JPS6235626U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案に係る真空容器の
固定装置の各実施例を一部断面で示す側面図、第
３図は従来の真空容器の据付固定装置を一部断面
で示す側面図である。 １……真空容器、２……フランジ、４……基礎
、５……たて型回転体、６，７……軸受、８……
接続配管、９……主排気管、１１……据付溝、１
２……ボールベアリング。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ たて型回転体を内蔵する複数の真空容器を据
   付固定する装置において、前記真空容器の上端に
   弾力的に当接される弾発性接続配管と、前記真空
   容器内を真空排気するために上記接続配管を介し
   て接続される主排気管とを備えたことを特徴とす
   る真空容器の据付固定装置。 ２ 前記弾発性接続配管はスプリング状に成形さ
   れたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
   １項記載の真空容器の据付固定装置。 ３ 真空容器の底部は基礎に設けられた溝内に嵌
   入されて設置されたことを特徴とする実用新案登
   録請求の範囲第１項記載の真空容器の据付固定装
   置。