JPS6247144A - ウエフア−処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ウェファ−処理装置に関し、特に、ウェファ
−の効果的な搬送に利用される。

従来の技術 ウェファ−の搬送装置は、従来、ベルトを用いているこ
とから、ウェファ−の搬送位置は、予め決められている
。たとえは、ウェファ−を受ける位置と送り出す位置は
、ベルトを用いた搬送装置では簡単に変更できない。こ
のため、ウェファ−搬送装置、ウェファ−カセット、カ
セットエレベータ、ウェファ−検査装置のレイアウトに
制約を受けている。

発明が解決しようとする問題点 従来技術にみられる装置では、前述した如く、ウェファ
−搬送装置と、該装置と関連する補機との組合せに制約
が多く、現場での使い勝手に応じ１こ任意のレイアウト
変更かできない。本発明は、従来技術のこのような欠点
を解決すべき技術的解題とする。

問題点を解決するための手段 不発明は、上記問題点を解決するために、リンク式ウェ
ファ−支持部を有するウェファ−搬送機ト、カセットエ
レベータトラモジュール化する技術的手段を採用する。

作用 ウェファ−搬送機とカセットエレベータとを一つの単位
としているので、これに他のカセットエレベータ、ウェ
ファ−の厚み、抵抗、平担度、ｉ４’ターン測定器、オ
リフラ合せ器等を任意に組合せることができる。特に、
ウェファ−搬送機のリンク式ウェファ−支持部は、外部
信号に応じて任意位置にウェファ−を搬送できるので、
これら機器のレイアウトは自在となり、作業内容に応じ
たレイアウトが簡単に得られ、作業効率が向上する。

実施例 本発明によるウェファ−処理装置３０は、第７図に示す
如く、ベース板３１上に配崗゛されムニウエファー搬送
１ｍ３２とカセットエレベータ３３とを一つの単位（モ
ジュール）とする。カセットエレベータ３３は、ラック
アンドピニオン、スクリュー機禍等を組込んだ昇降部３
４と該昇降部３４と連動するフォーク部３５とよりなり
、昇降部３４の動きに応じてフォーク部３５が昇降する
。フォーク部３５上のカセットに対して、後述する搬送
機のリンクの先端ウェファ−支持部が出入り１′る。

ウェファ−搬送機の例を以下説明する。

ベース部材１のほぼ中央に、その下部にオネジ部を有す
る主軸３を直立させる。該オネジ部２に外歯な有する第
１の歯車４を螺合させる。

該第１の歯車４に対し、スラストベアリング５を介して
第１の枠部材６を保持する。該第１の枠部材６はＩＪ　
ニアベアリング７を介して主軸３に回転自在に軸支させ
る。第１の枠部材６に、その出力軸に歯車８が固定され
た第１のパルスモータ９を支持させ、該歯車８を、第１
の歯車４に噛合させる。

第１の枠部材６にスラストベアリング１０及びリニアベ
アリング１１を介して、第２の枠部材１２を支持させる
。第２の枠部材１２には、第２の歯車１３か固定されて
おり、この第２の歯車１３は、第１の枠部材６に支持さ
れた第２のｉ＋ルスモータ２９の出力軸に固定された歯
車１４と噛合う。第２の枠部材１２は、主軸３の上端を
軸支させると共に、対のシャフト１５を回転自在に支持
する。該シャフト１５には、夫々、第３の歯車１６が固
定される。

第３の歯車１６は、第２の枠部材１２に支持された第３
のパルスモータ１Ｔの出力軸に固定された歯車１８と噛
合う。各シャフト１５の先端にセグメント１９を固定し
、該セグメント１９にリンク２０を取付ける。リンク２
０は、第４−６図に示す如く、左右対称に配された第１
のアーム２１と、該第１のアーム２１より長く月つ第１
のアーム２１に枢着された左右対称の第２のアーム２２
とを有１−１該第２のアーム２２の端部に別の対のセグ
メント２３を互いに噛合うように配し、該セグメント２
３に荷の支持台２４を支持する。即ち、支持台２４に枢
支されたビンに第２のアーム２２の端部とセグメント２
３を枢着させる。

第１の枠部材６の周縁適所に光センサー等の位置検出器
２５を設け、第２の枠部材１２に固定されたセンサー位
置決め板２６の動きを検出させる。

リンク２０を除いて、箱２７内に各装置を収め月つ箱２
７の上部にカバー２８をさせろ。尚、真空内で処理する
時に、リンク２０を含む全ての部品をケース内に収め、
ケース内を真空にして搬送処理をする。

次に、操作を曲間する。ウェーハ等の支持台２４を上下
動させるには、必要上下動の量を、ノ９ルス信号として
送る。第１のｉ９ルスモータ９の出力軸の回転量は、第
１の歯車４に伝達され、第１の歯山４を主軸３のまわり
に回転させながら昇降させる。第１の歯車４の昇降は、
第１および第２の枠部材６．１２を同昇降量だけ昇降さ
せることになり、結果として、支持台２４も同量分昇降
することになる。

支持台２４を主軸３まわりに必要な倉だけ回転させるに
は、必要回転角に相当するパルス信号ヲｍ　２のノやル
スモータ２９に送る。第２のパルスモータ２９の出力軸
の回転は、第２の歯車１３に伝達され、主軸３まわりに
第２の枠部材１２を回転させる。第２の枠部材１２０回
転量に相当する分、す／り２０も当然回転するので、リ
ンク２０の支持台２４もその位置を変えることになる。

リンク２０を伸縮させ、その長手方向に沿う支持台２４
の位置を変える時、必要伸縮量に応じた・９ルス信号を
、コンピュータを介して、第３のパルスモータ１Ｔに供
給する。第３のパルスモータ１７の回転は、第３の歯車
１６を介して、対のシャフト１５に伝達され、次のシャ
フト１５を同回転させる。第４図から第５図の状態にさ
せるには、セグメント１９の回転に応じ、第１のアーム
２１がセグメント１９を中心に側方に拡げればよい。第
５図から第６図の状態にするには、さらに、セグメント
１９に回転運動を与え、第１のアーム２１と第２のアー
ム２２とを支持台２４方向に伸ばすようにすればよい。

又、逆の動とは、セグメント１９の回転を逆方向とすれ
ばよい。尚、第２７−ム２２の動きは、別のセグメント
２３を回動させ、一方アーム２２が他力のアームと無関
係に動くことはない。

以上から明らかなように、各モータにパルス信号を送り
、該信号に応じた量だけ、各モータを駆動させるので、
各モータと連動する部材の動きを微調整できる。

発明の効果 本発明による装置は、たとえば、ウェファ−検査装置と
組合せる場合、カセットエレベータ上のカセットからウ
ェファ−を支持台上に移し、搬送機によりその向きを変
え、検査装置に送り検査後、ウェファ−をカセットの所
定位置に戻すことができる。又、検査装置に代えて、別
のカセットを用いれば、カセット力ら別のカセットへの
ウェファ−の移動を自動的に行なうことができる。これ
は、ビンセットを用いた作業を自動化させることになる
。さらに、別のカセットとウェファ−検査機構とを本発
明の装置に付加すれば、検査後のウェファ−を別のカセ
ットに収容できる。

このように、作業に応じた装置の配置が、本発明の装置
の提供により、任意に選択できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第２図の矢視ＩＩ　−１１よりみた断面図、第
２図は本発明の一例の搬送装置の平面図、第３図は第２
図の矢視ＩＩＩ　−ｍよりみた断面図、第４図はリンク
の収縮時を示す平面図、第５図はリンクの中間拡大位置
を示す平面図、第６図はリンクの伸長状態を示す平面図
、および第７図は本発明の一例の側面図である。 図中：１・・・ベース部材、２・・・オネジ部、４゜１
３．１６・・・両市、６，１２・・・枠部材、９゜１７
．２９・・・パルスモータ、２０・・・リンク、３２・
・・ウェファ−処理装置、３３・・・カセットエレベー
タ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ベース板上に配され且つリンク式ウエフアー支持部を有
   するウエフアー搬送機とカセットエレベータとを組合せ
   たウエフアー処理装置。