JPS6259672B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6259672B2 JPS6259672B2 JP55028654A JP2865480A JPS6259672B2 JP S6259672 B2 JPS6259672 B2 JP S6259672B2 JP 55028654 A JP55028654 A JP 55028654A JP 2865480 A JP2865480 A JP 2865480A JP S6259672 B2 JPS6259672 B2 JP S6259672B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording head
- ink
- inkjet recording
- active element
- head according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Nozzles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は飛翔液滴を形成して記録を行なうイン
クジエツト記録ヘツドの改良に関する。
クジエツト記録ヘツドの改良に関する。
飛翔液滴を形成して記録を行なうインクジエツ
ト記録法に使用されるインクジエツト記録ヘツド
は、吐出オリフイス，インク流路、インク流路の
一部として形成され、飛翔液滴を形成する為のエ
ネルギーをインクに使用させる個所である作用部
及び複数のインク流路と該インク流路に一対一で
設けられた吐出オリフイスを有する所謂マルチオ
リフイスタイプの記録ヘツドにおいては更に共通
インク供給室が設けられているものであり、これ
等は微細加工の下で精密且つ正確に加工製造され
ている。
ト記録法に使用されるインクジエツト記録ヘツド
は、吐出オリフイス，インク流路、インク流路の
一部として形成され、飛翔液滴を形成する為のエ
ネルギーをインクに使用させる個所である作用部
及び複数のインク流路と該インク流路に一対一で
設けられた吐出オリフイスを有する所謂マルチオ
リフイスタイプの記録ヘツドにおいては更に共通
インク供給室が設けられているものであり、これ
等は微細加工の下で精密且つ正確に加工製造され
ている。
この記録ヘツド製造上におけるインク流路の形
成の精度・正確さの高低は作成された記録ヘツド
の液滴発生効率，消エネルギー率，液滴発生の安
定性及び均一性、更にヘツド自体の耐久性に大き
く影響するもので、特に、高密度マルチオリフイ
スタイプの記録ヘツドの場合には、その製造法に
は精密且つ正確な超微細加工技術が要求され、更
には、大量生産の点からはコストの低減の意味で
歩溜りの良さが要求されている。
成の精度・正確さの高低は作成された記録ヘツド
の液滴発生効率，消エネルギー率，液滴発生の安
定性及び均一性、更にヘツド自体の耐久性に大き
く影響するもので、特に、高密度マルチオリフイ
スタイプの記録ヘツドの場合には、その製造法に
は精密且つ正確な超微細加工技術が要求され、更
には、大量生産の点からはコストの低減の意味で
歩溜りの良さが要求されている。
而乍ら、従来法、例えば、ガラス板の研削加工
によるインク流路の形成法、感光性ガラスをエツ
チングすることによるインク流路の形成法等は上
記の諸点を必ずしも満足し得るものではなく、製
造された記録ヘツドの特性の低下、或いは、歩溜
りの悪さによるコスト上昇、一層の高密度をマル
チオリフイス記録ヘツドの実現性の低下を招来し
ている。
によるインク流路の形成法、感光性ガラスをエツ
チングすることによるインク流路の形成法等は上
記の諸点を必ずしも満足し得るものではなく、製
造された記録ヘツドの特性の低下、或いは、歩溜
りの悪さによるコスト上昇、一層の高密度をマル
チオリフイス記録ヘツドの実現性の低下を招来し
ている。
例えば、前者の従来法によつて作成される記録
ヘツドは、インク流路内壁面が荒く、その内面が
液滴吐出のための急激な圧力変化に対して大きな
抵抗となるため、液滴吐出の為のエネルギーを多
く必要として省エネルギー率が悪い、研削の際ガ
ラスの欠け，割れが発生し、製造歩溜りの悪さ、
液滴吐出の安定性，均一性への影響が大である、
後者の従来法による場合には感光性ガラスの微細
加工精度に限界がある、材料コストが高い等の欠
点が考えられる。更に、これ等従来法に共通な欠
点としては、インンク流路溝を形成した溝基板
と、インクに作用するエネルギーを発生する圧電
素子，発熱素子等の飛翔的液滴形成用の能動素子
が設けられた蓋板との貼合せの際に位置合せが困
難であつて量産性に欠ける点が挙げられる。
ヘツドは、インク流路内壁面が荒く、その内面が
液滴吐出のための急激な圧力変化に対して大きな
抵抗となるため、液滴吐出の為のエネルギーを多
く必要として省エネルギー率が悪い、研削の際ガ
ラスの欠け，割れが発生し、製造歩溜りの悪さ、
液滴吐出の安定性，均一性への影響が大である、
後者の従来法による場合には感光性ガラスの微細
加工精度に限界がある、材料コストが高い等の欠
点が考えられる。更に、これ等従来法に共通な欠
点としては、インンク流路溝を形成した溝基板
と、インクに作用するエネルギーを発生する圧電
素子，発熱素子等の飛翔的液滴形成用の能動素子
が設けられた蓋板との貼合せの際に位置合せが困
難であつて量産性に欠ける点が挙げられる。
従つて、これ等の解決される構成を有するイン
クジエツト記録ヘツドの開発が熱望されている。
クジエツト記録ヘツドの開発が熱望されている。
本発明は、上記点に鑑み成されたもので、安価
で小型であり、信頼性の高いインクジエツト記録
ヘツドを提供することを目的とする。
で小型であり、信頼性の高いインクジエツト記録
ヘツドを提供することを目的とする。
又、インク流路を精度良く正確に且つ歩溜り良
く微細加工される構成を有するインクジエツト記
録ヘツドを提供することでもある。
く微細加工される構成を有するインクジエツト記
録ヘツドを提供することでもある。
本発明のインクジエツト記録ヘツドは感光性樹
脂の硬化層で形成されたインク流路溝に沿つて、
液体を吐出するための能動素子が設けられている
基体の前記インク流路溝上に蓋部材を設けること
でインク流路を形成して成る。
脂の硬化層で形成されたインク流路溝に沿つて、
液体を吐出するための能動素子が設けられている
基体の前記インク流路溝上に蓋部材を設けること
でインク流路を形成して成る。
このような構成とされるインクジエツト記録ヘ
ツドは、製造に際する従来法の諸問題点を解決す
るものであり、更に、インク流路壁面が平滑であ
るので液体の流れがスムースであり、液体を吐出
するためのエネルギーの損失が殆ど問題になら
ず、液滴発生効率、省エネルギー率、液滴発生の
安定性・均一性に極めて優れた特性を有するもの
である。
ツドは、製造に際する従来法の諸問題点を解決す
るものであり、更に、インク流路壁面が平滑であ
るので液体の流れがスムースであり、液体を吐出
するためのエネルギーの損失が殆ど問題になら
ず、液滴発生効率、省エネルギー率、液滴発生の
安定性・均一性に極めて優れた特性を有するもの
である。
以下、本発明を図面に従つて具体的に説明す
る。
る。
第１図ａ，ｂ，ｃは、本発明のインクジエツト
記録ヘツドの構造と組立を説明する為の模式的説
明図である。
記録ヘツドの構造と組立を説明する為の模式的説
明図である。
アルミナ等のセラミツクス，金属，プラスチツ
クス等を形成して得られる基板１０１の所定位置
には液体（インク）に液滴発生の為のエネルギー
を与えるエネルギー源としての発熱素子，圧電素
子等の能動素子１０２が所定個数固定的に設置さ
れる（図においては能動素子は３つ）。図示はさ
れていないが能動素子１０２への電気信号入力の
為の電極は、予め所定の手順と所定の方法に従つ
て設けて置いても良いし、能動素子１０２の設置
と同時に行なつても良いし、後述する溝形成後設
けても良いものである。
クス等を形成して得られる基板１０１の所定位置
には液体（インク）に液滴発生の為のエネルギー
を与えるエネルギー源としての発熱素子，圧電素
子等の能動素子１０２が所定個数固定的に設置さ
れる（図においては能動素子は３つ）。図示はさ
れていないが能動素子１０２への電気信号入力の
為の電極は、予め所定の手順と所定の方法に従つ
て設けて置いても良いし、能動素子１０２の設置
と同時に行なつても良いし、後述する溝形成後設
けても良いものである。
能動素子１０２が設けられた基板１０１の能動
素子１０２の設けられている表面には、所定の厚
みで感光性組成物層１０４が、塗布法，ラミネー
ト法等の適切な方法によつて設けられる。
素子１０２の設けられている表面には、所定の厚
みで感光性組成物層１０４が、塗布法，ラミネー
ト法等の適切な方法によつて設けられる。
その後、通常行なわれているフオトリソングラ
フイーの手段によりオリフイス部１０５，作用部
１０６，インク供給路部１０７，インク吐出路部
１０８等のインク流路を形成するインク流路溝１
０３を形成する。次いで、インク流路溝１０３の
設けられた基板１０１の能動素子１０２側に上蓋
１０９を接合して本発明のインクジエツト記録ヘ
ツドが製造される。従つて先ず従来法における基
板１０１と上蓋１０９との正確な位置合せが不要
であること、形成されるインク流路の内壁面が平
滑であつて液体の流れがスムースであり、液滴吐
出に支障を来たさないこと、高密度微細加工が容
易である為に、高特性を有する高密度マルチオリ
フイス記録ヘツドを低コストで歩溜り良く生産す
ることが出来る等の利点を有し、製造される記録
ヘツドは液滴吐出効率，消エネルギー率，液滴の
安定・均一吐出性に優れ、且つ小型化が計れ安価
であるという利点も具備するものである。
フイーの手段によりオリフイス部１０５，作用部
１０６，インク供給路部１０７，インク吐出路部
１０８等のインク流路を形成するインク流路溝１
０３を形成する。次いで、インク流路溝１０３の
設けられた基板１０１の能動素子１０２側に上蓋
１０９を接合して本発明のインクジエツト記録ヘ
ツドが製造される。従つて先ず従来法における基
板１０１と上蓋１０９との正確な位置合せが不要
であること、形成されるインク流路の内壁面が平
滑であつて液体の流れがスムースであり、液滴吐
出に支障を来たさないこと、高密度微細加工が容
易である為に、高特性を有する高密度マルチオリ
フイス記録ヘツドを低コストで歩溜り良く生産す
ることが出来る等の利点を有し、製造される記録
ヘツドは液滴吐出効率，消エネルギー率，液滴の
安定・均一吐出性に優れ、且つ小型化が計れ安価
であるという利点も具備するものである。
本発明において使用される感光性組成物として
は、感光性樹脂，フオトレジスト等の通常のリン
グラフイーの分野において使用されている感光物
の多くのものが挙げられる。これ等の感光物とし
ては、例えば、ジアゾレジン，Ｐ―ジアゾキノ
ン、更には例えばビニルモノマーと重合開始剤を
使用する光重合型フオトポリマー，ポリビニルシ
ンナメート等と増感剤を使用する二量化型フオト
ポリマー，オルソナフトキノンジアジドとボラツ
クタイプのフエノール樹脂との混合物、ポリビニ
ルアルコールとジアゾ樹脂の混合物、４―グリシ
ジルエチレンオキシドとベンゾフエノンやグリシ
ジルカルコンとを共重合させたポリエーテル型フ
オトポリマー，Ｎ，Ｎ―ジメチルメタクリルアミ
ドと例えばアクリルアミドベンゾフエノンとの共
重合体、不飽和ポリエステル系感光性樹脂〔例え
ばAPR（旭化成），テビスタ（帝人），ゾンネ
（関西ペイント）等〕、不飽和ウレタンオリゴマー
系感光性樹脂，二官能アクリルモノマーに光重合
開始剤とポリマーとを混合した感光性組成物、重
クロム酸系フオトレジスト、非クロム系水溶性フ
オトレジスト、ポリケイ皮酸ビニル系フオトレジ
スト、環化ゴム―アジド系フオトレジオト、等が
挙げられる。
は、感光性樹脂，フオトレジスト等の通常のリン
グラフイーの分野において使用されている感光物
の多くのものが挙げられる。これ等の感光物とし
ては、例えば、ジアゾレジン，Ｐ―ジアゾキノ
ン、更には例えばビニルモノマーと重合開始剤を
使用する光重合型フオトポリマー，ポリビニルシ
ンナメート等と増感剤を使用する二量化型フオト
ポリマー，オルソナフトキノンジアジドとボラツ
クタイプのフエノール樹脂との混合物、ポリビニ
ルアルコールとジアゾ樹脂の混合物、４―グリシ
ジルエチレンオキシドとベンゾフエノンやグリシ
ジルカルコンとを共重合させたポリエーテル型フ
オトポリマー，Ｎ，Ｎ―ジメチルメタクリルアミ
ドと例えばアクリルアミドベンゾフエノンとの共
重合体、不飽和ポリエステル系感光性樹脂〔例え
ばAPR（旭化成），テビスタ（帝人），ゾンネ
（関西ペイント）等〕、不飽和ウレタンオリゴマー
系感光性樹脂，二官能アクリルモノマーに光重合
開始剤とポリマーとを混合した感光性組成物、重
クロム酸系フオトレジスト、非クロム系水溶性フ
オトレジスト、ポリケイ皮酸ビニル系フオトレジ
スト、環化ゴム―アジド系フオトレジオト、等が
挙げられる。
この他、例えばデユポン社の110―マネントホ
トポリマーコーテイング、RISTON、ゾルダーマ
スク730S，740S，730FR，740FR，SMI等の商品
名で市販されている感光性組成物も有効に本発明
において使用される。
トポリマーコーテイング、RISTON、ゾルダーマ
スク730S，740S，730FR，740FR，SMI等の商品
名で市販されている感光性組成物も有効に本発明
において使用される。
感光性組成物の解像力が所望のオリフイス径，
インク流路（殊にノズル）密度を下回る場合に
は、その部分のみ切削加工機（例えばシリコンウ
エハーカツテング用の研削機）を使用して切削加
工しても良い。
インク流路（殊にノズル）密度を下回る場合に
は、その部分のみ切削加工機（例えばシリコンウ
エハーカツテング用の研削機）を使用して切削加
工しても良い。
第１図ａ，ｂ，ｃ各々は、本発明の記録ヘツド
の好適な実施態様例の１つの組立を説明する為の
模式的組立工程図である。 １０１……基板、１０２……能動素子、１０３
……インク流路溝、１０４……感光性組素成物
層、１０５……オリフイス、１０６……作用部、
１０７……インク供給路部、１０８……インク吐
出路部、１０９……上蓋。
の好適な実施態様例の１つの組立を説明する為の
模式的組立工程図である。 １０１……基板、１０２……能動素子、１０３
……インク流路溝、１０４……感光性組素成物
層、１０５……オリフイス、１０６……作用部、
１０７……インク供給路部、１０８……インク吐
出路部、１０９……上蓋。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 感光性樹脂の硬化層で形成されたインク流路
溝に沿つて、液体を吐出するための能動素子が設
けられている基体の前記インク流路溝上に蓋部材
を設けることでインク流路を形成して成るインク
ジエツト記録ヘツド。 ２ 前記インク流路がオリフイス部、インク吐出
部、作用部、インク供給路部で構成されている特
許請求の範囲第１項に記載のインクジエツト記録
ヘツド。 ３ 前記作用部位置に前記能動素子が設けてある
特許請求の範囲第２項に記載のインクジエツト記
録ヘツド。 ４ 前記能動素子が圧電素子である特許請求の範
囲第３項に記載のインクジエツト記録ヘツド。 ５ 前記能動素子が発熱素子である特許請求の範
囲第３項に記載のインクジエツト記録ヘツド。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2865480A JPS56123869A (en) | 1980-03-06 | 1980-03-06 | Ink jet recording head |
| US06/238,422 US4417251A (en) | 1980-03-06 | 1981-02-26 | Ink jet head |
| CA000372115A CA1169472A (en) | 1980-03-06 | 1981-03-02 | Ink jet head |
| GB8106623A GB2072099B (en) | 1980-03-06 | 1981-03-03 | Ink jet head |
| DE19813108206 DE3108206A1 (de) | 1980-03-06 | 1981-03-04 | Tintenstrahlkopf und verfahren zur herstellung desselben |
| FR8104406A FR2477472B1 (fr) | 1980-03-06 | 1981-03-05 | Tete a jet d'encre et son procede de fabrication |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2865480A JPS56123869A (en) | 1980-03-06 | 1980-03-06 | Ink jet recording head |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23322788A Division JPH01125241A (ja) | 1988-09-17 | 1988-09-17 | 液体吐出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56123869A JPS56123869A (en) | 1981-09-29 |
| JPS6259672B2 true JPS6259672B2 (ja) | 1987-12-11 |
Family
ID=12254487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2865480A Granted JPS56123869A (en) | 1980-03-06 | 1980-03-06 | Ink jet recording head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56123869A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58116163A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-11 | Canon Inc | 液体噴射ヘツド |
| JPS58116164A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-11 | Canon Inc | 記録ヘツド |
| JPH01125240A (ja) * | 1987-11-11 | 1989-05-17 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド |
| JPH01125241A (ja) * | 1988-09-17 | 1989-05-17 | Canon Inc | 液体吐出方法 |
| JP3402865B2 (ja) * | 1995-08-09 | 2003-05-06 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4159123A (en) * | 1977-08-18 | 1979-06-26 | Petty Preston L | Motorcycle braking mechanism including means for controlling telescoping action of the front fork means |
| JPS5527281A (en) * | 1978-08-18 | 1980-02-27 | Canon Inc | Recording head |
| JPS5923275B2 (ja) * | 1978-05-13 | 1984-05-31 | 株式会社日立製作所 | マルチノズル形液体粒子発生器 |
| JPS585785B2 (ja) * | 1978-05-10 | 1983-02-01 | 株式会社日立製作所 | インクジエツト記録用ノズルヘツド |
-
1980
- 1980-03-06 JP JP2865480A patent/JPS56123869A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56123869A (en) | 1981-09-29 |
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