JPS6255109U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6255109U JPS6255109U JP14687685U JP14687685U JPS6255109U JP S6255109 U JPS6255109 U JP S6255109U JP 14687685 U JP14687685 U JP 14687685U JP 14687685 U JP14687685 U JP 14687685U JP S6255109 U JPS6255109 U JP S6255109U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- measured
- mirror
- displacement
- optical axis
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Description
第１図は本考案の変位変換器の一実施例を示す
構成図、第２図は従来の変位変換器の一例を示す
構成図、第１図および第４図は第２図に示す変位
変換器に使用される４分割センサにおける入射光
のスポツト形状を示す説明図である。 １……光源、２……レンズ、３……測定対象面
、４……シリンドリカルレンズ、５……４分割セ
ンサ、６……ハーフミラー、７……ミラー。
構成図、第２図は従来の変位変換器の一例を示す
構成図、第１図および第４図は第２図に示す変位
変換器に使用される４分割センサにおける入射光
のスポツト形状を示す説明図である。 １……光源、２……レンズ、３……測定対象面
、４……シリンドリカルレンズ、５……４分割セ
ンサ、６……ハーフミラー、７……ミラー。
Claims (1)
- レンズを介して測定対象面に光を照射するとと
もにこの測定対面上に常に焦点が合うように前記
レンズの位置を移動させこの時のレンズの移動量
から前記測定対象面の変位量を測定するようにし
た変位変換器において、前記レンズと前記測定対
象面との間に配置され前記レンズにより集光され
た光束の光軸を変更するミラーを具備し、前記測
定対象面における入射光と反射光との光軸が一致
するように前記ミラーの角度を調節するようにし
てなる変位変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14687685U JPH0511451Y2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14687685U JPH0511451Y2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255109U true JPS6255109U (ja) | 1987-04-06 |
| JPH0511451Y2 JPH0511451Y2 (ja) | 1993-03-22 |
Family
ID=31059734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14687685U Expired - Lifetime JPH0511451Y2 (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0511451Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP14687685U patent/JPH0511451Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0511451Y2 (ja) | 1993-03-22 |