコンウエーハの表面を
洗浄ならびに乾燥するようになつている。

ところで、従来のベーパ乾燥装置において、有
機溶剤を加熱する手段としてはヒータ浸漬式、プ
レートヒータ式、オイルバス式とがある。しか
し、上記ヒータ浸漬式は、ヒータを被覆する被覆
管が破損した場合にヒータが直接有機溶剤に触れ
て着火するという火災等の危険性がある。また、
プレートヒータ式は、上記ベーパ槽の底面と接触
しているため発火点に近い状態まで温度上昇し、
上述と同様に危険性があるとともに、ベーパ槽が
破損した場合には特に危険である。さらに、オイ
ルバス式のものは、オイルを加熱しその熱によつ
て有機溶剤を加熱する方式であるため、オイルか
ら発生する蒸気が有機溶剤に浸入し、有機溶剤の
純度が低下することは勿論、洗浄、乾燥効率が低
下するという欠点がある。

この考案は上述のような事情に着目してなされ
たもので、その目的とするところは、ベーパ槽内
の有機溶剤を外部の隔離された部分から輻射熱に
よつて加熱するとともに、加熱装置の開口部を石
英硝子板で覆い、たとえベーパ槽が破損して有機
溶剤が流出しても火災等を未然に防止することが
できるベーパ乾燥装置を提供しようとするもので
ある。

以下、この考案を図面に示す一実施例にもとづ
いて説明する。図中１はベーパ乾燥装置本体で、
この上部にはカートリツジ出入口２が設けられて
いる。この本体１の内部には外周囲に間隙を存し
てベーパ槽３が設置されている。このベーパ槽３
は石英硝子製の箱で、その上部の開口部４は上記
カートリツジ出入口２に対向している。また、こ
のベーパ槽３の開口部４の外周にはフランジ５が
設けられ、このフランジ５は上記本体１の内壁に
突設された掛止部６に掛止されている。さらに、
このベーパ槽３の開口部４の内周壁には冷却水を
循環するためのコイル状の冷却パイプ７が装着さ
れている。

このように構成されたベーパ槽３の内部にはた
とえばイソプロピルアルコール（IPA）、トリク
レンあるいはメチールアルコールなどの有機溶剤
８が収容されており、これは本体１の外部から給
液管９によつて供給されるようになつている。ま
た、このベーパ槽３内の上記有機溶剤８の液面よ
り上方には上部を開口したベーパ室内槽１０が設
置されており、この底部には本体１の外部へ連通
する排液管１１が接続されている。そして、この
ベーパ室内槽１０には被乾燥物としてのシリコン
ウエーハ１２が上方から吊持されたカートリツジ
１３によつて支持されている。

さらに、上記本体１の底部には開口部１４が設
けられ、この外周囲には冷却水を循環する冷却部
１５が設けられている。また、この開口部１４に
は上記ベーパ槽３の底部に対向する加熱装置１６
が取付けられている。この加熱装置１６は複数本
の赤外線ヒータ１７，１７と円弧状の反射板１８
およびこの反射板１８を囲繞するケース１９とか
ら構成されており、このケース１９の開口部すな
わち上記ベーパ槽３の底部と対向する部分は石英
硝子板２０によつて閉塞されている。そして、上
記赤外線ヒータ１７，１７の輻射熱によつてベー
パ槽３内の有機溶剤８を加熱するようになつてい
る。この場合、上記石英硝子板２０およびベーパ
槽３は赤外線を透過しやすい石英硝子材料によつ
て形成されているため、これらの表面温度が有機
溶剤８の発火点近くまで温度上昇することはな
い。さらに、上記ベーパ槽３の底部と石英硝子板
２０との間には赤外線の透過を妨げないように複
数本のステンレス製の保護部材２１…が平行に配
設されている。この保護部材２１…はベーパ槽３
が破損しても加熱装置１６の石英硝子板２０が影
響を受けることがないように保護するものであ
る。

しかして、ベーパ槽３に有機溶剤８を収容し、
ベーパ室内槽１０にシリコンウエーハ１２を支持
したカートリツジ１３を吊持した状態において、
加熱装置１６に通電すると、赤外線ヒータ１７，
１７から発生する赤外線は石英硝子板２０および
ベーパ槽３の底部を透過し、有機溶剤８を輻射熱
によつて加熱する。有機溶剤８が加熱されると、
ベーパが発生し、このベーパはベーパ室内槽１０
に侵入してシリコンウエーハ１２の表面に付着す
る。このとき、シリコンウエーハ１２は当初はそ
の表面温度が低いため、付着したベーパは凝縮
し、凝縮水となつて排液管１１から外部へ排出さ
れる。したがつて、有機溶剤８が汚染されること
はなく、また、シリコンウエーハ１２は洗浄され
ることになる。このようにして所定時間が経過す
ると、シリコンウエーハ１２の表面温度は上昇し
乾燥状態となり、シリコンウエーハ１２の洗浄な
らびに乾燥が完了する。

また、このようなベーパ乾燥中において、赤外
線ヒータ１７，１７からの赤外線は石英硝子板２
０をほとんど透過するため表面温度が有機溶剤８
の発火点近くまで上昇することはなく、また、赤
外線ヒータ１７，１７とベーパ槽３とは石英硝子
板２０によつて完全に分離されているため、たと
えベーパ槽３が破損して有機溶剤８が流出しても
着火等の恐れもなく安全性が高いという利点があ
る。

なお、上記一実施例においては、加熱装置とし
て赤外線ヒータを用いたが、輻射熱によつて加熱
するものであればよく、この実施例に限定される
ものではない。

この考案は以上説明したように、ベーパ槽内の
有機溶剤を外部の隔離された部分から輻射熱によ
つて加熱するとともに、その加熱装置の開口部を
石英硝子板によつて閉塞したから、石英硝子板の
表面温度が有機溶剤の発火点近くまで上昇するこ
とはなく、ベーパ槽がたとえ破損して有機溶剤が
流出しても着火することはなく安全性を向上する
ことができる。また、被乾燥物をベーパ室内槽に
収容したから、凝縮水によつて有機溶剤が汚染さ
れることはないという効果もある。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すベーパ乾燥装
置の縦断正面図である。３……ベーパ槽、８……有機溶剤、１０……ベ
ーパ室内槽、１２……シリコンウエーハ（被乾燥
物）、１６……加熱装置、２０……石英硝子板、
２１……保護部材。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

石英硝子からなり内部に有機溶剤を収容するベ
ーパ槽と、このベーパ槽内に設けられ内部に被乾
燥物を収容するベーパ室内槽と、上記ベーパ層の
下部に離間して設けられその底面を介して上記有
機溶剤を輻射熱によつて加熱気化させる発熱装置
と、この発熱装置の上記ベーパ槽の底面と対向す
る開口部を閉塞する石英硝子板と、この石英硝子
板と上記ベーパ槽の底面との間に設けた保護部材
とを具備したことを特徴とするベーパ乾燥装置。