JPS6255575U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6255575U JPS6255575U JP14754385U JP14754385U JPS6255575U JP S6255575 U JPS6255575 U JP S6255575U JP 14754385 U JP14754385 U JP 14754385U JP 14754385 U JP14754385 U JP 14754385U JP S6255575 U JPS6255575 U JP S6255575U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- crucible
- outside
- pbn
- supported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第
2図Aは同実施例におけるヒータの展開図を示す
平面図、同図Bは同ヒータの組立て状態を示す一
部切欠き斜視図、第3図は他の実施例を示す縦断
面図、第4図は従来の粒子線源の一例を示す縦断
面図である。 26……ルツボ、28……バツフル、30,3
6……熱遮蔽板、38……ヒータ、40……リー
ド線、42……接続端子、44……リードスルー
。
2図Aは同実施例におけるヒータの展開図を示す
平面図、同図Bは同ヒータの組立て状態を示す一
部切欠き斜視図、第3図は他の実施例を示す縦断
面図、第4図は従来の粒子線源の一例を示す縦断
面図である。 26……ルツボ、28……バツフル、30,3
6……熱遮蔽板、38……ヒータ、40……リー
ド線、42……接続端子、44……リードスルー
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ルツボの外側にヒータが設けられ、そのヒータ
の外側に熱遮蔽部が設けられており、前記ルツボ
に供給されたガス原料又は固体原料からの蒸気を
熱分解して粒子線にする粒子線源において、 前記ルツボの材質にはPBNが使用されている
とともに、ルツボ内にはPBN製のバツフルが収
納されており、 前記ヒータの重量はリード線のみによつて支え
られ、かつ、それらのリード線は前記遮蔽部の外
部の温度の低い部分で支持されていることを特徴
とする粒子線源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14754385U JPS6255575U (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14754385U JPS6255575U (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255575U true JPS6255575U (ja) | 1987-04-06 |
Family
ID=31061003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14754385U Pending JPS6255575U (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6255575U (ja) |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP14754385U patent/JPS6255575U/ja active Pending