JPS6256228A - 半導体ウエハ供給装置 - Google Patents
半導体ウエハ供給装置Info
- Publication number
- JPS6256228A JPS6256228A JP19380285A JP19380285A JPS6256228A JP S6256228 A JPS6256228 A JP S6256228A JP 19380285 A JP19380285 A JP 19380285A JP 19380285 A JP19380285 A JP 19380285A JP S6256228 A JPS6256228 A JP S6256228A
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- JP
- Japan
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- carrier
- wafers
- wafer
- rotation
- roller
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔発明の技術分野〕
本発明は、例えば半導体ウニへのフォトエツチング工程
やドライエツチング工程の際、その処理装置へ、＃ウェ
ハを１枚１枚搬送ベルトにより供給するウニ・・供給装
置に関するものである。 〔発明の技術的背景〕 従来のウェハ供給装置は例えば第８図に示すように、収
納された、ウェハＢが水平になるよう横倒しの状態でキ
ャリアＡを配設するキャリア載置台１４と、キャリアＡ
中のウェハＢを１枚１枚矢印１３方向の処理袋＋１ （
図示せず）−＼搬送する搬送ベルト１５と、キャリアＡ
中のウニ・・Ｂを一枚一枚ベル） １５上へ配設するた
めにキャリアＡを除去に下降させるキャリア昇降手段１
６より成る。 従来、中ヤリアＡ内に収納されるウニ／％Ｂは整列され
ておらず、従って処理装置内で１枚１枚オリエンテーシ
冒ンフラットを合せて処理を施すため作業効率が悪かっ
た。 また、今後ウェハの大口径化が進み多品種の素子を少数
のウェハにより製造することが増えてくる。 そのため各ウェハの管理システムが必要となる。 この管理システムの１つとして、ウェハにウェハ番号を
符し、各処理の繭後によりそのウェハ番号を読取装置に
より識別して管理する方式が考えられている。 しかしながら従来においては、キャリア内のつエバは一
ヒ述１．たようＫｌｌｔｔ列（−７でおらずオリエンテ
ーシ冒ンフラット面がランダムＫｌんでいるためウェハ
番号の絖み取りは困鰻である。 〔発明の目的〕 本発明は上記従来の問題点を解決１２、ウェハ処理前に
キャリア内のウニへのオリフラを一括して合わせること
により作業効率を高め、力λつウェハにウニ・・番号を
記入する場合、このウェハ番号を判読可能とすることに
よりつ五−・ｌａ理クシステム導入の可能なウー■−ハ
供給装＋ｆｔ１−提供することを目的とする、 〔発明の概要〕 本発明は上記目的を達成するための、キャリア内の複数
の半導体ウェハのオリエンチー／！ｌンフラットを一括
して揃えろオリフラ合せ手段と、前記キャリア内のウェ
ハを１枚１枚処理装置に搬送する搬送ベルトとこの搬送
ベルト上に前記キャリア内のウェハｆｃ順次載買するキ
ャリア昇降手段と前記オリフラ合せ手段Ｆからキャリア
昇降手段上へｆＩＪ記キャリアを移動させる中ヤリーｒ
移動手段とを有することを特徴とする半導体つｘ 、＝
％ ｐ給装置である。 〔発明の実施例） 本発明の一実施例装置を図を用いで説明する。 なお、各図面ト同一部分は同一の符号を紀した。。 腑１図に４：実施例装置ｉｔの側面図を示す１本体】の
図中右側ンζはオリ７う合せ手段２が設けられており、
このオリフラ合す手段２トにキャリアＡを載せたキャリ
ア移動手段：（が配［されてしへる〇ことでオリフラ合
亡手段２の正面図を第４図に示す。このすリフラ合止手
段２け、キャリア移動手段３に載置されたキャリーｆＡ
内に上置ｅこ並列［２て収納された複数の半導体つＪニ
へ〇のＦ部において、このウェハＢと接触（、このウェ
ハ■３を回転＋１動させるｒコーラ２ａと、こＩ／）ロ
ーラ２８ぐ（”Ｊ ４’、＝＝ ｇせる第１のモータ２
ｂと、ウェハＢが「１−）２ａにより矢印１４のＲ向に
回転され、Ｃｌエバ１１のオリＬンテーシ１ン７ラット
炒１コーラ２ａ−）二に移動１７たとき、同図（ｂ）に
示すようにウェハ１３をローラ２ａより離［２、このウ
ェハｊ３の回転を止めるようローラ２ａと同じか−また
はこのローラ２ａより弱千′高く形成されたストッパ一
台２Ｃとから成る。このオリ７う合せ手段２によりキャ
リアＡ内のウニ／％Ｂのオリフラは一括１７て揃えら１
する。 次にキャリアＡ位びキャリア移動手段３の斜視図を第５
図（ｒｉ） ：ｂよび（ｂ）に示す。キャリア人は同図
（ａ） ｉ・で示されもように、複数のウニ・・収納＠
Ａｌ、Ａｌ・・・を有する槃右の８Ｗ壁Ａａ、Ａｂとこ
の両開壁Ａａ、Ａｂを連結する連結部Ａｃと７５＼ら成
り、キャリア移動手段３は同図（１））に示されるよう
にキャリアＡ底部載：置台３“と正面載置壁３°ゝよび
旧面載置曖の一端に設けられたギア部３Ｃとから成る。 なお、底部載置台３１の中央部には、前６己第４図に示
したオリフ゛う合ぜ手Ｒ２のローラ２ａがウニ・・Ｂに
接触できるよう中央部に開口が形成され、載置壁３ｂは
キャリアＡの正面に対応し九Ｈ字形状を成ｊ７ている。 またギア部３Ｃは第１（Δ
やドライエツチング工程の際、その処理装置へ、＃ウェ
ハを１枚１枚搬送ベルトにより供給するウニ・・供給装
置に関するものである。 〔発明の技術的背景〕 従来のウェハ供給装置は例えば第８図に示すように、収
納された、ウェハＢが水平になるよう横倒しの状態でキ
ャリアＡを配設するキャリア載置台１４と、キャリアＡ
中のウェハＢを１枚１枚矢印１３方向の処理袋＋１ （
図示せず）−＼搬送する搬送ベルト１５と、キャリアＡ
中のウニ・・Ｂを一枚一枚ベル） １５上へ配設するた
めにキャリアＡを除去に下降させるキャリア昇降手段１
６より成る。 従来、中ヤリアＡ内に収納されるウニ／％Ｂは整列され
ておらず、従って処理装置内で１枚１枚オリエンテーシ
冒ンフラットを合せて処理を施すため作業効率が悪かっ
た。 また、今後ウェハの大口径化が進み多品種の素子を少数
のウェハにより製造することが増えてくる。 そのため各ウェハの管理システムが必要となる。 この管理システムの１つとして、ウェハにウェハ番号を
符し、各処理の繭後によりそのウェハ番号を読取装置に
より識別して管理する方式が考えられている。 しかしながら従来においては、キャリア内のつエバは一
ヒ述１．たようＫｌｌｔｔ列（−７でおらずオリエンテ
ーシ冒ンフラット面がランダムＫｌんでいるためウェハ
番号の絖み取りは困鰻である。 〔発明の目的〕 本発明は上記従来の問題点を解決１２、ウェハ処理前に
キャリア内のウニへのオリフラを一括して合わせること
により作業効率を高め、力λつウェハにウニ・・番号を
記入する場合、このウェハ番号を判読可能とすることに
よりつ五−・ｌａ理クシステム導入の可能なウー■−ハ
供給装＋ｆｔ１−提供することを目的とする、 〔発明の概要〕 本発明は上記目的を達成するための、キャリア内の複数
の半導体ウェハのオリエンチー／！ｌンフラットを一括
して揃えろオリフラ合せ手段と、前記キャリア内のウェ
ハを１枚１枚処理装置に搬送する搬送ベルトとこの搬送
ベルト上に前記キャリア内のウェハｆｃ順次載買するキ
ャリア昇降手段と前記オリフラ合せ手段Ｆからキャリア
昇降手段上へｆＩＪ記キャリアを移動させる中ヤリーｒ
移動手段とを有することを特徴とする半導体つｘ 、＝
％ ｐ給装置である。 〔発明の実施例） 本発明の一実施例装置を図を用いで説明する。 なお、各図面ト同一部分は同一の符号を紀した。。 腑１図に４：実施例装置ｉｔの側面図を示す１本体】の
図中右側ンζはオリ７う合せ手段２が設けられており、
このオリフラ合す手段２トにキャリアＡを載せたキャリ
ア移動手段：（が配［されてしへる〇ことでオリフラ合
亡手段２の正面図を第４図に示す。このすリフラ合止手
段２け、キャリア移動手段３に載置されたキャリーｆＡ
内に上置ｅこ並列［２て収納された複数の半導体つＪニ
へ〇のＦ部において、このウェハＢと接触（、このウェ
ハ■３を回転＋１動させるｒコーラ２ａと、こＩ／）ロ
ーラ２８ぐ（”Ｊ ４’、＝＝ ｇせる第１のモータ２
ｂと、ウェハＢが「１−）２ａにより矢印１４のＲ向に
回転され、Ｃｌエバ１１のオリＬンテーシ１ン７ラット
炒１コーラ２ａ−）二に移動１７たとき、同図（ｂ）に
示すようにウェハ１３をローラ２ａより離［２、このウ
ェハｊ３の回転を止めるようローラ２ａと同じか−また
はこのローラ２ａより弱千′高く形成されたストッパ一
台２Ｃとから成る。このオリ７う合せ手段２によりキャ
リアＡ内のウニ／％Ｂのオリフラは一括１７て揃えら１
する。 次にキャリアＡ位びキャリア移動手段３の斜視図を第５
図（ｒｉ） ：ｂよび（ｂ）に示す。キャリア人は同図
（ａ） ｉ・で示されもように、複数のウニ・・収納＠
Ａｌ、Ａｌ・・・を有する槃右の８Ｗ壁Ａａ、Ａｂとこ
の両開壁Ａａ、Ａｂを連結する連結部Ａｃと７５＼ら成
り、キャリア移動手段３は同図（１））に示されるよう
にキャリアＡ底部載：置台３“と正面載置壁３°ゝよび
旧面載置曖の一端に設けられたギア部３Ｃとから成る。 なお、底部載置台３１の中央部には、前６己第４図に示
したオリフ゛う合ぜ手Ｒ２のローラ２ａがウニ・・Ｂに
接触できるよう中央部に開口が形成され、載置壁３ｂは
キャリアＡの正面に対応し九Ｈ字形状を成ｊ７ている。 またギア部３Ｃは第１（Δ
【示されるようにキャリア昇
降台４のギア部口とふみ合っておりこのキャリア昇降台
４のギア部４ａの回転によりヤヤリ了移動手段３は回ａ
；Ｕ動を行なう。そし２てオリフラ合ぜの済んだ凌キｒ
’）アＡＶｉこの回転運動により。 窮２図に示すようにオリフラ１ぜ＋段２−トからキャリ
ア昇降台４．ｆ：へ＃ ６ Ｊ−＃る。ｆの際キｖすＹ
Ａは横倒１．の状態にな妙、ウェハＢは水平状に積層し
た状態となる、 そし７で本体１底部に設けられた第２モータ５によりリ
ードスクリ、−７はギア６ａ、６ｂを介して同転される
。この回転によゆリードスクリュー７に形成されたら線
状の凸部ｐ＋” １含するら線状凹部内壁を有する開［
］４ｂの形成され九キャリア昇降台４け下降運動される
。なおキャリア昇降台４の図中左側の開Ｄ４ｃＫｒよキ
ャリア昇降台４の昇降時の回転ずれ防止用ガイド俸８が
通しである）なお第６図に示すようにキャリア昇降台４
のもう一角にも開口４ｄが形成かれガイド棒（図示せず
）が通される。またもう−角にＶｉ第３七−夕４６が設
けられており、これによりξ゛前述１．とギアｔｌ１４
ｇが回転される。そしてこのギア”４ａに前述ｊ７九第
５図（ｂ）に示したキャリア移動手段：）のギア部３ｃ
がかみ合うよう配設される。 そして第３１１に示すようにキャリア昇降台４と共に、
キャリア移動手段３およびキャリアＡは下降運動され、
キャリアＡ内のウェハＢが順次ウェハ搬送ベルト９ａお
よびウェハ送り出しベルト９ｂ上に載置される。そして
第４モータ１０によりこの両ベル） ９ａ、９ｂは連動
動作され、ウェハＢは順次矢印】３方向の処理装置例え
ばエツチング装置（図示せず）へ搬送、供給される。 このときの装置本体上方力≧らの透視図を第７図に示す
。オリフラ合せの済んだ複数のウェハＢはキャリアＡに
収納され、このキャリアＡはキャリア移動手段３上に載
置され、このキャリア移動手段３はギア部３Ｃを介して
キャリア昇降台４上に配置されているう そしてリードスクリーー７０同転によりキャリア昇降台
４およびキャリア移動手段３およびキャリアＡは、それ
らの中央に形成された連結部１２がウェハ送り出しベル
ト９ｂおよびウェハ搬送ベルト９ａの間を通過するよう
に下降される。 そして両ベルト９ａ、９ｂ上にウェハＢが載置すれると
、両ベルトは動作ｔ、／ １ ウェハＢけ矢印１３方向
の処理装置（図示せず）へ順次供給される。なお図中ｌ
】はウェハの有無を検知する光学的ウェハ検知手段であ
る。 そして全てのウェハＢの供給が終了１．たらキャリアＡ
は上昇される。 以上のような本実施例装置によると、ウェハ処理装置へ
のウェハ供給の際一括１７てウェハのオリフラ面を揃え
ることができ１作業効率が良く、かつキャリア移動手段
３を有する仁とにょ抄オリフラ合せとウェハ供給が自動
的にかつ短時間に行なえる。 またオリフラ合せ手段を有することにょシ第４図に示す
ようにウェハＢのオリフラ面隣接部にウェハ番号Ｂｌを
符し、この番号Ｂ１を読み取ることが可能になる。これ
Ｋより各ウェハの管理ができ、ウェハ自動管理システム
が導入できる。その際のウェハ番号絖み増り機は第１図
中キャリア前方Ｘ部や搬送ベルトｅｔｔ段のＹ部、さら
にウェハＢの裏面にウェハ番号を符す場合、キャリア昇
降台４の裏面２部へ設置できる。 本願発明は上記一実施例に限定されるものでは無く例え
ばキャリア移動手段３．キャリア昇降台４等の形状は全
く異なるものでもよい。 〔発明の効果〕 本発明のウニ・・供給装置によると、１度に複数のウェ
ハのオリフラを合せることができるため作業効率が良く
、かつオリフラ合せの済んだウエノ・を搬送ベルト上に
移動するキャリア移動手段を有するため、ウェハ搬送の
自動化が可能となった。 また、オリフラ合せ機構を前段に設けたことにより各ウ
ェハに番号を記入する場合、その番号が一定の場所に揃
うため１番号の読み堆りが可能となり、ウェハ自動管理
システムが導入できるという効果がある。
降台４のギア部口とふみ合っておりこのキャリア昇降台
４のギア部４ａの回転によりヤヤリ了移動手段３は回ａ
；Ｕ動を行なう。そし２てオリフラ合ぜの済んだ凌キｒ
’）アＡＶｉこの回転運動により。 窮２図に示すようにオリフラ１ぜ＋段２−トからキャリ
ア昇降台４．ｆ：へ＃ ６ Ｊ−＃る。ｆの際キｖすＹ
Ａは横倒１．の状態にな妙、ウェハＢは水平状に積層し
た状態となる、 そし７で本体１底部に設けられた第２モータ５によりリ
ードスクリ、−７はギア６ａ、６ｂを介して同転される
。この回転によゆリードスクリュー７に形成されたら線
状の凸部ｐ＋” １含するら線状凹部内壁を有する開［
］４ｂの形成され九キャリア昇降台４け下降運動される
。なおキャリア昇降台４の図中左側の開Ｄ４ｃＫｒよキ
ャリア昇降台４の昇降時の回転ずれ防止用ガイド俸８が
通しである）なお第６図に示すようにキャリア昇降台４
のもう一角にも開口４ｄが形成かれガイド棒（図示せず
）が通される。またもう−角にＶｉ第３七−夕４６が設
けられており、これによりξ゛前述１．とギアｔｌ１４
ｇが回転される。そしてこのギア”４ａに前述ｊ７九第
５図（ｂ）に示したキャリア移動手段：）のギア部３ｃ
がかみ合うよう配設される。 そして第３１１に示すようにキャリア昇降台４と共に、
キャリア移動手段３およびキャリアＡは下降運動され、
キャリアＡ内のウェハＢが順次ウェハ搬送ベルト９ａお
よびウェハ送り出しベルト９ｂ上に載置される。そして
第４モータ１０によりこの両ベル） ９ａ、９ｂは連動
動作され、ウェハＢは順次矢印】３方向の処理装置例え
ばエツチング装置（図示せず）へ搬送、供給される。 このときの装置本体上方力≧らの透視図を第７図に示す
。オリフラ合せの済んだ複数のウェハＢはキャリアＡに
収納され、このキャリアＡはキャリア移動手段３上に載
置され、このキャリア移動手段３はギア部３Ｃを介して
キャリア昇降台４上に配置されているう そしてリードスクリーー７０同転によりキャリア昇降台
４およびキャリア移動手段３およびキャリアＡは、それ
らの中央に形成された連結部１２がウェハ送り出しベル
ト９ｂおよびウェハ搬送ベルト９ａの間を通過するよう
に下降される。 そして両ベルト９ａ、９ｂ上にウェハＢが載置すれると
、両ベルトは動作ｔ、／ １ ウェハＢけ矢印１３方向
の処理装置（図示せず）へ順次供給される。なお図中ｌ
】はウェハの有無を検知する光学的ウェハ検知手段であ
る。 そして全てのウェハＢの供給が終了１．たらキャリアＡ
は上昇される。 以上のような本実施例装置によると、ウェハ処理装置へ
のウェハ供給の際一括１７てウェハのオリフラ面を揃え
ることができ１作業効率が良く、かつキャリア移動手段
３を有する仁とにょ抄オリフラ合せとウェハ供給が自動
的にかつ短時間に行なえる。 またオリフラ合せ手段を有することにょシ第４図に示す
ようにウェハＢのオリフラ面隣接部にウェハ番号Ｂｌを
符し、この番号Ｂ１を読み取ることが可能になる。これ
Ｋより各ウェハの管理ができ、ウェハ自動管理システム
が導入できる。その際のウェハ番号絖み増り機は第１図
中キャリア前方Ｘ部や搬送ベルトｅｔｔ段のＹ部、さら
にウェハＢの裏面にウェハ番号を符す場合、キャリア昇
降台４の裏面２部へ設置できる。 本願発明は上記一実施例に限定されるものでは無く例え
ばキャリア移動手段３．キャリア昇降台４等の形状は全
く異なるものでもよい。 〔発明の効果〕 本発明のウニ・・供給装置によると、１度に複数のウェ
ハのオリフラを合せることができるため作業効率が良く
、かつオリフラ合せの済んだウエノ・を搬送ベルト上に
移動するキャリア移動手段を有するため、ウェハ搬送の
自動化が可能となった。 また、オリフラ合せ機構を前段に設けたことにより各ウ
ェハに番号を記入する場合、その番号が一定の場所に揃
うため１番号の読み堆りが可能となり、ウェハ自動管理
システムが導入できるという効果がある。
（ａ） 、 （ｂ）はオリフラ合せ手段正面図、第５図
（ａ） 、 （ｂ）はキャリアおよびキャリア移動手段
斜視図、第６図はキャリア昇降台斜視図、第７図はキャ
リア搬送時の搬送部上面図、第８図は従来のウェハ供給
装置を示す側面図である。 Ａ・・・キャリア、 Ｂ・・・半導体ウェハ、２・・・
オリフラ合せ平反、３・・キャリア移動手段。 ４・・・キャリア昇降台、 ７・・・リードスクリュ
ー１９ａ・・・搬送ベルト。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 大胡典夫 ６ｄ 第１図 ａ 第２図 第３図 ”’、Ｂ＋ （ｂ） ジ 第４図 ３Ｃ 第５図 Ｃ 第 ６ｖ１ 第７図 第８図
（ａ） 、 （ｂ）はキャリアおよびキャリア移動手段
斜視図、第６図はキャリア昇降台斜視図、第７図はキャ
リア搬送時の搬送部上面図、第８図は従来のウェハ供給
装置を示す側面図である。 Ａ・・・キャリア、 Ｂ・・・半導体ウェハ、２・・・
オリフラ合せ平反、３・・キャリア移動手段。 ４・・・キャリア昇降台、 ７・・・リードスクリュ
ー１９ａ・・・搬送ベルト。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 大胡典夫 ６ｄ 第１図 ａ 第２図 第３図 ”’、Ｂ＋ （ｂ） ジ 第４図 ３Ｃ 第５図 Ｃ 第 ６ｖ１ 第７図 第８図
Claims (1)
- キャリア内の複数の半導体ウェハのオリエンテーショ
ンフラットを一括して揃えるオリフラ合せ手段と、前記
キャリア内のウェハを１枚１枚処理装置に搬送する搬送
ベルトとこの搬送ベルト上に前記キャリア内のウェハを
順次載置するキャリア昇降手段と、前記オリフラ合せ手
段上からキャリア昇降手段上へ前記キャリアを移動させ
るキャリア移動手段とを有することを特徴とする半導体
ウェハ供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19380285A JPS6256228A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 半導体ウエハ供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19380285A JPS6256228A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 半導体ウエハ供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6256228A true JPS6256228A (ja) | 1987-03-11 |
Family
ID=16314015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19380285A Pending JPS6256228A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 半導体ウエハ供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6256228A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6261796A (ja) * | 1985-09-09 | 1987-03-18 | Mitsubishi Alum Co Ltd | ブレ−ジングシ−ト |
| JPH03261161A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-21 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| US5299901A (en) * | 1992-04-16 | 1994-04-05 | Texas Instruments Incorporated | Wafer transfer machine |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP19380285A patent/JPS6256228A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6261796A (ja) * | 1985-09-09 | 1987-03-18 | Mitsubishi Alum Co Ltd | ブレ−ジングシ−ト |
| JPH03261161A (ja) * | 1990-03-09 | 1991-11-21 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 縦型熱処理装置 |
| US5299901A (en) * | 1992-04-16 | 1994-04-05 | Texas Instruments Incorporated | Wafer transfer machine |
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