JPS6236523B2 - - Google Patents

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JPS6236523B2
JPS6236523B2 JP56006836A JP683681A JPS6236523B2 JP S6236523 B2 JPS6236523 B2 JP S6236523B2 JP 56006836 A JP56006836 A JP 56006836A JP 683681 A JP683681 A JP 683681A JP S6236523 B2 JPS6236523 B2 JP S6236523B2
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JP
Japan
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measured
circuit
fluid
heating
temperature sensing
Prior art date
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JP56006836A
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Tatsuo Togawa
Tetsu Nemoto
Hirohisa Tsubakimoto
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Anima Corp
Original Assignee
Anima Corp
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Publication date
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Priority to US06/422,975 priority patent/US4483200A/en
Publication of JPS57120816A publication Critical patent/JPS57120816A/ja
Publication of JPS6236523B2 publication Critical patent/JPS6236523B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、電流により加熱された抵抗線を使
用して流体の流速を測定する熱線パルス流量計に
関するものである。
被測定流体の流管の上流側において、被測定流
体を熱パルスにより加熱し、この加熱された被測
定流体を被測定流体の加熱位置から所定距離隔つ
た流管の下流側において検出し加熱時から検出時
までの時間を測定することにより、被測定流体の
流速を測定し、それに基づいて被測定流体の流量
を測定することが行なわれている。
一方超音波を使用し、超音波の伝播時間から流
速を測定し、この流速に基づいて流量を測定する
方法も用いられている。しかし超音波は流体の組
成によつてその伝播時間が大幅に変化する難点が
ある。例えば超音波のHe中の伝播速度は0℃に
おいて19.0×104m2/S2であり、空気中ではこれ
が11.0×104m2/S2となる。これに比して、熱線
型の流量計では被測定流体の組成に影響されずに
流速の測定が可能であり、検出器も超音波の場合
に比して高精度で且つ熱線の太さや長さなどの影
響がなく配設位置で特性が定まる構造の簡単なも
のを容易に得ることが出来る。この場合、被測定
流体の流量をLml/secとし、測定用の流管の断
面積をScm2とすると、被測定流体の平均流速vは
次式で与えられる。
v=L/S(cm/sec) (1) 流管内の上流側に設けられた被測定流体の加熱
部と、流管の下流側に設けられた感温部間の距離
をd(cm)とし、加熱部における被測定流体への
加熱時から、感温部における加熱された被測定流
体の検出迄に要する時間をTとすると、次式が成
立する。
T=1/LS.d(sec) (2) 加熱部の発熱体として、直径D、長さlのW線
を使用し、W線の密度をP(g/cm3)その熱伝導
率をCp(cal/g〓)抵抗値をR、印加電圧をV
その通電時間をtとすると、被測定流体に与えら
れる熱量△Tは、次式で与えられる。
(2)式で明らかなように、被測定流体の流量Lが
増加して行くと、これに反比例して時間Tが減少
して行く。このため、特にその被測定流体の流量
が大幅に変化するような測定系においては、加熱
部においての被測定流体の加熱時間周期の設定が
困難となる。即ちこの加熱時間周期を余り大きく
設定すると、被測定流体の流量の変化に正確に追
従した測定が出来なくなる。一方、加熱時間周期
を余り短かくすると単位時間ごとに流管の下流側
で検出される流体に前の時間周期における加熱の
影響が与えられて、その検出が不正確になる。
この発明は、この従来の熱線パルス流量計にお
ける難点を解決し、被測定流体の流量に対応して
加熱部における発熱時間周期を変化可能とし、広
い範囲の流量変化に応じて、常に正確で効率のよ
い流量測定が可能な熱線パルス流量計を提供する
ものである。
この発明においては、被測定流路内の被測定流
体に対して所定の位置において瞬時的に被測定流
体を加熱する加熱手段が設けられ、この加熱手段
により加熱された被測定流体の通過位置に感温素
子が設けられる。前記感温素子に接続され、加熱
された被測定流体が通過するのを検出する感温回
路部が設けられる。また前記加熱手段による加熱
から前記感温回路部の検出までの時間を計測し、
前記感温回路部の検出から前記計測時間と等しい
時間だけ更に経過後に前記加熱手段を駆動する時
間設定回路が設けられ、この時間設定回路による
加熱手段の駆動周期に対応して前記被測定流体の
流量を測定する手段が設けられる。また前記被測
定流体の流量が所定値以下になつたことを検出す
るタイマ手段が設けられ、そのタイマ手段の検出
中、前記加熱手段を一定周期で駆動する。(この
ように被測定流体の流量が所定値以下になつた場
合、例えば流れがほゞ止つたような場合にも一定
周期(例えば10Hz程度)で加熱手段を駆動してい
ると、流れが急に再開された場合にも即応してそ
の流量を測定することができる。) 以下、この発明の熱線パルス流量計をその実施
例に基づき、図面を使用して詳細に説明する。
第1図はこの発明の構成を示す図で、流管11
内に被測定流体Fが導入され、この流管11の上
流側において、流管11内周面に被測定流体Fの
流れ方向に直角に乱流発生体12が設けられる。
この乱流発生体12は、例えば被測定流体Fの流
れに直角な面上に、金属線でメツシユ状体が形成
された構成を有する。
流管11に導入される被測定流体Fは一般には
層流で流れに直角な面内で、或る速度分布を有す
る。この導入された層流状の被測定流体Fは、こ
の乱流発生体により乱流となり、流れに直角な面
内で一様な平均速度を有する状態になる。
流管11内においてこの乱流発生体12の下流
側に発熱体13が、流管11の直径方向に張りわ
たされる。この発熱体13は、例えば直径5μの
W線で形成され、この発熱体13から被測定流体
を加熱する熱パルスが被測定流体に与えられる。
即ち、発熱回路部14が設けられ、この発熱回路
部14では加熱パルス幅設定回路10から発生し
た所定のパルス幅の加熱パルスSHによつて加熱
回路18が励起され、励起された加熱回路18に
接続された発熱体13が発熱して被測定流体がこ
の熱パルスによつて加熱される。
流管11に対してこの発熱回路部14の下流側
には感温回路部15が設けられる。感温回路部1
5においては、感温素子19の出力端子間に感温
回路20が接続され、この感温回路20の出力端
には増幅整形回路21が接続されて、この増幅整
形回路21の出力端にフイルター9が接続され
る。感温素子19で検出された加熱された被測定
流体に対応したパルスが増幅整形され、フイルタ
ー9により直流分が阻止され、フイルター9の出
力信号は正帰還回路8を経て、シユミツト回路7
に与えられ、シユミツト回路7の出力端から作動
信号SDが得られる。
増幅整形回路21の出力段には図示していない
比較回路が接続され、この比較回路に与えられて
いる基準信号設定器からの基準信号と検出パルス
Sが比較され、これが基準値を越えると、シユ
ミツト回路7からは、作動信号SDが発せられ
る。この作動信号SDによつて時間設定回路16
が駆動され、所定時間後に時間設定回路16から
時間設定信号STが発せられる。
被測定流体は例えば呼気及び吸気に伴なうもの
などあり、いずれの場合の測定にも対応出来るよ
うに被測定流体に対しては発熱回路部14により
周期的に発熱体13から加熱パルスが与えられて
加熱が行なわれている。即ちパルス発生器5から
は例えば10Hzのパルス信号がスイツチ回路6を経
てパルス幅設定回路10に与えられていて、常時
は加熱回路18へ、このパルス発生器5のパルス
信号に対応した加熱パルスSHが発せられてい
る。パルス幅設定回路10の出力端にパルスカウ
ンタ演算回路3が接続され、パルスカウンタ演算
回路3の出力端に表示器2が接続されて、加熱パ
ルスSHによる加熱回路18の起動周期と対応し
て被測定流体の流量が演算表示されるような構成
となつている。
被測定流体の流量が測定レンジの最小流量を僅
か越えると、一致回路26からの時間設定信号S
Tによつて加熱パルス発生回路部17が駆動され
るように構成されている。即ち一致回路26の出
力端はパルス幅設定回路10に接続されると共
に、タイマー4に接続され、このタイマー4の出
力端はスイツチ回路6のゲート端子に接続され
る。タイマー4は時間設定信号STが要求される
最小流量に対応する周期より僅かに小さな値にな
ると、ゲート信号Sgを発してスイツチ回路6の
ゲートを閉じる。時間設定回路16には例えば、
加熱パルス発生回路部17のパルス幅設定回路1
0からの加熱パルスSHによつて計数が開始され
例えば発振周波数が20KHzの発振器25の発振
信号を計数するアツプダウンカウンタ24が設け
られている。このアツプダウンカウンタ24は、
被測定流体が発熱体13と検出体19間を流れる
時間の間計数を持続し、感温回路部15からの作
動信号SDによつてダウンカウントを行なう。こ
のダウンカウント数が加熱パルスSHで計数が開
始されてすでに完了している計数値に一致したこ
とが、カウンタ24の出力端に接続された一致回
路26で検出されると、時間設定回路16から時
間設定信号STが発せられる。
第2図の実施例に示すように、スイツチ回路6
の出力信号Snもしくは時間設定信号STがトラン
ジスタ30のベースTpに与えられ、トランジス
タ30から発せられる駆動信号Spによつてパル
ス幅設定回路10から所定パルス幅の加熱パルス
Hが発せられる。この加熱パルスSHがトランジ
スタ32のベースに与えられて、トランジスタ3
2のエミツタにそのベースが接続されているトラ
ンジスタ33が導通状態となり、そのエミツタと
アース間に接続されている発熱体13に瞬時的に
加熱電流が流れる。
前述のように常時はパルス発生器5からのパル
ス信号に対応したスイツチ回路6の出力信号Sn
によりパルス幅設定回路10が駆動され、時間設
定信号STが最小流量に対応する周期より僅かに
小さくなると、ゲート信号Sgによりスイツチ回
路6がゲートを閉じて、パルス幅設定回路10は
時間設定信号STによつて駆動される。
発熱体13が加熱されると、その加熱時に発熱
体13部分を流れる被測定流体が加熱される。こ
の加熱された被測定流体が感温素子19部分を通
過すると、感温素子19が加熱されて、その抵抗
値が上昇する。この感温素子19を一辺とするブ
リツジ34が構成され、そのブリツジ34の検出
端子間に増幅器35が接続される。被測定流体に
温度変化が生じてブリツジ34が不平衡状態にな
ると、増幅器35から検出信号SCが発せられ
る。
第1図の実施例では感温素子19は第1、第2
の感温素子19−1,19−2からなり、それぞ
れが互にその位置をずらして配設されている。例
えば呼気の測定を行なう場合に、第1の感温素子
19−1に対してずらして配設された第2の感温
素子19−2が呼気に対して人体から与えられる
熱量を分離検出するので、感温回路20で被測定
流体に対して人体から与えられる熱量の影響を除
去した測定を行なうことが出来る。又呼気及び吸
気を測定する場合には、第5図に示すように発熱
体13を狭んで両側に二組の感温素子19,1
9′を配設すればよい。この検出信号SCが抵抗3
7とコンデンサ38よりなる積分回路36に与え
られ、積分回路36の出力は、コンデンサ39に
与えられて、検出信号SC中の直流分が阻止され
る。直流分が阻止された検出信号SCが増幅器4
0,41により増幅整形されて、増幅器41の出
力端に整形された検出パルスSCが得られる。こ
の検出パルスSCが感温回路部15の比較増幅器
42の非反転入力端子に与えられる。
一方、増幅器41の出力端子は、比較増幅器4
3の非反転入力端子に接続され、比較増幅器43
の出力端子には、ダイオード44の陰極側が接続
される。ダイオード44の陽極側はコンデンサ4
5の一端に接続され、このコンデンサ45の他端
は接地される。ダイオード44の陽極側は、比較
増幅器46の非反転端子に接続され、比較増幅器
43と46との非反転端子が互に接続される。比
較増幅器46の出力端は抵抗47及び48を介し
て可変抵抗器49の可変端子に接続される。抵抗
47と48の接続点は比較増幅器42の反転入力
端に接続される。
ダイオード44の陽極側にはダイオード50の
陰極側が接続され、このダイオード50の陽極側
はマルチバイブレータ51の出力端に接続され
る。比較増幅器42の出力端には、反転回路52
が接続されている。
比較増幅器41の出力端に得られる検出パルス
Cが予め設定した所定値より小さな波高値であ
ると、比較増幅器43の出力信号は所定値より小
さく、ダイオード44は導通状態にある。ダイオ
ード44の導通状態では、コンデンサ45の電荷
が放電し、比較増幅器46の出力端には負電圧が
現われて、反転回路52の出力端には作動信号S
Dが発生しない。
しかし、検出パルスSCの波高値が所定の設定
値を越えると、ダイオード44が遮断状態とな
り、比較増幅器42の反転端子に所定の基準電圧
が設定され、反転回路52の出力端子に作動信号
Dが発生する。マルチバイブレータ51の励起
端子t1にリセツト信号を与えると、コンデンサ4
5に正パルスが印加されて、リセツト操作を行な
うことが出来る。
作動信号SDは、第3図に示すように、NOR回
路60の入力端子に与えられ、NOR回路60の
出力端子はNOR回路61の一つの入力端子に接
続される。NOR回路61の出力端子はNOR回路
60の他の入力端子に接続される。NOR回路6
1の出力端子はNOR回路62の一つの入力端子
に接続される。NOR回路62の出力端子はNOR
回路63の一つの入力端子に接続され、この
NOR回路63の出力端子はNOR回路62の他の
入力端子に接続されている。NOR回路63の他
の入力端子には、NAND回路64の出力端子が接
続され、このNAND回路64の一つの入力端子に
コンデンサ65の一端が接続され、コンデンサ6
5の他端は接地される。
NAND回路64のコンデンサ65が接続される
端子には、抵抗66を介して所定の電源が印加さ
れる。コンデンサ65の両極板間にはスタートス
イツチ67が接続されている。NOR回路62の
出力端には反転回路68の入力端子が接続されこ
の反転回路68の出力端子はNAND回路69の一
つの入力端子に接続される。NAND回路69の他
の入力端子には発振器25から20KHzの基準信
号が与えられている。反転回路68の出力端子が
他の反転回路70を介してNAND回路71の一つ
の入力端子に接続される。このNAND回路71の
入力端子には発振器25から20KHzの基準信号
が与えられる。
NAND回路69及び71のそれぞれの出力端子
は、NOR回路72のそれぞれの入力端子に接続
される。このNOR回路72の出力端子は、直列
に接続されたアツプダウンカウンタ73,74及
び75のクロツク端子にそれぞれ接続される。又
カウンタ73,74及75のそれぞれの制御端子
cには、反転回路68の出力端子が接続されて
いる。
カウンタ73,74及び75の各出力端子tp
,tp2,tp3及び各制御端子が一括された端子
が、NOR回路76の入力端子にそれぞれ接続さ
れる。このNOR回路76の出力端子はNOR回路
77を介してNAND回路64の入力端子の一つに
接続されている。
始動時においては、第3図のスイツチ67が投
入され、同時に第2図のトランジスタ30のベー
スTpに対してスイツチ回路6の出力信号Snが与
えられてパルス幅設定回路10から加熱パルスS
Hが発せられる。この加熱パルスSHがNOR回路
61の入力端子T1に与えられるので、NOR回路
62の出力端子の信号の論理値が“1”となる。
反転回路68を介して、各カウンタ73,74,
75の制御端子tcの信号の論理値は“0”に設
定され、各カウンタ73,74,75はクロツク
端子に与えられる発振器25の20KHzの信号を
計数して行く。
被測定流体に与えられた熱パルスが感温素子1
9で検出されて、反転回路52から作動信号SD
が発せられると、この作動信号SDは、NOR回路
60の入力端子T2に与えられる。然る時には、
NOR回路62の出力端子の信号の論理値は
“0”となり、反転回路68を介して、各カウン
タ73,74,75の制御端子tcの信号の論理
値が“1”となつて、各カウンタはダウンカウン
ト動作に制御されクロツク端子に与えられる信号
で、すでに計数されている計数値をダウンカウン
トして行く。
すでに計数されている計数値が計数され尽して
出力端子tp1,tp2,tp3の信号がすべて論理値
“0”となると、この時すでに制御端子tcの信号
の論理値は“0”となつているので、これが
NOR回路76で検知され、NOR回路76の出力
端に時間設定信号STが現われる。この時間設定
信号STはタイマー4に与えられ、時間設定信号
Tの周期が最小流量に対応する周期より僅かに
小さくなると、タイマー4はゲート信号Sgを発
する。このゲート信号Sgが発せられるとこれが
第3図には図示していない第1図のスイツチ回路
6に与えられてそのゲートを閉じパルス発生器5
からのパルス信号のパルス幅設定回路10への入
力を阻止し、時間設定信号STがトランジスタ3
0のベースに入力信号として与えられて、この時
間設定信号STによつて加熱パルス発生回路17
が駆動されて、加熱回路18からの加熱パルスに
より被測定流体が加熱される状態となる。
この実施例においては、加熱パルスが発せられ
て、感温回路部15でそれが検出される迄の時間
Tの2倍の間隔で時間設定信号STに基づく加熱
パルスが遂次発せられる。時間設定信号STの周
期が最小流量に対応する周期より僅かに増加する
と、タイマー4はゲート信号Sgによりスイツチ
回路6のゲートを開いて、加熱回路18はパルス
発生器5からのパルス信号に基いて加熱されるこ
とになる。
以上のようにこの発明によると、常時は被測定
流体はパルス発生器5のパルス信号により周期的
に加熱され、呼気吸気いずれの流量測定にも対応
可能な状態とされ、時間設定信号STの周期が所
定値以下になると被測定流体はこの周期で加熱さ
れて感温回路部15で検出される。時間設定信号
Tは発熱体13を加熱により感温回路部15で
加熱された流体を検出するまでの時間Tの2倍の
間隔に設定されることにより発熱体13及び感温
素子19に十分冷却する時間を与えることが可能
であり、被測定流体の温度検出には、前の加熱パ
ルスの加熱の温度の悪影響が生じ難いので、呼吸
流量計のように比較的流量が大きく、上記時間T
が短い場合にも常に高精度の流量測定が可能であ
り、高流量部のダイナミツクレンジを大幅に広げ
ることができる。第4図はこの発明の熱線パルス
流量計で得られた流量lと加熱時から検出時まで
の時間との関係を示すもので、広い流量について
直線性がきわめて良好であることが示されてい
る。
以上詳細に説明したように、この発明によると
被測定流体に対しての加熱パルスの印加間隔が被
測定流体の流速、流量に追従して自動的に変化さ
れるので、流量変動の激しい流体、例えば呼吸の
流量の測定に対しても効率のよい測定が可能であ
る。
従つて、消費電力も少なく感温回路部での検出
が前回の加熱パルスによる悪影響を受けず、流体
の種類、温度及び周囲温度の影響を受けず、誤差
の少ない正確な被測定流体の流量の測定が可能と
なる。被測定流体の流量が所定値(例えば測定レ
ンジの最小値)以下でも固定周期で加熱手段が駆
動されているので、流量が所定値以上に急変した
場合にも即応してその変化した流量が測定でき
る。従つて流れが一時止まり急に再開される呼
気、吸気の測定にも適用することが可能となる。
また定量的検出時における校正も検出系の幾何学
的寸法のみに依存して簡単である。測定流量は低
流量から高流量まで広範囲に及び、例えば人間の
呼吸気量の測定も充分に可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の熱線パルス流量計の実施例
の全体の構成を示すブロツク図、第2図、第3図
はそれぞれこの発明の熱線パルス流量計の実施例
の主要部の回路図、第4図はこの発明の熱線パル
ス流量計で得られる被測定流体の流量と検出時間
との関係を示す図、第5図はこの発明の熱線パル
ス流量計の実施例における発熱体と検出体の配設
状態を示す図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被測定流路内の被測定流体に対して所定の位
    置において、瞬時的に前記被測定流体を加熱する
    加熱手段と、 この加熱手段により加熱された前記被測定流体
    の通過位置に設けられる感温素子と、 前記感温素子に接続され、加熱された被測定流
    体が通過するのを検出する感温回路部と、 前記加熱手段による加熱から前記感温回路部の
    検出までの時間を計測し、前記感温回路部の検出
    から前記計測時間と等しい時間だけ更に経過後に
    前記加熱手段を駆動する時間設定回路と、 この時間設定回路による加熱手段の駆動周期に
    対応して前記被測定流体の流量を測定する手段
    と、 前記被測定流体の流量が所定値以下になつたこ
    とを検出するタイマー手段と、 そのタイマー手段の検出中、前記加熱手段を一
    定周期で駆動するパルス発生器と、 を具備する熱線パルス流量計。
JP56006836A 1981-01-19 1981-01-19 Heat ray pulse flowmeter Granted JPS57120816A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002088640A1 (fr) * 2001-04-26 2002-11-07 Hiroyoshi Koizumi Procede et materiel de mesure d'un debit

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4542650A (en) * 1983-08-26 1985-09-24 Innovus Thermal mass flow meter
GB9607257D0 (en) * 1996-04-04 1996-06-12 British Gas Plc Liquid metering

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2527378B2 (de) * 1975-06-19 1977-07-14 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Verfahren und vorrichtung zur dosierung von mehrkomponenten-fluessigsystemen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2002088640A1 (fr) * 2001-04-26 2002-11-07 Hiroyoshi Koizumi Procede et materiel de mesure d'un debit

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