JPS6246904A - 複酸化物粉末の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は半導体などに使用されるセラミック製品などを
得るための原料である複酸化物の粉末を製造する方法に
関する。

（従来の技術） 従来複酸化物粉末を製造するには、２種以上の化合物を
粉末化して原料調合し、この調合した化合物粉末を混合
機により混合し、混合した化合物て粉末をプレス成形機
により直径５０〜２００１１１厚み２０〜１００膓の′
筒状の成形物とし、この成形物をアルミナ質の匣鉢上に
置き反応炉に入れて加熱反応させ、もろい塊りの複酸化
物と成し、このもろい複酸化物を粉砕機により粉砕する
工程がとられている。そしてこの複酸化物の粉末は所望
形状に成形されて焼結炉で加熱焼結されて製品となるの
である。

（発明が解決しようとする問題点） 上記のような従来技術による複酸化物粉末の製造方法に
おいては、プレス成形により成形される　　゛成形物の
内部と表面では化合物粉末の密度が異なり、そのために
均一な加熱反応が得られず粉砕後の複酸化物粉末が均一
な品質にならないという問題があった。

また、プレス成形された成形物は大きな形状をしている
ため匣鉢上の全面にわたってムラなく置くことが困難で
あり、反応炉に入れた場合匣鉢がその上面の温度ムラの
ために歪み寿命を短くしている等の問題もあった。

（問題を解決するための手段） 本発明は上記の問題を解決する目的のもとに成されたも
のであり、２種以上の化合物を所定粒度に粉末化して原
料調合し、この調合した化合物粉末を混合機により混合
し、混合した化合物粉末を回転ロール式ブリケットマシ
ンにより長径２〜３０謡の大きさの造粒体に成形し、こ
の成形造粒体を匣鉢上にムラなく置いて反応炉に入れて
反応させもってもろい塊り状の複酸化物を得ると共にこ
の１塊り状の複酸化物を粉砕機により粉砕することを特
徴とするものである。

（実施例） 化合物として炭酸バリウム（ＢａＯ０３）と酸化チタン
（ＴｉＯｚ）をそれぞれ直径０．２ｐ前後の大きさに粉
末化する原料調合を行ない、この調合された化合物粉末
をモル比で１：１の割合で混合した後、この混合した化
合物粉末を回転ロールの表面にポケット状凹部を多数設
けた回転ロール式ブリケットマシンにより圧縮成形して
長径２〜３０藺の大きさの造粒体を得てこの成形造粒体
をアルミナ質の匣鉢上にムラなく置き反応炉へ入れて１
０００°ＯＧこ加熱して化合物粉末を反応させ、もろい
塊り状のチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯａ）と成し、こ
の塊り状のチタン酸バリウムを粉砕機により粉砕してチ
タン酸バリウムの粉末を得た。

このようにして得たチタン酸バリウムの粉末は、化合物
が反応炉に入れられる際に２〜３０鵡程度の）７１０．
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ーな密度の造粒体となり、反応炉の中においてもほぼ均
一な反応が起こり、従来のものに比べてばらつきのない
均一な品質となっていた。

また、匣鉢上に置かれる成形造粒体は小さな一定した形
状の造粒物であるため匣鉢上の全面にわたってムラなく
置くことができ匣鉢上の温度ムラによる歪をほとんどな
くすことができた。

尚、実施例では複酸化物としてチタン酸バリウムをその
一例として挙げているが、これにタンクラム（Ｔａ）、
ビスマス（Ｂｉ）　、稀土類を含む化合物を少量添加す
る場合はもちろん、酸化マグネシューム（Ｍｇ　Ｏ）と
アルミナ（Ａ６ｚＯａ）の反応によるスビネ／Ｌ／　（
ＭｇＯ・ＡｌｚＯａ）あルイハカイアナイト（ｕ２０３
・Ｓｉｎｇ）とアルミナ（ＡＩｌｚＯａ）の反応による
ムライト（３ＡｄｇＱ３・２ＳｆＯｚ）等の複酸化物を
得る場合にもこの製造方法を適用することができる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ２種以上の化合物を粉末化して原料調合する工程と、該
   調合した化合物粉末を混合機により混合する工程と、該
   混合した化合物粉末を回転ロール式ブリケットマシンに
   より長径２〜３０ｍｍの大きさの造粒体に成形する工程
   と、該成形造粒体を匣鉢上にムラなく置いて反応炉に入
   れて反応させ、もってもろい塊り状の複酸化物を得る工
   程と、該塊り状の複酸化物を粉砕機により粉砕する工程
   と、から成る複酸化物粉末の製造方法