JPS6236343U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6236343U JPS6236343U JP12853185U JP12853185U JPS6236343U JP S6236343 U JPS6236343 U JP S6236343U JP 12853185 U JP12853185 U JP 12853185U JP 12853185 U JP12853185 U JP 12853185U JP S6236343 U JPS6236343 U JP S6236343U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter unit
- blower
- outer frame
- clean room
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
第１図はこの考案に係るクリーンルーム用フイ
ルタユニツトの１実施例の平面図、第２図は従来
のクリーンルーム用フイルタユニツトの断面図、
第３図は平面図、第４図はフイルタユニツト外枠
と送風機吸込口との距離と送風機吸込口径との比
と圧力損失との関係図を示す。 １……送風機、２……高性能フイルタ、３……
チヤンバ、４……フイルタユニツト外枠、７……
送風機吸込口、８……送風機回転軸。
ルタユニツトの１実施例の平面図、第２図は従来
のクリーンルーム用フイルタユニツトの断面図、
第３図は平面図、第４図はフイルタユニツト外枠
と送風機吸込口との距離と送風機吸込口径との比
と圧力損失との関係図を示す。 １……送風機、２……高性能フイルタ、３……
チヤンバ、４……フイルタユニツト外枠、７……
送風機吸込口、８……送風機回転軸。
Claims (1)
- 送風機、ＨＥＰＡフイルタ、チヤンバ、フイル
タユニツト外枠よりなるクリーンルーム用フイル
タユニツトにおいて、送風機の回転軸をフイルタ
ユニツト断面の対角線と平行に配置したことを特
徴とするクリーンルーム用フイルタユニツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12853185U JPS6236343U (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12853185U JPS6236343U (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236343U true JPS6236343U (ja) | 1987-03-04 |
Family
ID=31024287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12853185U Pending JPS6236343U (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236343U (ja) |
-
1985
- 1985-08-23 JP JP12853185U patent/JPS6236343U/ja active Pending