JPS6254592B2 - - Google Patents
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- JPS6254592B2 JPS6254592B2 JP57138209A JP13820982A JPS6254592B2 JP S6254592 B2 JPS6254592 B2 JP S6254592B2 JP 57138209 A JP57138209 A JP 57138209A JP 13820982 A JP13820982 A JP 13820982A JP S6254592 B2 JPS6254592 B2 JP S6254592B2
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- Japan
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- optical path
- laser beam
- total reflection
- reflection mirror
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、レーザ光伝送系に用いるレーザ光
光路保護カバーに関する。
光路保護カバーに関する。
一般にレーザ発振器によつて得られるレーザ光
は指光性のよい光であつて、集光レンズで集光す
ることによつて高い出力密度のものが得られるの
で、被加工物の孔明け、溶接、切断、焼入れなど
広く各種の加工工程に利用されている。
は指光性のよい光であつて、集光レンズで集光す
ることによつて高い出力密度のものが得られるの
で、被加工物の孔明け、溶接、切断、焼入れなど
広く各種の加工工程に利用されている。
このようにレーザ発振器のレーザ光を被加工物
に照射する場合には、従来、第１図に示すように
レーザ発振器１から発射されたレーザ光１１はビ
ームシヤツタユニツト２に入射され、ビームシヤ
ツタによりオン・オフされる。そしてレーザ光１
１はビームシヤツタユニツト２からレーザ光光路
保護カバー３を通してビーム折曲げ用全反射ミラ
ー４へ導かれる。そして、この全反射ミラー４に
より、レーザ光１１は90゜折り曲げられ、集光レ
ンズ５に導かれる。この集光レンズ５でレーザ光
１１は集光され、加工ノズル６を通過して被加工
物７に照射される。尚、図中８は被加工物載台、
９は架台、１０はサポートである。
に照射する場合には、従来、第１図に示すように
レーザ発振器１から発射されたレーザ光１１はビ
ームシヤツタユニツト２に入射され、ビームシヤ
ツタによりオン・オフされる。そしてレーザ光１
１はビームシヤツタユニツト２からレーザ光光路
保護カバー３を通してビーム折曲げ用全反射ミラ
ー４へ導かれる。そして、この全反射ミラー４に
より、レーザ光１１は90゜折り曲げられ、集光レ
ンズ５に導かれる。この集光レンズ５でレーザ光
１１は集光され、加工ノズル６を通過して被加工
物７に照射される。尚、図中８は被加工物載台、
９は架台、１０はサポートである。
ところで、上記の光路保護カバー３附近を拡大
して示する第２図のようになり、一般に鉄パイプ
に黒色塗装をしたもの、或いは銅パイプ、アルミ
パイプ、又は黒色アルマイト処理したアルミパイ
プ、その他のものではアクリル、塩化ビニル、ポ
リエチレンなどのプラスチツクからなるパイプが
用いられている。このような光路保護カバー３
は、空間的にレーザ光１１の通過光路を閉じて光
路中にゴミ、ホコリ等が入らないようにして、全
反射ミラー４が汚れないように保護し、又、光路
中に外部からの異物が侵入しレーザ光１１を遮え
切つたり、散乱したりしないように保護する。勿
論、人体がレーザ光１１に触れないようにするこ
とは明らかである。
して示する第２図のようになり、一般に鉄パイプ
に黒色塗装をしたもの、或いは銅パイプ、アルミ
パイプ、又は黒色アルマイト処理したアルミパイ
プ、その他のものではアクリル、塩化ビニル、ポ
リエチレンなどのプラスチツクからなるパイプが
用いられている。このような光路保護カバー３
は、空間的にレーザ光１１の通過光路を閉じて光
路中にゴミ、ホコリ等が入らないようにして、全
反射ミラー４が汚れないように保護し、又、光路
中に外部からの異物が侵入しレーザ光１１を遮え
切つたり、散乱したりしないように保護する。勿
論、人体がレーザ光１１に触れないようにするこ
とは明らかである。
第２図に示すように、レーザ光１１と光路保護
カバー３は或る程度の距離をもつて配置されてい
る。ところが、もし何らかの原因によつてレーザ
光１１が正規の方向からずれて、光路保護カバー
３に照射されるような場合には、光路保護カバー
３がレーザ光１１の良好な反射体でできていると
きには、正規な光路からずれ、予想されない所に
照射され、人体に危害を与えたり、構造物を損傷
したり、様々な被害を与えた。
カバー３は或る程度の距離をもつて配置されてい
る。ところが、もし何らかの原因によつてレーザ
光１１が正規の方向からずれて、光路保護カバー
３に照射されるような場合には、光路保護カバー
３がレーザ光１１の良好な反射体でできていると
きには、正規な光路からずれ、予想されない所に
照射され、人体に危害を与えたり、構造物を損傷
したり、様々な被害を与えた。
そこで、レーザ光１１の光路ずれを検出するた
め、第３図ａ，ｂに示すような光路保護カバー１
２が提案され、レーザ光吸収体１３と感熱素子１
４が設けられている。そして、レーザ光１１が全
反射ミラー４の配列ミス等により光路ずれを起こ
すと、レーザ光１１はレーザ光吸収体１３に当た
つて吸収され、そのエネルギーは熱に変換され
る。そのため吸収体１３の温度が上昇するので、
それを感熱素子１４により検出している。
め、第３図ａ，ｂに示すような光路保護カバー１
２が提案され、レーザ光吸収体１３と感熱素子１
４が設けられている。そして、レーザ光１１が全
反射ミラー４の配列ミス等により光路ずれを起こ
すと、レーザ光１１はレーザ光吸収体１３に当た
つて吸収され、そのエネルギーは熱に変換され
る。そのため吸収体１３の温度が上昇するので、
それを感熱素子１４により検出している。
しかし、従来の光路保護カバー１２は上記のよ
うな機能までしか持たず、全反射ミラー４の汚れ
や損失を検出する機能を有していなかつた。
うな機能までしか持たず、全反射ミラー４の汚れ
や損失を検出する機能を有していなかつた。
この発明の目的は、全反射ミラーの汚れによる
散乱光を検出するようにしたレーザ光光路保護カ
バーを提供することである。
散乱光を検出するようにしたレーザ光光路保護カ
バーを提供することである。
この発明は、レーザ発振器から出たレーザ光が
全反射ミラーを介して被加工物に至る光路に設け
られる筒状にしてＬ字形のレーザ光光路保護カバ
ーにおいて、上記全反射ミラーにより変更した光
路側に、上記全反射ミラーに対向し且つ光路の軸
に対して15゜〜45゜の範囲の位置に散乱光検出素
子を設けたレーザ光光路保護カバーである。
全反射ミラーを介して被加工物に至る光路に設け
られる筒状にしてＬ字形のレーザ光光路保護カバ
ーにおいて、上記全反射ミラーにより変更した光
路側に、上記全反射ミラーに対向し且つ光路の軸
に対して15゜〜45゜の範囲の位置に散乱光検出素
子を設けたレーザ光光路保護カバーである。
この発明のレーザ光光路保護カバーは第４図
ａ，ｂに示すように構成され、レーザ発振器から
発射され正規の光路を通つてきたレーザ光１１
は、全反射ミラー４により反射され、被加工物の
方へ進む。このとき、もし全反射ミラー４上にゴ
ミ１５が付着していると、そのゴミ１５によりレ
ーザ光１１が散乱され、散乱光１６が発生する。
ａ，ｂに示すように構成され、レーザ発振器から
発射され正規の光路を通つてきたレーザ光１１
は、全反射ミラー４により反射され、被加工物の
方へ進む。このとき、もし全反射ミラー４上にゴ
ミ１５が付着していると、そのゴミ１５によりレ
ーザ光１１が散乱され、散乱光１６が発生する。
そこで、この発明では、全反射ミラー４により
折曲げられたレーザ光１１を導くための筒状にし
てＬ字形の光路保護カバー１７において、光路変
更の内側つまり全反射ミラー４に対向し、且つ光
路の軸に対して15゜〜45゜の範囲に位置するよう
に、散乱光検出素子１８が設けられている。この
散乱光検出素子１８としては、レーザ光１１の種
類に合わせてパイロ素子、太陽電池、フオトダイ
オード、CdTe、フオトマル等が用いられ、ゴミ
１５からの散乱光を検出する。検出された信号
は、測定器（図示せず）により処理され、全反射
ミラー４の汚れの度合が判別される。
折曲げられたレーザ光１１を導くための筒状にし
てＬ字形の光路保護カバー１７において、光路変
更の内側つまり全反射ミラー４に対向し、且つ光
路の軸に対して15゜〜45゜の範囲に位置するよう
に、散乱光検出素子１８が設けられている。この
散乱光検出素子１８としては、レーザ光１１の種
類に合わせてパイロ素子、太陽電池、フオトダイ
オード、CdTe、フオトマル等が用いられ、ゴミ
１５からの散乱光を検出する。検出された信号
は、測定器（図示せず）により処理され、全反射
ミラー４の汚れの度合が判別される。
この発明によれば、全反射ミラー４により変更
した光路側に、全反射ミラー４に対向し且つ光路
の軸に対して15゜〜45゜の範囲の位置に散乱光検
出素子１８を設けたので、全反射ミラー４の汚れ
が全反射ミラー４の分解目視によることなく、連
続的に判別することができる。
した光路側に、全反射ミラー４に対向し且つ光路
の軸に対して15゜〜45゜の範囲の位置に散乱光検
出素子１８を設けたので、全反射ミラー４の汚れ
が全反射ミラー４の分解目視によることなく、連
続的に判別することができる。
尚、この発明は全反射ミラー４についてのみ示
したが、部分透過ミラー、ウインドウ、加工用レ
ンズ等について応用できることは勿論である。
したが、部分透過ミラー、ウインドウ、加工用レ
ンズ等について応用できることは勿論である。
第１図は一般に用いられているレーザ加工装置
を示す概略構成図、第２図及び第３図は従来のレ
ーザ光光路保護カバーを示す断面図、第４図ａ，
ｂはこの発明の一実施例に係るレーザ光光路保護
カバーを示す断面図である。 １……レーザ発振器、４……全反射ミラー、１
１……レーザ光、１５……ゴミ、１６……散乱
光、１７……レーザ光光路保護カバー、１８……
散乱光検出素子。
を示す概略構成図、第２図及び第３図は従来のレ
ーザ光光路保護カバーを示す断面図、第４図ａ，
ｂはこの発明の一実施例に係るレーザ光光路保護
カバーを示す断面図である。 １……レーザ発振器、４……全反射ミラー、１
１……レーザ光、１５……ゴミ、１６……散乱
光、１７……レーザ光光路保護カバー、１８……
散乱光検出素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザ発振器から出たレーザ光が全反射ミラ
ーを介して被加工物に至る光路に設けられる筒状
にしてＬ字形のレーザ光光路保護カバーにおい
て、 上記全反射ミラーにより変更した光路側に、上
記全反射ミラーに対向し且つ光路の軸に対して15
゜〜45゜の範囲の位置に散乱光検出素子を設けた
ことを特徴とするレーザ光光路保護カバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57138209A JPS5927793A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | レ−ザ光光路保護カバ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57138209A JPS5927793A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | レ−ザ光光路保護カバ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5927793A JPS5927793A (ja) | 1984-02-14 |
| JPS6254592B2 true JPS6254592B2 (ja) | 1987-11-16 |
Family
ID=15216629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57138209A Granted JPS5927793A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | レ−ザ光光路保護カバ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5927793A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3623409A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Bias Forschung & Entwicklung | Verfahren zur ueberwachung des bearbeitungsprozesses mit einer hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem laser, und bearbeitungsoptik zur durchfuehrung desselben |
| JPH0515427Y2 (ja) * | 1987-02-04 | 1993-04-22 | ||
| JPH0747893Y2 (ja) * | 1987-05-29 | 1995-11-01 | 澁谷工業株式会社 | レ−ザ装置の同期装置 |
| ATE332209T1 (de) * | 2003-06-20 | 2006-07-15 | Trumpf Laser Gmbh & Co Kg | Verfahren und laserbearbeitungskopf mit einer einrichtung zur überwachung eines optischen elements eines bearbeitungskopfes einer maschine zur thermischen bearbeitung eines werkstücks |
| US7162140B2 (en) | 2004-07-16 | 2007-01-09 | Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg | Monitoring an optical element of a processing head of a machine for thermal processing of a workpiece |
| JP5785740B2 (ja) * | 2011-03-01 | 2015-09-30 | 株式会社アマダホールディングス | ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッド |
| JP2024071062A (ja) * | 2022-11-14 | 2024-05-24 | 株式会社ディスコ | レーザー照射装置 |
-
1982
- 1982-08-09 JP JP57138209A patent/JPS5927793A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5927793A (ja) | 1984-02-14 |
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