JPS623604A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPS623604A JPS623604A JP60142933A JP14293385A JPS623604A JP S623604 A JPS623604 A JP S623604A JP 60142933 A JP60142933 A JP 60142933A JP 14293385 A JP14293385 A JP 14293385A JP S623604 A JPS623604 A JP S623604A
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- detector
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、位置もしくは角度の変化を検出する検出装置
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
従来の位置あるいは角度変化等の検出装置として、既に
我々が提案した、光源からの元の制限によって得られた
スポット光を一次元型半導体装置検出器（以下、検出器
という）に投光する方式のものがある。
我々が提案した、光源からの元の制限によって得られた
スポット光を一次元型半導体装置検出器（以下、検出器
という）に投光する方式のものがある。
以下図面を参照しながら、上述した従来の位置あるいは
角度変化等の検出装置の一例について説明する。
角度変化等の検出装置の一例について説明する。
第３図、第４図はそれぞれ従来の位置検出装置の構成、
従来の位置検出装置の動作回路のブロック図を示すもの
である。第３，４図で１１は光源、１２は固定スリット
板、１３は移動スリット板、１４は検出器、１５は動作
回路、１６，１７．１８は増幅器、１９は加算器、２０
は減算器、２１は割算器である。
従来の位置検出装置の動作回路のブロック図を示すもの
である。第３，４図で１１は光源、１２は固定スリット
板、１３は移動スリット板、１４は検出器、１５は動作
回路、１６，１７．１８は増幅器、１９は加算器、２０
は減算器、２１は割算器である。
以上のように構成された位置検出装置について、以下そ
の動作について説明する。
の動作について説明する。
まず前記光源１１から出た光は、前記固定スリット板１
２と前記移動スリット板１３によりスポット光に制限さ
れ、前記固定スリット板１２のスリットと同一方向に置
かれた前記検出器１４の受光面上に投影されている。前
記移動スリット板１３の移動にともない前記スポット光
は、前記検出器１４の受光面上を移動する。前記検出器
１４は、直線的に移動するスポット光の位置に従い連続
的な電気信号を出力するもので、受光面上に投影された
スポット光の位置を電気信号として前記動作回路１に出
力する。前記スポット光は、前記移動スリット板１３が
Ａだけ移動する間に、前記検出器１４の受光面上をＢだ
け移動するので、該受光面上のスポット光の位置を検出
することにより、前記移動スリット板１３の位置を検出
することができる。前記動作回路１５は、前記検出器１
４の出力の和と差の比を求めることにより、前記スポッ
ト光の位置を出力するというものであった。
２と前記移動スリット板１３によりスポット光に制限さ
れ、前記固定スリット板１２のスリットと同一方向に置
かれた前記検出器１４の受光面上に投影されている。前
記移動スリット板１３の移動にともない前記スポット光
は、前記検出器１４の受光面上を移動する。前記検出器
１４は、直線的に移動するスポット光の位置に従い連続
的な電気信号を出力するもので、受光面上に投影された
スポット光の位置を電気信号として前記動作回路１に出
力する。前記スポット光は、前記移動スリット板１３が
Ａだけ移動する間に、前記検出器１４の受光面上をＢだ
け移動するので、該受光面上のスポット光の位置を検出
することにより、前記移動スリット板１３の位置を検出
することができる。前記動作回路１５は、前記検出器１
４の出力の和と差の比を求めることにより、前記スポッ
ト光の位置を出力するというものであった。
以上のような構成と動作を有した従来例は摺動ノイズが
なく、外部磁界にも影響を受けない、高安定という優れ
た特徴を有する位置検出装置を提供するものであった。
なく、外部磁界にも影響を受けない、高安定という優れ
た特徴を有する位置検出装置を提供するものであった。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では、レンズ系を使用せ
ずにスポット光を得ているため、Ｓ／Ｎ比を向上させて
より高精度の位置検出を行うには、よシ光量の高い光源
を使用しなければならないため、コスト高あるいはコン
パクト性が悪くなる等の問題が生じる。またレンズ系を
固定スリット板と光源の間もしくは移動スリット板と一
次元型半導体装置検出器の間に設置した場合もコンパク
ト性が悪くなる等の問題点を有していた。
ずにスポット光を得ているため、Ｓ／Ｎ比を向上させて
より高精度の位置検出を行うには、よシ光量の高い光源
を使用しなければならないため、コスト高あるいはコン
パクト性が悪くなる等の問題が生じる。またレンズ系を
固定スリット板と光源の間もしくは移動スリット板と一
次元型半導体装置検出器の間に設置した場合もコンパク
ト性が悪くなる等の問題点を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、従来の位置検出装置が有す
る外部ノイズに対する安定性をそこなうことなく、より
高精度でなおかつ安価で小型の位置検出装置を提供する
ものである。
る外部ノイズに対する安定性をそこなうことなく、より
高精度でなおかつ安価で小型の位置検出装置を提供する
ものである。
問題点樟決するだめの手段
上記問題点を解決するために本発明の位置検出装置は、
光源から出た光を１次元方向に結像させ、この結像した
像を移動させて、−次元型半導体装置検出器で検出する
という構成を備えたものである。
光源から出た光を１次元方向に結像させ、この結像した
像を移動させて、−次元型半導体装置検出器で検出する
という構成を備えたものである。
作 用
本発明は上記した構成によって、光源からの光を移動結
像手段で１次元型半導体装置検出器上に結像させること
により、従来よυ高精度の位置検出が安価で小型の装置
として実現できることとなる。
像手段で１次元型半導体装置検出器上に結像させること
により、従来よυ高精度の位置検出が安価で小型の装置
として実現できることとなる。
実施例
以下本発明の一実施例の位置検出装置について、図面を
参照しながら説明す゛る。
参照しながら説明す゛る。
第１図は、本発明による位置検出装置の一実施例の構成
を示すものである。第１図において、１は光源、２は移
動結像板であり、前記移動結像板２はさらに斜へい部２
ａとシリ／トリカルレンズ部２ｂからなっている。前記
斜へい部２ａと前記シリンドリカルレンズ部２ｂは、例
えば透明な樹脂による成型品として一体でつくられたも
ので、その後、前記斜へい部２ａ上にのみ、前記光源１
からの光が通過しないように光透化防止コーティングを
ほどこしである。３は１次元型半導体装置検出器（以下
、検出器という）で、前記光源１から出た光が前記シリ
ンドリカルレンズ部２ｂにより、前記検出器３の受光面
上で結像するように各々が配置されている。また前記検
出器３は、前記移動結像板２の移動方向に対して垂直に
配置されており、前記シリンドリカルレンズ部２ｂは、
軸方向が前記移動結像板２の移動方向に対してθだけ傾
斜している。４は動作回路であり、第２図に前記動作回
路４のブロック図を示す。
を示すものである。第１図において、１は光源、２は移
動結像板であり、前記移動結像板２はさらに斜へい部２
ａとシリ／トリカルレンズ部２ｂからなっている。前記
斜へい部２ａと前記シリンドリカルレンズ部２ｂは、例
えば透明な樹脂による成型品として一体でつくられたも
ので、その後、前記斜へい部２ａ上にのみ、前記光源１
からの光が通過しないように光透化防止コーティングを
ほどこしである。３は１次元型半導体装置検出器（以下
、検出器という）で、前記光源１から出た光が前記シリ
ンドリカルレンズ部２ｂにより、前記検出器３の受光面
上で結像するように各々が配置されている。また前記検
出器３は、前記移動結像板２の移動方向に対して垂直に
配置されており、前記シリンドリカルレンズ部２ｂは、
軸方向が前記移動結像板２の移動方向に対してθだけ傾
斜している。４は動作回路であり、第２図に前記動作回
路４のブロック図を示す。
以上のように構成された位置検出装置について、以下筒
１，２図を用いてその動作を説明する。
１，２図を用いてその動作を説明する。
まず前記光源１から出た光は前記結像板２上の前記シリ
ンドリカルレンズ部２ｂを通過して１次元方向にのみ集
光されたスリット光像として前記検出器３の受光面上で
結像する。前記移動結像板２の移動に伴い、前記スリッ
ト光像は前記検出器３の受光面上を移動する。前記検出
器３は、直線的に移動するスリット光像の位置に従い連
続的な電気信号を出力するもので、受光面上に結像され
たスリット光像の位置を電気信号として前記動作回路４
に出力する。前記スリット光像は、前記移動結像板２が
Ａだけ移動する間に、前記検出器３の受光面上をＣ，Ａ
、−〇（Ｃは比例定数）だけ移動するので、該受光面上
のスリット光像の位置を検出することにより、前記移動
結像板２の位置を検出することができる。前記動作回路
４については構成、動作とも従来例と同様であるので説
明は省略する。
ンドリカルレンズ部２ｂを通過して１次元方向にのみ集
光されたスリット光像として前記検出器３の受光面上で
結像する。前記移動結像板２の移動に伴い、前記スリッ
ト光像は前記検出器３の受光面上を移動する。前記検出
器３は、直線的に移動するスリット光像の位置に従い連
続的な電気信号を出力するもので、受光面上に結像され
たスリット光像の位置を電気信号として前記動作回路４
に出力する。前記スリット光像は、前記移動結像板２が
Ａだけ移動する間に、前記検出器３の受光面上をＣ，Ａ
、−〇（Ｃは比例定数）だけ移動するので、該受光面上
のスリット光像の位置を検出することにより、前記移動
結像板２の位置を検出することができる。前記動作回路
４については構成、動作とも従来例と同様であるので説
明は省略する。
以上のように本実施例によれば、位置検出装置において
、光源からの光をシリンドリカルレンズを用いて１次元
方向に集光されたスリット光像として１次元型半導体装
置検出器の受光面上で結像させることにより、従来よシ
も光量密度７ｊＸ高い像を前記位置検出器の受光面上に
投影することができ、なおかつ位置検出装置の構造が簡
単で移動結像板も安価に得られるため、よシ高精度の位
置検出が安価で小型の装置として実現することができる
。
、光源からの光をシリンドリカルレンズを用いて１次元
方向に集光されたスリット光像として１次元型半導体装
置検出器の受光面上で結像させることにより、従来よシ
も光量密度７ｊＸ高い像を前記位置検出器の受光面上に
投影することができ、なおかつ位置検出装置の構造が簡
単で移動結像板も安価に得られるため、よシ高精度の位
置検出が安価で小型の装置として実現することができる
。
なお実施例において、直線移動型位置検出装置について
のみ説明を行ったが、回転移動型位置検出装置に用いて
も良いことは言うまでもない。
のみ説明を行ったが、回転移動型位置検出装置に用いて
も良いことは言うまでもない。
発明の効果
以上のように本発明は、光源から出た光を１次元方向に
結像させ、この結像した像を移動させて、１次元半導体
装置検出器で検出することにより、従来の位置検出装置
が有する外部ノイズに対する安定性をそこなうことなく
、より高精度の位置検出が安価で小型の装置で行うこと
ができるという効果を得゛ることかできる優れた位置検
出装置を実現できるものである。
結像させ、この結像した像を移動させて、１次元半導体
装置検出器で検出することにより、従来の位置検出装置
が有する外部ノイズに対する安定性をそこなうことなく
、より高精度の位置検出が安価で小型の装置で行うこと
ができるという効果を得゛ることかできる優れた位置検
出装置を実現できるものである。
第１図は本発明の一実施例としての位置検出装置の構成
図、第２図は同実施例における動作回路のブロック図、
第３図は従来例としての位置検出装置の構成図、第４図
は従来例としての動作回路のブロック図である。 １．１１・・−・・光源、２・・・・・・移動結像板、
３，１４・・・・・・１次元型半導体装置検出器、４，
１５・・・・・・動作回路、５，６，７，１６，１７．
１８・・・・・増巾器、８．１９・・・・・加算器、９
，２０・・・・・・減算器、１０．２１・・・・・割算
器、１２・・・・・固定スリット板、１３・・・・移動
スリット板。
図、第２図は同実施例における動作回路のブロック図、
第３図は従来例としての位置検出装置の構成図、第４図
は従来例としての動作回路のブロック図である。 １．１１・・−・・光源、２・・・・・・移動結像板、
３，１４・・・・・・１次元型半導体装置検出器、４，
１５・・・・・・動作回路、５，６，７，１６，１７．
１８・・・・・増巾器、８．１９・・・・・加算器、９
，２０・・・・・・減算器、１０．２１・・・・・割算
器、１２・・・・・固定スリット板、１３・・・・移動
スリット板。
Claims (1)
- 光源と、前記光源から出た光を１次元方向に結像させる
とともに、この結像した像を移動させる移動結像手段と
、前記像の位置を検出する一次元型半導体装置検出器と
、前記位置検出器の出力信号を処理する検出手段とを備
えたことを特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142933A JPS623604A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142933A JPS623604A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS623604A true JPS623604A (ja) | 1987-01-09 |
Family
ID=15327018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60142933A Pending JPS623604A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS623604A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0630745U (ja) * | 1993-07-12 | 1994-04-22 | ミミー電子有限会社 | 気圧計又は気圧高度計 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP60142933A patent/JPS623604A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0630745U (ja) * | 1993-07-12 | 1994-04-22 | ミミー電子有限会社 | 気圧計又は気圧高度計 |
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