JPS6255542A - 光学系検査装置 - Google Patents
光学系検査装置Info
- Publication number
- JPS6255542A JPS6255542A JP19565285A JP19565285A JPS6255542A JP S6255542 A JPS6255542 A JP S6255542A JP 19565285 A JP19565285 A JP 19565285A JP 19565285 A JP19565285 A JP 19565285A JP S6255542 A JPS6255542 A JP S6255542A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- pinhole
- laser light
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 −
この発明は、光学系に細い光線を所定の位置から所定の
角度で入射し、光学系の後方に置いた衝立上での出射光
の位置を測定して、光学系内での光路を光線追跡により
検査するための光学系検査装置に関するものである〇 〔従来の技術〕 従来、光学系の光路を検査するための装置として第２図
に示すものがあった。図において、（１）はレーザ光源
、（２）はレーザ光源ｆｌｌから発生されるレーザ光を
平行光線にするための望遠光学系、（３１は絞り、 ＋
４１Ｊｒｉ被検光学系、（５）は被検光学系（４）に対
し細い光線の入射位置および入射方向を調整するための
第１の微動台、（６）は被検光学系（４）からの出射光
線を通過させるためのピンホール、（７）はピンホール
（６）の位置を調整するための第２の微動台である。
角度で入射し、光学系の後方に置いた衝立上での出射光
の位置を測定して、光学系内での光路を光線追跡により
検査するための光学系検査装置に関するものである〇 〔従来の技術〕 従来、光学系の光路を検査するための装置として第２図
に示すものがあった。図において、（１）はレーザ光源
、（２）はレーザ光源ｆｌｌから発生されるレーザ光を
平行光線にするための望遠光学系、（３１は絞り、 ＋
４１Ｊｒｉ被検光学系、（５）は被検光学系（４）に対
し細い光線の入射位置および入射方向を調整するための
第１の微動台、（６）は被検光学系（４）からの出射光
線を通過させるためのピンホール、（７）はピンホール
（６）の位置を調整するための第２の微動台である。
次に動作について説明する。レーザ光源（１）から出る
レーザ光を望遠光学系（２）により平行光線ＫＬ。
レーザ光を望遠光学系（２）により平行光線ＫＬ。
絞シ（３２によシ細い平行光線を取シ出し、第１の微動
台（５）を調整して被検光学系（４）に所定の位置から
所定の角度で入射させると、光線は被検光学系（４）を
構成するレンズの各面でスネルの法則に従う屈折をくシ
返して進み反対側へ透過する。透過光がピンホール（６
）を通過するよう第２の微動台（７）を調整し、被検光
学系（４）を置かないときに光線が通るピンホール（６
）の位置を原点として２第２の微動台（７）の目盛を読
みと９．光線追跡による計算値と比較することによシ光
学系の検査ができる。
台（５）を調整して被検光学系（４）に所定の位置から
所定の角度で入射させると、光線は被検光学系（４）を
構成するレンズの各面でスネルの法則に従う屈折をくシ
返して進み反対側へ透過する。透過光がピンホール（６
）を通過するよう第２の微動台（７）を調整し、被検光
学系（４）を置かないときに光線が通るピンホール（６
）の位置を原点として２第２の微動台（７）の目盛を読
みと９．光線追跡による計算値と比較することによシ光
学系の検査ができる。
従来の光学系検査装置においては、細い平行光線を入射
しても、被検光学系（４）を通過した光は被検光学系（
４）により平行光線ではなくなるので、出射光の検出位
置すなわちピンホール（６）上では太い光線になってし
まい位置の検出精度が低いという問題点があった。幾何
光学的には絞りを小さくして入射光線を細くすると出射
光線も細くできるはずであるが、実際には光の強度が低
下して光線位置の検出が困難になるうえ絞りでの回折に
よりむしろ光線が広がってしまうため精度の向上は難し
い。
しても、被検光学系（４）を通過した光は被検光学系（
４）により平行光線ではなくなるので、出射光の検出位
置すなわちピンホール（６）上では太い光線になってし
まい位置の検出精度が低いという問題点があった。幾何
光学的には絞りを小さくして入射光線を細くすると出射
光線も細くできるはずであるが、実際には光の強度が低
下して光線位置の検出が困難になるうえ絞りでの回折に
よりむしろ光線が広がってしまうため精度の向上は難し
い。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、被検光学系からの出射光線の強度が十分めυ
、かつ出射光線の中心位置が明確にわかり、精度良く出
射光線の位置を測定できる光学系検査装置を得ることを
目的とするＧＣ問題点を解決するための手段〕 この発明による光学系検査装置は、レーザ光源と被検光
学系との間に金属顕微鏡用対物レンズとピンホールおよ
び開口径可変な絞りを設けたものである。
たもので、被検光学系からの出射光線の強度が十分めυ
、かつ出射光線の中心位置が明確にわかり、精度良く出
射光線の位置を測定できる光学系検査装置を得ることを
目的とするＧＣ問題点を解決するための手段〕 この発明による光学系検査装置は、レーザ光源と被検光
学系との間に金属顕微鏡用対物レンズとピンホールおよ
び開口径可変な絞りを設けたものである。
この発明における対物レンズはレーザ光を集光し、集光
点において中心部が明るい同心円状の回折パタンを生じ
る。中心部の明るい部分の直径程度のピンホールを集光
点に置くと、集光点を中心とする球面波が得られる。絞
りはこの球面波の一部だけを通過させるので、絞りによ
る回折が起こる。回折光を被検光学系に入射させ、絞り
の口径を調整すると被検レンズの透過光は中心の明るい
同心円状の回折バタンとなり、出射光の中心位置が明確
にわかる。
点において中心部が明るい同心円状の回折パタンを生じ
る。中心部の明るい部分の直径程度のピンホールを集光
点に置くと、集光点を中心とする球面波が得られる。絞
りはこの球面波の一部だけを通過させるので、絞りによ
る回折が起こる。回折光を被検光学系に入射させ、絞り
の口径を調整すると被検レンズの透過光は中心の明るい
同心円状の回折バタンとなり、出射光の中心位置が明確
にわかる。
第１図はこの発明の一実施例を示す光学系検査装置の構
成図であり２第１図において、（ｌ）はレーザ光源、（
３）は絞り、（４）は被検光学系、（５）は第１の微動
台、（６）はピンホール、（７）は第２の微動台、（８
）は金属顕微鏡用対物レンズ、（９）はレーザ光の集光
点に置き中心部の明るい部分のみを通過させるピンホー
ルである。
成図であり２第１図において、（ｌ）はレーザ光源、（
３）は絞り、（４）は被検光学系、（５）は第１の微動
台、（６）はピンホール、（７）は第２の微動台、（８
）は金属顕微鏡用対物レンズ、（９）はレーザ光の集光
点に置き中心部の明るい部分のみを通過させるピンホー
ルである。
次に動作について説明する。レーザ光源ｆｉ＋から出る
レーザ光を対物レンズ（８）で集光し、レーザ光の集光
点に置いたピンホール（９）Ｖ′Ｃよす対物レンズ（２
）による回折光の中央部の明るい部分のみを通過させる
とピンホール（９）の穴の位置から放射状に広がる空間
的なノイズのない球面波が得られる。絞り（３）はこの
球面波の一部分を通過させ、被検光学系（４）に入射す
るので、被検光学系（４）の透過光はピンホール（６）
の位置に同心円状の回折パタンをつくる。この同心円状
のパタンは、ピンホール（６）から被検光学系（４）を
通して絞、！：ｌ ｆ３１を見たとき、絞り〔３）の穴
の中に入るフレネルシー７の数に依存し、絞り（３）の
穴径全調整することにより、同心円状のバタンの中心部
に輝点ができる状態にすることができる。この状態で第
２の微動台（７）を調整して、輝点かピンホール（６）
を通過するようにし、第２の微動台（７）の目盛を読み
取ることにより、出射光線の位置を精密に測定すること
ができる。第１の微動台（５）を動かし、各入射位置、
入射角について出射光線の位置を測定すると被検光学系
（４）の検査ができる。
レーザ光を対物レンズ（８）で集光し、レーザ光の集光
点に置いたピンホール（９）Ｖ′Ｃよす対物レンズ（２
）による回折光の中央部の明るい部分のみを通過させる
とピンホール（９）の穴の位置から放射状に広がる空間
的なノイズのない球面波が得られる。絞り（３）はこの
球面波の一部分を通過させ、被検光学系（４）に入射す
るので、被検光学系（４）の透過光はピンホール（６）
の位置に同心円状の回折パタンをつくる。この同心円状
のパタンは、ピンホール（６）から被検光学系（４）を
通して絞、！：ｌ ｆ３１を見たとき、絞り〔３）の穴
の中に入るフレネルシー７の数に依存し、絞り（３）の
穴径全調整することにより、同心円状のバタンの中心部
に輝点ができる状態にすることができる。この状態で第
２の微動台（７）を調整して、輝点かピンホール（６）
を通過するようにし、第２の微動台（７）の目盛を読み
取ることにより、出射光線の位置を精密に測定すること
ができる。第１の微動台（５）を動かし、各入射位置、
入射角について出射光線の位置を測定すると被検光学系
（４）の検査ができる。
なお、上記実施例では、出射光線の位置検出にとンホー
ル（６）を使用したが、衝立や撮像素子の受光面に回折
バタンを投影してもよい。
ル（６）を使用したが、衝立や撮像素子の受光面に回折
バタンを投影してもよい。
以上のように、この発明によれば１回折を利用すること
により光線の中心位置が明瞭にわかるので、光線追跡を
実際に精度良く行え、従来結像特性による検査が困難で
あったレンズの軸ずれ、レンズの傾斜等の非対称要素を
含む光学系の横歪が可能となった。また、この発明によ
れば、測定呟は光学設計に用いる光線追跡法と直接対応
しているので設計値との対応が明らかであり、設計値か
らのずれがあった場合の光学系の修正が容易に行える。
により光線の中心位置が明瞭にわかるので、光線追跡を
実際に精度良く行え、従来結像特性による検査が困難で
あったレンズの軸ずれ、レンズの傾斜等の非対称要素を
含む光学系の横歪が可能となった。また、この発明によ
れば、測定呟は光学設計に用いる光線追跡法と直接対応
しているので設計値との対応が明らかであり、設計値か
らのずれがあった場合の光学系の修正が容易に行える。
第１図はこの発明の一実施例による光学系検査装置を示
す図、第２図は従来の光学系検査装置を示す図である。 図において、（１）はレーザ光源、 ＋３１Ｆｉ絞り、
（４）は被検光学系、 ＋５１Ｕ第１の微動台、 （６
１，＋９１はピンホール、（７）は第２の微動台、（８
）は金属顕微鏡用対物レンズである。 なお図中同一あるいは相当部分には同一符号を付して示
しである。
す図、第２図は従来の光学系検査装置を示す図である。 図において、（１）はレーザ光源、 ＋３１Ｆｉ絞り、
（４）は被検光学系、 ＋５１Ｕ第１の微動台、 （６
１，＋９１はピンホール、（７）は第２の微動台、（８
）は金属顕微鏡用対物レンズである。 なお図中同一あるいは相当部分には同一符号を付して示
しである。
Claims (1)
- レーザ光源と、このレーザ光源から発するレーザ光を集
光するための金属顕微鏡用対物レンズと、レーザ光の集
光点に置いたピンホールと、このピンホールから出る発
散レーザ光の一部を通す開口径が可変な絞りと、この絞
りで制限された発散レーザ光に対し被検光学系の位置お
よび角度を調整するための第１の微動台と、上記被検光
学系を透過したレーザ光の中心部が通るよう位置を調整
するための第２の微動台に取付けたピンホールとを具備
したことを特徴とする光学系検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19565285A JPS6255542A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 光学系検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19565285A JPS6255542A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 光学系検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255542A true JPS6255542A (ja) | 1987-03-11 |
| JPH0471453B2 JPH0471453B2 (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=16344732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19565285A Granted JPS6255542A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 光学系検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6255542A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100474141B1 (ko) * | 2001-07-06 | 2005-03-08 | 전자빔기술센터 주식회사 | 레이저를 이용한 부품의 구멍 정렬방법 및 이를 이용한 부품의 정렬 방법 |
| WO2006033544A1 (en) * | 2004-09-20 | 2006-03-30 | Cebt Co. Ltd. | Method for aligning micro-apertures of parts using laser difflection patern and system using the same |
| CN104807614A (zh) * | 2014-01-23 | 2015-07-29 | 苏州智华汽车电子有限公司 | 一种车载摄像头光轴检查机用标定金样品的制作方法 |
| CN107687937A (zh) * | 2017-08-10 | 2018-02-13 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种准分子激光退火ela制程质量量测方法与系统 |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP19565285A patent/JPS6255542A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100474141B1 (ko) * | 2001-07-06 | 2005-03-08 | 전자빔기술센터 주식회사 | 레이저를 이용한 부품의 구멍 정렬방법 및 이를 이용한 부품의 정렬 방법 |
| WO2006033544A1 (en) * | 2004-09-20 | 2006-03-30 | Cebt Co. Ltd. | Method for aligning micro-apertures of parts using laser difflection patern and system using the same |
| CN104807614A (zh) * | 2014-01-23 | 2015-07-29 | 苏州智华汽车电子有限公司 | 一种车载摄像头光轴检查机用标定金样品的制作方法 |
| CN107687937A (zh) * | 2017-08-10 | 2018-02-13 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种准分子激光退火ela制程质量量测方法与系统 |
| CN107687937B (zh) * | 2017-08-10 | 2020-02-07 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种准分子激光退火ela制程质量量测方法与系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0471453B2 (ja) | 1992-11-13 |
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