JPS6246533U - - Google Patents
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- JPS6246533U JPS6246533U JP13736585U JP13736585U JPS6246533U JP S6246533 U JPS6246533 U JP S6246533U JP 13736585 U JP13736585 U JP 13736585U JP 13736585 U JP13736585 U JP 13736585U JP S6246533 U JPS6246533 U JP S6246533U
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- JP
- Japan
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- polished
- porous metal
- stainless steel
- porous
- top surface
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims 2
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Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
第１図イは本考案の一実施例の縦断面図、ロは
その上面の顕微鏡写真、第２図イはそのポーラス
メタルの電解研磨の説明図、ロはその上面の顕微
鏡写真、第３図イはポーラスメタルの平面研削の
説明図、ロはその上面の顕微鏡写真、第４図はそ
のポーラスメタルのサンドブラストの説明図、第
５図イは従来の装置の縦断面図、ロはその上面の
顕微鏡写真である。 １０……テーブル、１１……凹所、１２……ポ
ーラスメタル、１３……上面。
その上面の顕微鏡写真、第２図イはそのポーラス
メタルの電解研磨の説明図、ロはその上面の顕微
鏡写真、第３図イはポーラスメタルの平面研削の
説明図、ロはその上面の顕微鏡写真、第４図はそ
のポーラスメタルのサンドブラストの説明図、第
５図イは従来の装置の縦断面図、ロはその上面の
顕微鏡写真である。 １０……テーブル、１１……凹所、１２……ポ
ーラスメタル、１３……上面。
補正 昭６０．１１．２２
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第５頁第４行、６行、８行、１０行中の
「顕微鏡」の前に「金属組織の」を挿入する。
「顕微鏡」の前に「金属組織の」を挿入する。
Claims (1)
- ステンレス材よりなるテーブルの凹所内にはそ
れと同じステンレス材の粉末を焼結したポーラス
メタルを嵌合すると共にそのポーラスメタルの上
面は電解研磨で多孔質の面を露出させ、その後平
面研削盤で３μ以下の精度に研磨すると共にサン
ドブラストをかけてなる吸着保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13736585U JPS6246533U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13736585U JPS6246533U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6246533U true JPS6246533U (ja) | 1987-03-20 |
Family
ID=31041347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13736585U Pending JPS6246533U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6246533U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014053517A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 受渡用ステージ及びダイピックアップ装置並びにダイボンディング装置 |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP13736585U patent/JPS6246533U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014053517A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 受渡用ステージ及びダイピックアップ装置並びにダイボンディング装置 |
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