JPS6239965U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6239965U JPS6239965U JP1985129522U JP12952285U JPS6239965U JP S6239965 U JPS6239965 U JP S6239965U JP 1985129522 U JP1985129522 U JP 1985129522U JP 12952285 U JP12952285 U JP 12952285U JP S6239965 U JPS6239965 U JP S6239965U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder chamber
- cylinder
- workpiece
- outer cylinder
- stepped portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 12
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の表面研磨用治具を組込んだ研
磨装置の部分縦断面図、第２図は先考案に係る表
面研磨用治具の部分縦断側面図、第３〜６図はこ
の治具を用いて被加工物を研磨する状態を工程順
に示すそれぞれ第２図のＡ部に相当する断面図、
第７図はこの治具を用いた場合に於ける被研磨面
の変形状態を誇張して示す断面図、第８〜１１図
は従来の研磨方法を示しており、第８図は接触型
の研磨方法を示す拡大断面図、第９図は第８図の
Ｂ部拡大断面図、第１０図は非接触型、第１１図
は準接触型の研磨方法をそれぞれ示す第８図同様
の図である。 １：被加工物、２：孔、３：ポリシヤ、４：研
磨剤、５：砥粒、６：環体、７：被加工物保持体
、８：ブロツク、９：短柱部、１０：外向フラン
ジ、１１：ねじ孔、１２：ねじ、１３：取付板、
１４：支持筒、１５：筒状回転軸、１６：ベアリ
ング、１７：取付フランジ、１８：突縁、１９：
保持筒、２０：表面研磨用治具、２１：クランプ
ピストン、２１ａ：小径部、２１ｂ：大径部、２
１ｃ：段部、２２：シリンダ室、２２ａ：小径部
、２２ｂ：大径部、２２ｃ：段部、２３：外筒、
２４：保持ブロツク、２４ａ：小径部、２４ｂ：
大径部、２５：貫通孔、２５ａ：小径部、２５ｂ
：大径部、２６：ねじ蓋、２７：圧縮ばね、２８
：空隙、２９：パイプ、３０：段部、３１：ピン
、３２：切欠き、３３：フランジ状部、３４：円
板、３５：貫通孔、３６：空間、３７：通孔、３
８：パイプ、３９：プーリ、４０：モータ、４１
：プーリ、４２：ベルト、４３：円輪板、４４：
切欠き、４５：ピン、４６：回転台、４７：竪軸
、４８ａ，４８ｂ：ブラケツト、４９：内管、５
０：外管、５１：接続口、５２：給気口、５３：
接続口。
磨装置の部分縦断面図、第２図は先考案に係る表
面研磨用治具の部分縦断側面図、第３〜６図はこ
の治具を用いて被加工物を研磨する状態を工程順
に示すそれぞれ第２図のＡ部に相当する断面図、
第７図はこの治具を用いた場合に於ける被研磨面
の変形状態を誇張して示す断面図、第８〜１１図
は従来の研磨方法を示しており、第８図は接触型
の研磨方法を示す拡大断面図、第９図は第８図の
Ｂ部拡大断面図、第１０図は非接触型、第１１図
は準接触型の研磨方法をそれぞれ示す第８図同様
の図である。 １：被加工物、２：孔、３：ポリシヤ、４：研
磨剤、５：砥粒、６：環体、７：被加工物保持体
、８：ブロツク、９：短柱部、１０：外向フラン
ジ、１１：ねじ孔、１２：ねじ、１３：取付板、
１４：支持筒、１５：筒状回転軸、１６：ベアリ
ング、１７：取付フランジ、１８：突縁、１９：
保持筒、２０：表面研磨用治具、２１：クランプ
ピストン、２１ａ：小径部、２１ｂ：大径部、２
１ｃ：段部、２２：シリンダ室、２２ａ：小径部
、２２ｂ：大径部、２２ｃ：段部、２３：外筒、
２４：保持ブロツク、２４ａ：小径部、２４ｂ：
大径部、２５：貫通孔、２５ａ：小径部、２５ｂ
：大径部、２６：ねじ蓋、２７：圧縮ばね、２８
：空隙、２９：パイプ、３０：段部、３１：ピン
、３２：切欠き、３３：フランジ状部、３４：円
板、３５：貫通孔、３６：空間、３７：通孔、３
８：パイプ、３９：プーリ、４０：モータ、４１
：プーリ、４２：ベルト、４３：円輪板、４４：
切欠き、４５：ピン、４６：回転台、４７：竪軸
、４８ａ，４８ｂ：ブラケツト、４９：内管、５
０：外管、５１：接続口、５２：給気口、５３：
接続口。
Claims (1)
- 研磨時に使用する研磨剤によりエツチングされ
ることがなく、研磨すべき被加工物よりも耐磨耗
性に勝れた材質製のブロツクを下面に固定した外
筒と、この外筒の内側に挿通自在な保持ブロツク
とから成り、この被加工物保持体の下面は被加工
物を装着自在な平垣面とした表面研磨用治具であ
つて、上記外筒には、小径部と大径部とを段部で
連続させ、内周寄りの小径部側端部をこの外筒の
内周面に開口させたシリンダ室を設け、このシリ
ンダ室内には内周寄りの小径部と外周寄りの大径
部とを段部で連続させて成るクランプピストンを
密に嵌装し、このクランプピストンの外周側端面
と上記シリンダ室の外周端に螺着したねじ蓋との
間には圧縮ばねを設け、クランプピストンの段部
とシリンダ室の段部との間に形成される空隙内に
は、圧力流体を給排自在としたことを特徴とする
表面研磨用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985129522U JPH0440851Y2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985129522U JPH0440851Y2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6239965U true JPS6239965U (ja) | 1987-03-10 |
| JPH0440851Y2 JPH0440851Y2 (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=31026163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985129522U Expired JPH0440851Y2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0440851Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-08-27 JP JP1985129522U patent/JPH0440851Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0440851Y2 (ja) | 1992-09-25 |
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