JPS6241661U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6241661U JPS6241661U JP13305585U JP13305585U JPS6241661U JP S6241661 U JPS6241661 U JP S6241661U JP 13305585 U JP13305585 U JP 13305585U JP 13305585 U JP13305585 U JP 13305585U JP S6241661 U JPS6241661 U JP S6241661U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron
- pair
- detectors
- disposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009125 cardiac resynchronization therapy Methods 0.000 claims 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係る走査電子顕微鏡を示す縦
断面図、第２図は従来の走査電子顕微鏡を示す縦
断面図である。 １……電子銃、２……真空室、１０……エネル
ギー分析器、１１……試料室、１２……試料、２
１，２２……電子検出器、２３，２４……ＣＲＴ
。
断面図、第２図は従来の走査電子顕微鏡を示す縦
断面図である。 １……電子銃、２……真空室、１０……エネル
ギー分析器、１１……試料室、１２……試料、２
１，２２……電子検出器、２３，２４……ＣＲＴ
。
Claims (1)
- 真空室内に配設され試料室内の試料に電子ビー
ムを照射する電子銃と、この電子銃と前記試料と
の間に配設され各々が互いにエネルギー分析器を
介して対向する一対の電子検出器と、これら両検
出器に各々接続され互いに独立して画像を表示可
能な一対のＣＲＴとを備えたことを特徴とする走
査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13305585U JPS6241661U (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13305585U JPS6241661U (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6241661U true JPS6241661U (ja) | 1987-03-12 |
Family
ID=31033017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13305585U Pending JPS6241661U (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6241661U (ja) |
-
1985
- 1985-09-02 JP JP13305585U patent/JPS6241661U/ja active Pending