JPS624383A - レ−ザ発振装置用電源回路 - Google Patents
レ−ザ発振装置用電源回路Info
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- JPS624383A JPS624383A JP14265385A JP14265385A JPS624383A JP S624383 A JPS624383 A JP S624383A JP 14265385 A JP14265385 A JP 14265385A JP 14265385 A JP14265385 A JP 14265385A JP S624383 A JPS624383 A JP S624383A
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- laser oscillation
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- circuit
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- Pending
Links
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ発振装置用電源回路に関する。
レーザ光を集束レンズによって集束し、被加工体に上記
レーザ光を照射しつつ加工を行なうレーザ加工装置は公
知であり広く利用されている。
レーザ光を照射しつつ加工を行なうレーザ加工装置は公
知であり広く利用されている。
上記レーザ加工装置のレーザ発振装置には、気体レーザ
、固体レーザ又は半導体レーザ等が使用されるが、その
うち特に気体レーザは固体レーザよりはるかに高い平均
出力を取り出すことができ、また、予備電離又は高速電
子ビーム注入等によって大容量の高圧気体に一様な放電
励起を行なうことが可能と成るにおよんで極めて高いピ
ーク出力を得ることが可能となった。また最近開発され
たフッ化水素（肝、叶）化学レーザは、高出力気体レー
ザとして比較的小型のレーザから高い連続出力を得るこ
とができるので、レーザ加工の加工範囲がより拡大した
。
、固体レーザ又は半導体レーザ等が使用されるが、その
うち特に気体レーザは固体レーザよりはるかに高い平均
出力を取り出すことができ、また、予備電離又は高速電
子ビーム注入等によって大容量の高圧気体に一様な放電
励起を行なうことが可能と成るにおよんで極めて高いピ
ーク出力を得ることが可能となった。また最近開発され
たフッ化水素（肝、叶）化学レーザは、高出力気体レー
ザとして比較的小型のレーザから高い連続出力を得るこ
とができるので、レーザ加工の加工範囲がより拡大した
。
従来公知のレーザ発振装置用電源回路としては、コンデ
ンサ、トリガ電圧発生用電源、充電用電源が必要である
。
ンサ、トリガ電圧発生用電源、充電用電源が必要である
。
然しながら、この種のレーザ発振装置用電源回路では、
装置が複雑、大型で高価となると云う問題点があった。
装置が複雑、大型で高価となると云う問題点があった。
本発明は、叙上の観点に立ってなされたものであり、本
発明の目的とするところは、電源回路装置がコンパクト
で安価、且つ大量に提供し得る新規なレーザ発振装置用
電源回路を提供することにある。
発明の目的とするところは、電源回路装置がコンパクト
で安価、且つ大量に提供し得る新規なレーザ発振装置用
電源回路を提供することにある。
而して、本発明の目的は、
交流電源と、その交流を整流するコンバータと、上記コ
ンバータの出力する直流を高周波交流に変換するインバ
ータとにより構成することによって達成される。
ンバータの出力する直流を高周波交流に変換するインバ
ータとにより構成することによって達成される。
叙上の如く構成することにより、上述の従来公知のレー
ザ発振装置用電源回路と同様な高周波交流をレーザ管内
の両電極に供給してレーザ発振を行なわせることができ
、且つ電源回路をソリッドステート化できるのでコンパ
クトになる。
ザ発振装置用電源回路と同様な高周波交流をレーザ管内
の両電極に供給してレーザ発振を行なわせることができ
、且つ電源回路をソリッドステート化できるのでコンパ
クトになる。
以下、図面により５本発明の詳細を具体的に説明する。
第１図は、本発明に係るレーザ発振装置用電源回路を用
いたレーザ発振装置の一実施例を示す説明図である。
いたレーザ発振装置の一実施例を示す説明図である。
第１図中、１は直管１ａとウォータ・ジャケットｌｂと
から成るガラス製のレーザ管、２はガス導入口、３はガ
ス吸引口、４は冷却水の供給口、５は冷却水の排出口、
６及び７は陽極及び陰極のリング状の電極、８及び９は
反射鏡、９ａは上記反射鏡９の中央部に形成された出力
取出孔、１０及び１１は上記反射鏡８の固定板、１２及
び１３は反射鏡９の調整板、１４．１４は調整ねし、１
５は０リング、１６はＫｃｉ単結晶板の出力取出窓、１
７はＣＯ２−Ｎ２− Ｉｌｅの混合ガスが充填されたガ
スボンベ、１８は減圧バルブ、１９はニードル・バルブ
、２０は圧力計、２１ばガス・フローバルブ、２２は毛
細管、２３は荒引バルブ、２４はリーク・バルブ、５は
ロータリ・ポンプ、部は上記陽極６及び陰極７に電流を
供給させる本発明に係るレーザ発振装置用電源回路であ
り、ｎは５０又は６０１１ｚの商用電源である交流電源
、２８は上記交流電源釘の交流を整流するコン・バーク
、２９は上記コンバータ２８の出力する直流を高周波交
流に変換するインバータ、３０はインバータ２９の出力
を所定の高周波の周波数で所定の高電圧に変換するとか
、必要に応じて所定の電圧に変圧した後整流して直流に
変換するか、直流に整流すると共にコンデンサ充放電回
路等により所定周波数のパルスに変換する等の変換回路
である。
から成るガラス製のレーザ管、２はガス導入口、３はガ
ス吸引口、４は冷却水の供給口、５は冷却水の排出口、
６及び７は陽極及び陰極のリング状の電極、８及び９は
反射鏡、９ａは上記反射鏡９の中央部に形成された出力
取出孔、１０及び１１は上記反射鏡８の固定板、１２及
び１３は反射鏡９の調整板、１４．１４は調整ねし、１
５は０リング、１６はＫｃｉ単結晶板の出力取出窓、１
７はＣＯ２−Ｎ２− Ｉｌｅの混合ガスが充填されたガ
スボンベ、１８は減圧バルブ、１９はニードル・バルブ
、２０は圧力計、２１ばガス・フローバルブ、２２は毛
細管、２３は荒引バルブ、２４はリーク・バルブ、５は
ロータリ・ポンプ、部は上記陽極６及び陰極７に電流を
供給させる本発明に係るレーザ発振装置用電源回路であ
り、ｎは５０又は６０１１ｚの商用電源である交流電源
、２８は上記交流電源釘の交流を整流するコン・バーク
、２９は上記コンバータ２８の出力する直流を高周波交
流に変換するインバータ、３０はインバータ２９の出力
を所定の高周波の周波数で所定の高電圧に変換するとか
、必要に応じて所定の電圧に変圧した後整流して直流に
変換するか、直流に整流すると共にコンデンサ充放電回
路等により所定周波数のパルスに変換する等の変換回路
である。
而して、直管１ａのプラズマ部分は冷却するためのウォ
ータ・ジャケットｌｂで覆われており、上記ウォータ・
ジャケット１ｂには冷却水が供給口４から給水され、排
出口５から排水される。
ータ・ジャケットｌｂで覆われており、上記ウォータ・
ジャケット１ｂには冷却水が供給口４から給水され、排
出口５から排水される。
直管１ａの内部には有効なプラズマを発生させるに必要
な陽極６及び陰極７が配置されると共に、上記陽極６及
び陰極７に高周波交流の電圧、該交流を整流した直流電
圧、又は前記交流を整流した後パルス化した電圧パルス
を供給するために電源回路２６が接続されている。
な陽極６及び陰極７が配置されると共に、上記陽極６及
び陰極７に高周波交流の電圧、該交流を整流した直流電
圧、又は前記交流を整流した後パルス化した電圧パルス
を供給するために電源回路２６が接続されている。
即ち、電源回路敦は、交流電源ｎとコンバータ舘とイン
バータ２９、及び変換回路３０とから構成されており、
交流電源２７の交流がコンバータ２８の素子であるサイ
リスクのゲート制御により整流され、更にその出力する
直流がインバータ四で高周波交流に変換されて後、高周
波放電方式であれば、レーザ管１の放電方式によって、
例えばその高周波交流が所定の電圧値及び周波数を有し
ていれば、そのま＼供給出力されるが、必要ならば変換
回路３０で変圧、周波数変換されて上記陽極６及び陰極
７に供給され、父上記レーザ管１の放電方式が直流放電
方式であれば、インバータ２９の出力交流を変換回路頷
で必要に応じて変圧した後整流した直流電圧が抵抗やり
アクＩ・ルを介して上記陽極６及び陰・極７に供給され
、父上記レーザ管１の放電方式が間歇パルス放電方式で
あれば、上記インバータ２９の出力交流を必要に応じて
変圧した後整流し、該直流をコンデンサ充放電回路やス
イッチング回路等の変換回路３０によって所定のパルス
幅及び休止時間を有する電圧パルス列として上記陽極６
及び陰極７に供給される。
バータ２９、及び変換回路３０とから構成されており、
交流電源２７の交流がコンバータ２８の素子であるサイ
リスクのゲート制御により整流され、更にその出力する
直流がインバータ四で高周波交流に変換されて後、高周
波放電方式であれば、レーザ管１の放電方式によって、
例えばその高周波交流が所定の電圧値及び周波数を有し
ていれば、そのま＼供給出力されるが、必要ならば変換
回路３０で変圧、周波数変換されて上記陽極６及び陰極
７に供給され、父上記レーザ管１の放電方式が直流放電
方式であれば、インバータ２９の出力交流を変換回路頷
で必要に応じて変圧した後整流した直流電圧が抵抗やり
アクＩ・ルを介して上記陽極６及び陰・極７に供給され
、父上記レーザ管１の放電方式が間歇パルス放電方式で
あれば、上記インバータ２９の出力交流を必要に応じて
変圧した後整流し、該直流をコンデンサ充放電回路やス
イッチング回路等の変換回路３０によって所定のパルス
幅及び休止時間を有する電圧パルス列として上記陽極６
及び陰極７に供給される。
反射鏡８は固定板１０及び１１によって直管１ａに固定
され、他方の反射鏡９は内部ミラー形のものであり、調
整板１２及び１３を介して直管１ａに取り付けられ、調
整ねじ１４．１４を調整することによって動作状態に於
ても外部から調整が行なえるように構成されている。ま
た、レーザ光は、上記反射鏡９の中央部に形成された出
力取出孔９ａから出力取出窓１６を介して外部に取り出
される。
され、他方の反射鏡９は内部ミラー形のものであり、調
整板１２及び１３を介して直管１ａに取り付けられ、調
整ねじ１４．１４を調整することによって動作状態に於
ても外部から調整が行なえるように構成されている。ま
た、レーザ光は、上記反射鏡９の中央部に形成された出
力取出孔９ａから出力取出窓１６を介して外部に取り出
される。
而して、予め最適な条件、例えばＣＯ２：Ｎ２：ｔｉｅ
の混合ガスであれば、２：１：１の割合に混合されたガ
スを圧入したガスボンベ１７から、減圧バルブ１８を通
してニードル・バルブ１９に導き、ここでガスの量を調
節しながら少しづづガス導入口２から直管ｌａ内に供給
し、直管ｌａ内に供給されたガスは上記直管ｌａ内を陰
極７の方に向かって移動し、然る後、直管１ａのガス吸
引口３から荒引バルブ詔、ガス・フローバルブ２１及び
通切な排気抵抗を有する毛細管２２を通してロータリ・
ポンプ怒で吸引される。
の混合ガスであれば、２：１：１の割合に混合されたガ
スを圧入したガスボンベ１７から、減圧バルブ１８を通
してニードル・バルブ１９に導き、ここでガスの量を調
節しながら少しづづガス導入口２から直管ｌａ内に供給
し、直管ｌａ内に供給されたガスは上記直管ｌａ内を陰
極７の方に向かって移動し、然る後、直管１ａのガス吸
引口３から荒引バルブ詔、ガス・フローバルブ２１及び
通切な排気抵抗を有する毛細管２２を通してロータリ・
ポンプ怒で吸引される。
而して、本発明にがかるレーザ発振装置に於てレーザ発
振が行なわれる際には、直管ｌａ内にガスが導入され管
内の圧力が所定の圧力に保たれ、陽極６及び陰極７に電
源回路２６からの所定の値の、例えば高周波交流が供給
されてレーザ発振が行なわれる。
振が行なわれる際には、直管ｌａ内にガスが導入され管
内の圧力が所定の圧力に保たれ、陽極６及び陰極７に電
源回路２６からの所定の値の、例えば高周波交流が供給
されてレーザ発振が行なわれる。
本発明に係るレーザ発振装置用電揮回路２６によれば、
ＣＯ２： Ｎ２ ： Ｉｌｅの混合ガスレーザ、ｃｏ２
ガスレーザ及びその他ＹＡＧレーザ等のレーザ発振装置
をも極めて容易に制御することができるものであり、且
つソリッドステート化し得るので有効である。
ＣＯ２： Ｎ２ ： Ｉｌｅの混合ガスレーザ、ｃｏ２
ガスレーザ及びその他ＹＡＧレーザ等のレーザ発振装置
をも極めて容易に制御することができるものであり、且
つソリッドステート化し得るので有効である。
本発明は叙上の如く構成されるので、本発明によるとき
には、電源回路装置がコンパクトで安価、且つ大量に提
供し得る新規なレーザ発振装置用電源回路を提供するこ
とにある。
には、電源回路装置がコンパクトで安価、且つ大量に提
供し得る新規なレーザ発振装置用電源回路を提供するこ
とにある。
尚、本発明は叙上の実施例に限定されるものではない。
即ち、例えば、本実施例に於ては、Ｃ０２：Ｎ２ ：、
Ｈｅの混合ガスレーザとしたが、Ｃ０２レーザ又は他の
公知の気体レーザ発振装置にも利用できる。又、直流チ
ッッパを用いてコンバータのダイオードにより整流され
た直流を制御するよにうしてもよく、又、直管ｌａ内へ
のガスの供給の仕方及び直管１ａのプラズマ部分の冷却
方法等は本発明の目的の範囲内で自由に設計変更できる
ものであって、本発明はそれらの総てを包摂するもので
ある。
Ｈｅの混合ガスレーザとしたが、Ｃ０２レーザ又は他の
公知の気体レーザ発振装置にも利用できる。又、直流チ
ッッパを用いてコンバータのダイオードにより整流され
た直流を制御するよにうしてもよく、又、直管ｌａ内へ
のガスの供給の仕方及び直管１ａのプラズマ部分の冷却
方法等は本発明の目的の範囲内で自由に設計変更できる
ものであって、本発明はそれらの総てを包摂するもので
ある。
第１図は、本発明に係るレーザ発振装置用電源回路を用
いたレーザ発振装置の一実施例を示す説明図である。
いたレーザ発振装置の一実施例を示す説明図である。
Claims (1)
- 交流電源と、その交流を整流するコンバータと、上記コ
ンバータの出力する直流を高周波交流に変換するインバ
ータとから成るレーザ発振装置用電源回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14265385A JPS624383A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | レ−ザ発振装置用電源回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14265385A JPS624383A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | レ−ザ発振装置用電源回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624383A true JPS624383A (ja) | 1987-01-10 |
Family
ID=15320363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14265385A Pending JPS624383A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | レ−ザ発振装置用電源回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS624383A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5965492A (ja) * | 1982-10-05 | 1984-04-13 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ用電源装置 |
-
1985
- 1985-07-01 JP JP14265385A patent/JPS624383A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5965492A (ja) * | 1982-10-05 | 1984-04-13 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ用電源装置 |
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