JPS6249604A - 機能トリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の利用分野〕 本発明は、混成ＩＣの特性を調整する機能トリミングを
高速、かつ精度良好にして行なうための機能トリミング
方法に関するものである。

〔従来技術〕

これまでの機能トリミングの最も簡単な例としては、一
定微小距離（トリミング長）のトリミングと特性測定と
を交互に繰り返すようにして行なうことが知られている
。これによる場合機能トリミング精度を高めるためには
トリミング長を小さくする必要があるが、トリミング長
が小さくなる程に特性測定の回数が多くなってしまい、
高速化が図れないものとなっている。

一方、特開昭５９−１８８１５８号公報記載のように、
予め３つの定数値を設定しておき、これらを用いて演算
処理することによって次回トリミング時でのトリミング
長を決定することも行なわれている。

トリミング長に対する特性値の変化量を予測することに
よってトリミング長が最初は長く、徐々に短かくなるよ
うにして機能トリミングを実行すれ、ば高速化が図れる
わけであるが、これを混成ＩＣにそのまま適用するには
不具合を生じるものとなっている。というのは、トリミ
ングの対象となる抵抗体の位置ずれはパターン形成上不
可避であり、位置ずれ量は混成１０個々にある範囲内で
ばらついているからである。したがって、トリミングが
抵抗体の途中から始まらないように、トリミングのスタ
ート位置を抵抗体のエツジからある程度離れた位置に設
定しておかなければならないことになる。しかしながら
、このようにする場合はトリミングスタート位置から抵
抗体エツジまでの間は事実上トリミングが行なわれない
翠間、即ち、トリミングしても特性値が変化しない区間
として存在し、しかもその区間の距離は混成１０個々に
ばらつくことになる。即ち、順次トリミング長と特性値
の変化量を予測する機能トリミング方法においては、そ
のような区間の存在は予測精度を狂わす原因となり、機
能トリミングの信頼性を低下させるというものである。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記従来技術の欠点をなくし、混成Ｉ
Ｃの機能トリミングを高速、かつ精度良好にして行ない
得る機能トリミング方法を供するにある。

〔発明の概要〕

この目的のため本発明は、抵抗体のトリミングとその特
性の測定とを交互に繰り返すようにしてトリミングを行
なうが、抵抗体に対する実際のトリミングは抵抗体の一
端位置、即ち、真のトリミングスタート位置より行なわ
れるようにしたものである。その真のトリミングスター
ト位置より特性値の変化を予測しつつ最初のトリミング
長は大にして、その後はトリミング長を徐々に短かくし
てトリミングを行なう場合は、高速、かつ精度良好にし
てトリミングを行ない得るものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を第１図から第８図により説明する。

先ず本発明に係る機能トリミング装置の構成と動作につ
いて説明すれば、第２図はその一例での概要構成を示し
たものである。これとその動作としての本発明による機
能トリミング方法を示す一例でのフローである第１図と
により本発明の概要について説明すれば、制御装置６に
より搬送・位置決め装置７を駆動して混成ＩＣ５を搬送
・位置決めした後は、混成ＩＣ５と測定装置４とを電気
的に接続した状態で測定装置４により混成ＩＣ５の特性
が測定されるようになっている。この測定で測定値が目
標特性値規格内であれば、搬送・位置決め装置７により
混成ＩＣ５は着脱位置に戻されるようになっている。し
かしながら、測定値が目標特性値規格外であれば、レー
ザ制御装置２を介しレーザ発振器１およびレーザビーム
走査装置３を制御しつつ制御装置６により抵抗体エツジ
センス処理、初期トリミング処理、順次トリミング処理
が順次実行されることによって、混成ＩＣ５の特性は目
標特性値になるぺ（調整された後着脱位置に戻されるよ
うになっているものである。この後は更に調整すべき混
成ＩＣがあればその混成ＩＣに対し上記動作を繰り返す
ことによって、複数の混成ＩＣに対し順次トリミング処
理が行なわれるものである。

以上の処理のうち抵抗体エツジセンス処理から順次トリ
ミング処理までが本発明に直接関係するが、次にこれら
３つの処理について具体的に説明する。

先ず抵抗体エツジセンス処理について第３図および第６
図を用い説明すれば、第６図に示すように導体８，９に
はさまれるようにして形成された抵抗体１０は製造上の
理由から位置ずれを起こし、その位置ずれ量は混成１０
個々にある範囲内でばらついたものとなっている。した
がって、トリミングが抵抗体１０の途中から始まること
がないようにするためには、トリミングスタート位置１
２はトリミングが抵抗体エツジ１１を通過する点、即ち
、真のトリミングスタート位置１３からある程度離して
おかなければならない。しかし、トリミングスタート位
置１２と真のトリミングスタート位置１３とのギヤツプ
は以後の処理における実際の特性変化率から次のトリミ
ングの特性変化率を予想しトリミング長を決定する演算
を狂わせることになり、機能トリミング精度を低下させ
る原因となる。そこで、真のトリミングスタート位置１
３を検知するために、第３図に示すようにトリミングス
タート位置１２から微小区間ｌのトリミングと特性測定
を繰り返す間に、その測定値ｘ０が初期特性測定値ｘ０
′　に対して変化し始める点を検出するための抵抗体エ
ツジセンス処理が実行されるものである。

次に初期トリミング処理について第４図および第６図を
用い説明すれば、上記した抵抗体エツジセンス処理によ
り真のトリミングスタート位置１３までトリミングが終
了した後、次式により初期トリミング長し、が演算され
るようになっている。

Ｌｏ−αｌＸｌｌ−Ｘ６１　　・・・・・・川・・・・
・・・・・（１）但し、α（＞０）は予め制御装置６に
設定しておいた初期トリミング長決定定数であり、混成
ＩＣの特性あるいは抵抗体１０の大きさにより異なる値
をとるようになっている。また、Ｘｏは目標特性値であ
り、ｘｏは真のトリミングスタート位置１３における特
性測定値である。

真のトリミングスタート位置１３から初期トリミング長
Ｌ０に亘ってトリミングを実行することによって、第４
図に示す初期トリミング処理を完了するものである。

更に順次トリミング処理について第５図および第６図を
用い説明すれば、上記した初期トリミング処理を完了し
た後、測定装置４により特性測定を行ない測定値ｘ１が
読み取られるようになっている。この測定値！、が目標
特性値規格内であれば順次トリミング処理を完了するが
、規格外であれば次トリミング長し、が次式により演算
されるものとなっている。

但し、β（〉０）は予め制御装置６に設定しておいた次
トリミング長決定定数であり、αと同様に混成ＩＣの特
性あるいは抵抗体１０の大きさにより異なる値をとるが
、この定数値によりトリミング長を最初は長く、その後
は徐々に短かくさせ得るものである。また、Ｌｏは直前
のトリミングのトリミング長（この場合は初期トリミン
グ長）、ｘ、はＬｏ　　ｌ”リミング前の特性測定値、
Ｘ、はＬ０トリミング後の特性測定値である。

さて、式（２）に示す演算の終了後はＬ＋のトリミング
を実行するが、このトリミング実行後は再び特性測定を
行ない測定値ｘ２が読み取られるようになっている。こ
の測定値Ｘ２が目標特性規格外であるか否かを判断し、
更に順次トリミング処理を続ける否かを決めるものであ
る。以降、次トリミング長り、の演算式は以下のように
一般化され、特性測定値Ｘｉが目標特性値規格内になる
まで上記動作を繰り返すことによって所望の特性値を得
、第５図に示す順次トリミング処理を完了するところと
なるものである。

以上のように、定数α、βを予め適切な値に設定してお
くことによって、混成ＩＣの特性値に適したトリミング
長をその都度求め得る。具体的にはトリミングの初期に
おいてはトリミング長を長く、そして、目標特性値に近
づく程にトリミング長は徐々に短かくされた状態でトリ
ミングが行なわれるものである。したがって、高速、か
つ精度良好にして機能トリミングが行なわれるところと
なるわけである。

なお、本実例においては、トリミングの形状が直線カッ
ト（プランジカット）の場合について述べたが、トリミ
ングの形状はＬカント等如何なる形状であってもよい、
Ｌカットの場合でのフローを第７図に示す。但し、Ｗ方
向、Ｌ方向はそれぞれ第８図における矢印１４．１５方
向となっている。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明による場合は、抵抗体エツジ
がばらついている場合でも真のトリミングスタート位置
を求め、この位置より特性値の変化を予測しつつトリミ
ングを行なうことから、精度良好にしてトリミングを行
ない得ることになる。

また、真のトリミングスタート位置からのトリミングが
、目標特性値に近づく程にトリミング長が短かくされる
場合は、併せて高速化も図れることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による機能トリミング方法の一例での
フローを示す図、第２図は、本発明に係る機能トリミン
グ装置の一例での概要構成を示す図、第３図、第４図、
第５図は、それぞれ第１図における抵抗体エツジセンス
処理、初期トリミング処理、順次トリミング処理の詳細
なフローを示す図、第６図は、それら処理を具体的に説
明するための図、第７図は、他のカットａ様での機能ト
リミング方法の一例でのフローを示す図、第８図は、そ
のカット態様を説明するための図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・レーザ制御装置、３・
・・レーザビーム走査装置、４・・・測定装置、５・・
・混成ＩＣ１６・・・制御装置、７・・・搬送・位置決
め装置、８．９・・・導体、１０・・・抵抗体、１１・
・・抵抗体エツジ、１２・・・（仮）トリミングスター
ト位置、１３・・・真のトリミングスタート位置 代理人　弁理士　　秋　本　正　実 第１図 第２図 第３図 第４図 第　５１１ 第　６１］ ？３７　口１ 第８０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、抵抗体に対するトリミングと該抵抗体の特性測定を
   交互に繰り返し行なうことによって、上記抵抗体の特性
   値を所望に調整する機能トリミング方法において、仮ト
   リミングスタート位置から微小区間のトリミングと特性
   測定を交互に繰り返している間に、特性測定値の微小変
   化よりトリミング対象としての抵抗体の一端の位置であ
   る真のトリミングスタート位置を検出した後は、該真の
   トリミングスタート位置より上記抵抗体に対する実際の
   トリミングと特性測定を交互に繰り返し行なうことを特
   徴とする機能トリミング方法。 ２、真のトリミングスタート位置からのトリミングにお
   いては、予め設定された初期トリミング長決定定数と、
   初期特性測定値および目標特性値とから上記真のトリミ
   ングスタート位置からの初期トリミング長を大にして求
   めて初期トリミングを行なった後は、特性測定値が目標
   特性値に達する迄の間予め設定された次トリミング長決
   定定数と、トリミング長に対する特性値の実際の変化率
   および目標特性値とから次トリミング長を求め、該次ト
   リミング長に対するトリミングを繰り返し行なうことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の機能トリミング
   方法。