JPS6238402A - 光学フイルタ− - Google Patents
光学フイルタ−Info
- Publication number
- JPS6238402A JPS6238402A JP17689185A JP17689185A JPS6238402A JP S6238402 A JPS6238402 A JP S6238402A JP 17689185 A JP17689185 A JP 17689185A JP 17689185 A JP17689185 A JP 17689185A JP S6238402 A JPS6238402 A JP S6238402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- optical filter
- near infra
- incident light
- transparent body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業の利用分野］
本発明は光学フィルターに係り、特にビデオカメラ等の
撮像素子の感度補正に用いるのに適した光学フィルター
に関する。
撮像素子の感度補正に用いるのに適した光学フィルター
に関する。
［従来の技術］
撮像管やＣＯＤ”’９の固体撮像素子等の撮像、（５子
は一般に、第２図に示す様な感度特性を有している。即
ち、これらの撮像素子は、７５０ｎｍ以上の近赤外光領
域にも比較的高い感度を有しており、ビデオカメラ等に
用いた場合に画像特性を劣化させる原因となっていた。
は一般に、第２図に示す様な感度特性を有している。即
ち、これらの撮像素子は、７５０ｎｍ以上の近赤外光領
域にも比較的高い感度を有しており、ビデオカメラ等に
用いた場合に画像特性を劣化させる原因となっていた。
そのため、該撮像素子の前面に近赤外光に対して高い吸
収率を示すシアン系色フイルタ−ガラスを設けて感度補
正を行、う方法や、白色光を透過する透明光学ガラスの
表面に近赤外光を反射する近赤外光反射膜を蒸着した光
学フィルターを撮像素子の前面に設けて感度補正を行う
方法などにより、画像特性の改善が計られていた。
収率を示すシアン系色フイルタ−ガラスを設けて感度補
正を行、う方法や、白色光を透過する透明光学ガラスの
表面に近赤外光を反射する近赤外光反射膜を蒸着した光
学フィルターを撮像素子の前面に設けて感度補正を行う
方法などにより、画像特性の改善が計られていた。
［発明の解決しようとする問題点］
しかるに、第３図の破ｊｉ８で示す様に、シアン系フィ
ルターガラスの分光透過率は、可視光領域で８０％程度
しかなく、また６００ｎ層ないし７００ｎｍ程度の波長
での分光透過率曲線の透過率減少の傾きも小さくダラダ
ラと減衰する特性を有している。
ルターガラスの分光透過率は、可視光領域で８０％程度
しかなく、また６００ｎ層ないし７００ｎｍ程度の波長
での分光透過率曲線の透過率減少の傾きも小さくダラダ
ラと減衰する特性を有している。
このためシアン系色フイルタ−ガラスを用いる従来の感
度補正方法では、十分な可視光感度が得られず、また色
再現性が悪いという欠点を有していた。
度補正方法では、十分な可視光感度が得られず、また色
再現性が悪いという欠点を有していた。
また、透明光学カラスに近赤外光反射膜を蒸着した光学
フィルターの分光透過率特性は、第３図の１点鎖線９で
示す様に、６６０ｎｍないし８５０ｎｍ程度の波長の入
射光に対し数％の透過率を有し、Ｇ（ｌｏａｌｌ以りの
入射光に対して高いｍ過率を有するものである。そのた
め該光学フィルターを用いる従来の感度補正では近赤外
光を十分に遮断できず、また色再現性が悪いという欠点
があった。
フィルターの分光透過率特性は、第３図の１点鎖線９で
示す様に、６６０ｎｍないし８５０ｎｍ程度の波長の入
射光に対し数％の透過率を有し、Ｇ（ｌｏａｌｌ以りの
入射光に対して高いｍ過率を有するものである。そのた
め該光学フィルターを用いる従来の感度補正では近赤外
光を十分に遮断できず、また色再現性が悪いという欠点
があった。
本発明は、この様な従来の光学フィルターの欠点を解消
するためになされたものであり、高い可視光透過率を有
し、近赤外光に対する１分な吸収及び反射率をする光学
フィルターを提供することを目的とする。
するためになされたものであり、高い可視光透過率を有
し、近赤外光に対する１分な吸収及び反射率をする光学
フィルターを提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明の光学フィルターは、可視領域の波長の入射光に
対しては高い透過率を有し、赤外側・域の波長の入射光
に対しては高い吸収率を有する透明体を用いる光学フィ
ルターにおいて、該透明体の少なくとも１表面に反射防
止膜及び近赤外領域の入射光に対して高い反射率をする
近赤外光反射膜を形成して成ることを特徴とするもので
ある。
対しては高い透過率を有し、赤外側・域の波長の入射光
に対しては高い吸収率を有する透明体を用いる光学フィ
ルターにおいて、該透明体の少なくとも１表面に反射防
止膜及び近赤外領域の入射光に対して高い反射率をする
近赤外光反射膜を形成して成ることを特徴とするもので
ある。
即ち、第１図に本発明の光学フィルターの代表的１例の
側面図を示すように、可視領域の波長の入射光に対して
は高い透過率を有し、赤外領域の波長の入射光に対して
は高い吸収率を有する透明体であるシアン系色フイルタ
−ガラスｌの１表面に反射防止膜２が形成され、他の表
面に近赤外領域の入射光に高い反射率を有する近赤外光
反射膜３が形成されている。
側面図を示すように、可視領域の波長の入射光に対して
は高い透過率を有し、赤外領域の波長の入射光に対して
は高い吸収率を有する透明体であるシアン系色フイルタ
−ガラスｌの１表面に反射防止膜２が形成され、他の表
面に近赤外領域の入射光に高い反射率を有する近赤外光
反射膜３が形成されている。
この様に構成された光学フィルターを撮像素子４の前面
に設定する。入射光線は該光学フィルターを介して撮像
素子４に入射することとなる０反射防止膜２は、フッ化
マグネシウムや酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等
の物質層を蒸着法や塗布法等により膜状にしてシアン系
フィルターガラス１の１表面上に形成される。
に設定する。入射光線は該光学フィルターを介して撮像
素子４に入射することとなる０反射防止膜２は、フッ化
マグネシウムや酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等
の物質層を蒸着法や塗布法等により膜状にしてシアン系
フィルターガラス１の１表面上に形成される。
反射防Ｌｌ＝膜２は・反射防止効果を高″″６１“＜
ｉは多層膜構造とするのが望ましい’
１近赤外光反射膜３は、例えば二酸
化ケイ素及び二酸化チタンを交互に蒸着し多層構造とし
たものや、該交互多層膜間に酸化アルミニュウムの調整
膜層を介在させ透過率特性のリップルを軽減したものな
どが用いられる。
ｉは多層膜構造とするのが望ましい’
１近赤外光反射膜３は、例えば二酸
化ケイ素及び二酸化チタンを交互に蒸着し多層構造とし
たものや、該交互多層膜間に酸化アルミニュウムの調整
膜層を介在させ透過率特性のリップルを軽減したものな
どが用いられる。
近赤外光反射膜３は、透過率特性面でｆｌＯＯｎ＋ｍな
いし７００ｎ■の波長帯域での減衰量を急峻にするため
に、１０層以上の交互多層膜とすることが望ましい。
いし７００ｎ■の波長帯域での減衰量を急峻にするため
に、１０層以上の交互多層膜とすることが望ましい。
以上に説明した例においては、透明体としてシアン系色
フイルタ−ガラスを用いたが、該透明体はシアン系色フ
イルタ−ガラスに限定されるものではなく、プラスチッ
クや透明ガラスであっても、可視領域の波長の入射光に
対しては高い透過率を有し、近赤外領域の波長の入射光
に対しては高い吸収率を有するものであれば何であって
も良い。
フイルタ−ガラスを用いたが、該透明体はシアン系色フ
イルタ−ガラスに限定されるものではなく、プラスチッ
クや透明ガラスであっても、可視領域の波長の入射光に
対しては高い透過率を有し、近赤外領域の波長の入射光
に対しては高い吸収率を有するものであれば何であって
も良い。
［作用］
本発明の光学フィルターは、１：述のように、可視領域
の波長の入射光に対しては高い透過率を有し、近赤外領
域の波長の入射光に対しては高い吸収率を有する透明体
上に形成された反射防止膜により可視領域の光に対する
透過率が向上し、一方、近赤外光反射膜により、 １３
０Ｏｒ＋＋ａないし７００ｎｍの波長の入射光に対する
急峻な減衰を示す透過率曲線が得られる。
の波長の入射光に対しては高い透過率を有し、近赤外領
域の波長の入射光に対しては高い吸収率を有する透明体
上に形成された反射防止膜により可視領域の光に対する
透過率が向上し、一方、近赤外光反射膜により、 １３
０Ｏｒ＋＋ａないし７００ｎｍの波長の入射光に対する
急峻な減衰を示す透過率曲線が得られる。
［実施例］
第１図に示すように、１辺の長さ１０ｍｍ厚さ１．５ｍ
ｍのシアン系色フイルタ−ガラス１の片面に蒸着法によ
り酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、フッ化マグネ
シウムの３層反射防止膜２を形成し、他の表面に二醇化
ケイ素、二酸化チタンの合計１６層の交互多層膜からな
る近赤外光反射膜３を蒸着法により形成した。このよう
にして、構成した光学フィルターは、第３図の実線７で
示す様に反射膜＋ｈＭ２の効果により。
ｍのシアン系色フイルタ−ガラス１の片面に蒸着法によ
り酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、フッ化マグネ
シウムの３層反射防止膜２を形成し、他の表面に二醇化
ケイ素、二酸化チタンの合計１６層の交互多層膜からな
る近赤外光反射膜３を蒸着法により形成した。このよう
にして、構成した光学フィルターは、第３図の実線７で
示す様に反射膜＋ｈＭ２の効果により。
４００〜５５０ｎｍの可視領域の波長を有する入射光に
対して８０％以上の高透過率が得られ近赤外光反射＋１
７２３の効果により、６００〜？ＯＯｎｍの波長に対す
る反射特性での良好なシャープカット特性が１１Ｉられ
た。さらにシアン系色フイルタ−ガラスの近赤外光吸収
の特性により、７００ｎ鳳以上の波長の入射光に対する
良好な光遮断特性が得られた。
対して８０％以上の高透過率が得られ近赤外光反射＋１
７２３の効果により、６００〜？ＯＯｎｍの波長に対す
る反射特性での良好なシャープカット特性が１１Ｉられ
た。さらにシアン系色フイルタ−ガラスの近赤外光吸収
の特性により、７００ｎ鳳以上の波長の入射光に対する
良好な光遮断特性が得られた。
［発明の効果］
本発明の光学フィルターにおいては、可視領域の波長の
入射光に対しては高い透過・（〈を有し、近赤外領域の
入射光に対しては高い吸収率を有する透１ｙ］体に反射
防止膜及び近赤外光反射膜を形成したので、可視光領域
の入射光に対して極めて高い透過率を有し、６００ｎｍ
ないし７００ｎｍの波長の入射光に対する透過率は急峻
な減衰特性を示し、７００ｎｍ以上の波長の入射光に対
する大きな吸収及び反射率を有する光学フィルターが得
られ、撮像素子の感度補正等に用いて極めて良好な効果
の得られるものである。
入射光に対しては高い透過・（〈を有し、近赤外領域の
入射光に対しては高い吸収率を有する透１ｙ］体に反射
防止膜及び近赤外光反射膜を形成したので、可視光領域
の入射光に対して極めて高い透過率を有し、６００ｎｍ
ないし７００ｎｍの波長の入射光に対する透過率は急峻
な減衰特性を示し、７００ｎｍ以上の波長の入射光に対
する大きな吸収及び反射率を有する光学フィルターが得
られ、撮像素子の感度補正等に用いて極めて良好な効果
の得られるものである。
第１図は本発明の光学フィルターの代表的−例を示す側
視図、第２ＵＡは撮像素子の感度特性の一例を示すグラ
フ、第３図は従来のシアン系色フイルタ−ガラスの分光
透過率特性と透明ガラスに近赤外光反射膜を蒸着した光
学フィルターの分光透過率特性及び本発明の光学フィル
ターの分光透過率特性の比較を示した一例のグラフであ
る。 １、シアン系色フイルタ−ガラス ２、反射防止膜 ３、近赤外光反射膜 ４、撮像素子 ５、入射光線。 ］） 第Ｉ図 フ及 ＃（ｙｔ汎） 第２ 刀 染３ 図
視図、第２ＵＡは撮像素子の感度特性の一例を示すグラ
フ、第３図は従来のシアン系色フイルタ−ガラスの分光
透過率特性と透明ガラスに近赤外光反射膜を蒸着した光
学フィルターの分光透過率特性及び本発明の光学フィル
ターの分光透過率特性の比較を示した一例のグラフであ
る。 １、シアン系色フイルタ−ガラス ２、反射防止膜 ３、近赤外光反射膜 ４、撮像素子 ５、入射光線。 ］） 第Ｉ図 フ及 ＃（ｙｔ汎） 第２ 刀 染３ 図
Claims (7)
- （１）可視領域の波長の入射光に対しては高い透過率を
有し、近赤外領域の波長の入射光に対しては高い吸収率
を有する透明体を用いる光学フィルターにおいて、該透
明体の少なくとも１表面に反射防止膜及び近赤外領域の
入射光に対して高い反射率を有する近赤外光反射膜を形
成して成ることを特徴とする光学フィルター。 - （２）反射防止膜は透明体の１表面に、近赤外光反射膜
は該透明体の他の表面に形成されている特許請求の範囲
第１項記載の光学フィル ター。 - （３）透明体はガラスである特許請求の範囲第１項又は
第２項記載の光学フィルター。 - （４）透明体はプラスチックである特許請求の範囲第１
項又は第２項記載の光学フィルター。 - （５）反射防止膜はフッ化マグネシウムの単層蒸着膜で
ある特許請求の範囲第１項又は第２項記載の光学フィル
ター。 - （６）反射防止膜は、酸化アルミニウムの蒸着膜、酸化
ジルコニウムの蒸着膜、フッ化マグネシウムの蒸着膜が
積層された多層膜である特許請求の範囲第１項又は第２
項記載の光学フィルター。 - （７）近赤外光反射膜は二酸化ケイ素膜と二酸化チタン
膜が交互に積層された多層膜である特許請求の範囲第１
項又は第２項記載の光学 フィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17689185A JPS6238402A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 光学フイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17689185A JPS6238402A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 光学フイルタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6238402A true JPS6238402A (ja) | 1987-02-19 |
Family
ID=16021557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17689185A Pending JPS6238402A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 光学フイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6238402A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02213803A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-24 | Toshiba Glass Co Ltd | 近赤外線カットフィルタ |
| US5339197A (en) * | 1989-03-31 | 1994-08-16 | Yen Yung Tsai | Optical pellicle with controlled transmission peaking |
| JP2005338395A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Jsr Corp | 近赤外線カットフィルターおよびその製造方法 |
| JP2006030944A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-02-02 | Jsr Corp | 近赤外線カットフィルター |
| JP2006220906A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Toray Ind Inc | 光学フィルム |
| JP2006220873A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Olympus Corp | 光学フィルタおよび撮像装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5039314A (ja) * | 1973-07-05 | 1975-04-11 | ||
| JPS54137357A (en) * | 1978-04-17 | 1979-10-25 | Hoya Glass Works Ltd | Near infrared absorbing filter for color television camera |
| JPS5758109A (en) * | 1980-09-26 | 1982-04-07 | Toshiba Electric Equip Corp | Infrared-ray reflective filter |
| JPS6177018A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-19 | Canon Inc | フイルタ− |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP17689185A patent/JPS6238402A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5039314A (ja) * | 1973-07-05 | 1975-04-11 | ||
| JPS54137357A (en) * | 1978-04-17 | 1979-10-25 | Hoya Glass Works Ltd | Near infrared absorbing filter for color television camera |
| JPS5758109A (en) * | 1980-09-26 | 1982-04-07 | Toshiba Electric Equip Corp | Infrared-ray reflective filter |
| JPS6177018A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-19 | Canon Inc | フイルタ− |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02213803A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-24 | Toshiba Glass Co Ltd | 近赤外線カットフィルタ |
| US5339197A (en) * | 1989-03-31 | 1994-08-16 | Yen Yung Tsai | Optical pellicle with controlled transmission peaking |
| JP2005338395A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Jsr Corp | 近赤外線カットフィルターおよびその製造方法 |
| JP2006030944A (ja) * | 2004-06-18 | 2006-02-02 | Jsr Corp | 近赤外線カットフィルター |
| JP2006220873A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Olympus Corp | 光学フィルタおよび撮像装置 |
| JP2006220906A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-08-24 | Toray Ind Inc | 光学フィルム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5013022B2 (ja) | 赤外線カットフィルタ | |
| US4726654A (en) | Multi-layered anti-reflection coating | |
| JP3917261B2 (ja) | 光吸収体およびこれを用いた光学機器 | |
| JPH0685002B2 (ja) | プラスチツク光学部品の反射防止膜 | |
| CN108008479A (zh) | 大角度入射无半波孔的红外截止滤光片及其膜系设计方法 | |
| JPS6238402A (ja) | 光学フイルタ− | |
| EP0024876B1 (en) | Semiconductor stripe filter | |
| JPH052101A (ja) | 光学部品 | |
| JP2000196051A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
| JP2566634B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
| JPH05241017A (ja) | 黄色フィルター機能を有する光干渉多層膜 | |
| JP2835535B2 (ja) | 光学部品の反射防止膜 | |
| JPS61124901A (ja) | 色分解フイルタ−の製造方法 | |
| JP3266335B2 (ja) | 裏面反射鏡 | |
| JPH0528361B2 (ja) | ||
| JP4478254B2 (ja) | 色分解光学系及びそれを用いた撮像装置 | |
| JPS6028603A (ja) | プリズム式ビ−ムスプリツタ | |
| JP3654388B2 (ja) | 光学的光減衰フィルタ | |
| JPH09160092A (ja) | カメラ用天然色高再現性フィルター | |
| JPS59107304A (ja) | 半透過鏡 | |
| JPS6057802A (ja) | 一眼レフレツクスカメラ用ハ−フミラ− | |
| JPH07270601A (ja) | 光学薄膜 | |
| JP2763071B2 (ja) | 眼鏡用レンズ | |
| JP2935765B2 (ja) | ダイクロイックミラーの製造方法 | |
| JP2725043B2 (ja) | 広帯域ハーフミラー |