JPS6255577B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6255577B2
JPS6255577B2 JP56164539A JP16453981A JPS6255577B2 JP S6255577 B2 JPS6255577 B2 JP S6255577B2 JP 56164539 A JP56164539 A JP 56164539A JP 16453981 A JP16453981 A JP 16453981A JP S6255577 B2 JPS6255577 B2 JP S6255577B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
air
filter module
support frame
gasket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP56164539A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5865370A (ja
Inventor
Koji Nokai
Toshio Takahashi
Kazuhiko Ootsuka
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NITSUTA KK
Original Assignee
NITSUTA KK
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Filing date
Publication date
Application filed by NITSUTA KK filed Critical NITSUTA KK
Priority to JP56164539A priority Critical patent/JPS5865370A/ja
Publication of JPS5865370A publication Critical patent/JPS5865370A/ja
Publication of JPS6255577B2 publication Critical patent/JPS6255577B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/02Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/14Sealings between relatively-stationary surfaces by means of granular or plastic material, or fluid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、エアフイルタ特に超高性能エアフ
イルタ(HEPAフイルタ:High Efficiency
Particulate Air filter)の密閉取付構造に関する
ものである。
IC(集積回路)、LSI(大規模集積回路)、超
LSIの製造工場、医薬品の製造工場、病院の手術
室、治療室等、空気中に浮遊する塵埃及び微生物
の影響が問題になるところでは、高度の無塵、無
菌の清浄室、いわゆるクリーンルーム又はバイオ
クリーンルームが使用されている。
そこで、クリーンルームの空気を高度の清浄状
態に保持するためには、フイルタモジユールのバ
ンクで天井(垂直層流方式)又は壁面(水平層流
方式)を全面遮蔽することがよく行なわれる。
すなわち、循環空気はクリーンルームに入る前
に、超高性能エアフイルタ(HEPAフイルタ)を
通過させるため、フイルタモジユール上に加圧下
で導入され、濾過された清浄空気がクリーンルー
ムに供給される。
個々のフイルタモジユールは、互に締結される
ように設計され、そのバンクはリベツト止め又は
熔接などにより支持構造を形成する金属支持枠を
囲んで取付けられる。
そして、隣接する支持枠の間の空気洩れを防止
するため、フイルタモジユール枠の縁部と金属支
持枠との間には、一般にネオプレンガスケツト又
は他の類似材料のガスケツトを介在させる。
しかしながら、締付けの不均等、ガスケツトの
経時劣化などのためガスケツト方式ではどうして
も空気の漏洩は避けられず、特に高度のクリーン
ルームでは、僅かの漏洩でも清浄度に重大な影響
を及ぼす。
そこで、この発明の目的とするところは、ガス
ケツト方式と粘稠性液体シール剤とを併用し、空
気の漏洩を完全に防止し、クリーンルームの清浄
度を安全に維持することのできるエアフイルタの
密閉取付構造を提供することにある。
以下、この発明の構成を実施例として示した図
面に従つて説明する。
第1図は、この発明のエアフイルタの密閉取付
構造の天井取付方式(垂直層流方式)を示してお
り、HEPAフイルタ1を装着したフイルタモジユ
ール2は金属支持枠3に取付けられる。
フイルタモジユール2の木枠4の縁部は、適宜
形状の金物5で被着されており、又金属支持枠3
の端部にはL型金物6が密着して設けられてお
り、木枠4とL型金物6の間にはクロロプレンラ
バー又は他の類似材料のガスケツト7を介在さ
せ、さらに金物5とL型金物6及びガスケツト7
で形成された溝を粘稠性の液体シール剤8で密封
して、フイルタモジユール2と金属支持枠3の密
閉を完全なものとして取付けている。
第2図から第4図は、この発明のエアフイルタ
の取付構造の他実施例を示すものであり、それぞ
れ金物5の形状を適宜に変更したものである。
第3図及び第4図は、金物5の形状を木枠4の
縁部の全体に被着する様にしたものであり、この
場合ガスケツト7は、金属5とL型金物6の間に
介在される。
尚、前記実施例では天井取付方式(垂直層流方
式)について説明したが、垂直壁取付方式(水平
層流方式)としても実施することが可能である。
次に、上述の如く構成されたこの発明の作用効
果を説明する。
第1図に見る様に、循環空気は矢印の如く
HEPAフイルタ2を通過し、洗浄されてクリーン
ルーム9内へ導入される。この時、一部の循環空
気は、HEPAフイルタ1を通過せず、フイルタモ
ジユール2の木枠4側へ流入する。
しかしながら、フイルタモジユール2の金属支
持枠3への取付構造は、前述の如くガスケツト方
式と粘稠性液体シール剤とを併用した密閉構造と
しているため、この循環空気はクリーンルーム9
側へ漏出する虞れは全くない。
又、フイルタモジユール2の木枠4に直接、液
体シール剤8が接触していると、フイルタモジユ
ール2の取付後1〜2年で液体シール剤8が木枠
4に浸透し、木枠4に亀裂が生じてクリーンルー
ム9側への空気漏洩の原因となるが、この発明の
構造では、木枠4の縁部に金物5を被着させたの
で、液体シール剤8が直接、木枠4に触れないよ
うになり、よつて液体シール剤8の浸透による木
枠4への亀裂は防止され、クリーンルーム9側へ
の空気漏洩の虞れは全くない。
以上に述べた様に、この発明のエアフイルタの
密閉取付構造によれば、フイルタモジユール2の
金属支持枠3への取付け部からの循環空気の漏洩
は完全に防止され、クリーンルームの空気を高度
の清浄状態に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
図面は、この発明のエアフイルタの密閉取付構
造の実施例を示すものである。第1図は、フイル
タモジユールの金属支持枠への取付け状態を示す
説明図であり、第2図、第3図及び第4図は、金
物の形状を種々変更して実施した場合のフイルタ
モジユールの金属支持枠への取付け状態を示す説
明図である。 2……フイルタモジユール、3……金属支持
枠、4……木枠、5……金物、5……L型金物、
7……ガスケツト、8……液体シール剤。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 フイルタモジユール2の木枠4の縁部に適宜
    形状の金物5を被着し、さらに金属支持枠3の端
    部にL型金物6を密着して設け、該フイルタモジ
    ユール2を前記金物支持枠3のL型金物6にガス
    ケツト7を介在させて取付けると共に、前記金物
    5とL型金物6及びガスケツト7で形成された溝
    を液体シール剤8で密封したことを特徴とするエ
    アフイルタの密閉取付構造。
JP56164539A 1981-10-14 1981-10-14 エアフイルタの密閉取付構造 Granted JPS5865370A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56164539A JPS5865370A (ja) 1981-10-14 1981-10-14 エアフイルタの密閉取付構造

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JP56164539A JPS5865370A (ja) 1981-10-14 1981-10-14 エアフイルタの密閉取付構造

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Publication Number Publication Date
JPS5865370A JPS5865370A (ja) 1983-04-19
JPS6255577B2 true JPS6255577B2 (ja) 1987-11-20

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ID=15795076

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JP56164539A Granted JPS5865370A (ja) 1981-10-14 1981-10-14 エアフイルタの密閉取付構造

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JPS5865370A (ja) 1983-04-19

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