JPS6240699A - Semiconductor memory device - Google Patents

Semiconductor memory device

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JPS6240699A
JPS6240699A JP60180786A JP18078685A JPS6240699A JP S6240699 A JPS6240699 A JP S6240699A JP 60180786 A JP60180786 A JP 60180786A JP 18078685 A JP18078685 A JP 18078685A JP S6240699 A JPS6240699 A JP S6240699A
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memory
word line
gate
divided
train
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Nobuaki Ando
安藤 伸朗
Kenji Koda
香田 憲次
Takeshi Toyama
毅 外山
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PURPOSE:To reduce the number of times impressing a stress voltage to the gate of a memory FET and to make the extraction of the gate difficult by dividing a train of memory cells into plural groups and maintaing a split word line of a write unnecessary train at the same level of the word line of a nonselective train of memory cells. CONSTITUTION:Word lines 5-8 are selected by a decoder 2 in the writing operation. After receiving a signal from an address buffer 12, a predecoder 12 transmits the signals COR and its inverse COR, and COL and its inverse COL to the FETs 3 and 4 for row selection and selects one word line. If all types of write information D0-D3 are '1', the predecoder 12a does not select the word lines 5a-8a of the memory train 1a by a signal of an NAND (for reduction of stress) 11a and signals of address buffers 9 and 10. This means that the word line of the train 1a is set at the same level as the nonselective word line and that no high voltage is applied. If D4-D7 are all '1', the memory train 1b is also processed in the same way. The number of times impressing the stress voltage to the gate of the memory FET is reduced and the gate is impervious to extraction.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、電界効果型トランジスタ、特に情報に応じ
て闇値電圧を変化させ長時間情報を保持し得る、いわゆ
る不揮発性メモリトランジスタを使用した半導体記憶装
置に関するものであり、特に情報の書き込みを行う際に
ゲートにかかるストレスの低減を図ったものに関する。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] This invention uses field effect transistors, particularly so-called non-volatile memory transistors that can change dark value voltage according to information and retain information for a long time. The present invention relates to a semiconductor memory device, and particularly relates to a device designed to reduce stress applied to a gate when writing information.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、この種の半導体記憶装置の行(ワードライン)選
択の回路は第2図に示すような構成をとっている。図に
おいて、1はメモリセルアレイ、2はメモリセルアレイ
の全ての行の中から数本の行を選択するデコーダで、こ
の例では4本の行を選択するようになっている。3.4
は行選択用のトランジスタ、5〜8はメモリのワードラ
イン、CQ−C3,CQ−C3は行選択用のトランジス
タ3.4に印加される信号、9.10はアドレスバッフ
ァからの信号、12はアドレスバッファからの信号に応
じて信号CO〜c3.cm〜C3を出力するプリデコー
ダである。なおこのプリデコーダは2人力AND121
、一方の入力が負論理の2人力AND122,123.
2人力NAND124及びインバータ125〜132に
より構成されている。
Conventionally, a row (word line) selection circuit of this type of semiconductor memory device has a configuration as shown in FIG. In the figure, 1 is a memory cell array, and 2 is a decoder that selects several rows from among all the rows of the memory cell array. In this example, four rows are selected. 3.4
are row selection transistors, 5 to 8 are memory word lines, CQ-C3 and CQ-C3 are signals applied to the row selection transistors 3.4, 9.10 is a signal from the address buffer, and 12 is a signal applied to the row selection transistor 3.4. Signals CO to c3. in response to signals from the address buffer. This is a predecoder that outputs cm to C3. This pre-decoder is a two-person AND121
, two-man power AND122, 123 ., one input is negative logic.
It is composed of a two-manpower NAND 124 and inverters 125 to 132.

次にメモリアレイ内でのトランジスタの接続状態を第3
図に示す0図において、第2図と同一の部分には、同一
の記号を付している。TiT2は同一行のメモリトラン
ジスタ、13.14はそのコントロールゲート、15.
16はフローティングゲート、17.18はソース電極
、19.20はドレイン電極、21.22はドレインラ
インを示す。トランジスタT1のゲート13は共通のワ
ードライン5によりトランジスタT2のゲート14と電
気的に接続されており、同様に、同一行上にあるメモリ
トランジスタのゲートは、共通のワードラインによって
すべて電気的に接続されている。
Next, the connection state of the transistors in the memory array is
In Figure 0 shown in the figure, the same parts as in Figure 2 are given the same symbols. TiT2 is a memory transistor in the same row, 13.14 is its control gate, 15.
16 is a floating gate, 17.18 is a source electrode, 19.20 is a drain electrode, and 21.22 is a drain line. The gate 13 of transistor T1 is electrically connected to the gate 14 of transistor T2 by a common word line 5, and similarly the gates of memory transistors on the same row are all electrically connected by a common word line. has been done.

次に動作について説明する。メモリトランジスタT1に
書き込みを行う場合、まずデコーダ2によって全てのワ
ードラインの中からワードライン5〜8を選択する。一
方、プリデコーダ12がアドレスバッファからの信号9
.10を受け、C0〜C3,CQ〜C3の信号を行選択
のトランジスタ3,4へ送り、これによりトランジスタ
3がオンしかつトランジスタ4がオフするワードライン
のみが選ばれる。この場合、メモリトランジスタT1に
書き込みを行うため、ワードライン5が選択され、これ
に高電圧が印加される。また、ドレインライン21にも
高電圧が印加される。
Next, the operation will be explained. When writing to the memory transistor T1, the decoder 2 first selects word lines 5 to 8 from all word lines. On the other hand, the predecoder 12 receives the signal 9 from the address buffer.
.. 10, the signals C0 to C3 and CQ to C3 are sent to row selection transistors 3 and 4, thereby selecting only the word line where transistor 3 is on and transistor 4 is off. In this case, in order to write to the memory transistor T1, the word line 5 is selected and a high voltage is applied to it. Furthermore, a high voltage is applied to the drain line 21 as well.

このようにゲートとドレインの両方に高電圧が加わるこ
とにより、メモリトランジスタに書き込みが行われる。
Writing to the memory transistor is performed by applying a high voltage to both the gate and drain in this manner.

このとき、メモリトランジスタT1とゲートがワードラ
イン5により共通になっているメモリトランジスタT2
のゲート14には高電圧が加わるが、ドレインライン2
2には高電圧が加わらないので、書き込みは行われない
。ワードライン5上の他のメモリトランジスタについて
も同様である。従って、メモリトランジスタT1と同一
行上にあるメモリトランジスタのゲートには、いわゆる
ストレス電圧が加わることになり、そのメモリトランジ
スタが既に書き込んである場合、ゲート引き抜きが起こ
る可能性がある。
At this time, a memory transistor T2 whose gate is shared by the word line 5 with the memory transistor T1
A high voltage is applied to the gate 14 of the gate 14, but the drain line 2
Since no high voltage is applied to 2, writing is not performed. The same applies to other memory transistors on word line 5. Therefore, a so-called stress voltage is applied to the gate of the memory transistor on the same row as the memory transistor T1, and if the memory transistor has already been written to, there is a possibility that the gate will be pulled out.

ここで、ゲート引き抜きについて説明する。第3図にお
いてメモリトランジスタT1に書き込みを行う場合、メ
モリトランジスタT2が既に書き込んであったとする。
Here, gate extraction will be explained. In FIG. 3, when writing to the memory transistor T1, it is assumed that the memory transistor T2 has already been written.

このメモリトランジスタTIに書き込みを行うためにワ
ードライン5には高電圧が加えられるので、メモリトラ
ンジスタT2のゲート14にはストレス電圧が加わる。
Since a high voltage is applied to the word line 5 in order to write to this memory transistor TI, a stress voltage is applied to the gate 14 of the memory transistor T2.

即ち、メモリトランジスタT2は既に書き込んであるの
で、そのフローティングゲート16には電子が注入され
ているが、その電子はゲート14に加えられた高電圧に
よる強力な電界によってゲート14の方へ引かれて失な
われる可能性がある。これをゲート引き抜きと呼ぶ。
That is, since the memory transistor T2 has already been programmed, electrons have been injected into its floating gate 16, but the electrons are drawn toward the gate 14 by the strong electric field caused by the high voltage applied to the gate 14. There is a possibility that it will be lost. This is called gate pulling.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

従来の半導体記憶装置は以上のように構成されており、
書き込みを行う際、目標とするメモリトランジスタと同
一行上にある他のメモリトランジスタ全てのゲートにス
トレス電圧が印加される。
A conventional semiconductor memory device is configured as described above.
When writing, a stress voltage is applied to the gates of all other memory transistors on the same row as the target memory transistor.

従って1つの行に例えば32個のメモリトランジスタが
並んでいる場合、最大(32−1)−31回ものストレ
ス電圧が加わることになり、それだけゲート引き抜きを
起こす可能性も高いという欠点があった。
Therefore, if for example 32 memory transistors are lined up in one row, the stress voltage will be applied as many as (32-1)-31 times at maximum, and there is a drawback that the possibility of gate pull-out is correspondingly high.

この発明は、上記のような問題点を軽減するためになさ
れたもので、ゲート引き抜きを起こしにくい半導体記憶
装置を提供することを目的としている。
The present invention has been made to alleviate the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device that is less prone to gate pull-out.

〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係る半導体記憶装置は、メモリアレイを複数
のブロックに分割し、メモリトランジスタに書き込みを
行う場合、同一行上にあっても書き込むメモリトランジ
スタがないブロックのワードラインは非選択のワードラ
インと同じレベルにするようにしたものである。
[Means for Solving the Problems] In the semiconductor storage device according to the present invention, when a memory array is divided into a plurality of blocks and writing is performed to memory transistors, blocks having no memory transistor to be written even if they are on the same row The word line is set to the same level as the non-selected word line.

〔作用〕[Effect]

この発明においては、メモリアレイが複数のプロ・ツク
に分割されており、同一行のワードラインのうち書込み
を行うブロックのワードラインのみに通常の選択された
ワードラインレベルと同じレベルが加わるから、メモリ
トランジスタのゲートにストレス電位が加わる回数が軽
減される。
In this invention, the memory array is divided into a plurality of blocks, and the same level as the normal selected word line level is applied only to the word line of the block to be written among the word lines of the same row. The number of times stress potential is applied to the gate of the memory transistor is reduced.

〔実施例〕〔Example〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図は本発明の一実施例による半導体記憶装置を示し、図
において、la、lbはそれぞれ分割されたメモリセル
アレイ、2はメモリアレイの全てのワードラインの中か
ら4本を選び出すデコーダ、3.4は選んだワードライ
ンの中からさらに特定の1本のワードラインのみを選択
する行選択用のトランジスタ、5a〜13a、5b〜8
bはそれぞれ分割されたワードライン、9.10はアド
レスバッファからの信号、DO〜D7は書込みデータ、
11は書込みデータDO〜D3.D4〜D7の信号のN
ANDをとることにより、メモリトランジスタが書込み
を必要とする分割メモリセルアレイの分割ワードライン
には通常の選択ワードラインと同じレベルを加えて書込
み、メモリトランジスタが書込みを必要としない分割メ
モリセルアレイの分割ワードラインには非選択のワード
ラインと同じレベルにするようプリデコーダを制御しメ
モリトランジスタにかかる電圧を軽減する4人力NAN
D (ストレス軽減回路)、12a。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1st
The figure shows a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention. In the figure, la and lb are divided memory cell arrays, 2 is a decoder that selects four word lines from all the word lines of the memory array, and 3.4 are row selection transistors 5a to 13a, 5b to 8 that further select only one specific word line from among the selected word lines;
b is the divided word line, 9.10 is the signal from the address buffer, DO~D7 is the write data,
11 is write data DO to D3. N of signals D4 to D7
By performing an AND operation, the divided word line of the divided memory cell array that the memory transistor needs to write is written with the same level as the normal selected word line, and the divided word line of the divided memory cell array that the memory transistor does not need to write is written. The line has a 4-person NAN that controls the predecoder to the same level as the unselected word line and reduces the voltage applied to the memory transistor.
D (stress reduction circuit), 12a.

12bはアドレスバッファからの信号9.10及び回路
11の信号を受けて行選択のトランジスタ3.4へ送る
信号C0L−C3L、  COL〜C3L、  COR
−C3R,C0R−C3Rを発生させるプリデコーダで
ある。なお該プリデコーダにおいて、133は3人力A
ND、134,135は1人力が負論理の3人力NAN
D、136は2人力が負論理の3人力ANDである。
12b is a signal C0L-C3L, COL~C3L, COR which receives the signal 9.10 from the address buffer and the signal of the circuit 11 and sends it to the row selection transistor 3.4.
-C3R, C0R - This is a predecoder that generates C3R. In addition, in this predecoder, 133 is a three-man power A.
ND, 134, 135 are 3-man powered NAN with negative logic for 1-man power
D, 136 is a 3-person AND operation in which the 2-person operation is negative logic.

また第4図に上記実施例回路を組み込んだEPROMの
回路構成を示す。図において、22は行デコーダ、23
は列デコーダ、24は行アドレス人カバソファ、25は
列アドレス人力バッファ、26はセンスアンプ、27は
入カバソファ、28は出カバソファである。この第4図
の行デコーダ22は第1図のデコーダ2及びトランジス
タ3゜4を含んでいる。また第4図のプリデコーダ32
は第1図の回路12a、12bに相当する。
Further, FIG. 4 shows a circuit configuration of an EPROM incorporating the circuit of the above embodiment. In the figure, 22 is a row decoder, 23
24 is a column decoder, 24 is a row address buffer, 25 is a column address buffer, 26 is a sense amplifier, 27 is an input buffer, and 28 is an output buffer. Row decoder 22 of FIG. 4 includes decoder 2 of FIG. 1 and transistors 3.4. Also, the predecoder 32 in FIG.
correspond to the circuits 12a and 12b in FIG.

ここでEPROMが例えば128にのものの場合は、縦
方向512本のワードラインの中から1本を選択するの
であるが、その方法は、まずデコーダ2によって512
本の中から4本のワードラインを選択し、そして回路1
2の信号から4本の中の1本を選択するようになってい
る。即ち、回路12だけで512本のワードラインから
1本を直接選択することはできないものである。
For example, if the EPROM has 128 word lines, one word line is selected from among 512 word lines in the vertical direction.
Select 4 word lines from the book and circuit 1
One of the four signals is selected from the two signals. That is, the circuit 12 alone cannot directly select one of the 512 word lines.

またEPROMのメモリセルアレイは第1図。The memory cell array of EPROM is shown in FIG.

第2図に示すようにDo〜D7の8つのブロックに分か
れているが、書き込みをする際は各ブロックについて1
つ、合計8つのメモリトランジスタについて同時に書き
込みが行なわれるものである。
As shown in Figure 2, it is divided into eight blocks Do to D7, but when writing, one
Writing is performed simultaneously on a total of eight memory transistors.

なお、DQ−D7は、書き込みを行う際に第4図のデー
タ入出力端子から入力される“O” (ロウ)又は“1
” (ハイ)の8つのデータ信号のことであり、第4図
に示したストレス軽減回路とは、第1図に示す、D□ 
−D3 、  D4〜D7 ノ信号のNANDをとる回
路11a、llbのことである。
Note that DQ-D7 is set to "O" (low) or "1" input from the data input/output terminal in FIG. 4 when writing.
” (high), and the stress reduction circuit shown in FIG.
-D3 and the circuits 11a and 11b which perform NAND of the signals D4 to D7.

次に第1図を用いて動作について説明する。書き込みを
行う場合、まずデコーダ2によって全てのワードライン
の中からワードライン5〜8を選択する。一方、プリデ
コーダ12がアドレスバッファからの信号を受け、C0
L−C3L、  C0L−C3L。
Next, the operation will be explained using FIG. When writing, first, the decoder 2 selects word lines 5 to 8 from all word lines. On the other hand, the predecoder 12 receives the signal from the address buffer and C0
L-C3L, C0L-C3L.

C0R−C3R,C0R−C31?の信号を行選択のト
ランジスタ3,4へ送り、ワードライン5〜8のうちの
1本を選択するのであのが、ここでもし書込みデータD
o−03がすべて“1′なら、プリデコーダ12aはN
AND回路(ストレス軽減回路)11aの信号とアドレ
スバッファ9.10の信号から、メモリアレイ1aのワ
ードライン5a〜8aのいずれも選択しないようになっ
ている。即ち、メモリアレイ1aに書込みを行うべきメ
モリトランジスタがない場合、メモリアレイ1aのワー
ドラインは非選択のワードラインと同じレベルになり、
高電圧がかからないようになっている。一方メモリアレ
イ1bも書込みデータD4〜D7が全て“1”のとき、
同様の処理をとるようになっている。
C0R-C3R, C0R-C31? The signal is sent to the row selection transistors 3 and 4 to select one of the word lines 5 to 8, so if the write data D
If o-03 are all “1”, the predecoder 12a is N
From the signal of AND circuit (stress reduction circuit) 11a and the signal of address buffer 9.10, none of the word lines 5a to 8a of memory array 1a is selected. That is, if there is no memory transistor to be written to in the memory array 1a, the word line of the memory array 1a will be at the same level as the unselected word line,
High voltage is not applied. On the other hand, when the write data D4 to D7 of the memory array 1b are all “1”,
The same process is used.

このように、本実施例では従来書込みにあたって目標と
するメモリトランジスタと同一行の全てのメモリトラン
ジスタのゲートに高電圧がかかっていたものが、目標ト
ランジスタの属する分割メモリセルアレイのメモリトラ
ンジスタのみに高電圧がかかるようにしたので、ストレ
ス電圧の加わる回数が大幅に減少し、デーl−引き抜き
が起こりにくくなるという効果がある。
In this way, in this embodiment, a high voltage was applied to the gates of all memory transistors in the same row as the target memory transistor during writing, but a high voltage is applied only to the memory transistors of the divided memory cell array to which the target transistor belongs. Since the stress voltage is applied, the number of times the stress voltage is applied is greatly reduced, which has the effect of making data extraction less likely to occur.

なお、上記実施例では、メモリアレイを2分割した場合
について説明したが、メモリアレイをあまり細分化しな
ければ、このような機能を持たせたことによる回路の複
雑化、チップ面積の増大に及ぼす影響は全くないといえ
る。
In addition, in the above embodiment, the case where the memory array is divided into two has been explained, but if the memory array is not subdivided too much, the effect of adding such functions on the complexity of the circuit and the increase in the chip area will be reduced. It can be said that there is no such thing at all.

またメモリセルアレイをさらに細分化することも可能で
あり、原理的には細分化ずればするほど、メモリトラン
ジスタのゲートにかかるストレスの回数は減少する。即
ち、2分割の場合は、1語8ビツト構成の時、データの
可能性は256iffiり存在し、そのうちの31通り
のデータについてストレスが軽減される効果があるが、
さらに、今後の高速化の為にメモリセルアレイを4分割
した場合は256通りの内の175通りに効果があり、
実用上絶大なる効果を期待できる。
It is also possible to further subdivide the memory cell array; in principle, the more subdivided the memory cell array is, the fewer times stress is applied to the gates of the memory transistors. That is, in the case of 2-part division, when each word has an 8-bit configuration, there are 256 possible data possibilities, and 31 of them have the effect of reducing stress.
Furthermore, if the memory cell array is divided into four to increase speed in the future, it will be effective in 175 out of 256 ways.
Great practical effects can be expected.

また分割したメモリアレイの容量比が1対3などとなる
ように、非対称に分割することももちろん可能である。
Of course, it is also possible to divide the memory arrays asymmetrically so that the capacity ratio of the divided memory arrays is 1:3.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、この発明に係る半導体記憶装置によれば
、メモリセルアレイを複数に分割し、書込みの必要がな
い分割メモリセルアレイの分割ワードラインを非選択メ
モリセルアレイのワードラインと同じレベルにできるよ
うにしたので、メモリトランジスタのゲートにストレス
電圧の加わる回数を大幅に軽減でき、ゲート引抜きの可
能性を大幅に低下できるという効果がある。
As described above, according to the semiconductor memory device of the present invention, a memory cell array can be divided into a plurality of parts, and the divided word lines of the divided memory cell arrays that do not require writing can be made to the same level as the word lines of unselected memory cell arrays. This has the effect of significantly reducing the number of times stress voltage is applied to the gate of the memory transistor, and greatly reducing the possibility of gate pull-out.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例による半導体記憶装置の回
路図、第2図は従来の行選択回路の回路図、第3図はメ
モリセルアレイの行方向の構成を示す図、第4図は第1
図の回路が組み込まれたEPROMのブロック構成図で
ある。 図において、la、lbは分割メモリセルアレイ、2は
デコーダ、5a〜8aは分割ワードライン、12a、1
2bはプリデコーダ(ワードライン選択デコーダ)、I
la、Ilbは4人力NAND(ストレス軽減回路)で
ある。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
FIG. 1 is a circuit diagram of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram of a conventional row selection circuit, FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a memory cell array in the row direction, and FIG. 1st
FIG. 2 is a block diagram of an EPROM incorporating the circuit shown in the figure. In the figure, la and lb are divided memory cell arrays, 2 is a decoder, 5a to 8a are divided word lines, 12a and 1
2b is a predecoder (word line selection decoder), I
la and Ilb are four-person NAND (stress reduction circuit). Note that the same reference numerals in the figures indicate the same or equivalent parts.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)絶縁膜で覆われた浮遊ゲートを有する不揮発性メ
モリトランジスタをマトリクス状に配列して、同時に2
つ以上のメモリトランジスタに書込みあるいは読出しを
行う半導体記憶装置において、メモリセルアレイを2つ
以上に分割するとともにメモリセルトランジスタのゲー
トであるワードラインとそのワードラインを駆動するワ
ードライン選択デコーダを上記メモリセルアレイと同数
に分割し、 該デコーダにより選択されたワードラインの複数のメモ
リトランジスタに書き込みを行う際、該選択ワードライ
ンのうち、メモリトランジスタが書き込みを必要とする
分割メモリセルアレイの分割ワードラインには通常の選
択ワードラインレベルと同レベルを加えて書き込み、メ
モリトランジスタが書き込みを必要としない分割メモリ
セルアレイの分割ワードラインには非選択のワードライ
ンと同じレベルにするよう上記ワードライン選択デコー
ダを制御しメモリトランジスタにかかるストレスを軽減
するストレス軽減回路を設けたことを特徴とする半導体
記憶装置。
(1) Nonvolatile memory transistors with floating gates covered with an insulating film are arranged in a matrix, and two
In a semiconductor memory device that writes to or reads from two or more memory transistors, the memory cell array is divided into two or more, and a word line that is the gate of the memory cell transistor and a word line selection decoder that drives the word line are connected to the memory cell array. When writing to a plurality of memory transistors in a word line selected by the decoder, the divided word line of the divided memory cell array to which the memory transistor requires writing among the selected word lines is usually divided into the same number of memory transistors. The word line selection decoder is controlled so that the divided word line of the divided memory cell array where the memory transistor does not require writing is set to the same level as the unselected word line. A semiconductor memory device characterized by being provided with a stress reduction circuit that reduces stress applied to transistors.
JP18078685A 1985-08-16 1985-08-16 Semiconductor memory device Expired - Lifetime JPH0743948B2 (en)

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JPS6240699A true JPS6240699A (en) 1987-02-21
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6545913B2 (en) 1987-06-29 2003-04-08 Kabushiki Kaisha Toshiba Memory cell of nonvolatile semiconductor memory device
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