JPS6256112B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6256112B2 JPS6256112B2 JP55030380A JP3038080A JPS6256112B2 JP S6256112 B2 JPS6256112 B2 JP S6256112B2 JP 55030380 A JP55030380 A JP 55030380A JP 3038080 A JP3038080 A JP 3038080A JP S6256112 B2 JPS6256112 B2 JP S6256112B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical
- hole
- cylindrical part
- sealing member
- inner diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Ceramic Products (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子管に用いられる気密封着用部材お
よびその製造方法に関するものである。
よびその製造方法に関するものである。
一般に、電子管において、電極間に絶縁性を十
分に持たせ、かつ接合強度および耐久性を向上さ
せるためにアルミナセラミツク部材と金属部材と
を接合するろう付け封着構造が多く用いられてい
る。
分に持たせ、かつ接合強度および耐久性を向上さ
せるためにアルミナセラミツク部材と金属部材と
を接合するろう付け封着構造が多く用いられてい
る。
第１図は上記ろう付け封着による接合構造が用
いられているマグネトロンの出力部の一例を示す
要部断面図である。同図において、セラミツク円
筒体１の一端には真空封止部を兼ねたアンテナを
構成する銅円筒体２が銀ろう３ａにより接合封着
され、さらにセラミツク円筒体１の他端側にはコ
バール円筒体４、鉄円筒体５がそれぞれ銀ろう３
ｂ，３ｃにより同時に接合されている。
いられているマグネトロンの出力部の一例を示す
要部断面図である。同図において、セラミツク円
筒体１の一端には真空封止部を兼ねたアンテナを
構成する銅円筒体２が銀ろう３ａにより接合封着
され、さらにセラミツク円筒体１の他端側にはコ
バール円筒体４、鉄円筒体５がそれぞれ銀ろう３
ｂ，３ｃにより同時に接合されている。
通常、アルミナセラミツク部材に金属部材を接
合させる場合、アルミナセラミツク部材の接合面
にはモリブデンを主成分とした材質を高温中で加
熱し、セラミツク部材面にシンターリングさせ、
金属面を形成させてその面にろう材の流動性を良
好にすることおよび金属面の酸化を保護するため
の例えばNiメツキが行なわれる。一方、接合す
る金属部材としてはアルミナセラミツクと熱膨脹
係数が近似するFe−Ni−Co合金（コバール）が
一般的に使用されている。またその他の材料とし
てはNiを約42重量％含むFe−Ni合金（フアー
ニ）が用いられている。
合させる場合、アルミナセラミツク部材の接合面
にはモリブデンを主成分とした材質を高温中で加
熱し、セラミツク部材面にシンターリングさせ、
金属面を形成させてその面にろう材の流動性を良
好にすることおよび金属面の酸化を保護するため
の例えばNiメツキが行なわれる。一方、接合す
る金属部材としてはアルミナセラミツクと熱膨脹
係数が近似するFe−Ni−Co合金（コバール）が
一般的に使用されている。またその他の材料とし
てはNiを約42重量％含むFe−Ni合金（フアー
ニ）が用いられている。
ところが、近年Co、Ni材の高騰が著しく、こ
れに伴なつてコバール、フアーニ材の価格も大幅
な値上りとなり、製造コストをひつ迫させる近況
に至つている。また、Coなどは鉱石の入手難に
も至つている。
れに伴なつてコバール、フアーニ材の価格も大幅
な値上りとなり、製造コストをひつ迫させる近況
に至つている。また、Coなどは鉱石の入手難に
も至つている。
そこで、本願出願人は省資源化、低コスト化を
図るために、特願昭54−97265号に示すように金
属円筒体の材質として鉄材を用いた電子管を提供
した。このように円筒体４の材質をコバールなど
に代えて鉄とした場合、前記出願の明細書に開示
されているように、セラミツク円筒体１と接合す
る鉄円筒体４の封着部となる円筒部の板厚t2を
0.4mm以下に、かつ高さを１mm以上とする必要が
ある。またこの場合、前記封着部の円筒高さ以外
の部分の板厚、すなわち鉄円筒体５に接合するフ
ランジ部の板厚t1を前記封着部の板厚t2と同じに
すると強度的に弱くなり、ろう付け後の後工程に
おける作業で外力が加わつて変形をきたすおそれ
があるので、t1はt2より大きくする必要がある。
また円筒体４の円筒部の高さのバラツキは、マグ
ネトロンの性能上0.05mm以下の精度が要求されて
いる。
図るために、特願昭54−97265号に示すように金
属円筒体の材質として鉄材を用いた電子管を提供
した。このように円筒体４の材質をコバールなど
に代えて鉄とした場合、前記出願の明細書に開示
されているように、セラミツク円筒体１と接合す
る鉄円筒体４の封着部となる円筒部の板厚t2を
0.4mm以下に、かつ高さを１mm以上とする必要が
ある。またこの場合、前記封着部の円筒高さ以外
の部分の板厚、すなわち鉄円筒体５に接合するフ
ランジ部の板厚t1を前記封着部の板厚t2と同じに
すると強度的に弱くなり、ろう付け後の後工程に
おける作業で外力が加わつて変形をきたすおそれ
があるので、t1はt2より大きくする必要がある。
また円筒体４の円筒部の高さのバラツキは、マグ
ネトロンの性能上0.05mm以下の精度が要求されて
いる。
このように、t1＞t2を満足する円筒状部品の製
作は、一般にプレス加工の分野においてはしごき
を伴なうバーリング加工法の手段がとられる。し
かしながら、かかる加工法によつては円筒部高さ
のバラツキ精度を周上にわたつて0.05mm以下にす
ることは困難である。また円筒部の端面は封着部
となるので平坦に形成する必要があるが、前記し
ごきを伴なうバーリング加工によつては十分な平
坦部が形成されない。そこで、円筒部の端面に平
坦部を形成するには、前記加工方法によつて得ら
れた円筒部品の端面を中心軸に対して垂直な面と
なるようにせん断する必要がある。しかし、この
せん断工程を前記バーリング加工を行なう順送り
形式の金型で同時に行なうことは、設備、技術上
の点において著しい困難性を伴ない、さらにコス
トが大幅に上昇する欠点を有する。
作は、一般にプレス加工の分野においてはしごき
を伴なうバーリング加工法の手段がとられる。し
かしながら、かかる加工法によつては円筒部高さ
のバラツキ精度を周上にわたつて0.05mm以下にす
ることは困難である。また円筒部の端面は封着部
となるので平坦に形成する必要があるが、前記し
ごきを伴なうバーリング加工によつては十分な平
坦部が形成されない。そこで、円筒部の端面に平
坦部を形成するには、前記加工方法によつて得ら
れた円筒部品の端面を中心軸に対して垂直な面と
なるようにせん断する必要がある。しかし、この
せん断工程を前記バーリング加工を行なう順送り
形式の金型で同時に行なうことは、設備、技術上
の点において著しい困難性を伴ない、さらにコス
トが大幅に上昇する欠点を有する。
そこで、本発明は上記従来技術の欠点に鑑みな
されたもので、円筒部の高さを高精度にかつ十分
な端面平坦部が安価な加工方法で得られる気密封
着用部材およびその製造方法を提供することを目
的とする。
されたもので、円筒部の高さを高精度にかつ十分
な端面平坦部が安価な加工方法で得られる気密封
着用部材およびその製造方法を提供することを目
的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図は本発明になる気密封着用部材の一実施
例を示す断面図である。同図に示すように、端面
がメタライズ加工されたセラミツク円筒体１（第
１図参照）とろう材を介して接合する気密封着用
部材１０は、素材板厚t1の鉄板よりなる素材板１
１をカツプ状に絞り加工してフランジ部１２と円
筒部１３を形成したカツプ絞り品よりなる。また
天頂面１４には穴１５が形成されており、この穴
抜きされた半径面上にコイニング加工により環状
の平坦部１６が形成されている。このようにカツ
プ絞り品よりなるので、円筒部１３の側壁の板厚
t2はフランジ部１２の素材板厚t1より薄肉に形成
され、強度的に十分満足する。またコイニング加
工により平坦部１６は形成されているので、この
平坦部１６はろう付けされる端面として十分な平
坦面が得られる。
例を示す断面図である。同図に示すように、端面
がメタライズ加工されたセラミツク円筒体１（第
１図参照）とろう材を介して接合する気密封着用
部材１０は、素材板厚t1の鉄板よりなる素材板１
１をカツプ状に絞り加工してフランジ部１２と円
筒部１３を形成したカツプ絞り品よりなる。また
天頂面１４には穴１５が形成されており、この穴
抜きされた半径面上にコイニング加工により環状
の平坦部１６が形成されている。このようにカツ
プ絞り品よりなるので、円筒部１３の側壁の板厚
t2はフランジ部１２の素材板厚t1より薄肉に形成
され、強度的に十分満足する。またコイニング加
工により平坦部１６は形成されているので、この
平坦部１６はろう付けされる端面として十分な平
坦面が得られる。
第３図は第２図に示す気密封着用部材の製造方
法の一実施例を示す断面工程図である。なお、第
２図と同じまたは相当部分には同一符号を付し説
明する。まず第３図Ａに示すように素材板厚t1の
鉄板よりなる素材板１１に穴抜き加工２０により
所定の内径d0を有する下穴２１を形成する。次に
同図Ｂに示すようにしごきを伴なう絞り加工２２
を行なつて素材板厚t1のフランジ部１２と肉厚t2
の円筒部１３を有するカツプ絞り品に成形する。
このしごきを伴なう絞り加工２２はダイの内径を
一定とし、ポンチの外径を徐々に大きく、すなわ
ちダイとポンチの隙間を徐々に小さくしながら複
数工程で行なつて行く。この結果、円筒部１３の
側壁の肉厚は漸次薄くなりながら所定の肉厚とな
る。またこのしごきを伴なう絞り加工２２により
前記下穴２１は内径D0と大きくなる。次に同図
Ｃに示すように天頂面１４の外周部にコイニング
加工２３を施して平坦部１６を形成する。この場
合、このコイニング加工２３による平坦部１６の
内径D1は円筒部１３の内径D2より小さい範囲に
形成する。次に同図Ｄに示すように天頂面１４に
穴抜き加工２４を施して天頂面１４の内径をD3
とする。この場合、天頂面１４の内径D3は円筒
部１３の内径D2より小さくかつコイニング加工
２３による平坦部１６の内径D1より大きく形成
する。その後、同図Ｅに示すようにフランジ部１
２の外周を所定形状に切断加工２５して円筒状の
気密封着部材１０を形成する。
法の一実施例を示す断面工程図である。なお、第
２図と同じまたは相当部分には同一符号を付し説
明する。まず第３図Ａに示すように素材板厚t1の
鉄板よりなる素材板１１に穴抜き加工２０により
所定の内径d0を有する下穴２１を形成する。次に
同図Ｂに示すようにしごきを伴なう絞り加工２２
を行なつて素材板厚t1のフランジ部１２と肉厚t2
の円筒部１３を有するカツプ絞り品に成形する。
このしごきを伴なう絞り加工２２はダイの内径を
一定とし、ポンチの外径を徐々に大きく、すなわ
ちダイとポンチの隙間を徐々に小さくしながら複
数工程で行なつて行く。この結果、円筒部１３の
側壁の肉厚は漸次薄くなりながら所定の肉厚とな
る。またこのしごきを伴なう絞り加工２２により
前記下穴２１は内径D0と大きくなる。次に同図
Ｃに示すように天頂面１４の外周部にコイニング
加工２３を施して平坦部１６を形成する。この場
合、このコイニング加工２３による平坦部１６の
内径D1は円筒部１３の内径D2より小さい範囲に
形成する。次に同図Ｄに示すように天頂面１４に
穴抜き加工２４を施して天頂面１４の内径をD3
とする。この場合、天頂面１４の内径D3は円筒
部１３の内径D2より小さくかつコイニング加工
２３による平坦部１６の内径D1より大きく形成
する。その後、同図Ｅに示すようにフランジ部１
２の外周を所定形状に切断加工２５して円筒状の
気密封着部材１０を形成する。
さて、前記した工程において、第３図Ａに示す
穴抜き加工２０を省略して同図Ｂ〜Ｅのみの工程
によつても密封封着部材１０を成形することがで
きる。しかしながら、穴抜き加工２０を行なわず
直接同図ｂに示すしごきを伴なう絞り加工２２を
行なうと、天頂面１４の素材の流動がよくないの
で、天頂面肩Ｒ２６のＲが大きく形成される。そ
こで、所定幅の平坦部１６を形成するには、同図
Ｃに示すコイニング加工２３の際にその潰し量δ
を所定以上に大きくする必要がある。このように
潰し量δを大きくするには大きなパワーのプレス
型を必要とし、順送り加工は不可能となると共
に、円筒部１３が座屈を起し実用に供し得なくな
る。一方、潰し量δを小さくすると、同図Ｄに示
す穴抜き加工２４後の円筒部１３の端面に所定の
平坦部１６が形成されない。
穴抜き加工２０を省略して同図Ｂ〜Ｅのみの工程
によつても密封封着部材１０を成形することがで
きる。しかしながら、穴抜き加工２０を行なわず
直接同図ｂに示すしごきを伴なう絞り加工２２を
行なうと、天頂面１４の素材の流動がよくないの
で、天頂面肩Ｒ２６のＲが大きく形成される。そ
こで、所定幅の平坦部１６を形成するには、同図
Ｃに示すコイニング加工２３の際にその潰し量δ
を所定以上に大きくする必要がある。このように
潰し量δを大きくするには大きなパワーのプレス
型を必要とし、順送り加工は不可能となると共
に、円筒部１３が座屈を起し実用に供し得なくな
る。一方、潰し量δを小さくすると、同図Ｄに示
す穴抜き加工２４後の円筒部１３の端面に所定の
平坦部１６が形成されない。
これに対して前記実施例に示すように第３図Ｂ
に示すしごきを伴なう絞り加工２２の前工程にお
いて、素材板１１の絞りが行なわれる中心に所定
の内径d0を有する下穴２１をあらかじめ形成して
おくと、しごきを伴なう絞り加工２２を行なう際
に下穴２１が拡がることにより、天頂面１４の素
材の流動を促し、天頂面肩Ｒ２６の肉厚減少が小
さくなり、小さなＲを有する天頂面肩Ｒ２６が形
成される。従つて、次工程におけるコイニング加
工２３は小さな潰し量δでよいので、小さなパワ
ーのプレス機により天頂面１４が穴抜きされた半
径面上に所望する環状の平坦部１６を形成でき
る。また通常の順送り形式の金型に容易に実施で
きるので、生産コストが極めて安価にしかも十分
な信頼性を有する気密封着用部材１０が得られ
る。
に示すしごきを伴なう絞り加工２２の前工程にお
いて、素材板１１の絞りが行なわれる中心に所定
の内径d0を有する下穴２１をあらかじめ形成して
おくと、しごきを伴なう絞り加工２２を行なう際
に下穴２１が拡がることにより、天頂面１４の素
材の流動を促し、天頂面肩Ｒ２６の肉厚減少が小
さくなり、小さなＲを有する天頂面肩Ｒ２６が形
成される。従つて、次工程におけるコイニング加
工２３は小さな潰し量δでよいので、小さなパワ
ーのプレス機により天頂面１４が穴抜きされた半
径面上に所望する環状の平坦部１６を形成でき
る。また通常の順送り形式の金型に容易に実施で
きるので、生産コストが極めて安価にしかも十分
な信頼性を有する気密封着用部材１０が得られ
る。
以上の説明から明らかな如く、本発明になる気
密封着用部材およびその製造方法によれば、フラ
ンジ部より薄肉の円筒部の高さおよびその端面の
平坦部が安価な加工方法で十分な信頼性をもつて
得られるなどの効果を有する。
密封着用部材およびその製造方法によれば、フラ
ンジ部より薄肉の円筒部の高さおよびその端面の
平坦部が安価な加工方法で十分な信頼性をもつて
得られるなどの効果を有する。
第１図は従来のマグネトロンの出力部の一例を
示す要部断面図、第２図は本発明になる気密封着
用部材の一実施例を示す断面図、第３図Ａ〜Ｅは
本発明になる気密封着用部材の製造方法の一実施
例を示す断面工程図である。 １……セラミツク円筒体、３ｂ……銀ろう、１
０……気密封着用部材、１１……素材板、１２…
…フランジ部、１３……円筒部、１４……天頂
面、１５……穴、１６……平坦部、２０……穴抜
き加工、２１……下穴、２２……しごきを伴なう
絞り加工、２３……コイニング加工、２４……穴
抜き加工、２５……切断加工。
示す要部断面図、第２図は本発明になる気密封着
用部材の一実施例を示す断面図、第３図Ａ〜Ｅは
本発明になる気密封着用部材の製造方法の一実施
例を示す断面工程図である。 １……セラミツク円筒体、３ｂ……銀ろう、１
０……気密封着用部材、１１……素材板、１２…
…フランジ部、１３……円筒部、１４……天頂
面、１５……穴、１６……平坦部、２０……穴抜
き加工、２１……下穴、２２……しごきを伴なう
絞り加工、２３……コイニング加工、２４……穴
抜き加工、２５……切断加工。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 端面がメタライズ加工されたセラミツク円筒
体にろう材を介在させて気密に封着される鉄材よ
りなる円筒状気密封着用部材において、円筒部の
内径より僅かに小さな直径の穴が形成されている
天頂面を、セラミツク円筒体にろう付けされる端
面側に備えたカツプ状絞り品よりなり、前記穴に
沿つた前記天頂面外縁部にコイニング加工による
潰しによりろう付けのための平坦部が形成されて
なる気密封着用部材。 ２ 端面がメタライズ加工されたセラミツク円筒
体にろう材を介在させて気密に封着される鉄材よ
りなる円筒状気密封着用部材の製造方法におい
て、素材板に所定の内径を有する下穴を形成し、
次いでこの下穴を中心としてしごきをともなう絞
り加工を行なつて円筒部を有するカツプ状絞り品
を成形し、その後ろう付けされる端面に相当する
前記円筒部の天頂面の外縁の肩部をコイニング加
工により潰すことにより平坦部を形成し、次に前
記天頂面に所定幅のろう付けのための平坦部を残
して前記円筒部の内径より僅かに小さな直径で穴
抜き加工してなる気密封着用部材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3038080A JPS56129680A (en) | 1980-03-12 | 1980-03-12 | Airtight sealing member and manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3038080A JPS56129680A (en) | 1980-03-12 | 1980-03-12 | Airtight sealing member and manufacture |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56129680A JPS56129680A (en) | 1981-10-09 |
| JPS6256112B2 true JPS6256112B2 (ja) | 1987-11-24 |
Family
ID=12302269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3038080A Granted JPS56129680A (en) | 1980-03-12 | 1980-03-12 | Airtight sealing member and manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56129680A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5813513B2 (ja) * | 1976-08-02 | 1983-03-14 | 株式会社日立製作所 | 金属部品と絶縁部材との封着方法 |
-
1980
- 1980-03-12 JP JP3038080A patent/JPS56129680A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56129680A (en) | 1981-10-09 |
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