JPS6235590A - レ−ザミラ−装置 - Google Patents
レ−ザミラ−装置Info
- Publication number
- JPS6235590A JPS6235590A JP17312885A JP17312885A JPS6235590A JP S6235590 A JPS6235590 A JP S6235590A JP 17312885 A JP17312885 A JP 17312885A JP 17312885 A JP17312885 A JP 17312885A JP S6235590 A JPS6235590 A JP S6235590A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- laser
- air
- laser mirror
- mirror surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザ装置においてレーザ発振器より放射
されるレーザ光を、例えばレーザヘットなどへ屈折させ
て伝播させるためのレーザミラー装置に関するものであ
る。
されるレーザ光を、例えばレーザヘットなどへ屈折させ
て伝播させるためのレーザミラー装置に関するものであ
る。
レーザ発振器よυのレーザ光出力を効率よく伝播させる
ために、ファイバースコープやレーザミラーなどによっ
てレーザ光路を屈折させてりなっている。特に、中容量
の1000 W以上のレーザ装置においては、レーザ光
の屈折時にミラーが吸収する熱による温度上昇全抑制す
るために、ミラーに接した冷却チャンバを設けて冷却水
を循環させ、強制冷却を行なっている。この温度上昇の
抑制とともに、レーザ光の屈折時の又対重の低下を防止
するために重要なことは、レーザ装置の使用中にレーザ
ミラー面に付着するほこ)や粉塵による影響を最小限に
することである。
ために、ファイバースコープやレーザミラーなどによっ
てレーザ光路を屈折させてりなっている。特に、中容量
の1000 W以上のレーザ装置においては、レーザ光
の屈折時にミラーが吸収する熱による温度上昇全抑制す
るために、ミラーに接した冷却チャンバを設けて冷却水
を循環させ、強制冷却を行なっている。この温度上昇の
抑制とともに、レーザ光の屈折時の又対重の低下を防止
するために重要なことは、レーザ装置の使用中にレーザ
ミラー面に付着するほこ)や粉塵による影響を最小限に
することである。
第3図はレーザ光路を屈折させる通常の装置の一例を示
す構成図であシ、(1)はレーザミラー装置、αυはレ
ーザミラー、αQは冷却チャンバ、αzhレーザミラー
ホルダ、(2)はエアーノズル、(3)はダクト、(4
)はレーザ光路である。
す構成図であシ、(1)はレーザミラー装置、αυはレ
ーザミラー、αQは冷却チャンバ、αzhレーザミラー
ホルダ、(2)はエアーノズル、(3)はダクト、(4
)はレーザ光路である。
次に上記のような装置の動作を説明する。ダクト(3)
内には常に窒素ガスなどを含む清浄な空気を供給し、エ
アーノズル(2)より吹出す風力によって強制的に送風
して、レーザ装置室などから混入してくるほこりや粉塵
などがレーザミラー(1a)の表面に付着しようとする
のを吹き払い、レーザミラー(1a)面の(=J着物に
よる乱反射、透化度の悪化による反射率の低下を防ぐよ
うになっている。
内には常に窒素ガスなどを含む清浄な空気を供給し、エ
アーノズル(2)より吹出す風力によって強制的に送風
して、レーザ装置室などから混入してくるほこりや粉塵
などがレーザミラー(1a)の表面に付着しようとする
のを吹き払い、レーザミラー(1a)面の(=J着物に
よる乱反射、透化度の悪化による反射率の低下を防ぐよ
うになっている。
上記のような構成の従来のレーザミラー装置では、レー
ザミラー(1a)面のほこりなどの付着を避けるために
は窒素ガスなどを含む空気を多量に供給しなければなら
ず、またエアーノズル(2)の吹出し力によるダクト(
3)内の風速が弱いため、通常のレーザ装置の使用状態
では、数ケ月でレーザミラー(1a)面のほこりなどの
付着の影響によって、反射率が2〜3%低下してしまう
などの問題があった。
ザミラー(1a)面のほこりなどの付着を避けるために
は窒素ガスなどを含む空気を多量に供給しなければなら
ず、またエアーノズル(2)の吹出し力によるダクト(
3)内の風速が弱いため、通常のレーザ装置の使用状態
では、数ケ月でレーザミラー(1a)面のほこりなどの
付着の影響によって、反射率が2〜3%低下してしまう
などの問題があった。
この発明は上記のような間頴点を解決するためになされ
たもので、多量の空気を供給してこれをダクト内で強制
送風しなくても、レーザミラー面を長期間清浄に維持し
て反射率の低下を防止できるレーザミラー装置を得るこ
とを目的とする。
たもので、多量の空気を供給してこれをダクト内で強制
送風しなくても、レーザミラー面を長期間清浄に維持し
て反射率の低下を防止できるレーザミラー装置を得るこ
とを目的とする。
この発明に係るレーザミラー装置は、レーザミラーの鏡
面の上部にこの鏡面と空隙を隔ててエアーガイドを設け
、外部より供給される圧縮空気を鏡面とエアーガイド間
の上記空隙に圧送するようにしたものである。
面の上部にこの鏡面と空隙を隔ててエアーガイドを設け
、外部より供給される圧縮空気を鏡面とエアーガイド間
の上記空隙に圧送するようにしたものである。
この発明においては、外部より供給された圧縮空気が鏡
面の上部に設けられたエアーガイドに反射してレーザミ
ラーの鏡面へ噴射するので、この噴射力によって鏡面に
付着しようとするほこシなどを吹き払う。
面の上部に設けられたエアーガイドに反射してレーザミ
ラーの鏡面へ噴射するので、この噴射力によって鏡面に
付着しようとするほこシなどを吹き払う。
第1図および第2図はこの発明の一実施例によるレーザ
ミラー装置の構成図である。図において、←υはレーザ
ミラー、0■はレーザミラーホルダ、0階は冷却室、I
およびαつはそれぞれ冷却水の入口および出口、aeは
レーザミラーホルダ(1zを基台αηに固定する取付ね
じ、(慢はエアーガイドで、レーザミラーαυの鏡面部
とレーザミラーホルダα2との間の空洞部(I!J内に
外部からの圧縮空気(イ)の導入管(21)が設けられ
、0リング(22)によってレーザミラーホルダα2と
空洞部01間をシールし、取付ねじ(23)によってレ
ーザホルダα2に固定されている。
ミラー装置の構成図である。図において、←υはレーザ
ミラー、0■はレーザミラーホルダ、0階は冷却室、I
およびαつはそれぞれ冷却水の入口および出口、aeは
レーザミラーホルダ(1zを基台αηに固定する取付ね
じ、(慢はエアーガイドで、レーザミラーαυの鏡面部
とレーザミラーホルダα2との間の空洞部(I!J内に
外部からの圧縮空気(イ)の導入管(21)が設けられ
、0リング(22)によってレーザミラーホルダα2と
空洞部01間をシールし、取付ねじ(23)によってレ
ーザホルダα2に固定されている。
上記のようなレーザミラー装置において、冷却室a3内
を循環する冷却水によってレーザミラーホルダ(13の
隔壁を介してレーザミラーの温度上昇が抑制され、一方
エアーガイド(1υに設けられた導入口(21)より、
図示の々い空気源から送給される圧縮空気(イ)が空洞
部α1内に圧送され、エアーガイドOgJの内壁に反射
してレーザミラーαυの鏡面に噴射することにより、周
辺に浮遊して鏡面に付着すると反射率の低下などの弊害
を及ぼすほこりなどを吹き払うようになっている。
を循環する冷却水によってレーザミラーホルダ(13の
隔壁を介してレーザミラーの温度上昇が抑制され、一方
エアーガイド(1υに設けられた導入口(21)より、
図示の々い空気源から送給される圧縮空気(イ)が空洞
部α1内に圧送され、エアーガイドOgJの内壁に反射
してレーザミラーαυの鏡面に噴射することにより、周
辺に浮遊して鏡面に付着すると反射率の低下などの弊害
を及ぼすほこりなどを吹き払うようになっている。
この発明は以上説明したとおり、レーザミラーの鏡面側
の上方にエアーガイドを設け、との止アーガイド内の空
洞部より圧縮空気をレーザミラーの鏡面に吹きつけると
いう簡単な構造によって、効率よくほこりなどの付着の
防止ができる効果がある0
の上方にエアーガイドを設け、との止アーガイド内の空
洞部より圧縮空気をレーザミラーの鏡面に吹きつけると
いう簡単な構造によって、効率よくほこりなどの付着の
防止ができる効果がある0
第1図はこの発明の一実施例によるレーザミラー装置の
構成を示す断面図、第2図は第1図の上面図、第3図は
従来のレーザ光路を屈折させる装置の一例を示す構成図
である。 図において、αυはレーザミラー、α樽はエアーガイド
、0は空洞部、(イ)は圧縮空気。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 20:圧Ia空糺 第2国 第3 @
構成を示す断面図、第2図は第1図の上面図、第3図は
従来のレーザ光路を屈折させる装置の一例を示す構成図
である。 図において、αυはレーザミラー、α樽はエアーガイド
、0は空洞部、(イ)は圧縮空気。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 20:圧Ia空糺 第2国 第3 @
Claims (1)
- レーザ発振器より放射されたレーザ光を集束して溶接、
切断などを行うレーザ装置において、上記レーザ発振器
よりのレーザ光路を屈折するレーザミラーの鏡面側の上
部にこの鏡面と空隙を隔てて設けられたエアーガイド内
に空気を圧送し、この圧送された空気を上記レーザミラ
ーの鏡面へ吹きつけるように成されたことを特徴とする
レーザミラー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17312885A JPS6235590A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | レ−ザミラ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17312885A JPS6235590A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | レ−ザミラ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6235590A true JPS6235590A (ja) | 1987-02-16 |
Family
ID=15954643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17312885A Pending JPS6235590A (ja) | 1985-08-08 | 1985-08-08 | レ−ザミラ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6235590A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2020054593A1 (ja) * | 2018-09-13 | 2021-08-30 | パナソニック株式会社 | 光学装置 |
-
1985
- 1985-08-08 JP JP17312885A patent/JPS6235590A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2020054593A1 (ja) * | 2018-09-13 | 2021-08-30 | パナソニック株式会社 | 光学装置 |
| JP2023145805A (ja) * | 2018-09-13 | 2023-10-11 | パナソニックホールディングス株式会社 | 光学装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6779463B2 (ja) | レーザー被膜剥離システム | |
| US4326553A (en) | Megasonic jet cleaner apparatus | |
| KR100458211B1 (ko) | 세정장치 | |
| US11660702B2 (en) | Laser apparatus including fastening holes and inlet grooves | |
| US6412499B1 (en) | Continuous cleaning megasonic tank with reduced duty cycle transducers | |
| CN101823183A (zh) | 水导激光装置 | |
| ES2059112T3 (es) | Mejoras en un medidor de caudal de gas/liquido ultrasonico. | |
| CN110153554B (zh) | 激光加工头 | |
| US11225696B2 (en) | Delivery device usable in laser peening operation, and associated method | |
| KR20040016782A (ko) | 기판 처리장치 및 기판 세정유닛 | |
| CA2396643A1 (en) | Optical machining device | |
| JPS62272576A (ja) | レ−ザビ−ム組合せ装置 | |
| CN215145688U (zh) | 一种激光切割机辅助清洁装置 | |
| ES2063915T3 (es) | Aparato depurador de aire. | |
| JPS6235590A (ja) | レ−ザミラ−装置 | |
| JPH08288244A (ja) | 光学検出手段 | |
| JPH08332586A (ja) | レーザ加工装置 | |
| CN109048053B (zh) | 一种高功率光纤激光气动扫描系统 | |
| JPH0673657B2 (ja) | 噴射形超音波洗浄装置 | |
| ES2395706T3 (es) | Boca de sumidero de aspiración de partículas finas y dispositivo de ablación láser de una capa superficial de una pared que comprende dicho sumidero | |
| CN115716166A (zh) | 一种基于外光路合束的复合激光清洗头 | |
| JP4452977B2 (ja) | 紫外線照射装置及びその気体放出方法 | |
| JPS62224489A (ja) | レ−ザ光学系保護装置 | |
| CN220445340U (zh) | 光学镜片保护装置及激光头 | |
| JPH0736323Y2 (ja) | レ−ザ加工機用ビ−ムベンダ− |